JP2010103498A - 面発光レーザ、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体層が積層された面発光レーザであって、
上部ミラーの一部をエッチングすることによって形成された第1のエッチング領域を有する。
また、第1のエッチング領域の底部から、電流狭窄構造を形成するための半導体層までをエッチングすることによって形成された第2のエッチング領域を有する。この第2のエッチング領域の深さは、第1のエッチング領域の深さよりも浅い。
【選択図】 図1
Description
基板表面に対して垂直方向に光を取り出すことができるため、二次元アレイの形成が素子形成時のマスクパターンの変更のみで容易に可能になる。
この二次元アレイから出射される複数のビームを用いた並列処理により、高密度化および高速化が可能になり、光通信など様々な産業上の応用が期待される。
例えば、電子写真プリンタの露光光源として面発光レーザアレイを用いると、複数のビームによる印字工程の高密度・高速化が可能となる。
このような電子写真における印刷工程では、感光ドラム上に安定かつ微小なレーザスポットの形成が必要なため、レーザ特性として、単一横モードや単一縦モードでの安定動作も要求される。
この選択酸化方式では、AlAs層またはAl組成比の高い、例えばAl組成比が98%のAlGaAs層を多層膜反射鏡内に設け、それを高温水蒸気雰囲気中で選択酸化することで、電流狭窄構造を形成し、必要な領域のみに電流を注入するようにされる。
しかしながら、上記のように電流狭窄構造を形成するために選択酸化することは、単一横モードという観点からは、望ましくないものである。
すなわち、酸化層の存在により必要以上に大きな屈折率差が生じることにより、高次横モードを発生させてしまうこととなる。
その対策として、発光領域を3μm径程度まで小さくすることで、高次横モードが閉じ込められないようにし、単一横モード発振を達成する等の方法が用いられるが、このような方法では、発光領域が小さくなるために素子一個当たりの出力が大幅に低下する。
更に、微小な発光領域に電流を注入するため電流密度が高くなり、素子抵抗の増大、素子寿命の低下等の原因にもなる。
その方法の一つとして、非特許文献1では、面発光レーザ素子の光出射面に段差加工を施すことで、高次横モードへの損失を基本横モードの損失よりも増大させる方法が開示されている。
図7に、この方法により表面レリーフ構造が形成された面発光レーザの断面模式図を示す。
なお、本明細書では、上記したように反射鏡の光出射面の光出射領域に段差加工が施された構造を、以下において表面レリーフ構造と称することとする。
具体的には、基本横モードのみの発振を得たい場合、電流狭窄アパーチャ中心と表面レリーフ中心との水平位置ずれは例えば1μm以内、さらに好ましくは0.5μmにおさまっていることが望ましい。
なぜなら、それらの中心がずれていれば、発振させたいモード(この場合は基本横モード)に余計な損失を与える、あるいは発振させたくないモード(高次横モード)に必要な損失を与えられない、ことになってしまうからである。
このような表面レリーフ構造と電流狭窄構造との位置合わせをしてこれらを作製する方法として、上記非特許文献1ではセルフアラインプロセスと呼ばれる方法が開示されている。
この方法では、表面レリーフ構造とメサ構造の位置決めパターニングを一度に行うことが特徴である。
メサのエッチングにより選択酸化層の側壁を露出させ、そこから選択酸化層の酸化を行って電流狭窄構造が形成される。
このため、表面レリーフ構造と電流狭窄構造の水平方向の位置合わせが自動的に行われることとなる。
次に図8(b)に示すように、パターニングされたレジスト410をマスクに半導体をドライエッチングする。このエッチングによって表面レリーフ構造150が形成される。
次に図8(c)に示すように、第2のレジスト420を塗布し表面レリーフ構造150を保護するようにパターニングする。
次に図8(d)に示すように、メサ構造を形成するようにウエットエッチングし、高Al組成層115をメサ側壁に露出させる。
次に図8(e)に示すように、レジスト410および420を除去し、高Al組成層115を選択酸化し電流狭窄構造116を形成する。
これ以降は標準的なプロセスにより、デバイスに電極を接続しVCSEL素子が完成される。
このような深いエッチングにおいて、表面レリーフ構造と同時にパターニングしたメサ構造のパターンの位置どおりに、選択酸化層の側壁を露出させることは、つぎに述べるような理由により、困難である。
例えば、上記のように深さのあるメサ構造をウエットエッチングにより形成する場合には、垂直性を精度良く形成することは困難であり、また半導体の結晶方位依存性が出易いという課題が生じる。
