JP5171318B2 - 面発光レーザアレイ - Google Patents
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Description
また近年、フォトニック結晶を用いた面発光レーザが研究されている。
このようなフォトニック結晶を用いた面発光レーザとして、特許文献1では、活性層が該活性層より屈折率の低いクラッド層によって挟まれるように構成され、該クラッド層には面内方向に屈折率分布を持つフォトニック結晶が形成されたものが記載されている。
この面発光レーザでは、活性層を面内方向に導波する光が、フォトニック結晶による2次回折作用で面内共振し、フォトニック結晶による1次回折によって垂直方向にレーザ光が取り出される。
また、特許文献2では、フォトニック結晶の結晶面と水平方向の周囲に、反射体や周期が約半分の構造による反射体構造を設け水平方向への光の損失を抑え、光の利用効率を向上させるようにした2次元フォトニック結晶面発光レーザが開示されている。
すなわち、面発光レーザアレイを構成している隣りあう個々の面発光レーザとの間で活性層がつながっている場合、このつながっている活性層を介して、一方の面発光レーザにおける導波モードが他方の面発光レーザまで導波する。
その結果、このような導波により他方の面発光レーザの特性が損なわれる等の影響を受けることとなる。
ここで、これらについてより具体的に説明するために、図を用いて説明する。
図2に、特許文献1のフォトニック結晶による面発光レーザを用いてアレイ化した際の面発光レーザアレイ200を、基板垂直方向から見た模式図を示す。
フォトニック結晶210によって面内共振している面発光レーザ201のレーザ光のうち、一部の光は活性層を導波してフォトニック結晶の領域外へ漏れていく。
この結果、漏れた光220が他の面発光レーザ202の活性層に到達し、他の面発光レーザ自身の特性に影響を与えてしまうこととなる。
すなわち、これらの面発光レーザ間において、レーザ発振波長が同じ場合には共振器同士が干渉することになる。
また、発振波長が異なる場合であっても、他の面発光レーザの活性層に吸収されればそのキャリア分布に影響を与え、結果として出力特性に影響を与えてしまう(光クロストーク)。
図3は、図2の面発光レーザアレイ200の断面を表す模式図であり、図2で示す断面290にて表示した模式図である。
活性層310に比べ、活性層を挟む上部クラッド(スラブ層320とクラッド層330)、下部クラッド層340の屈折率が低い。
そのため、全反射によりフォトニック結晶領域210(すなわち面発光レーザ201の領域)に活性層を導波する共振モードが存在している。
ここで図の活性層310には量子井戸などの活性媒質と、活性媒質の位置と共振モードの光強度分布を調整するスペーサ層とが含まれる。
上部クラッドのうちスラブ層320にはフォトニック結晶210が形成される。
上部クラッドのうちクラッド層330は空気である場合もある。
ここで、面発光レーザの外側の領域205においても、活性層310が屈折率の低いクラッドに挟まれているため、面発光レーザ201の共振波長での導波モードが存在する。
面発光レーザの領域内外で各々の導波モードの光強度分布に重なりがあると、面発光レーザ201で共振しているレーザ光は面発光レーザの外側領域205へと導波し、それが更に他の面発光レーザ202にある活性層まで到達することになる。
その結果、上記したように他の面発光レーザ自身の特性に影響を与えてしまうこととなる。
そのために、隣りあう個々の面発光レーザ間における活性層を分断した場合には、集積して高密度アレイ化する際の妨げとなり、また分断面からの結晶欠陥が生成してしまう可能性が生じる。また、プロセス工程数の増加にもつながる。
また、このような活性層の分断による場合、隣りあう個々の面発光レーザ間の分断幅が狭いと、他の面発光レーザまで導波を止めることは困難となる。
その際、隣りあう個々の面発光レーザ間に上記特許文献2の構成を適用することが考えられる。それは、レーザ素子の水平方向への光の損失の抑制は、同時に他の素子への導波光の抑制にもつながるとみることができることからである。
すなわち、レーザ素子をアレイ化する際に、隣りあう個々の面発光レーザ間に反射体構造を設けることとなるが、このような反射体構造を設けた場合には高密度アレイ化の妨げになる。
これらを、具体的に説明するため、図を用いて説明する。
図4に、面発光レーザ201、202を囲む配置で反射体構造450を設けた模式図を示す。
また、図5に水平方向への反射機能を持つ(フォトニックバンドギャップを持つ)フォトニック結晶構造(図5の560)を反射体として設けた模式図を示す。
また、活性層を分断してしまうと、上記したような問題が生じる。
さらに、図5に示すように、フォトニック結晶構造560を反射体として設けた場合、フォトニック結晶構造560を反射体として十分に機能させるためには、フォトニック結晶構造560にある程度の周期数が必要となる。
このことから、反射体により広い場所が必要なことになり、より高密度アレイ化の妨げになると考えられる。
クラッド層330が空気である場合には各面発光レーザを電気駆動するための配線をフォトニック結晶210近傍に配することができる。
しかし、上記のような反射体構造を設けると、素子間において反射体構造が無くスラブ層320の表面がフラットな場合に比べ、面発光レーザアレイの各レーザ素子を個別に電気駆動する場合に必要な電気配線を引くことが困難になる。したがって、この点においても高密度アレイ化が困難になりうる。
本発明の面発光レーザアレイは、基板上に、2以上の面発光レーザが形成された面発光レーザアレイであって、
前記面発光レーザは、半導体多層膜ミラーと、活性層と、面内方向に屈折率分布を有するフォトニック結晶、とを含む複数の半導体層による積層構造を備え、
前記積層構造を構成する前記フォトニック結晶と前記半導体多層膜ミラーとによって、共振モードを導波する導波路が形成され、
前記面発光レーザアレイにおける隣りあう面発光レーザ間に、前記フォトニック結晶が設けられていない領域を有し、
前記面発光レーザ間で、前記半導体多層膜ミラーおよび前記活性層が共有されており、
