JP2006128411A - 薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 同一基板上に形成されるn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタにおいて、水素化の際に半導体層に注入される水素量をn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタとで独立に制御可能とし、両薄膜トランジスタの特性を同時に高める。
【解決手段】 nチャネル型薄膜トランジスタ11aのソース・ドレイン領域16aとpチャネル型薄膜トランジスタ11bのソース・ドレイン領域16bとが隣接して形成される共に、ソース・ドレイン領域16a,16bに重なるように形成されたコンタクトホール19bによりnチャネル型薄膜トランジスタ11aとpチャネル型薄膜トランジスタ11bとでコンタクトホール19bを共通化した薄膜トランジスタ基板1において、隣接して形成された前記ソース・ドレイン領域16a,16b上の前記ゲート絶縁層14の膜厚が、前記nチャネル型薄膜トランジスタ11aと前記pチャネル型薄膜トランジスタ11bとで異なる。
【選択図】 図2
【解決手段】 nチャネル型薄膜トランジスタ11aのソース・ドレイン領域16aとpチャネル型薄膜トランジスタ11bのソース・ドレイン領域16bとが隣接して形成される共に、ソース・ドレイン領域16a,16bに重なるように形成されたコンタクトホール19bによりnチャネル型薄膜トランジスタ11aとpチャネル型薄膜トランジスタ11bとでコンタクトホール19bを共通化した薄膜トランジスタ基板1において、隣接して形成された前記ソース・ドレイン領域16a,16b上の前記ゲート絶縁層14の膜厚が、前記nチャネル型薄膜トランジスタ11aと前記pチャネル型薄膜トランジスタ11bとで異なる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、例えばアクティブマトリクス型液晶表示デバイスに適用される薄膜トランジスタ基板及びその製造方法に関する。
薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)基板は、例えばアクティブマトリクス型液晶表示デバイス等に用いられ、画像表示を行う表示領域と表示領域の周辺部にTFTで回路構成されたアナログスイッチやシフトレジスタ等の駆動回路とが同一ガラス基板上に形成されている。近年の液晶表示デバイスにおいては高開口率化や狭額縁化がより一層進む傾向にあるため、回路のレイアウトパターンを工夫するなどして回路の高密度化を図る必要が生じている。例えばインバータ等のようにn型TFTとp型TFTとを隣接させるレイアウトとする場合、従来は各TFTの半導体層に接続するよう層間絶縁膜にコンタクトホールを設け、これら2つのコンタクトホールを配線でつなぐ構造が一般的であったが、近年、1つのコンタクトホールでn型TFTとp型TFTとをつなぐ構造が提案されている(例えば特許文献1等参照)。この構造では、両TFTの半導体層の間に1つのコンタクトホールを設け、当該コンタクトホールの略半分がn型TFTの半導体層に、残りの部分がpチャネル型半導体層に重なるようにしている。このように隣接するn型・p型TFT間でコンタクトホールを共通化することにより、n型・p型TFTの間隔を狭くし、回路の高密度化が実現される。
n型TFTとp型TFTとでコンタクトホールを共通化した駆動回路を形成する方法としては、例えば以下に説明するような方法が知られている。ここでは、n型TFT及びp型TFTとともに例えば3本の走査線を形成する場合を例に挙げて説明する。先ず、図6(a)に示すように、ガラス基板101上に所定形状のポリシリコン層102を形成し、さらにポリシリコン層102を覆ってゲート絶縁層103を略全面に形成する。次に、図6(b)に示すようにレジストパターン104を形成し、このレジストパターン104をマスクとしてn型TFTのソース・ドレイン領域に対応するポリシリコン層102にのみリンを高濃度にドープし、ソース・ドレイン領域102aを形成する。次に、レジストパターン104を除去し、図6(c)に示すように、ゲート絶縁層103上にゲート配線材料105をスパッタにより成膜する。
次に、図6(d)に示すように、フォトリソグラフィによりゲート配線材料層105上にn型TFTのゲート電極、p型TFTのゲート電極及び走査線にそれぞれ対応した形状のレジストパターン106a、106b、106cを形成する。次に、レジストパターン106a、106b、106cをマスクとしてゲート配線材料層105をエッチングし、n型TFTのゲート電極105a、p型TFTのゲート電極105b、及び走査線105cを形成する。このとき、ゲート配線材料層105の下地であるゲート絶縁層103も一部エッチングされ、所定量削れる。エッチング後、図6(e)に示すように、n型TFTのゲート電極105aをマスクとしてリンを低濃度にドープし、n型TFTのゲート電極105a端部近傍のポリシリコン層102にLDD(lightly doped drain)領域107を形成する。LDD構造は、TFT特性の向上及びオフ電流の低減に有効である。
