JP2009541519A - 高ケイ素含有薄膜熱硬化性樹脂 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、(a) 式((A)jR1SiO(3-j)/2)で表される少なくとも一種の繰り返し単位及び式((A)kR2SiO(3-k)/2)で表される少なくとも一種の繰り返し単位を含むポリマー[但し、前記式中、各R1は、独立して、任意の化学線波長に吸収を示す同一のまたは異なる発色団であり; 各R2は、独立して、水素、アルキル、アルケニル、シクロアルキル、及びアラルキルから選択され; 各Aは、上記の繰り返し単位のいずれかを形成するモノマーの未反応官能基であり; j及びkは、それぞれ、0≦j≦1及び0≦k≦1の範囲内の整数であり、R1とR2の比率は約1:99〜約60:40である]、(b) ハライド源; 及び(c) 溶剤を含む組成物に関する。前記ポリマーは、式(Rf)w(Rg)zSiO(4-w-z)/2[式中、Rf及びRgは、それぞれ独立して、R1及びR2から選択され; そしてw及びzは、それぞれ0≦(wまたはz)≦2の範囲内の整数であり、但し(4−w−z)は0ではない]で表される追加の単位を含むこともできる。基材上に像を形成する方法、並びに基材、本発明の組成物及びフォトレジストを含む製造品も提供される。
式中、各R'は、独立して、炭素原子数1〜20のアルキル、炭素原子数1〜20のヘテロアルキル、アリール、ヘテロアリール、炭素原子数3〜6のシクロアルキル、炭素原子数3〜6のシクロへテロアルキル、またはこれらの組み合わせであり; Nは、四座配位元素の窒素であるか、または脂肪環式、ヘテロ脂肪環式またはヘテロ芳香族構造中の異種原子の窒素であり; Xはアニオンであり; Zは、炭素原子数1〜20のアルキル、炭素原子数2〜20のアルケニル、アリール、炭素原子数1〜20のヘテロアルキル、炭素原子数2〜20のヘテロアルケニル、及びヘテロアリールからなる群から選択される橋掛け員であり; そしてmは1〜10である。これらの化合物の例には、 [(CH3)3N+(CH2)6N+(CH3)3](Cl-)2、[(C3H7)3N+(CH2)6N+(C3H7)3](Cl-)2、[(CH3)3N+(C2H4)6N+(CH3)3](Br-)2、[(C6H5)3N+(CH2)6N+(CH3)3](Cl-)2、[(C6H5)3N+(C2H4)2N+(CH3)3](Cl-)2、及びこれらの類似物などが挙げられる。ジ第四アンモニウムハライド塩の他の例は、N,N’−ジフルオロ−2,2’−ビピリジニウム(ビステトラフルオロボレート)(MEC−31として知られる)である。更に別の例は、テトラキス(ジメチルアミノ)エテン(TDAE)/CF3錯体である。
[アリール]q[アルキル]rSi[F]s
[式中、qは1または2であり、rは1または2であり、そしてsは2または3である]
を有する、テトラアルキルアンモニウムジハロトリアリール(またはトリアルキルもしくはアリール−アルキル混合物)ジシリケートが挙げられる。
を有する化合物、例えばテトラブチルアンモニウムジフルオロトリフェニルシリケートである。
これらのタイプの塩は、米国特許第6,414,173号明細書及び同第6,203,721号明細書により詳しく記載されている。これらの特許文献の内容は本明細書に掲載されたものとする。
これらの塩は、米国特許第4,559,213号明細書により詳しく記載されている。この特許文献の内容は本明細書に掲載されたものとする。