前記フォトニック結晶が設けられている領域と、前記フォトニック結晶が設けられていない領域とは、それぞれ実効的な屈折率が異なり、前記半導体多層膜ミラーへの入射光の入射角が異なるように構成され、
前記半導体多層膜ミラーは、前記フォトニック結晶が設けられている領域への入射角範囲内で高い反射率を有する一方、前記入射角範囲外においては低い反射率となる反射率特性を有し、
前記フォトニック結晶が設けられていない領域を伝播するモードが漏洩モードとなることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記半導体多層膜ミラーが、入射角が0度より大きく90度未満の光に対し、入射角が0度の光よりも高い反射率を有することを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記面発光レーザアレイの駆動手段が、活性層の光励起による駆動手段であることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記面発光レーザアレイの駆動手段が、活性層へのキャリアの注入による駆動手段であることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記面発光レーザアレイを構成する隣りあう面発光レーザ間が、電気的に絶縁されていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記絶縁が、該面発光レーザ間への一部または全部へのイオン注入によって電気伝導度を低下させることによる絶縁であることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記半導体層にはp型にドープされた、GaNまたはAlGaNまたはInGaNまたはAlInGaNが含まれることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記面発光レーザアレイを構成する隣りあう面発光レーザ間には、前記活性層から見て、基板と反対側にレーザ共振光の吸収体が設けられていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記吸収体が、金属であることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、前記金属が、各面発光レーザを電気的に駆動するための配線または電極の一部であることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザアレイは、アレイピッチが100μm以下であることを特徴とする。
図6に、本発明の面発光レーザアレイを説明するための断面模式図を示す。
また、図7は図6のフォトニック結晶領域601にある面発光レーザの断面を拡大し、共振モードにある光の様子を光線近似により表示した断面模式図である。
また、図8は図6のフォトニック結晶領域601およびフォトニック結晶周辺領域605での面発光レーザアレイの断面を拡大し、共振モードにある光の様子を光線近似により表示した断面模式図である。
図6において、600は面発光レーザアレイ、601、602はフォトニック結晶が形成された領域、605は面発光レーザ間の領域、610は活性層である。620はスラブ層、625はフォトニック結晶、630は上部クラッド層、640は半導体多層膜ミラーである。
具体的には、図6に示すように、面発光レーザアレイ600は、基板(図6では省略)上に半導体多層膜ミラー640、活性層610、スラブ層620、上部クラッド層630が積層され構成されている。
活性層610には、量子井戸などの活性媒質、および、活性媒質の位置や各レーザ共振器の共振モードの光強度分布を調整するスペーサ層が含まれる。
スラブ層620にはスラブ面内方向に周期的屈折率分布を持つフォトニック結晶構造625が複数形成されている。
ここでは、フォトニック結晶625は、例えば2次元正方格子状に構成される。該フォトニック結晶が形成された領域601、602がそれぞれ面発光レーザとして機能する領域である。
この面発光レーザは、フォトニック結晶と多層膜ミラーによって構成される導波路内を、該多層膜ミラーの積層方向に対して、斜め方向に共振する共振モードが存在するように構成されている。
具体的には、活性層610を含む導波モードに、フォトニック結晶625と半導体多層膜ミラー640によって面内共振作用が加わった面内共振導波路をレーザ共振器として構成されている。
ここでは図7のようにxz面内を導波している光750を考える。xは基板面内方向、zは基板垂直方向である。共振状態にある波長λの光の波数ベクトルkのz成分をkz、x成分をkxとする。
共振状態にある光については、導波条件(z方向に定在波が立つ)から、以下の式が成立する。
n・d・kz+φ=lπ(lは整数)・・・(1)
また、垂直入射光との回折条件から、以下の式が成立する。
n・a・kx=2mπ(mは整数)・・・(2)
ここで、nは導波路の実効的な屈折率、dは実効的な導波路厚、aはフォトニック結晶の格子定数、φは反射の際の位相シフト(グースヘンシェンシフト)である。
ここでは説明の簡単のために、m=1とし、φ=0とする。
λをレーザ共振波長、θを半導体多層膜ミラーへの入射角とすると、kz=2πcosθ/λ、kx=2πsinθ/λである。
ここで式(1)と式(2)をλとθについて解くと、λ=n/√((1/a)2+(l/2d)2)、θ=arctan(kx/kz)=arctan(2d/la)となる。
すなわち、半導体多層膜ミラー640は、共振波長λにおいてこの半導体多層膜ミラー640に入射する入射角θの回折光に対し、反射率が高くなるように設計される。
その際、半導体多層膜ミラー640は、入射角が0度より大きく90度未満の光に対し、入射角が0度の光よりも高い反射率を有する構成とすることができる。あるいは、これらのいずれの入射角に対しても高い反射率を有する構成とすることができる。
例えば、スラブ層にスラブ層より低屈折率な媒質(例えば空気)が充填された穴が周期的に配されていることによってフォトニック結晶625が形成されている場合、上記領域605の実効的な導波路厚は面発光レーザ領域601の実効的な導波路厚dより大きい。