次に、図7(a)に示すように、p型TFTのソース・ドレイン領域以外の部分を覆うようにレジストパターン108を形成し、これをマスクとしてp型TFTのソース・ドレイン領域にのみボロンをドープし、ソース・ドレイン領域102bを形成する。不純物のドーピング後、ソース・ドレイン領域107a、107bを低抵抗化させるために、例えば450℃で熱活性化を行い、その後、図7(b)に示すように、CVD法等によって水素化を行う。続いて、図7(c)に示すように、層間絶縁膜109を基板の略全面に成膜する。次に、図7(d)に示すように、フォトリソグラフィ・エッチングにより層間絶縁膜109にコンタクトホール110a、b、cを形成する。ここでは、隣接するn型TFTとp型TFTとをつなぐコンタクトホール110bを、略半分がn型TFTのソース・ドレイン領域107aに、残りの部分がp型TFTのソース・ドレイン領域107bに重なるように形成する。
次に、信号線材料を基板の略全面にスパッタにより成膜し、フォトリソグラフィ及びエッチングにより信号線111を形成する。最後に、例えば350℃で熱アニールを行う。以上のようにして、液晶表示デバイスのスイッチング部、シフトレジスタ等の駆動回路部に使用されるn型TFT112a、p型TFT112b及び走査線112cが形成される。
特開2000−216406号公報
ところで、水素化工程でポリシリコン層104に注入される水素の最適量はn型TFT112aとp型TFT112bとで異なり、n型TFT112aの水素量をp型TFT112bより少なくする必要がある。n型TFT112aのポリシリコン104a中に過剰な水素が入るとVthが低下しすぎてオフ電流(vg=0)が上昇したり、一定電圧を長時間印加するストレス試験を行うとVthが大幅にシフトしたりする等の不都合を生じるためである。
しかしながら、同一基板上のn型TFT112aとp型TFT112bとで水素量を個別に制御し、各TFT特性を両立させることは非常に難しい。前述のような従来のプロセスでは、水素化工程においてポリシリコン層104中に入る水素量はn型TFT112aとp型TFT112bとで同じとなるため、n型TFT112aでVthシフトの生じないような最適な水素量ではp型TFT112bのポリシリコン層では不十分であり、p型TFT112bの移動度が低下してシフトレジスタ等の回路動作の高速化を妨げるという問題が生じる。
本発明はこのような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、同一基板上に形成されるn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタとでコンタクトホールを共通化した薄膜トランジスタ基板において、水素化の際に半導体層に注入される水素量をn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタとで独立に制御し、両薄膜トランジスタの特性を同時に高めることが可能な薄膜トランジスタ基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
前述の課題を解決するために、本発明に係る薄膜トランジスタ基板は、絶縁基板上に形成されソース領域及びドレイン領域を有する半導体層と、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成された層間絶縁膜に開口し前記ソース・ドレイン領域に接続するコンタクトホールとを有する薄膜トランジスタを有し、nチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とpチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とが隣接して形成されるともに、両ソース・ドレイン領域に重なるようにコンタクトホールが形成されている薄膜トランジスタ基板において、隣接して形成された前記ソース・ドレイン領域上の前記ゲート絶縁層の膜厚が、前記nチャネル型薄膜トランジスタと前記pチャネル型薄膜トランジスタとで異なることを特徴とする。
本発明の薄膜トランジスタ基板は、ソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層の膜厚をn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタとで異ならせることによって、半導体層を水素化する工程においてゲート絶縁層を介して半導体層に入る水素量がTFT毎に独立に制御される。例えばゲート絶縁層の膜厚が厚ければ水素量は少なくなり、薄ければ水素量は多くなるため、n型TFTとp型TFTとでそれぞれ所望量の水素を注入でき、両TFTで特性向上が実現される。
また、本発明に係る薄膜トランジスタ基板の製造方法は、絶縁基板上に半導体層を形成する工程と、前記半導体層上にゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上にゲート電極及び前記ゲート電極と同一材料からなる配線を形成する工程と、前記ゲート電極及び配線上に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜に前記ソース・ドレイン領域に接続するコンタクトホールを形成する工程とを有し、前記コンタクトホールの少なくとも1つを隣接するnチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とpチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とにそれぞれ重なるように形成する薄膜トランジスタ基板の製造方法であって、前記ゲート電極及び前記ゲート電極と同一材料からなる配線を形成する工程は、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、前記ゲート絶縁層上に前記ゲート電極及び配線を形成する第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程と、フォトリソグラフィにより前記配線と、前記ゲート電極と、nチャネル型薄膜トランジスタ又はpチャネル型薄膜トランジスタのうち一方のソース・ドレイン領域とを被覆するレジストパターンを形成し、少なくともレジストパターンで被覆されていない他方のソース領域・ドレイン領域上のゲート絶縁層をエッチングして膜厚を減少させる第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程とを含むことを特徴とする。