ポリ(フェニル−メチルシルセスキオキサン)90:10フェニル:メチルを、Gelest社から入手した。プロピレングリコールモノメチルエーテル中2.5重量%のポリ(フェニル−メチルシルセスキオキサン)90:10フェニル:メチルの溶液を調製した。ポリ(フェニル−メチルシルセスキオキサン)の固形物含有率を基準にして2重量%〜10重量%の範囲の様々な量のテトラブチルアンモニウムクロライドを、前記溶液の各分割量に加え、そして混合した。これらの分割量を24時間放置した。次いで、各々の溶液の各分割量を異なるケイ素ウェハ上に載せそして2000rpmでスピンキャストして60nmの膜厚(加熱後に測定した値)を形成した。次いで、被覆された各ウェハを250℃で加熱した。膜厚を、VASE(角度可変分光エリプソメトリ)で測定した。次いで、被覆された各ウェハをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中に30秒間浸漬し、そして膜厚をVASEで測定した。テトラブチルアンモニウムクロライドの量を0重量%から10重量%の範囲で増やしたところ、テトラブチルアンモニウムクロライドが0重量%では膜が完全に損失し、テトラブチルアンモニウムクロライドが2.5重量%〜10重量%では、膜厚の損失は2〜3.5nmの範囲であった。
10gのポリ(フェニル−プロピルシルセスキオキサン)[70:30フェニル:プロピル; Gelest,Inc.,Morrisville,PAから入手可能]及び130gの乳酸エチルを、ボトル中で攪拌して一緒にした。この調合物を一日放置した後、この調合物の一分割量をケイ素ウェハ上にスピンコートし、そしてこのウェハを200℃に加熱した。このウェハの一部をPGMEA中に浸すことによって、得られた膜を溶解性について試験した。浸漬した領域において全ての膜が除去された。この試験を、250℃及び300℃でベーク処理して繰り返したが、結果は同じであった。
5gのポリ(フェニル−プロピルシルセスキオキサン)[70:30フェニル:プロピル; Gelest,Inc.,Morrisville,PAから入手可能]、95gの乳酸エチル及び0.25gのテトラブチルアンモニウムジフルオロトリフェニルシリケートを、適当なボトル中で混合して一緒にした。この調合物を一日放置した後、この調合物の一分割量をケイ素ウェハ上にスピンコートし、そしてこのウェハを150℃に加熱した。このウェハの一部をPGMEA中に浸けることによって、得られた膜を溶解性について試験した。浸漬した領域において全ての膜が残存した。膜をベーク処理するためにより高い温度を使用すると、浸漬した領域の膜は影響を受けなかった。ウェハをベーク処理しないと、膜は完全に除去される。
5gのポリ(フェニル−プロピルシルセスキオキサン)[70:30フェニル:プロピル; Gelest,Inc., Morrisville,PAから入手可能]、100gのArFシンナー(AZ Electronic Materialsから入手可能)、及び0.25gのテトラブチルアンモニウムフルオライドを適当なボトル中で混合して一緒にした。この調合物を一日放置した後、この調合物の一分割量をケイ素ウェハ上にスピンコートし、そしてこのウェハを250℃に加熱した。このウェハの一部をPGMEA中に浸けることによって、得られた膜を溶解性について試験した。浸漬した領域の全ての膜が残存した。膜をベーク処理するためにより高い温度を使用すると、浸漬した領域の膜は影響されなかった。ウェハをベーク処理しないと、膜は完全に除去される。
例1の各2ml分割量を適当な各ボトル中に入れ、そしてそれぞれの場合において、PGME中のテトラブチルアンモニウムクロライド(TBAC)の5%溶液を攪拌しながら様々な量で加えることによって四つの異なる調合物を調製した。すなわち(a)TBACの5%溶液をゼロ滴(対照品); (b)TBACの5%溶液を1滴; (c)TBACの5%溶液を5滴; 及び(d)TBACの5%溶液を15滴とした。これらの調合物を一日放置した後、それぞれの調合物の各分割量をケイ素ウェハにスピンコートし、そしてこのウェハを250℃に加熱した。このウェハの一部をPGMEA中に漬けることによって、調合物の各分割量によって形成された膜を溶解性について試験した。TBAC無添加の調合物((a);対照品)を除き、他の全ての膜は損なわれずに残存し、硬化した。