また、上記のように深さのあるメサ構造をドライエッチングにより形成する場合には、レジストは対ドライエッチング耐性が低い。
そのため、エッチングマスクのエッジ部分がダメージを受けて後退することにより、メサ構造を精度良く形成することができないという課題が生じる。
その場合、酸化開始位置がマスクパターンの位置からずれることになるから、結果的に電流狭窄構造のサイズ、位置が予定の値からずれ、不安定となる。
この結果、図9に一例を示すように、表面レリーフ構造と電流狭窄構造とが必ずしも整合せず相対位置のずれが生じ、効率の良い単一横モードVCSELが得られない可能性がある。
本発明の面発光レーザは、基板上に、下部ミラー、活性層、上部ミラー、を含む半導体層が積層された面発光レーザであって、
前記上部ミラーの一部をエッチングすることによって形成された第1のエッチング領域と、
前記第1のエッチング領域の底部から、前記第1のエッチング領域の下方における前記上部ミラーの中または前記上部ミラーと前記活性層との間に設けられた電流狭窄構造を形成するための半導体層までをエッチングすることによって形成された第2のエッチング領域と、
前記上部ミラーの表面側の光出射部に形成された段差構造による表面レリーフ構造と、
前記電流狭窄構造を形成するための半導体層の一部を酸化して形成された電流狭窄構造と、を備え、
前記第1のエッチング領域の深さよりも、前記第2のエッチング領域の深さが浅いことを特徴とする。
上記した発明の課題において述べたとおり、深さのあるメサ構造をエッチングするに際し、従来技術のようにセルフアラインによるパターニングをして一度にエッチングする場合には、メサ構造を精度良く形成することが困難である。
そこで、本発明は、このようなメサ構造を一度にエッチングせず、メサ構造をエッチングする工程を、第1のエッチング領域を形成する一段目のエッチング工程と、第2のエッチング領域を形成する二段目のエッチング工程とに分ける。
そして、二段目のエッチング工程において、上記したセルフアラインプロセスを用い、これにより上記一段目による第1のエッチング領域よりも浅いエッチングにより、少なくとも電流狭窄構造を形成するための半導体層までをエッチングし、該半導体層を露出させる。
このように、エッチングを2段階に分けることにより、電流狭窄構造用の半導体層を露出させる上で必要なエッチングの深さを、一度のエッチングで電流狭窄構造用の半導体層を露出する従来技術のエッチング深さに比べて浅くすることができる。
そのため、上記第2のエッチング領域のエッチングにより、露出された上記電流狭窄構造を形成するための半導体層の側面の位置を、表面レリーフ構造と整合している所定のパターニングの位置とより近い位置にエッチングすることができる。
これらにより、表面レリーフ構造と電流狭窄構造との位置合わせ精度を高くすることができるようにしたものである。
以下に、本発明の実施形態について説明する。
実施形態1として、本発明の基板上に、下部ミラー、活性層、上部ミラー、を含む半導体層が積層された面発光レーザを適用した構成例について説明する。
図1に、本実施形態における垂直共振器型面発光レーザ(以下、面発光レーザと記す)の構成例を説明するための断面模式図を示す。
上部ミラー106、または上部ミラーと活性層110との間に、高Al組成層115による半導体層が設けられおり、その一部が酸化されて形成された電流狭窄構造116が構成されている。
この高Al組成層115は、AlxGa(1−x)As(0.9<x≦1)あるいはAlAsによる材料で形成することができる。
面発光レーザ100は、上部ミラーの表面側の一部領域を構成する第1のエッチング領域170により、メサ構造が形成されている。
この第1のエッチング領域170によるメサ構造は高Al組成層115よりも上方にある。
また、第1のエッチング領域170の下部に、さらに第2のエッチング領域172が設けられている。
このメサ構造による第2のエッチング領域172は、前記第1のエッチング領域の下部から、少なくとも前記第1のエッチング領域の下方における前記上部ミラー114の中、または、前記上部ミラー114と活性層110との間に設けられた高Al組成層115までの領域を構成する。
この第2のエッチング領域172の深さは、第1のエッチング領域170よりもエッチング深さの浅いエッチングによって形成されている。
また、この第2のエッチング領域172は高Al組成層115の側壁を露出させており、上記したように高Al組成層115の一部がその側壁から酸化されており、活性層への電流注入を空間的に制限するための電流狭窄構造116が形成されている。