前記プロセスを経ることにより、n型TFTとp型TFTとでコンタクトホールを共通化した構造のTFT基板において、n型TFTのソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層とp型TFTのソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層とで膜厚に差をつけることができ、n型TFTとp型TFTとの間隔が狭く高密度であり、半導体層に注入する水素量を独立に制御して両TFTの特性向上を実現したTFT基板が製造される。
また、ソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層の膜厚をn型薄膜トランジスタとp型薄膜トランジスタとで異ならせた構造の薄膜トランジスタ基板を製造するための前記プロセスは、n型TFTとp型TFTとのコンタクトホールの共通化と、配線を2回エッチングすることによる歩留まり向上との両立を図る点でも非常に有用である。以下、この点について説明する。
近年のアクティブマトリクス型液晶表示デバイスに適用される薄膜トランジスタ基板においては、駆動回路の微細化が著しく、配線間が狭くなり、従来は不良にならなかったパーティクルサイズが不良となったり、冗長回路を形成するスペースを確保できなかったりする状況となってきている。このような状況にあっては、エッチング残りが生じ、例えば配線の間にゲート電極材料層が残存して点状欠陥や線状欠陥が発生し易くなり、その結果としての歩留まりの低下が著しい。そこで、歩留まり改善を図るため、ゲート電極及び配線を形成するためのエッチングを2回行う方法が提案されている。この方法は、1回目でエッチングされるべきであるが、パーティクル等の存在によってエッチングが不完全となり走査線間等に残存したゲート電極材料を確実に除去するため、1回目のフォトリソグラフィ・エッチング工程で用いたレジストパターンとほぼ同じ形状のレジストパターンを形成し、これをマスクとして再度エッチングを行うものである。この方法では、2回目のフォトリソグラフィ・エッチングでゲート電極の形状を決定するため、特にゲート電極の形状精度を確保する観点から、2回目のエッチングはゲート電極材料とゲート絶縁層との選択比の低い条件で実施する。選択比が高いと、ゲート電極が逆テーパ形状やノッチ形状となる等、形状制御が困難となるからである。
しかしながら、この方法は、回路の高密度化のためのコンタクトホールの共通化との両立が非常に難しいという問題がある。コンタクトホールをn型TFTとp型TFTとで共通化する場合には、フォトリソグラフィでの露光時の合わせずれを考慮してゲート電極を精度良く形成することが重要であり、選択比の低い条件で2回目のエッチングを実施することが必須である。その結果、ゲート絶縁層の膜厚が大幅に減少し、下層のポリシリコン層が消失してしまい、コンタクト不良を引き起こすからである。特に近年では、TFTの電気的性能を向上させるためにゲート絶縁層の薄膜化が進み、例えば100nm以下にまで薄くされているため、この傾向が顕著である。
本発明の製造方法では、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程において加工したゲート電極をレジストパターンで被覆して第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程を行うので、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程ではゲート電極の形状制御を考慮する必要がなく、選択比の高い条件でのエッチングが可能となる。そのため、例えば第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程において選択比の低い条件でエッチングしてゲート電極の形状を決めておけば、ゲート絶縁層下層の半導体層の消失を防止しつつゲート電極の高精度な加工が実現され、コンタクトホールを共通化した構造のTFT基板を製造できる。それとともに、エッチングを2回にわたり行うことで配線間のエッチング残りを確実に除去し、配線間ショートの発生が防止される。
本発明に係る薄膜トランジスタ基板によれば、ソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層の膜厚をn型TFTとp型TFTとで異ならせることによって、半導体層に入る水素量をn型TFTとp型TFTとで独立に制御することが可能である。したがって、例えばp型TFTにおいては水素量を増加させて移動度を高め、且つn型TFTにおいては水素量を減らしてリーク電流を低減し、両方のTFTの特性を同時に向上することができる。また、隣接するn型TFTとp型TFTとでコンタクトホールを共通化することによりTFTの間隔を狭め、駆動回路の高密度化を図ることができる。