Claims (16)
- (a) 式((A)jR1SiO(3-j)/2)で表される少なくとも一種の繰り返し単位、及び式((A)kR2SiO(3-k)/2)で表される少なくとも一種の繰り返し単位を含むポリマー、但し前記式中、各R1は、独立して、任意の化学線波長に吸収を示す同一のもしくは異なる発色団であり; 各R2は、独立して、水素、アルキル、アルケニル、シクロアルキル、及びアラルキルから選択され; 各Aは、上記の繰り返し単位のいずれかを形成するモノマーの未反応官能基であり; j及びkは、それぞれ、0≦j≦1及び0≦k≦1の範囲内の整数であり、R1とR2の比は約1:99〜約60:40であり;
(b) ハライド源; 及び
(c) 溶剤、
を含む組成物。 - R1とR2の比が約10:90〜約30:70である、請求項1の組成物。
- R2がアルキルまたはアルケニルである、請求項1または2の組成物。
- R1が、置換されていないかもしくは置換されたフルオレン、ビニレンフェニレン、アントラセン、ペリレン、フェニル、カルコン、フタルイミド類、パモ酸、アクリジン、アゾ化合物、ジベンゾフラン、及びこれらの任意の誘導体、チオフェン類、ナフトエ酸、ナフタレン、ベンゼン、クリセン類、ピレン類、フルオロアントレン類、アントロン類、ベンゾフェノン類、チオキサントン類、酸素、窒素、硫黄及びこれらの組み合わせから選択される異種原子を含むヘテロ環式芳香族環、並びに上記のものの誘導体から選択される、請求項1〜3のいずれか一つの組成物。
- 孔源(porogen)を更に含む、請求項1〜4のいずれか一つの組成物。
- ポリマーが、式(Rf)w(Rg)zSiO(4-w-z)/2[式中、Rf及びRgは、それぞれ独立して、R1及びR2から選択され、そしてw及びzは、それぞれ、0≦(wまたはz)≦2の範囲の整数であり、但し、(4−w−z)は0ではない]で表される単位を更に含む、請求項1〜5のいずれか一つの組成物。
- ハライド源が、第四アンモニウムハライド塩またはジ第四アンモニウムハライド塩である、請求項1〜6のいずれか一つの組成物。
- ハライド源が第四アンモニウムハライド塩である、請求項7の組成物。
- 第四アンモニウムハライド塩がテトラC1-10アンモニウムハライドである、請求項8の組成物。
- 第四アンモニウムハライド塩がテトラブチルアンモニウムクロライドである、請求項8の組成物。
- ハライド源がジ第四アンモニウムハライド塩である、請求項7の組成物。
- ハライド源が、組成物の全樹脂固形物を基準にして約1〜約20%の量で存在する、請求項1〜11のいずれか一つの組成物。
- a) 請求項1〜12のいずれか一つの組成物で基材を被覆し; b) 段階a)の被膜を加熱し; c) 段階b)の被膜の上に、フォトレジスト溶液から被膜を形成し; d) フォトレジスト被膜を加熱して、被膜から溶剤を実質的に除去し; e) フォトレジスト被膜を像様露光し; f) 水性アルカリ性現像剤を用いて像を現像し; g) 場合によっては、現像の前及び後に基材を加熱し; 及びh) 段階b)の組成物をドライエッチングすることを含む、基材上に像を形成する方法。
- 基材; この基材上に形成された反射防止組成物、この際、この反射防止組成物は請求項1〜12のいずれか一つのものである; 及びこの反射防止膜組成物上に形成されたフォトレジスト組成物の層を含む、製造品。
- 請求項13の方法における、請求項1〜12のいずれか一つの組成物の使用。
- 基材上に反射防止膜を形成するための、請求項1〜12のいずれか一つの組成物の使用。
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