このとき、式(1)より、この領域での伝播モードのkzは小さくなり、波長がλであればkxはその分大きくなる。
これはフォトニック結晶のない領域605では多層膜への入射角が大きくなることを意味する。
クラッドへの入射角が変わっても、活性層と低屈折率クラッド層との界面での臨界角より入射角が大きければ導波モードが存在する。
そのため、発明が解決しようとする課題で説明したように、個々の面発光レーザとの間でつながっている活性層を介して、上記導波モードが導波し、面発光レーザの特性が損なわれる原因となる。
すなわち、本実施形態のように多層膜反射鏡による閉じ込め構造のものでは、多層膜への入射角が大きくなっても小さくなっても反射率が低下する。
そのため、フォトニック結晶のない領域605での伝播モード950は、図8のように導波損失が非常に大きい漏洩モードとなる。
したがって、本実施形態のものではフォトニック結晶領域において発振したレーザ光は、フォトニック結晶のない領域にある活性層を導波することができない。
そのため、活性層を分断したり、反射構造体を設けたりしなくとも、面発光レーザアレイのレーザ間での光のやり取りを無くすことが可能となる。
したがって、本実施の形態における面発光レーザアレイでは、面発光レーザアレイを構成している隣りあう個々の面発光レーザ間での活性層のつながりを断つことなく共有化することが可能となる。
その際、面発光レーザアレイにおける隣りあう面発光レーザ間で、半導体多層膜ミラーおよび活性層が共有されるように、例えば、レーザ間で半導体多層膜ミラーおよび活性層を連続して形成する。
これらにより、高密度アレイ化が容易なフォトニック結晶面発光レーザアレイを実現することができる。
[実施例1]
実施例1においては、本発明を適用した面発光レーザアレイについて説明する。
図1に、本実施例における面発光レーザアレイを説明する断面模式図を示す。
図1において、170は基板、140は多層膜ミラー、110は活性層およびスペーサ層、120はスラブ層、130はクラッド層、180は上部電極、185は下部電極である。125はスラブ層120に形成されたフォトニック結晶である。
190は電気的に絶縁な領域である。
活性層をはさんで、基板・多層膜ミラーは例えばn型に、またスラブ層、クラッド層は例えばp型にドープされている。
各面発光レーザ101ごとに個別に配された上部電極180と、共通の下部電極185との間に電圧を印加することで、キャリアが活性層に注入され活性層が発光する。
フォトニック結晶と多層膜ミラーとによって波長が規定される光共振器の中にある活性層へ、十分なキャリアを注入することで、該光共振器はレーザ発振に到る。
レーザ光はフォトニック結晶構造によって基板垂直方向に回折され、たとえば上部電極の周辺からレーザ光を光出力として取り出すことができる。
非レーザ領域105において一部領域190は電気的に絶縁状態にある。このため面発光レーザアレイ100は電気的に個別駆動することが可能である。
しかし、ある面発光レーザ101のレーザ光が周囲の面発光レーザの活性層までそのまま導波することはないために、レーザ間での光のクロストークは非常に小さい。
また、レーザ間の活性層がエッチングプロセスによって露出してないために、活性層を分断した場合に比べて結晶欠陥の増加を防ぐことができる。
さらに、レーザ間での光反射体構造を設けないために、素子間を狭くすることができる。
まず、半導体基板170に、多層膜ミラー140、適当なスペーサ層に挟まれた活性層110、スラブ層120を成長させる。
ここで、基板170としてはたとえばn型のGaAs基板とする。成長方法はたとえばMOCVD法、MBE法などを用いることができる。
多層膜ミラーはたとえば、n型のAl0.5Ga0.5As/Al0.9Ga0.1Asを60ペア積層したものである。
この多層膜ミラーは、後述するフォトニック結晶構造125と結合して共振器をなすものである。
レーザ発振波長(ここでは約670nm)の光が、フォトニック結晶構造125に垂直入射したときに回折される方向(たとえば積層方向に対して45°)に対し、同波長における多層膜ミラーの反射率は最も高くなるように設計を行う。
多層膜ミラーは高屈折率層と低屈折率層を交互積層したものであり、各層厚はλ/4・ni・cosθiとすればよい。
ここでλはレーザ共振波長、niは各層の屈折率、θiは各層における回折光の進行方向と多層膜ミラーの積層方向とのなす角度である。
活性層110は、たとえばn型Al0.9Ga0.1Asスペーサ層、GaInP/AlGaInP多重量子井戸層、p型Al0.9Ga0.1Asスペーサ層からなる。この活性層は波長670nmで光学利得を持つものとする。スペーサ層の厚さは、所望の共振器特性によって適当な値が選ばれる。スラブ層120はたとえばp型のAl0.9Ga0.1Asである。
また、アレイピッチ間隔は、たとえば100μmである。
そして、レジスト現像後、たとえばSiCl4/Arプラズマによる反応性イオンエッチングを用いて、スラブ層120に二次元ピラー列からなるフォトニック結晶構造125を複数形成する。フォトニック結晶構造125の形成後、レジストを除去する。
スラブ層120上に、融着あるいは再成長によってp型のクラッド層130を形成する。クラッド層130はたとえばAl0.9Ga0.1Asである。
なお、クラッド層130上には電極との電気的コンタクトを改善するコンタクト層を積層してもよい。
コンタクト層は、たとえば20nm厚のp型のGaAsとする。
フォトニック結晶構造125下の活性層に電流を狭窄するため絶縁領域190を形成する。
例えば、プロトン等のイオンを照射することにより、面発光レーザ間への一部または全部へのイオン注入によって電気伝導度を低下させることにより絶縁領域を形成することができる。
クラッド層の上面に面発光レーザを個別駆動するための個別の電極(上部電極)180が設けられ、基板下側に共通電極(下部電極)185が設けられる。
電極180は例えばTi/Au、電極185は例えばAuGe/Auとする。