表面レリーフ構造150と、第2のエッチング領域172とは、基板面内方向に位置合わせが行われている。
例えば、ここでは表面レリーフ構造150は同心円状の凸型のレリーフ構造が形成されており、上部ミラー114の中心部の反射率が高くなるように設計されている。
また、表面レリーフ構造150の中心と、電流狭窄構造116のアパーチャ中心とは、水平位置が一致している。
メサ構造の一部の上部面および側壁には、絶縁膜124が設けられている。
上部ミラー114の最上部には、コンタクト層が設けられており(不図示)、コンタクト層上の一部に上部電極126が接続されている。
上部電極126には光取り出しのための開口が設けられている。
また、下部電極102が基板裏側に接続されている。
本実施形態の面発光レーザ100は、上記構成を備え、上部電極126と下部電極102との間に所定の電圧を印加することで、活性層110が発光し、面発光レーザ100は発振し、上部電極の開口からレーザ光が出射されるように構成されている。
以上のように、エッチングを2段階に分け、1段階目のエッチング深さよりも2段階目のエッチング深さを浅くしている。
そして、2段階目のエッチングにより、電流狭窄構造を形成するための半導体層を露出する。これにより、表面レリーフ構造と電流狭窄構造との位置合わせ精度を高くすることができるため、単一横モード特性を安定して得ることができる面発光レーザを提供することができる。
さらに、通常用いられる(100)面基板ではなく、例えば(100)から5°以上、例えば10°のオフ角度がついた傾斜基板を用いた場合には、その四角形状がさらに歪んでしまうこととなる。
しかしながら、上記で説明したように2段階のエッチングによる面発光レーザによれば、酸化開始位置とパターニング位置とを精度よく合わせることができるため、アパーチャ形状を円形に形成することができる。このため、電流狭窄構造のアパーチャと表面レリーフ構造との相対位置を精度よく合わせることができ、単一横モード特性を安定して得ることのできる面発光レーザを提供することができる。
つぎに、実施形態2として、本発明の基板上に、半導体層を積層して面発光レーザを形成する面発光レーザの製造方法を適用した構成例について説明する。
図2及び図3に、本実施形態の面発光レーザにおける作成方法の構成例を説明する模式図を示す。
図2(A)から図2(F)は本実施形態の面発光レーザの製造工程を示す図であり、図3(G)から図3(K)は図2に示す面発光レーザの製造工程に続く製造工程を示す図である。
図2及び図3には、実施形態1における図1に示した構成と同様の構成には同一の符号が付されている。
例えば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により、下部ミラー106、下部スペーサ層108、活性層110、を成長させる。
さらに、この活性層110上に、上部スペーサ層112、高Al組成層115、上部ミラー114を成長させる。
面発光レーザ100の発振波長をλとすると、活性層110は波長λにおいて利得を持つ。λは例えば680nmである。
具体的には、例えば、基板104として、GaAs基板を用い、その主面が(100)面から5度以上傾いた傾斜基板で形成されているGaAs基板を用いる。また、下部ミラー106は、n型のAlAs層とAl0.5Ga0.5As層の60ペアからなるDBR(Distributed Bragg Reflector)で形成され、各層はλ/4の光学厚とされている。
下部スペーサ層108はn型のAlGaInP層で形成され、活性層110はGaInP/AlGaInPの多重量子井戸で形成されている。
また、上部スペーサ層112はp型のAlInP層で形成され、上部ミラー114はp型のAl0.9Ga0.1As層とAl0.5Ga0.5As層の38ペアからなるDBRで形成されている。また、各層はλ/4の光学厚とされている。
下部スペーサ層108と上部スペーサ層112の層厚は、下部ミラー106と上部ミラー114により形成される垂直共振器で共振する定在波の腹の位置に活性層110が来るように調整される。
また、上部ミラー114の内部(例えば活性層側1ペア目)に、高Al組成層115が設けられている。
高Al組成層115は、具体的にはAl0.98Ga0.02Asで形成され、30nm厚とされている。
また、上部ミラーの最上層はGaAsコンタクト層で形成され、20nm厚とされている。
第1の保護膜260は例えばSiO2やSiNなどであり、膜厚は例えば200nmである。
第1の保護膜260は例えばプラズマCVD法にて成膜する。メサ構造の直径は例えば26μmとする。
次に、図2(C)に示す工程において、第1のレジスト262をマスクに、第1の保護膜260をウエットエッチングする。
