JP2009509731A

JP2009509731A - 化学洗浄剤および濾過膜洗浄方法

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Publication number: JP2009509731A
Application number: JP2008532539A
Authority: JP
Inventors: ハインツ−ヨアヒム・ムーラー; ワン・ドンリャン; フファン・チャ
Original assignee: Siemens Water Technologies Corp
Current assignee: Siemens Water Technologies Holding Corp
Priority date: 2005-09-27
Filing date: 2006-09-27
Publication date: 2009-03-12
Also published as: CN101272845A; US20090127212A1; EP1928586A4; NZ566325A; EP1928586A1; WO2007035987A1; CA2620811A1; KR20080056236A

Abstract

多孔性ポリマーの限外濾過膜または精密濾過膜（例えば、ＰＶｄＦまたはヘイラー）の洗浄方法。かかる洗浄方法は、モノ過硫酸塩のアニオンを含んで成る水溶液に膜を接触させることを含んで成る。緩衝剤、キレート剤、触媒およびそれらの組合せを添加してもよい。モノ過硫酸塩のアニオンは、最も好ましくは、Ｈ_２ＳＯ_５、ＨＳＯ_５ ⁻、ＳＯ_５ ^２−のカリウム３重塩の形態である。モノ過硫酸塩のアニオンを含んで成る溶液を、膜の供給側へと供給して膜を溶液内にて静置および浸漬させてもよく、あるいは、膜逆洗に先立って濾液側へと注入することができる。通気および／または紫外光照射を行ってもよい。

Description

本発明は、膜を洗浄するための組成物および方法に関する。より詳細には、本発明は、モノ過硫酸塩化合物を用いた組成物および方法に関する。本発明は、中空繊維ポリマーの精密濾過膜および限外濾過膜の洗浄について原則説明するものの、種々の膜仕様（ナノ濾過および逆浸透膜も含む）、膜組成物（無機膜も含む）および膜形状（筒状および平面シート状の膜も含む）に適用可能であり、ポリマー状精密濾過膜および限外濾過膜に限定されるものではない。

ポリマーの精密濾過膜および限外濾過膜は、水の濾過に幅広く使用されてきた。通常の使用に際して多孔性精密濾過および限外濾過膜は、典型的には中空繊維が束になり詰められた形態で用いられる。次いで、束状の中空繊維はモジュールにセットした後、これをモジュールのバンクに配列する。このようにして、所定体積に対して膜表面積が最大化され、足場（または設置面積）が比較的小さい装置でもって多量の水の処理することができる。

ある作業モードでは、中空繊維の外側にのみ接触するように、汚れた供給水をモジュールへと導入する。必要に応じて、加圧または吸引を行って膜に水を通してもよい。

水が中空繊維ポリマー膜を通過すると、水は繊維のルーメン（または空腔部）に溜まるので、そこから水を引き出すことになる。汚染物質は中空繊維の外側に残存する。

これらの汚染物質はフィルターに蓄積するので、汚染物質に起因して膜の全体的な透過率が低下する。従って、所定の圧力下にて膜を通過する水の体積は減少し、場合によっては、所定の膜処理量を吸引するのに必要とされる圧力が増すことになる。いずれにせよ状況は望ましくない。そのため、膜による清浄水の製造ができなくなるか、あるいは、膜の完全性を破壊しかねない圧力での操作が強いられる。このような理由により、膜の洗浄は必要である。

定期的な逆洗では、多量の汚染物質を中空繊維から除去することができる。即ち、中空繊維膜の内側ルーメンに水流れと逆方向にガスまたは濾液を通すことで、ガスおよび／または濾液を膜の多孔から周囲の水へと押出し、それを例えば沈殿池や沈殿槽へと送ることによって、多量の汚染物質を中空繊維から除去することができる。また、所望の場合、膜を別の形態の機械的攪拌で洗浄できる。これらの別の形態の攪拌としては、通気、超音波振動および振盪がある。

しかしならが、これらの機械的手法および逆洗は全ての汚染物質の除去に完全に有効とはいえない。機械的手法および逆洗で容易に除去されない物質によって膜が汚染される場合があるので、時間の経過により徐々に効果が低下する。天然の物質（しばしば、地上水、地下水または膜バイオリアクタ等を経たような物質）を濾過する場合、ファウリング物質は、実質的には生物学的および／または有機的であるのが一般であって、通常、無機性の汚染物質を含んでいる。