こうして作製した面発光レーザアレイ100に対して、その各レーザに電流注入を行うと活性層110が発光し、前述の共振原理によるレーザ発振によって、各素子から基板垂直方向に波長約670nmの面発光が起きる。
また、クラッド層130とスラブ層120の厚さ合計がアレイピッチに比べて十分短く、かつクラッド層およびスラブ層の電気伝導率が小さい場合(例えばp型のGaN系材料)は、
絶縁領域190を特に設けなくとも各々のレーザ素子を電気的に独立駆動できる場合がある。
実施例2においては、本発明を適用した面発光レーザアレイおいて、面発光レーザアレイの駆動手段として、光励起によって各レーザを駆動するようにした構成例について説明する。
図9に、本実施例の面発光レーザアレイにおける構成例を説明するための断面模式図を示す。
図9において、1000は面発光レーザアレイ、1001は各面発光レーザ、1095は励起源、1096は励起光である。
スラブ層の上にはクラッド層130が形成される。クラッド層130は空気でも良い。
面発光レーザアレイ1000は、各面発光レーザの活性層を個別に光励起できる励起源1095を備える。励起源はたとえばレーザスキャナである。
励起源1095からの励起光1096により、各面発光レーザ1001の活性層は励起され、レーザ発振にいたり、各レーザから基板垂直方向にレーザ光を放出する。
実施例3においは、実施例1の面発光レーザアレイの各面発光レーザ間に光吸収体を設けた構成例について説明する。
図10に、本実施例における面発光レーザアレイを説明する断面模式図である。図10において、1100は面発光レーザアレイ、1101は面発光レーザ、1105は各面発光レーザの間、1110は活性層、1120はスラブ層、1125はフォトニック結晶構造、1130はクラッド層、1140は多層膜ミラーである
1150はレーザ共振光の吸収体である光吸収体、1155はパッシベーション膜、1170は基板、1180は上部電極、1185は下部電極、1190は電気的に絶縁された領域である。
ところで、フォトニック結晶および多層膜ミラーによる光共振器で発振に至った面発光レーザの活性層から、レーザ光が面発光レーザ間の領域へ活性層をそのまま導波することはない場合であっても、フォトニック結晶構造の境界でレーザ光が散乱されることがある。
この場合、迷光が発生することになり、レーザ素子・レーザアレイ特性に悪影響が出ることが考えられる。
実施例3における面発光レーザアレイ1100では、各面発光レーザ間1105の領域のクラッド層上部の一部に、光吸収体1150が設けられている。
この光吸収体は、各面発光レーザ間1105に存在する迷光を吸収する目的で設けられている。
光吸収体1150とクラッド層1130との間にはパッシベーション膜1155を設けても良い。パッシベーション膜は、例えばSiO2である。
また、この金属を上部電極1180の一部、あるいは上部電極1180への配線としてもよい。
また、面発光レーザ1101の光取り出しを基板側から行ってもよい。この場合、基板反対側からの光取り出しではないため、光吸収体1150をクラッド層1130上部のほぼ全面に配置することが可能になる。
この場合は、基板下に設けられた下部電極1185においては各面発光レーザの光取り出し部分に相当する個所が除かれている。
また、基板が面発光レーザの発振波長の光を吸収する場合には、光取り出し部分の基板1170をエッチングなどにより除去することで、基板での光吸収による出力の減衰を抑えることができる。
特に、半導体層、フォトニック結晶、半導体多層膜ミラー、電極、の材料や形状、フォトニック結晶の格子形状などは本発明の範囲内で適宜変更できる。
また上記実施例では、レーザ発振波長として670nmのものを示したが、それらに限られるものではなく、適切な材料・構造の選択により任意の波長の発振は可能である。
例えば、波長400nm帯ではAlGaInN系、1μm帯では、InGaAsP系を用いることができる。
フォトニック結晶の屈折率周期構造は、1次元周期構造でも2次元周期構造でも良い。
以上説明した本発明の面発光レーザアレイは、複写機、レーザプリンタなどの画像形成装置が有する感光ドラムへ描画を行うためのアレイ光源としても利用することができる。
101:複数の面発光レーザ
105:非レーザ領域
110:活性層およびスペーサ層
120:スラブ層
125:フォトニック結晶
130:クラッド層
140:多層膜ミラー
170:基板
180:上部電極
185:下部電極
190:絶縁層
600:面発光レーザアレイ
601:フォトニック結晶領域
602:フォトニック結晶領域
605:フォトニック結晶周辺領域
610:活性層
620:スラブ層
625:フォトニック結晶
630:上部クラッド層
640:DBR(半導体多層膜ミラー)
750:xz面内を導波している光
950:伝播モード
1000:面発光レーザアレイ
1001:各面発光レーザ
1095:励起源
1096:励起光
1100:面発光レーザアレイ
1101:面発光レーザ
1105:各面発光レーザの間
1110:活性層
1120:スラブ層
1125:フォトニック結晶構造
1130:クラッド層
1140:多層膜ミラー
1150:光吸収体
1155:パッシベーション膜
1170:基板
1185:下部電極
1190:電気的に絶縁された領域
1210:二次元正方格子パターン
Claims (11)
- 基板上に、2以上の面発光レーザが形成された面発光レーザアレイであって、
前記面発光レーザは、半導体多層膜ミラーと、活性層と、面内方向に屈折率分布を有するフォトニック結晶、とを含む複数の半導体層による積層構造を備え、
前記積層構造を構成する前記フォトニック結晶と前記半導体多層膜ミラーとによって、共振モードを導波する導波路が形成され、
前記面発光レーザアレイにおける隣りあう面発光レーザ間に、前記フォトニック結晶が設けられていない領域を有し、
前記面発光レーザ間で、前記半導体多層膜ミラーおよび前記活性層が共有されており、
前記フォトニック結晶が設けられている領域と、前記フォトニック結晶が設けられていない領域とは、それぞれ実効的な屈折率が異なり、前記半導体多層膜ミラーへの入射光の入射角が異なるように構成され、
前記半導体多層膜ミラーは、前記フォトニック結晶が設けられている領域への入射角範囲内で高い反射率を有する一方、前記入射角範囲外においては低い反射率となる反射率特性を有し、