このエッチングに際しては、例えば、バッファードフッ酸を用いる。
さらに、第1のレジスト262および第1の保護膜260をマスクに、上部ミラー114のエッチングを行う。
このエッチングは、例えばドライエッチング、または、ウエットエッチングにより行い、例えばSiCl4/Arガスの反応性イオンエッチングにより行う。
この図2(C)に示すエッチング工程では、エッチング領域が高Al組成層115に到達しない第1のエッチング領域が形成される。
すなわち、実施形態1の図1で説明したメサ構造が高Al組成層115よりも上方にある第1のエッチング領域170に相当する領域が、この図2(C)に示す工程において第1のエッチング領域としてエッチングされる。
第1のレジスト262の除去は、例えば酸素プラズマによるアッシングにて行う。
この第2の保護膜264としては、例えばSiO2やSiNなどが用いられ、プラズマCVD法により成膜する。
第2の保護膜264の膜厚は、例えば500nmとすることができる。
その後、第2のレジスト266を塗布し、表面レリーフ構造150、および高Al組成層の側壁を露出させるためのエッチング領域を形成するためのパターニングを行う。
このパターニングは、実施形態1の図1で説明した第1のエッチング領域170の底部に、さらに設けられる該第1のエッチング領域170の深さよりも浅い第2のエッチング領域172に相当するエッチング領域を形成するために行われるものである。
前記パターニングは、例えば、プロジェクション型のフォトリソグラフィーにより同一マスクにて行う。
第2のレジストによるフォーカス深さ(Depth of Focus)が、第1のエッチング領域の深さ以上となる条件によりフォトリソグラフィーを行うことが好ましい。
第2のエッチング領域172は、例えば、メサ構造を取り囲むリング状に形成される。
第2のエッチング領域172を形成するためのパターニングは、第1のエッチング領域170の底部上方にある第2のレジスト266に行われる。
表面レリーフ構造150と第2のエッチング領域172のパターニングは、それらの中心が一致するように配されている。
なお、それらの中心とメサ構造(第1のエッチング領域に囲まれている構造)の中心とが必ずしも一致している必要はない。
第2の保護膜264および第1の保護膜260のエッチングは例えばバッファードフッ酸にて行う。
次に、図2(F)に示す工程において、第2のレジスト266を除去する。第2のレジスト266の除去は例えばアセトンにより行う。
その後、第2の保護膜264をマスクに、上部ミラー114の上部をエッチングすることで、上部ミラー114に表面レリーフ構造150を形成する。上部ミラー114のエッチングはウエットエッチングにて行う。
第3の保護膜268は例えばSiO2やSiNなどであり、プラズマCVD法にて成膜する。
第3の保護膜268の膜厚は、例えば100nmである。
次に、第3のレジスト274を塗布し、表面レリーフ構造150のエッチング部を第3のレジスト274が塞ぎかつ第3のレジスト274がメサ上部からはみださないようにパターニングを行う。
エッチングは例えばバッファードフッ酸にて行う。この場合に、一部の第3の保護膜268のメサ側には第2の保護膜264が存在するが、第2の保護膜264を全てエッチングしないように、エッチングの時間を調整する。
次に、図3(I)に示す工程において、第3のレジスト274および第2の保護膜264をマスクとして、エッチングを行い第2のエッチング領域172を形成する。
この第2のエッチング領域172は、前述した実施形態1の図1で説明した第1のエッチング領域170の底部おける該第1のエッチング領域170の深さよりも浅い第2のエッチング領域172に相当するエッチング領域である。
エッチングはドライエッチングまたはウエットエッチングにて行う。
この第2のエッチング領域のエッチングにおいては、第1のエッチング領域の下方の上部ミラー114から、少なくとも高Al組成層115を露出させるまでをエッチングすればよい。
本実施形態でのこの図3(I)の工程では、第2のエッチング領域のエッチングによって、下部スペーサ層108までエッチングするようにした。
第3のレジスト274の除去は例えばアセトンにて行う。高Al組成層115の酸化は、例えば400℃に加熱し水蒸気雰囲気下で30分置くことで行う。
高Al組成層115は、第2のエッチング領域に露出しているその側面から酸化される。酸化による電流狭窄構造のアパーチャの直径は例えば6μmである。
これ以降は標準的なプロセスにより、デバイスに電極を接続し面発光レーザ100が完成される。