通常、膜多孔および膜表面から汚染物質を十分に除去するには化学洗浄が必要である。汚染物質が１種類以上存在する（生物学的／有機的汚染物質もあれば、無機的汚染物質もある）ので、膜の機能を十分に回復させるには、通常２回の化学洗浄が必要である。酸化剤または腐食剤を用いて有機汚染物質を除去し、酸またはキレート剤を用いて膜を汚染する無機物質を除去する。２つの洗浄を一連に行う場合、洗浄の完了に通常は４時間から２日を要する。

例えば、生物学的または有機的物質で汚染されたポリマー精密濾過膜および限外濾過膜は、典型的には酸化作用を有する洗浄剤（例えば、次亜塩素酸ナトリウム（塩素）、過酸化水素および少量のオゾン）を用いて洗浄されていた。無機物質は通常、異なる酸を用いて除去される。油が存在する場合には、腐食性溶液および界面活性剤を用いて除去することができる。

塩素は最も幅広く用いられている洗浄剤であるものの、水処理の化学物質として幅広く使用するには望ましくない。水処理システムにおける塩素注入は、発ガン性塩素化有機副生成物を生じることで知られている。かかる生成物は危険であって環境的処分の問題をもたらす。塩素ガス自体も不快な匂い有し、ある部位によっては健康に障害をもたらす。

過酸化水素を使用すると、危険で環境的に不健全な塩素化副生成物に関連した問題を排除できるものの、一般的に塩素より洗浄化学物質としての効果が低いとされる。

オゾンは塩素や過酸化水素より効果的な洗浄剤であり、塩素の使用を取り巻く多くの安全性／環境問題も排除される。しかしながら、オゾンはより強力な酸化剤であるので、塩素や過酸化物による酸化に耐え得るＰＶｄＦ等の膜であっても、オゾンにより劣化してしまう。

膜の洗浄にフェントン試薬が用いられることがある。フェントン試薬は有効であるものの、それでもある状況ではより好適で便利な代替品の提供が望まれている。

上記の背景技術の説明は、「幅広く周知の事項で当該分野に共通の一般的知識の一部を形成する」と考えるべきものではない。

本発明の目的は、上記の背景技術の不都合の少なくとも１つを解決または改善することである。

第１要旨において、本発明は、膜をモノ過硫酸塩のアニオン（monopersulfate anion）を含んで成る溶液に対して接触させることを包含する膜洗浄方法を提供する。

好ましくは、洗浄は膜洗浄に最適なｐＨで行われ、そのようなｐＨは緩衝剤（またはバッファー）によって制御される。

特許請求の範囲および明細書で特に明記しない限り、「含んで成る」や「包含する」等の用語は、排他的または完全な意味とは反対の包括的な意味に解釈され、「〜があるが、これに限定されない」という意味に解釈される。

好ましい実施形態では、本発明は、「モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤との組合せ」、「モノ過硫酸塩のアニオンとキレート剤との組合せ」、「モノ過硫酸塩のアニオンと触媒との組合せ」、「モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤とキレート剤との組合せ」、「モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤と触媒との組合せ」、「モノ過硫酸塩のアニオンとキレート剤と触媒との組合せ」または「モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤とキレート剤と触媒との組合せ」を含んで成る溶液に対して膜を接触させることを含んで成る精密濾過膜、限外濾過膜またはナノ濾過膜の洗浄方法を提供する。

好ましい実施形態では、本発明は、モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤とを含む溶液に膜を接触させる工程を含んで成る精密濾過膜または限外濾過膜の洗浄方法を提供する。

緩衝剤（どのような種類の緩衝剤であってもよい）の使用によりｐＨを制御してモノ過硫酸塩の前駆体塩(monopersulfate precursor salt)の安定性を増加させてもよい。

キレート剤または触媒を添加してもよい。

別の好ましい実施形態では、本発明は、モノ過硫酸塩のアニオンとキレート剤とを含んで成る溶液に膜を接触させる工程を含んで成る精密濾過膜または限外濾過膜の洗浄方法を提供する。