前記フォトニック結晶が設けられていない領域を伝播するモードが漏洩モードとなることを特徴とする面発光レーザアレイ。 - 前記半導体多層膜ミラーは、入射角が0度より大きく90度未満の光に対し、入射角が0度の光よりも高い反射率を有することを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記面発光レーザアレイの駆動手段が、活性層の光励起による駆動手段であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記面発光レーザアレイの駆動手段が、活性層へのキャリアの注入による駆動手段であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記面発光レーザアレイを構成する隣りあう面発光レーザ間が、電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記絶縁が、該面発光レーザ間への一部または全部へのイオン注入によって電気伝導度を低下させることによる絶縁であることを特徴とする請求項5に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記半導体層にはp型にドープされた、GaNまたはAlGaNまたはInGaNまたはAlInGaNが含まれることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記面発光レーザアレイを構成する隣りあう面発光レーザ間には、前記活性層から見て、基板と反対側にレーザ共振光の吸収体が設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記吸収体が、金属であることを特徴とする請求項8に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記金属が、各面発光レーザを電気的に駆動するための配線または電極の一部であることを特徴とする請求項9に記載の面発光レーザアレイ。
- 前記面発光レーザアレイは、アレイピッチが100μm以下であることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の面発光レーザアレイ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008054867A JP5171318B2 (ja) | 2008-03-05 | 2008-03-05 | 面発光レーザアレイ |
PCT/JP2009/053789 WO2009110394A1 (en) | 2008-03-05 | 2009-02-24 | Surface emitting laser array |
US12/599,991 US7991035B2 (en) | 2008-03-05 | 2009-02-24 | Surface emitting laser array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008054867A JP5171318B2 (ja) | 2008-03-05 | 2008-03-05 | 面発光レーザアレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009212359A JP2009212359A (ja) | 2009-09-17 |
JP5171318B2 true JP5171318B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=40765492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008054867A Expired - Fee Related JP5171318B2 (ja) | 2008-03-05 | 2008-03-05 | 面発光レーザアレイ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7991035B2 (ja) |
JP (1) | JP5171318B2 (ja) |
WO (1) | WO2009110394A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5388666B2 (ja) * | 2008-04-21 | 2014-01-15 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
JP4639249B2 (ja) | 2008-07-31 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザの製造方法及び面発光レーザアレイの製造方法、面発光レーザ及び面発光レーザアレイ、面発光レーザアレイを備えている光学機器 |
JP5038371B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザの製造方法 |
JP5183555B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2013-04-17 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザアレイ |
JP5481987B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2014-04-23 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像読み取り装置 |
US9042421B2 (en) | 2010-10-18 | 2015-05-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface emitting laser, surface emitting laser array, and optical apparatus having surface emitting laser array |