具体的には、図1に示すように、メサ構造を覆うように絶縁膜124を成膜し、メサ上部の一部の絶縁膜124を除去する。
その後、上部電極126を光出射部(表面レリーフ構造150を含む)に開口が設けられるようにメサ構造および絶縁膜124上に形成し、下部電極102を基板下側に形成する。
絶縁膜124は、例えば200nm厚のSiO2膜を、例えばプラズマCVD法により形成する。
上部電極126は、例えばTi/Auでありリフトオフ法を用いて形成する。
下部電極102は、例えばAuGe/Auにより形成する。なお、必要であれば、面発光レーザ100を300℃程度でのアニール処理し、その電極−半導体界面におけるコンタクト性を改善しても良い。
具体的には、前記第2のエッチング領域のエッチング深さを、500nm以上、1μm以下、あるいは100nm以上、500nm以下、あるいはこれらより更に浅いエッチング深さとすることができる。
したがって、高Al組成層115の露出した側面の位置は、表面レリーフ構造150と整合している所定のパターニングの位置により近いものとなる。
したがって高Al組成層115の側面から酸化により形成される電流狭窄構造116のアパーチャと、表面レリーフ構造150との相対的な位置精度が高い面発光レーザが実現される。
ウエットエッチングを用いた場合は、エッチングストップ層を用いて第1のエッチング領域の深さを制御することができる。
すなわち、高Al組成層よりも上にエッチングストップ層を設け、第1のエッチング領域のエッチングはエッチングストップ層までとする。
その結果、第1のエッチング領域は高Al組成層まで到達しないという条件を容易に達成できる。
例えば、第1のエッチング領域のエッチングに用いるエッチャントはリン酸系エッチャントとし、第1のエッチングストップ層には、例えば50nm厚ないし100nm厚のAlInP層を用いることができる。
第2のエッチング領域のエッチングにドライエッチング、ウエットエッチングのどちらを用いる場合でも、第2のエッチング領域のエッチング開始深さ位置から高Al組成層までの距離はできるだけ短いことが望ましい。
第2のエッチング領域のエッチング開始深さ位置から高Al組成層までの距離が十分短い場合は、等方的なエッチング性を持つウエットエッチングを用いても露出させる高Al組成層の側面位置制御が十分にできる。
例えば、電流狭窄構造のアパーチャ中心と表面レリーフ構造の中心を0.4μm以内に合わせたい場合、前記距離を0.4μm以内に設定すれば十分である。
一方で、従来技術のように、上部ミラーの最上部からエッチングを開始し高Al組成層を出す場合は、3μm程度のエッチングは必要であるから、表面レリーフ構造の中心と電流狭窄構造のアパーチャ中心をその精度であわせることは困難である。
また、第2のエッチング領域のエッチングにウエットエッチングを用いる場合は、第1のエッチング領域のエッチング同様にエッチングストップ層を用いることでエッチング深さを制御できる。
ここで2種類のエッチャントにより第2のエッチング領域のエッチングを行っても良い。
一方、第2のエッチング領域のエッチングに、垂直エッチング性の高いドライエッチングを用いると、パターニング境界位置と高Al組成層の側面位置をより正確に合わせることができる。
図4に、上記具体例について説明するための層構成を示す。
図4にその具体例の層構成を示すように、AlAs層からなる高Al組成層115の上方にAlGaInP層からなる第1のエッチングストップ層310が、下方にAlGaInPからなる第2のエッチングストップ層320が設けられている。
第1のエッチングストップ層はAlGaAs系の多層膜反射鏡で構成された上部ミラー114に挟まれている。
第1のエッチング領域170のエッチングにおいては、エッチャントとして例えばリン酸系のもの、例えば体積比でリン酸:過酸化水素水(31%):水=4:1:90で混合したものを用いる。
このエッチャントは、AlGaAs系半導体はエッチングするが、AlGaInP層はほとんどエッチングしない。
このため第1のエッチング領域のエッチングは第1のエッチングストップ層310に到達したところで止まる。
第2のエッチング領域のエッチングでは、まずバッファードフッ酸により第1のエッチングストップ層310を除去した後に、前記のリン酸系エッチャントにて、残りの上部ミラー114および高Al組成層115をエッチングする。
第2のエッチング領域のエッチングは第2のエッチングストップ層320に到達したところで止まる。
つぎに、実施形態3として、電流狭窄構造の形成後に表面レリーフ構造を形成するようにした点で、上記した実施形態2とは作成方法が異なる面発光レーザの作成方法について説明する。
図5(A)から図5(F)は本実施形態の面発光レーザの製造工程を示す図であり、図6(G)から図6(I)は図5に示す面発光レーザの製造工程に続く製造工程を示す図である。
図5及び図6には、実施形態2における図2及び図3に示した構成と同様の構成には同一の符号が付されている。
本実施形態の面発光レーザの作成方法においては、電流狭窄構造116の形成後に表面レリーフ構造150を形成する点で、上記した電流狭窄構造の形成前に形成する実施形態2の作製方法と異なる。
本実施形態の作成方法は、実施形態2の作製方法に比べ工程数が少なくて済むというメリットがある。
すなわち、n型のGaAs基板104上に、下部ミラー106、下部スペーサ層108、活性層110、上部スペーサ層112、高Al組成層115、上部ミラー114を成長させる。
ここで、上部ミラー114の最上部は、層厚が20nm以上あるGaAsコンタクト層を形成する。
その後、第1の保護膜260を成膜し、第1のレジスト262を塗布後、メサ構造のパターニングを行う。
その後、第1のレジスト262をマスクに、第1の保護膜260をウエットエッチングする。
第1のレジスト262および第1の保護膜260をマスクに、上部ミラー114のエッチングを行う。
図5(A)〜図5(C)の工程は、図2(A)〜図2(C)の工程と同じであるから、詳細な説明を省略する。
次に、図5(D)に示す工程において、第2のレジスト266を塗布し、表面レリーフ構造150、および高Al組成層の側壁を露出させるためのエッチング領域(第2のエッチング領域172)を形成するためのパターニングを行う。
第2のレジスト266へのパターニングは、実施形態2における第2のレジストへのパターニングと同様である。
エッチングは例えばウエットエッチングにより行い、エッチャントは例えばリン酸系エッチャントを用いる。
次に、図5(F)に示す工程において、第2のレジスト266をマスクに、第1の保護膜260をエッチングする。エッチングは例えばウエットエッチングにより行う。エッチャントは上部ミラー114の最上層であるGaAsコンタクト層をほとんどエッチングしないものを用いる。例えばバッファードフッ酸である。図5(E)および図5(F)に示した工程を経て、高Al組成層115の側面が露出するようにする。
また、上部ミラー114の最上層であるGaAsコンタクト層がほとんどダメージをうけていないことが望ましい。
第2のレジスト266の除去は例えばアセトンにて行う。高Al組成層115の酸化は、例えば400℃に加熱し水蒸気雰囲気下で30分置くことで行う。
高Al組成層115は、第2のエッチング領域に露出しているその側面から酸化される。酸化による電流狭窄構造のアパーチャの直径は例えば6μmである。なお上部ミラーの最上層であるGaAs層の一部は水蒸気雰囲気に剥き出しになっているが500℃以下ではほとんど酸化されない。
上部ミラー114のエッチングはウエットエッチングにて行う。
次に、図6(I)に示す工程において、第1の保護膜260を除去する。除去は例えばバッファードフッ酸にて行う。
これ以降は実施形態2と同様、標準的なプロセスにより、デバイスに電極を接続し面発光レーザ100が完成される。
例えば、具体的にAlAs層のようなAl組成比の高い高Al組成層を酸化する場合、円形の電流狭窄アパーチャ形状を得るために、第2のエッチング領域は、酸化速度の面内異方性を考慮して配置することができる。
あるいは、傾斜基板を用いたときの高Al組成層を酸化する場合、等においても同様である。
円形の電流狭窄アパーチャ形状を得るために、第2のエッチング領域は、酸化速度の面内異方性を考慮して配置することができる。
本発明によれば、第2のエッチング領域のエッチング深さを浅くできるから、より正確に第2のエッチング領域を所定のパターン通りに、配することができるため、表面レリーフ構造の効果をより確実に出すことが可能となる。
また、メサ構造は円形であっても良いし、そうでなくても良い。
また、半導体材料や電極材料、誘電体材料などは実施例で開示された材料に限るものではなく、本発明の主旨を外れないものであれば他の材料を利用することも可能である。
また、本実施形態で開示された半導体や誘電体のエッチングに用いるエッチャントも、本発明の範囲内ならば本実施形態で開示された以外のものでもよい。
また、本実施形態では、表面レリーフ構造によるモード制御について、0次の横モードを単一モード化させるようにしたため、光出射領域の中心部で反射率が高く、周辺部で反射率が低いという2領域に分けるレリーフ構造であった。
しかし、表面レリーフ構造を利用して0次モードの発振を抑え、他の特定の高次モードを発振させることも可能である。表面レリーフ構造の形状、大きさは、所望の光学特性の面発光レーザを得るために、様々な形態を採ることができる。
102:下部電極
104:基板
106:下部ミラー
108:下部スペーサ層
110:活性層
112:上部スペーサ層
114:上部ミラー
115:高Al組成層
116:電流狭窄構造
126:上部電極
150:表面レリーフ構造
170:第1のエッチング領域
172:第2のエッチング領域
260:第1の保護膜
262:第1のレジスト
264:第2の保護膜
266:第2のレジスト
268:第3の保護膜
274:第3のレジスト
Claims (10)
- 基板上に、下部ミラー、活性層、上部ミラー、を含む半導体層が積層された面発光レーザであって、
前記上部ミラーの一部をエッチングすることによって形成された第1のエッチング領域と、
前記第1のエッチング領域の底部から、前記第1のエッチング領域の下方における前記上部ミラーの中または前記上部ミラーと前記活性層との間に設けられた電流狭窄構造を形成するための半導体層までをエッチングすることによって形成された第2のエッチング領域と、
前記上部ミラーの表面側の光出射部に形成された段差構造による表面レリーフ構造と、
前記電流狭窄構造を形成するための半導体層の一部を酸化して形成された電流狭窄構造と、を備え、
前記第1のエッチング領域の深さよりも、前記第2のエッチング領域の深さが浅いことを特徴とする面発光レーザ。 - 前記電流狭窄構造を形成するための半導体層は、AlxGa(1−x)As(0.9<x≦1)による材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。
- 前記第2のエッチング領域は、複数に分割されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の面発光レーザ。
- 前記第2のエッチング領域のエッチング深さは、500nm以上、1μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の面発光レーザ。
- 前記第2のエッチング領域のエッチング深さは、100nm以上、500nm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の面発光レーザ。
- 面発光レーザの製造方法であって、
基板上に、下部ミラー、活性層、上部ミラーを含む半導体層を積層する工程と、
前記上部ミラーの上部から該上部ミラーの一部をエッチングし、第1のエッチング領域を形成する工程と、
前記第1のエッチング領域を形成する工程の後に、前記上部ミラーの上にレジストを形成する工程と、
前記レジストに、段差構造による表面レリーフ構造および第2のエッチング領域を形成するためのパターンを同一工程によりパターニングする工程と、
前記パターニングする工程の後に、前記パターンを用いて、前記第1のエッチング領域の底部から、前記第1のエッチング領域の下方における前記上部ミラーの中または前記上部ミラーと前記活性層との間に設けられた電流狭窄構造を形成するための半導体層までをエッチングすることによって前記第2のエッチング領域を形成する工程と、
前記第2のエッチング領域から電流狭窄構造を形成するための半導体層の一部を酸化して電流狭窄構造を形成する工程と、
前記パターニングする工程の後に、前記パターンを用い、前記上部ミラーの一部をエッチングし、該上部ミラーの表面側の光出射部に段差構造による表面レリーフ構造を形成する工程と、
を含み、
前記第1のエッチング領域の深さより前記第2のエッチング領域の深さが浅いことを特徴とする面発光レーザの製造方法。 - 前記表面レリーフ構造を形成する工程の後に、前記電流狭窄構造を形成する工程を行うことを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザの製造方法。
- 前記電流狭窄構造を形成する工程の後に、前記表面レリーフ構造を形成することを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザの製造方法。
- 前記第1のエッチング領域を形成する工程におけるエッチングは、ウエットエッチングまたはドライエッチングであることを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の面発光レーザの製造方法。
- 前記第2のエッチング領域を形成する工程におけるエッチングは、ウエットエッチングまたはドライエッチングであることを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の面発光レーザの製造方法。
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