緩衝剤または触媒を添加してもよい。

別の好ましい実施形態では、本発明は、モノ過硫酸塩のアニオンと触媒とを含んで成る溶液に膜を接触させる工程を含んで成る精密濾過膜または限外濾過膜の洗浄方法を提供する。

緩衝剤またはキレート剤を添加してもよい。

別の好ましい実施形態では、本発明は、モノ過硫酸塩のアニオンとキレート剤と緩衝剤と触媒とを含んで成る溶液に膜を接触させる工程を含んで成る精密濾過膜または限外濾過膜の洗浄方法を提供する。

モノ過硫酸塩は、成分Ｈ_２ＳＯ_５、ＨＳＯ_５ ⁻、ＳＯ_５ ^２−として単独で存在してもよく、あるいは、成分Ｈ_２ＳＯ_５、ＨＳＯ_５ ⁻、ＳＯ_５ ^２−の混合物として存在してもよい。好ましくは、モノ過硫酸塩は、例えばカリウム塩またはナトリウム塩などの塩として供される。モノ過硫酸塩の特に好ましい供給源はオキソン（ｏｘｏｎｅ（登録商標））である。

また、本発明では、市販されているモノ過硫酸塩であるオキソン（登録商標）（デュポンの製品）の使用について説明する。オキソン（登録商標）は、モノ過硫酸塩、硫酸水素塩および硫酸塩を含んで成り、特に、モノ過硫酸カリウム塩、硫酸水素カリウムおよび硫酸カリウムを含んで成る。しかしながら、いずれの好適なモノ過硫酸塩溶液であっても使用できることは当業者にとって明らかであろう。

オキソン（登録商標）における活性成分はＫＨＳＯ_５である。構造的には、モノ過硫酸水素イオンは次のように表される。

固形の形態では、オキソン（登録商標）は化学式２ＫＨＳＯ_５・ＫＨＳＯ_４・Ｋ_２ＳＯ_４の３重塩として存在する。市販のオキソン（登録商標）ブレンドは、緩衝剤として機能し得るＫＨＳＯ_４を含んでいる。

特定の理論に拘束されるわけではないが、オキソン、特に活性なモノ過硫酸塩は、有機汚染物質および生物学的汚染物質（バイオ汚染物）を除去する作用を有していると考えられる。最適なｐＨを維持するために緩衝剤が存在し、無機汚染物質の除去が助力され得る。キレート剤が存在する場合、キレート剤は無機汚染物質を除去する役割を担う。触媒が存在する場合、触媒は反応速度を上げて必要な洗浄時間を短縮する役割を担う。

オキソン（登録商標）の濃度は、水に溶解したオキソン（登録商標）塩の量を基準として、０．０１重量％〜１０重量％、好ましくは０．１重量％〜１０重量％、更に好ましくは０．５重量％〜５重量％である。

キレート剤はクエン酸であることが好ましい。他のキレート剤、例えば、シュウ酸およびＥＤＴＡを用いてもよい。キレート剤の濃度は、０．１重量％〜５重量％、好ましくは０．１重量％〜３重量％である。

触媒は反応速度を向上させるために存在してよい。好ましい触媒としては、金属イオン、例えば、Ｆｅ^２＋、Ｃｕ^２＋、Ｎｉ^２＋、Ｃｏ^２＋等を挙げることができる。触媒を使用する場合、触媒は好ましくは０．００１重量％〜０．１重量％、より好ましくは０．００１重量％〜０．０１重量％の量で存在する。

別の要旨において、本発明は、
ｉ）モノ過硫酸塩のアニオンと、ｉｉ）緩衝剤、キレート剤もしくは触媒との組合せ、緩衝剤とキレート剤との組合せ、緩衝剤と触媒との組合せ、キレート剤と触媒との組合せ、または、緩衝剤とキレート剤と触媒との組合せを含んで成る溶液に膜を接触させることを包含する膜洗浄方法（必要に応じて行う膜洗浄方法）を提供する。

溶液を膜の供給側に供し、膜を溶液内に所定の期間（例えば数時間）静置および浸漬させてもよい。別の好ましい実施形態では、溶液を逆洗モードで濾液側に注入してよく、あるいは、逆洗と浸漬との繰返しサイクルに際して濾液側に溶液を注入してもよい。

本発明の方法は１℃〜５０℃の温度で行うことができる。好ましい温度は５℃〜４０℃、最も好ましくは１０℃〜４０℃である。温度が高くなると反応速度が増加する。

洗浄時間は１０分〜２４時間であってもよい。最も好ましい洗浄時間は、溶液の温度に依存するが３０分〜１０時間である。洗浄時間は溶液温度が増すにつれて減少する。洗浄をバックパルス（ｂａｃｋｐｕｌｓｅ）を通して行う場合には、各バックパルスは１〜３００秒、より好ましくは５〜１２０秒であってよい。

ｐＨは好ましくは１〜９、より好ましくは１〜６の範囲である。最も好ましいｐＨは１．５〜３である。

本発明は、多孔性ポリマー（または多孔質ポリマー）の限外濾過膜または精密濾過膜について説明しているものの、本発明を他の種類の膜（例えば、ナノ濾過膜、ガス濾過膜または逆浸透膜、またはより大きな孔サイズを有する膜）にも使用できることは明らかであろう。また、無機膜（例えばセラミック膜）を本発明で説明した組成物および方法で洗浄できることは明らかであろう。

精密濾過膜または限外濾過膜は、いずれの適当な耐酸化性物質、例えば、限定するわけではないが以下の完全および／または部分にハロゲン化されたモノマーから成るホモポリマー、コポリマー、ターポリマー等から形成することができる。「完全または部分にハロゲン化されたモノマー」としては、例えば、フッ化ビニル、塩化ビニル、フッ化ビニリデン、塩化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、クロロトリフルオロエチレン、およびテトラフルオロエチレン等を挙げることができる。精密濾過膜または限外濾過膜にとって特に好ましいブレンドは、ポリフッ化ビニリデン（即ちＰＶｄＦ）から成るブレンド、クロロトリフルオロエチレンとエチレンとのブレンド、即ちＥＣＴＦＥ（ヘイラー（Ｈａｌａｒ））から成るブレンド、および、ポリスルホンから成るブレンドである。

膜とモノ過硫酸塩洗浄溶液との接触は、単独で行ってもよく、あるいは、別の洗浄溶液または方法と組み合わせて行ってもよい。種々の方法が可能である。

例えば、膜をモノ過硫酸塩洗浄溶液に浸漬させてよい。あるいは、膜を通してモノ過硫酸塩洗浄溶液を濾過または再循環させてもよい。洗浄が助力されるように、洗浄方法は、「通気工程」または「溶液に紫外光を照射する工程」を包含してもよい。更には、洗浄溶液が十分に活性である場合では洗浄溶液を使用後に回収してもよい。

本発明の洗浄方法は様々な手法で使用してもよい。個々の成分を相互または別々に、繊維膜を直接取り囲んでいる水に対して添加してもよい。また、鉄イオン源が濾過されるべき供給水からもたらされる場合もある。

また、濾過水に存在する既存の鉄類（iron species）を利用するのに、本発明の方法を用いてもよい。

本発明のモノ過硫酸塩洗浄溶液システムでは、膜に一度だけ通してもよく、あるいは、しばらく置くことによって、または、逆洗−休止サイクルを繰返して膜と接触させてもよい。更には、膜または膜システムを通るように再循環させてもよい。好ましくは、接触時間は、膜の透過率で示されるような所定の洗浄レベルが達成されるように選択される。

触媒を使用する場合には、触媒を洗浄溶液から回収してもよい。

地上水処理、地下水処理、淡水化、２次または３次排水の処理および膜バイオリアクタに際する濾過に本発明を適用してもよい。

本発明の洗浄システムを現存のシステムおよび処理法に用いると、供給水もしくは濾液の品質を向上させることができ、あるいは、濾過法自体の能力も向上させることができる。尚、洗浄はバッチ式で行ってもよく、あるいは、連続式で行ってもよい。例えば、膜の直近上流でまたは膜においてモノ過硫酸塩洗浄溶液の濃度を測定し、予め定められたモノ過硫酸塩濃度（膜における濃度）となるように、ｐＨの調節およびモノ過硫酸塩の添加を行う。

洗浄法は定置洗浄（ＣＩＰ）に特に好適である。本発明のモノ過硫酸塩洗浄システムで処理されと、水濾過に使用され汚染された精密濾過膜および限外濾過膜の再生（回復）が改善される。

あるＣＩＰでは２回洗浄が必要である。かかる２回洗浄では、無機汚染物質を除去するための酸洗浄（無機酸でもよく、より一般的にはクエン酸のような有機酸を用いた洗浄）と、有機汚染物質を除去するための塩素洗浄との双方が含まれる。本発明のモノ過硫酸塩洗浄システムを使用すると、単一の処理で酸処理と酸化洗浄との双方を行うことができるといった利益がもたらされる。

本発明で説明される洗浄剤および洗浄方法は、特に塩素の使用が制限された用途において有用である。

比較例１
膜バイオリアクタのモジュールを通常の汚水流れにより汚染させた。それにより、透過率は６２ＬＭＨ／ｂａｒにまで低下した。通常の方法によって、膜モジュールを２％クエン酸で処理することで透過率が１１８ＬＭＨ／ｂａｒにまで上昇した。Ｃｌ_２を１５００ｐｐｍ含んだ第１酸化洗浄を行うことによって透過率が１８０ＬＭＨ／ｂａｒにまで上昇した。また、第２Ｃｌ_２洗浄を行うことによって透過率が２１９ＬＭＨ／ｂａｒにまで上昇した。

実施例１
膜バイオリアクタ内の同じモジュールを通常の汚水流れにより再度汚染させた。透過率は８４ＬＭＨ／ｂａｒにまで低下した。次いで、２重量％オキソン溶液に２４時間浸漬させることで、透過率が２５１ＬＭＨ／ｂａｒにまで上昇し、最終増加率は２００％になった。

従って、本発明の方法では、背景技術で周知の方法よりも簡易な１工程によって極めて良好な結果を達成することができた。この方法は室温で行った。

また、オキソンはコスト的に好ましいだけでなく、使用する作業者にとっても安全である。その本来有する安全性に起因して、取り扱いが容易でもあり、変更することなく現存のシステムにオキソンを使用できる。

得られた結果では膜の機械特性に悪影響がないことが示唆された。
比較例２

ＰＶＤＦ繊維から成る膜モジュールを膜バイオリアクタに用いて混合液体の濾過を行った。濾過を３ヶ月実施すると、膜モジュールの透過率は汚染に起因して７５ＬＭＨ／ｂａｒにまで低下した。標準的な化学的な２回定置洗浄（ＣＩＰ）をクエン酸、次いで塩素を用いて行った。これにより膜モジュール透過率が約１３０ＬＭＨ／ｂａｒにまで回復した。
実施例２

次に同じモジュールを膜バイオリアクタに用いて混合液体の濾過を継続して行った。濾過を３ヶ月行うと、透過率が９５ＬＭＨ／ｂａｒにまで低下した。モジュールを、２％オキソン溶液を単独で用いることで洗浄した。これにより、モジュール透過率が９５から１８０ＬＭＨ／ｂａｒにまで回復した。

モジュール透過率が先の２回ＣＩＰに比べて回復程度（再生の程度）が改善されただけでなく、その後の濾過時の膜汚染速度も低下していた。

４ヶ月操作した後、オキソン溶液で更に洗浄を行い、洗浄効果を確認した。モジュールの透過率は１５０から２００ＬＭＨ／ｂａｒを越えるまで上昇し、オキソンを用いた洗浄効果を確認することができた。

図１は、実施例２における全体的な透過率の傾向と各洗浄による再生（回復）を示している。

Claims

モノ過硫酸塩のアニオンを含んで成る水溶液に膜を接触させることを含んで成る膜洗浄方法。
膜が多孔性ポリマーの限外濾過膜または精密濾過膜である、請求項１に記載の膜洗浄方法。
膜が非対称膜である、請求項２に記載の膜洗浄方法。
膜が、完全または部分的にハロゲン化されたモノマーまたはそれらのモノマー混合物から形成される、請求項２に記載の膜洗浄方法。
膜が、フッ化ビニル、塩化ビニル、フッ化ビニリデン、塩化ビニリデン、ヘキサフルオロプロピレン、クロロトリフルオロエチレンもしくはテトラフルオロエチレンのモノマーまたはそれらのモノマー混合物から形成される、請求項４に記載の膜洗浄方法。
膜がポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から形成される、請求項５に記載の膜洗浄方法。
膜がクロロトリフルオロエチレンとエチレンとのブレンド（ヘイラー）から形成される、請求項５に記載の膜洗浄方法。
膜がポリスルホンから形成される、請求項５に記載の膜洗浄方法。
膜が無機膜である、請求項１に記載の膜洗浄方法。
膜がセラミック膜である、請求項９に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩のアニオンと薬剤とを含んで成る水溶液に膜を接触させることを含んで成り、前記試薬が、緩衝剤、キレート剤、触媒、緩衝剤とキレート剤との組合せ、緩衝剤と触媒との組合せ、キレート剤と触媒との組合せおよび緩衝剤とキレート剤と触媒との組合せから選択される、請求項１に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩のアニオンと緩衝剤とを含んで成る水溶液に膜を接触させる工程を含んで成る、請求項１１に記載の膜洗浄方法。
緩衝剤がＨＳＯ_４ ⁻である、請求項１１または１２に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩のアニオンとキレート剤とを含んで成る溶液に膜を接触させる工程を含んで成る、請求項１１に記載の膜洗浄方法。
キレート剤がクエン酸である、請求項１４に記載の膜洗浄方法。
キレート剤がシュウ酸である、請求項１４に記載の膜洗浄方法。
キレート剤がＥＤＴＡである、請求項１４に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩のアニオンと触媒とを含んで成る溶液に膜を接触させる工程を含んで成る、請求項１１に記載の膜洗浄方法。
触媒が金属イオンである、請求項１８に記載の膜洗浄方法。
触媒がＦｅ^２＋、Ｃｕ^２＋、Ｎｉ^２＋、Ｃｏ^２＋から選択される、請求項１９に記載の膜洗浄方法。
洗浄溶液中に金属イオンが含まれる、請求項１９に記載の膜洗浄方法。
濾過される供給水に金属イオンが存在する、請求項１９に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩が、Ｈ_２ＳＯ_５、ＨＳＯ_５ ⁻またはＳＯ_５ ^２−として単独に存在するか、あるいは、Ｈ_２ＳＯ_５、ＨＳＯ_５ ⁻、ＳＯ_５ ^２−の混合物として存在する、請求項１〜２２のいずれかに記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩がカリウム塩またはナトリウム塩の形態である、請求項２３に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩が硫酸水素塩および硫酸塩を更に含んで成る、請求項１〜２４のいずれかに記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩が２ＫＨＳＯ_５．ＫＨＳＯ_４．Ｋ_２ＳＯ_４の化学式で示される３重塩で供される、請求項２５に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩のアニオンを含んで成る溶液を膜の供給側に供給し、溶液中にて膜を静置および浸漬させる、請求項１〜２６のいずかに記載の膜洗浄方法。
膜の逆洗に先立って濾液側にモノ過硫酸塩溶液を注入する、請求項１〜２７のいずれかに記載の膜洗浄方法。
洗浄を１〜９のｐＨ範囲で行う、請求項１〜２８のいずれかに記載の膜洗浄方法。
ｐＨ範囲が１〜６である、請求項２９に記載の膜洗浄方法。
ｐＨ範囲が１．５〜３である、請求項２９または３０に記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩の洗浄溶液を膜に通すこと、膜を通るようにモノ過硫酸塩の洗浄溶液を再循環させること、又は、モノ過硫酸塩の洗浄溶液を膜と接触させて静置に付す、請求項１〜３１のいずれかに記載の膜洗浄方法。
モノ過硫酸塩による洗浄に先立って、モノ過硫酸塩による洗浄に際して、あるいは、モノ過硫酸塩による洗浄の後に、通気工程または紫外光の照射工程を更に含んで成る、請求項１〜３２のいずれかに記載の膜洗浄方法。
膜透過率で示されるような所定の洗浄レベルが達成されるように所定時間洗浄を行う、請求項１〜３３のいずれかに記載の膜洗浄方法。
バッチ式または連続式で行う、請求項１〜３４のいずれかに記載の膜洗浄方法。