また、本発明によれば、ソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層の膜厚をn型TFTとp型TFTとで異ならせ、n型TFTとp型TFTとで特性を両立した薄膜トランジスタ基板を製造することができる。また、本発明によれば、ゲート電極や配線のエッチングを2回行いつつ、ゲート電極の形状精度を維持し且つゲート絶縁層が薄い場合であっても半導体層の消失を防止できる。したがって、配線間隔を広げたりリペア配線を設けることなくショート不良を低減することが可能な2回のエッチングとコンタクトホールの共通化とを両立することができ、歩留まり向上と駆動回路の高密度化とを両立した薄膜トランジスタ基板を実現することができる。
以下、本発明を適用した薄膜トランジスタ基板及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図1に、本発明を適用した薄膜トランジスタ基板を備えたドライバ内蔵型液晶表示デバイスを示す。ドライバ内蔵型液晶表示デバイスは、薄膜トランジスタ(TFT)基板1と、例えばカラーフィルタ、対向電極等が形成された対向基板2とを液晶層を挟んで対向配置してなるものである。TFT基板1の画像表示領域3の周辺領域には、複数のTFTから形成された駆動回路4が設けられる。以下では、n型TFTとp型TFTとを有するとともに、3本の走査線が並んで形成されたTFT基板1を例に挙げて説明する。
図2に示すように、n型TFT11a及びp型TFT11bは、ガラス基板等の絶縁基板12上に形成された半導体層としてのポリシリコン層13a、13b、ゲート絶縁層14、例えばMoW等のゲート電極材料からなるゲート電極15a、15bを有して構成される。ポリシリコン層13a、13bのゲート電極15a、15bの両側には、一方がソース領域で他方がドレイン領域であるソース・ドレイン領域16a、16bが設けられる。また、図2に示すn型TFT11aは、ポリシリコン層13aのゲート電極15aの端部近傍にソース・ドレイン領域16a、16bより不純物濃度の低いLDD(lightly doped drain)領域17を設けた、いわゆるLDD構造であり、ドレイン領域端部の電界集中を緩和して特性劣化を抑制し、また、オフ電流の低減を図っている。ゲート絶縁層14上には走査線15cが形成される。走査線15cは、ゲート電極15a、15bを構成する材料と同一材料で構成される。
ポリシリコン層13a、13b及び走査線15c上には層間絶縁膜18が重ねられ、さらに、層間絶縁膜18に設けられたコンタクトホール19a、19b、19cを介してソース・ドレイン領域16a、16bと電気的に接続する信号線20が形成される。
図2に示すTFT基板1では、コンタクトホール19bの略半分がn型TFT11aのソース・ドレイン領域16aに、残りの部分がp型TFT11bのソース・ドレイン領域16bに接続するように、コンタクトホール19bを設け、隣り合うn型TFT11aとp型TFT11bとでコンタクトホールを共通化している。隣接するn型TFT11aとp型TFT11bとでコンタクトホールを共通化することにより、各TFTに1つずつコンタクトホールを設けこれらを配線でつなぐ構成に比べてn型TFT11aとp型TFT11bの間隔を狭くでき、回路の高密度化が実現される。
また、本発明のTFT基板1では、ゲート絶縁層14の膜厚はn型TFT11aのソース・ドレイン領域16a上とp型TFT11bのソース・ドレイン領域16b上とで異なっており、p型TFT11b側のゲート絶縁層14がn型TFT11a側より薄くされている。ゲート絶縁層14の膜厚をn型TFT11aのソース・ドレイン領域16a上とp型TFT11bのソース・ドレイン領域16b上とで異ならせることによって、詳細は後述するが、ポリシリコン層13a、13bに注入される水素量を独立に制御し、両TFTの特性をそれぞれ向上させることができる。
以下、前述の構造の薄膜トランジスタ基板の製造方法の第1の例について、図3及び図4を参照しながら説明する。先ず、例えばガラス基板等の絶縁基板12上にポリシリコンを成膜し、次に、例えばフォトリソグラフィ及びエッチングにより所定の形状にパターニングして、半導体層としてのポリシリコン層13a、13bを形成する。ポリシリコン層13a、13bの膜厚は、例えば50nmとする。続いて、ポリシリコン層13a、13b上にゲート絶縁層14を一面に成膜する(図3(a))。ゲート絶縁層14の膜厚は、例えば100nmとした。
次に、図3(b)に示すように、n型TFT11aのソース・ドレイン領域16aとなる領域に対応した開口を有するレジストパターン21を形成した後、レジストパターン21をマスクとしてポリシリコン層13aに例えばリンを高濃度にドーピングし、ソース・ドレイン領域16aを形成する。
次に、図3(c)に示すように、ゲート絶縁層14上にゲート配線材料として例えばMoWをスパッタ等により成膜し、ゲート配線材料層15を成膜する。ゲート配線材料層15の膜厚は例えば300nmとした。
続いて、以下のようにフォトリソグラフィ・エッチング工程を2回にわたり行うことによってゲート配線材料層15を加工し、所望形状のゲート電極15a、15b及び走査線15cを形成する。先ず、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程を行う。具体的には、ゲート配線材料層15上にレジストを塗布し、露光及び現像を行うことにより、図3(d)に示すような、ゲート電極15a、15b及び走査線15cに対応する形状を有するレジストパターン22a、22b、22cを形成する。