JP5836609B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ、アレイ及び画像形成装置 |
JP5769483B2 (ja) * | 2011-04-21 | 2015-08-26 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ及び画像形成装置 |
US8749796B2 (en) | 2011-08-09 | 2014-06-10 | Primesense Ltd. | Projectors of structured light |
JP6305056B2 (ja) * | 2013-01-08 | 2018-04-04 | ローム株式会社 | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
US9847840B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-12-19 | Finisar Corporation | Multi-channel transceiver with laser array and photonic integrated circuit |
GB201414984D0 (en) * | 2014-08-22 | 2014-10-08 | Univ Sheffield | Improved laser structure |
CN104966984A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-10-07 | 中国科学院半导体研究所 | 锁模光子晶体半导体激光直接倍频产生短波长激光装置 |
US11031751B2 (en) | 2016-08-10 | 2021-06-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light-emitting device |
JP6747910B2 (ja) | 2016-08-10 | 2020-08-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光装置 |
US10734786B2 (en) | 2016-09-07 | 2020-08-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor light emitting element and light emitting device including same |
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JP7089504B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2022-06-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体発光素子およびその製造方法 |
US11646546B2 (en) | 2017-03-27 | 2023-05-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor light emitting array with phase modulation regions for generating beam projection patterns |
US11637409B2 (en) | 2017-03-27 | 2023-04-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor light-emitting module and control method therefor |
JP6959042B2 (ja) | 2017-06-15 | 2021-11-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光装置 |
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JP7245169B2 (ja) | 2017-12-08 | 2023-03-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 発光装置およびその製造方法 |
JP6973452B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2021-12-01 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置、光源モジュールおよびプロジェクター |
JP7348039B2 (ja) * | 2019-11-20 | 2023-09-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体発光素子 |
DE102021134114A1 (de) * | 2021-12-21 | 2023-06-22 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Photonischer halbleiterlaser |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6154480A (en) * | 1997-10-02 | 2000-11-28 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Vertical-cavity laser and laser array incorporating guided-mode resonance effects and method for making the same |
JP3928295B2 (ja) * | 1999-03-16 | 2007-06-13 | 富士ゼロックス株式会社 | 面発光型半導体レーザ |