次に、各レジストパターン22a、22b、22cをマスクとしてゲート配線材料層15をエッチングし、ゲート電極15a、15b及び走査線15cを形成する。ここでのエッチングは、ゲート電極15a、15bを高い加工精度で形成でき、また、配線パターン密度の高い駆動回路部等のエッチングに適していることから、ドライエッチング装置を利用して行う。エッチング条件は、所望の形状のゲート電極15a、15bが形成されるように、ゲート電極材料とゲート絶縁層14とで選択比の低い条件に設定する。例えばゲート電極材料とゲート絶縁層14とのエッチング選択比は、3程度に抑えた。このときのエッチングは変換差が少ない条件とし、ゲート電極15a、15bの端部のテーパー角度は80°〜90°となった。また、オーバーエッチングによってゲート配線材料層15の下地であるゲート絶縁層14もエッチングされる。オーバーエッチング中のゲート絶縁層14の削れ量は、25±10nmであった。オーバーエッチングは30%とした。
第1のフォトリソグラフィ・エッチングの後、図3(e)に示すように、ゲート電極15aをマスクとしてポリシリコン層13aに例えばリンを低濃度にドーピングすることによって、ポリシリコン層13aのゲート電極15aの端部近傍にLDD領域17を形成する。なお、図3(e)中のMは、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程でのエッチングが不完全であったため等により、走査線15c間等に残存したゲート電極材料である。
次に、図4(a)に示すように、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程を行う。第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程では、p型TFT11bのソース・ドレイン領域16b上のゲート絶縁層14の膜厚を薄くすること、及び走査線15c間等に残存したゲート配線材料Mを再度エッチングして確実に除去し、配線間ショートを防止するために行うものである。
第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程では、先ず、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程で形成したゲート電極15a、15b及び走査線15cを被覆するような形状及び膜厚を有するレジストパターン23a、23b、23cで被覆する。レジストパターン23a、23b、23cの膜厚は等しくされる。ここで、n型TFT11aのゲート電極15aを被覆するレジストパターン23aは、n型TFT11aのソース・ドレイン領域16a上のゲート絶縁層14も被覆するようにする。第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程でのエッチングは、例えばドライエッチングで行う。
第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程のエッチングでは、通常はオーバーエッチング時にしか削れない下地のゲート絶縁層14が削られる。つまり、レジストパターン23a〜23cで被覆されていないゲート絶縁層14(p型TFT11bのソース・ドレイン領域16bの形成予定領域上及び走査線15cの間のゲート絶縁層14)は再度エッチングにさらされ、削られる。この結果、レジストパターン23aで保護しているn型TFT11aのソース・ドレイン領域16a上のゲート絶縁層14に比べ、p型TFT11bのソース・ドレイン領域16a上のゲート絶縁層14の膜厚が薄くなる。
第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程では、p型TFT11bのソース・ドレイン領域16b上のゲート絶縁層14の下層のポリシリコン層が消失するのを防止するため、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程でのエッチングに比べ、走査線15c(ゲート配線材料)とゲート絶縁層14との選択比の高い条件に設定することが重要である。具体的には、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程に比べてドライエッチング時のバイアスパワーを下げ、圧力を高めることによって、ゲート絶縁層14のエッチングに関わるイオンパワー及びイオン数の低減を図ることにより、走査線15c(ゲート配線材料)とゲート絶縁層14との選択比は11となり、ゲート絶縁層14の二重加工部の削れ量は50±8nmとなった。したがって、2重加工されるゲート絶縁層14の合計の削れ量は75±13nmとなった。つまり、第1及び第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程による合計削れ量よりも初期のゲート絶縁層14の膜厚を厚く設定すれば、下層のポリシリコン層を消失させずにゲート配線材料M等を除去して配線間ショートを防止できる。
なお、ゲート電極15a、15bや走査線15cが露出した状態で前記の条件でエッチングを行うと、逆テーパー形状やノッチ形状となる等の不都合を生じるが、これらはレジストパターン23a〜23cで被覆及び保護されているため、形状変化せず、高い加工精度が維持される。
第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程後に連続して、ドライエッチング装置を用いてレジストパターン23a〜23cをアッシングする。アッシングの処理時間は、p型TFT11bのゲート電極15b端部を被覆するレジストパターン23bを後退させ、端部から除去するように設定する。なお、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程では、n型TFT11aを保護するレジストパターン23aも後退するが、コンタクトホール19bと重なるソース・ドレイン領域16aがアッシング後に保護される大きさに、また、レジストパターン23aの膜厚はアッシングで消失しない膜厚以上に予め設定しておく必要がある。ここでは、レジストパターン23の膜厚は1.8μmとし、アッシング時のレジストパターン23の後退量は1.2μmとした。第1及び第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程での露光ずれ(ここでは0.4μm)を考慮して第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程で用いるレジストパターン23bをp型TFT11bのゲート電極15bの端部よりも外側に0.6μm大きく形成したので、レジスト後退量の設定を1.2μmとしている。アッシング後のレジストの膜厚は0.6μmであり、ドーピングマスク(>0.3μm以上)として問題ない値である。
次に、図4(b)に示すように、p型TFT11bのポリシリコン層13bにボロンをドーピングすることによって、p型TFT11bのソース・ドレイン領域16bを形成する。p型TFT11bのソース・ドレイン領域16bのゲート絶縁層14の膜厚は平均で25nm〜45nmと薄いため、従来に比べドーピングの加速電圧を下げることができる。ここでは、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程のエッチングでp型TFT11b側のゲート絶縁層14の膜厚を減らしたため、通常はゲート絶縁層が厚いため45keV程度の加速電圧を必要とするのに対し、加速電圧10keVで所望のドーズ量を達成できた。レジストパターンをマスクとして高加速電圧で高濃度に不純物をドーピングすると、レジストパターンが固化し、除去が困難となり残さが発生するという不都合が生じるが、本発明ではゲート絶縁層14の膜厚を減らしたため加速電圧を下げることができ、レジストパターン23a、23b、23c中に打ち込まれるイオンの量及び深さが従来の約1/2程度に低減され、レジストパターン23a、23b、23cをウエットエッチングによる剥離のみで容易に除去することができる。
不純物のドーピング後、ソース・ドレイン領域16a、16bを低抵抗化させるために、例えば450℃で熱活性化を行う。
次に、図4(c)に示すように、CVD法等によって水素化を行う。水素化は、チャネルとなるポリシリコン層13a、13b中のダングリングボンドに水素をターミネートさせることにより、キャリアのトラップを防ぎ、移動度を向上させるために行うものである。水素は主にソース・ドレイン領域16a、16b上のゲート絶縁層14を通してポリシリコン層13a、13b中に注入される。よって、ソース・ドレイン領域16a、16b上のゲート絶縁層14の膜厚を異ならせることによって、水素量を制御することができる。
前述のように、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程でp型TFT11bのソース・ドレイン領域16b上のゲート絶縁層14を薄くし、具体的にはp型TFT11b側のゲート絶縁層14の膜厚は平均25nmとし、n型TFT11a側のゲート絶縁層14の膜厚は平均75nmとした。このように、ゲート絶縁層14の膜厚を制御することによって、ポリシリコン層13a、13b中に入る水素量をn型TFT11a側よりもp型TFT11b側で多くすることができる。なお、ここでは、チャネルとなるポリシリコン層中の水素量は、n型TFT11a側で2E19/cm3、p型TFT11b側で6E19/cm3とした。水素量は二次イオン質量分析計(SIMS:Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer)にて測定した値である。得られたTFT特性は、n型TFT11bで移動度μFE150cm2/V.s、閾値電圧Vth−1.3Vであり、p型TFT11bで移動度μFE120cm2/V.s、閾値電圧Vth−1.2Vであり、n型TFT11a及びp型TFT11bともに、電圧ストレス試験では閾値電圧のシフト量|ΔVth|を0.05V未満に抑えることができた。ストレス条件は、温度90℃、Vg=12V、Vds=0Vとし、試験時間は5000秒とした。
以上のように、従来のp型TFT11bの移動度は80cm2/V.s程度であったのに対し、本発明ではp型TFT11b側のゲート絶縁層14を薄くすることによってポリシリコン層13bの水素化が促進され、移動度が向上したことがわかる。また、従来はn型TFT11aとp型TFT11bとでポリシリコン層に入る水素量は同じであるため、p型TFT11bの移動度が120cm/V.sとなる水素量がn型TFT11a側にも入ると、n型TFT11aのVth自体は0.6Vまで低下し、Vg0Vでのリーク電流は10E−8A〜10E−7A程度に上昇し、且つ閾値電圧のシフト量|ΔVth|は0.14Vと大きい値を示すが、本発明ではこのような不都合は解消される。
続いて、図4(d)に示すように、層間絶縁膜18を基板の略全面に成膜する。層間絶縁膜18の膜厚は、500nmとした。
次に、フォトリソグラフィ・エッチングを行うことにより、層間絶縁膜18の所定の領域に開口を設け、コンタクトホール19a、19b、19cを形成する。コンタクトホール19bは、略半分がn型TFT11aのソース・ドレイン領域16aに、残りの部分がp型TFT11bのソース・ドレイン領域16bに重なるように形成する。
次に、金属等の信号線材料を基板の略全面にスパッタにより成膜し、フォトリソグラフィ・エッチングにより信号線20を形成する。最後に、例えば350℃で熱アニールを行う。以上のようにして、アクティブマトリクス型液晶表示デバイスのスイッチング部、シフトレジスタ等の駆動回路に使用されるn型TFT11a、p型TFT11b及び走査線15cが形成された、図2に示すTFT基板1が作製される。
前述のような工程によって製造されるTFT基板1は、n型TFT11aとp型TFT11bとで水素量を独立に制御でき、n型TFT11aにおいてはVthシフトを生じさせず、p型TFT11bにおいては移動度を高めて駆動回路を高速化し、両TFTの特性を両立することができる。したがって、このようなTFT基板1を備えるアクティブマトリクス型液晶表示デバイスの高性能化と信頼性向上とを両立させることができる。
また、従来はn型TFTとp型TFTとでポリシリコン層の水素量が等しくなるため、p型TFTにおける十分な移動度を確保する目的でp型TFTのソース・ドレイン領域を低抵抗化するためのボロンのドーピングの際に、加速電圧を高めてドーズ量を多くする必要があり、その結果、マスクとして用いたレジストパターンが剥離し難くなる問題が生じる。これに対し本発明では、p型TFT11b側の水素量を増やすためにゲート絶縁層14の膜厚を薄くした状態でボロンのドーピングを行うため、ドーピング時の加速電圧を下げることができ、レジストパターンの固化を防いで除去を容易とすることができる。
さらに、第1のエッチング工程で加工したゲート電極15a,15bを被覆して第2のエッチング工程を行うので、ゲート電極15a、15bの形状制御を考慮することなく第2のエッチングを選択比の高い条件とすることができ、ゲート絶縁層14の一部を二重加工しても下層のポリシリコン層13bを消失させるおそれが低い。このため、配線間ショート防止のための2回のエッチングプロセスと、n型TFT11aとp型TFT11bとで共通のコンタクトホール19bの形成とを両立させることができる。したがって、本発明によれば、n型TFT11aとp型TFT11bとの特性の両立に加え、歩留まり向上と駆動回路の高密度化との両立といった効果を得ることができる。
以下、前述の構造の薄膜トランジスタ基板の製造方法の変形例である第2の例について、図5を参照しながら説明する。前述の第1の例では、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程のレジストパターン23a、23b、23cの膜厚が全て等しくされているが、アッシング後にp型TFT11bのゲート電極15b端部にレジストパターン23bが残存した場合、ボロンドーピング工程でボロンがドーピングされない高抵抗領域が形成され、特性にばらつきが出る可能性がある。そこで第2の例では、p型TFT11bのゲート電極15bを被覆するレジストパターン23bの膜厚を他のレジストパターン23a、23cより薄くして完全にアッシングし、その後にボロンをドーピングすることによって、この問題を解消することができる。なお、第2の例では、前述の第1の例と同じ点については詳細な説明を省略する。
先ず、第1の例と同様に、ゲート絶縁層形成工程、高濃度リンドーピング工程、ゲート配線材料層形成工程、第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程、及び低濃度リンドーピング工程を行う。次に、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程を行う。このときレジストパターン23bの膜厚は、図5(a)に示すように、他の領域のレジストパターン23a、23cより薄くする。ただし、レジストパターン23bの膜厚は、第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程で消失しない膜厚以上に設定する。具体的には、エッチング時にレジストパターン23が0.2μm程度膜減りすることから、ばらつきや下地段差を考慮してレジストパターン23bの膜厚を0.7μmとし、それ以外のレジストパターン23a、23cの膜厚を1.5μmとした。レジストパターン23bの被覆する領域は、第1の例と同様である。
レジストパターン23bの膜厚を部分的に変えるには、例えば露光時に通常のCrマスクとハーフトーンCrマスクとを併用することによって実現される。ハーフトーンマスクとは、解像限界以下のスリットを有するマスクのことで、露光時に光が透過するスリットサイズと露光量とでレジストパターン23bの膜厚を制御することができる。
続いて、ドライエッチング装置を用いてレジストパターン23a〜23cをアッシングする。レジストパターン23bの膜厚をレジストパターン23aより薄くしているので、p型TFT11bのゲート電極15bを保護するレジストパターン23bをアッシングにより完全に除去し、且つボロンをドーピングしない領域を保護するレジストパターン23aを残存させることができる。
次に、図5(b)に示すように、p型TFT11bのポリシリコン層13bにボロンをドーピングすることによって、p型TFT11bのソース・ドレイン領域16bを形成する。
その後は、第1の例と同様である。すなわち、図4(b)〜図4(d)に示すように、水素化工程、層間絶縁膜形成工程、コンタクトホール形成工程、及び信号線形成工程を経ることにより、図2に示すようなTFT基板1を作製する。
以上のような第2の例によれば、p型TFT11bのゲート電極15bを被覆するレジストパターン23bを完全にアッシングしておくので、ボロンのドーピング時に高抵抗な領域の発生を防止し、特性のばらつきを抑制することができる。
1 TFT基板、2 対向基板、3 画像表示領域、4 駆動回路、11a n型TFT、11b p型TFT、12 絶縁基板、13a,13b ポリシリコン層、14 ゲート絶縁層、15a,b ゲート電極、15c 走査線、16a,b ソース・ドレイン領域、17 LDD領域、18 層間絶縁膜、19a,b,c コンタクトホール、20 信号線
Claims (6)
- 絶縁基板上に形成されソース領域及びドレイン領域を有する半導体層と、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成された層間絶縁膜に開口し前記ソース・ドレイン領域に接続するコンタクトホールとを有する薄膜トランジスタを有し、nチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とpチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とが隣接して形成されるともに、両ソース・ドレイン領域に重なるようにコンタクトホールが形成されている薄膜トランジスタ基板において、
隣接して形成された前記ソース・ドレイン領域上の前記ゲート絶縁層の膜厚が前記nチャネル型薄膜トランジスタと前記pチャネル型薄膜トランジスタとで異なることを特徴とする薄膜トランジスタ基板。 - 前記pチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層の膜厚が、前記nチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域上のゲート絶縁層より薄いことを特徴とする請求項1記載の薄膜トランジスタ基板。
- 絶縁基板上に半導体層を形成する工程と、前記半導体層上にゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上にゲート電極及び前記ゲート電極と同一材料からなる配線を形成する工程と、前記ゲート電極及び配線上に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜に前記ソース・ドレイン領域に接続するコンタクトホールを形成する工程とを有し、前記コンタクトホールの少なくとも1つを隣接するnチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とpチャネル型薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域とにそれぞれ重なるように形成する薄膜トランジスタ基板の製造方法であって、
前記ゲート電極及び前記ゲート電極と同一材料からなる配線を形成する工程は、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、前記ゲート絶縁層上に前記ゲート電極及び配線を形成する第1のフォトリソグラフィ・エッチング工程と、
フォトリソグラフィにより前記配線と、前記ゲート電極と、nチャネル型薄膜トランジスタ又はpチャネル型薄膜トランジスタのうち一方のソース・ドレイン領域とを被覆するレジストパターンを形成し、少なくともレジストパターンで被覆されていない他方のソース領域・ドレイン領域上のゲート絶縁層をエッチングして膜厚を減少させる第2のフォトリソグラフィ・エッチング工程とを含むことを特徴とする薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記第2のフォトリソグラフィ工程でのエッチングは、前記第1のフォトリソグラフィ工程でのエッチングに比べ前記ゲート電極及び配線と前記ゲート絶縁層との選択比が高い条件で行うことを特徴とする請求項3記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
- 前記第2のフォトリソグラフィ工程は、前記エッチング後、前記レジストパターンの開口部に対応するソース・ドレイン領域がnチャネル型薄膜トランジスタの場合はn型不純物を、pチャネル型薄膜トランジスタの場合はp型不純物を注入する工程を含むことを特徴とする請求項3又は4記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
- 前記第2のフォトリソグラフィ工程で、前記他方のゲート電極を被覆するレジストパターンの膜厚を、他のレジストパターンの膜厚より薄くすることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
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KR101338988B1 (ko) | 2006-12-13 | 2013-12-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자 제조방법 |
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