JP3983933B2 (ja) | 1999-05-21 | 2007-09-26 | 進 野田 | 半導体レーザ、および半導体レーザの製造方法 |
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JP2003273456A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Japan Science & Technology Corp | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
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US7689086B2 (en) * | 2004-07-30 | 2010-03-30 | University Of Connecticut | Resonant leaky-mode optical devices and associated methods |
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JP4533339B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2010-09-01 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
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JP2008060322A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置及び光通信システム |
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US7499481B2 (en) * | 2006-11-14 | 2009-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface-emitting laser and method for producing the same |
US7535946B2 (en) * | 2006-11-16 | 2009-05-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Structure using photonic crystal and surface emitting laser |
JP4766704B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2011-09-07 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
US7615389B2 (en) * | 2007-05-31 | 2009-11-10 | Corning Incorporated | GaN lasers on ALN substrates and methods of fabrication |
JP4350774B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2009-10-21 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
JP4347369B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2009-10-21 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザの製造方法 |
JP4338211B2 (ja) * | 2007-08-08 | 2009-10-07 | キヤノン株式会社 | フォトニック結晶を有する構造体、面発光レーザ |
JP5137514B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2013-02-06 | キヤノン株式会社 | 2次元面発光レーザアレイ |
JP4709259B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
JP5388666B2 (ja) * | 2008-04-21 | 2014-01-15 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ |
-
2008
- 2008-03-05 JP JP2008054867A patent/JP5171318B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-02-24 WO PCT/JP2009/053789 patent/WO2009110394A1/en active Application Filing
- 2009-02-24 US US12/599,991 patent/US7991035B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009212359A (ja) | 2009-09-17 |
WO2009110394A1 (en) | 2009-09-11 |
US20100220763A1 (en) | 2010-09-02 |
US7991035B2 (en) | 2011-08-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120920 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121225 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160111 Year of fee payment: 3 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |