JP2009505498A - 二重変換利得ゲートを介してリセットされるイメージピクセル - Google Patents

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Abstract

二重変換利得を有するピクセルを備えたイメージャ。各ピクセルは、2つのフローティング拡散領域の間に接続された二重変換利得素子を有している。この二重変換利得素子は、アクティベートされると、蓄積素子をスイッチし、ピクセルの電荷蓄積容量が増大する。ピクセルリセット回路が、第2のフローティング拡散領域に接続されている。第1のフローティング拡散領域及び蓄積素子をリセットするため、リセット動作中に二重変換利得素子がアクティベートされる。
【選択図】図3

Description

本発明は、一般にイメージングデバイスに係り、特には、イメージングデバイスのフィルファクタ(fill factor)及び電荷蓄積能力を増大させること、並びに、イメージピクセルをリセットすることに関する。
典型的には、デジタルイメージャアレイはピクセルセルのフォーカルプレーンアレイを含んでおり、これらセルのそれぞれが、例えばフォトゲート、フォトコンダクタ、又はフォトダイオード等のフォトセンサを含んでいる。CMOSイメージャにおいては、典型的にはソースフォロワ出力トランジスタを含む読み出し回路が、各ピクセルセルに接続されている。フォトセンサが光子を電子に変換し、この電子は、典型的には、ソースフォロワ出力トランジスタのゲートに接続されたフローティング拡散領域に転送される。電荷をフォトセンサからフローティング拡散領域へ転送するために、電荷転送デバイス(例えばトランジスタ)が含まれ得る。加えて、そのようなイメージャピクセルセルは、典型的には、電荷の転送に先立って、フローティング拡散領域を所定の電荷レベルにリセットするためのトランジスタを有している。ソースフォロワトランジスタの出力は、行選択トランジスタによりピクセル出力信号としてゲート制御される。
例示的なCMOSイメージング回路、その製造ステップ、及びイメージング回路の各種CMOS素子の機能についての詳細な説明が、例えば、いずれもマイクロンテクノロジー社に譲渡された米国特許第6,140,630号、米国特許第6,376,868号、米国特許第6,310,366号、米国特許第6,326,652号、米国特許第6,204,524号、及び米国特許第6,333,205号に記載されており、これらはその参照をもって全体が本明細書に含まれる。
図1及び2は、それぞれ従来のCMOSイメージャピクセルセル100の上面図及び断面図を示しており、これらの図を参照すると、入射光187がフォトダイオードフォトセンサ120の表面に突き当たった場合、フォトダイオードのpn接合(これはn形蓄積領域122とp+形表面層123との境界に表れている)に、電子−正孔対が生成される。この生成電荷(光電荷)は、フォトセンサ120のn形蓄積領域122に収集される。この光電荷は、最初の電荷蓄積領域122から、転送トランジスタ106を介して、フローティング拡散領域110へ移動する。フローティング拡散領域110の電荷は、典型的には、ソースフォロワトランジスタ108によってピクセル出力電圧に変換され、そして次に、行選択トランジスタ109を介して列出力ライン111上に出力される。
図1中にピクセルセル100として示されたような従来のCMOSイメージャの設計は、約50パーセントのフィルファクタを提供するものであり、これは、光を電荷キャリアに変換するのにピクセル100の半分しか利用されないことを意味する。図示のように、セル100のほんの小さな部分しか、フォトセンサ(フォトダイオード)120を備えていない。ピクセルセル100の残りの部分は、基板101中にSTI領域として示された分離領域102と、転送トランジスタ106の転送ゲート106′に接続されたフローティング拡散領域110と、それぞれゲート107′、108′、109′を有するリセット、ソースフォロワ、及び行選択のトランジスタ107、108、109用のソース/ドレイン領域115とを含んでいる。更に、総ピクセル面積が(所望のスケーリングのために)減少し続けるに従い、最小限の表面積を利用した高感度のフォトセンサを作ること、及び/又は、ピクセルセルの非感光の構成要素のためのピクセルアレイのもっと効率的なレイアウトを見つけ、増大した感光領域を提供することが、益々重要になってきている。
加えて、フローティング拡散領域110のような従来の蓄積ノードは、限られた量の電荷蓄積容量しか持っていない。一度この容量に達すると、ピクセルセル100は有効でなくなる。一度電荷蓄積容量を超えると、望ましくない現象が起こり、それにより、「容量を超過した」電荷が、ピクセルセル100の他の部分や、ピクセルセルの隣接した部分に流出してしまい、これは望ましくない。
従って、改善されたフィルファクタ及び電荷蓄積容量を有する効率的なピクセルセルアレイ構造の必要及び願望がある。
本発明は、改善されたフィルファクタ及び電荷蓄積容量を有する効率的なピクセルセルアレイ構造を提供する。
上述した及び他の構成及び効果は、本発明の各種の例示的実施形態において、二重変換利得を有するピクセルを持つイメージャを提供することによって達成される。各ピクセルは、2つのフローティング拡散領域の間に接続された二重変換利得素子を有する。この二重変換利得素子は、アクティベートされると、蓄積素子をスイッチし、ピクセルの電荷蓄積容量を増大させる。ピクセルリセット回路が、第2のフローティング拡散領域に接続されている。第1のフローティング拡散領域及び蓄積素子をリセットするため、リセット動作中に二重変換利得素子がアクティベートされる。
本発明は、共有されたピクセル構成をも提供し、それによれば、二重変換利得素子、蓄積素子、並びにリセット及び読み出し構成要素が2つ以上のピクセルによって共有されることで、ピクセルの電荷蓄積容量が増大することに加え、ピクセルのフィルファクタが増大する。
上述した及び他の本発明の効果及び構成は、添付の図面を参照しつつ以下に提供される例示的実施形態の詳細な説明から、一層明らかになる。
図3は、本発明の一実施形態に従って構成された例示的なCMOSイメージャピクセルセル200を示している。このピクセルセル200は、セル200がフォトセンサ220(これは、フォトダイオードとして図示されている)、転送トランジスタ206、リセットトランジスタ207、ソースフォロワトランジスタ208、行選択トランジスタ209、及びフローティング拡散領域FD1を含んでいるという点で、従来のピクセルセル100(図1)と同様である。従来のピクセルセル100(図1)とは異なり、この図示されたセル200は、二重変換利得(DCG)トランジスタ234、キャパシタ236、第2のフローティング拡散領域FD2、及び高ダイナミックレンジ(HDR)トランジスタ232をも含んでいる。
ピクセルセル200は、以下のように接続されている。HDRトランジスタ232が(これがセル200内に含まれている場合には)、フォトセンサ220とピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。HDRトランジスタ232のゲート端子が、高ダイナミックレンジ制御信号HDRを受け取るように接続されている。動作中において、高ダイナミックレンジ制御信号HDRが生成されると、HDRトランジスタ232がアクティベートされ、これにより、過剰な電荷がフォトセンサ220から排出(または流出)可能となる。なお、HDRトランジスタ232は、本発明を実施するのに必ずしも必要ではない随意の構成要素である(このことは、以下に述べる)。すなわち、ピクセルセル200の他の実施形態においては、HDRトランジスタ232は含まれていない。
転送トランジスタ206が、フォトセンサ220と第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続されており、これは転送ゲート制御信号TXによって制御可能である。転送ゲート制御信号TXが生成されると、転送トランジスタ206がアクティベートされ、これにより、フォトセンサ220からの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1へ流れるのが可能になる。ソースフォロワトランジスタ208のゲートが、第1のフローティング拡散領域FD1に接続されている。ソースフォロワトランジスタ208のソース/ドレイン端子がアレイピクセル供給電圧Vaa−pixに接続されている。行選択トランジスタ209が、ソースフォロワトランジスタ208とピクセルアレイ列ライン211との間に接続されている。
リセットトランジスタ207が、アレイピクセル供給電圧Vaa−pixと第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。キャパシタ236が、リセットトランジスタ207を横切って接続されている。DCGトランジスタ234が、第1のフローティング拡散領域FD1と第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。DCGトランジスタ234のゲート端子が、二重変換利得制御信号DCGに接続されている。
二重変換利得制御信号DCGが生成されると、DCGトランジスタ234がアクティベートされ、キャパシタ236の蓄積キャパシタCと第2のフローティング拡散領域FD2とが、第1のフローティング拡散領域FD1に接続される。これにより、ピクセルセル200の蓄積能力が第1のフローティング拡散領域FD1の容量を超えて増大し、これは望ましいことであり、従来のピクセルセル100(図1)における漏れの問題が軽減される。すなわち、ピクセル200は、第1のフローティング拡散領域FD1の蓄積容量にのみ基づく第1の変換利得を含み、これは低い光条件において有利であり、また、第1のフローティング拡散領域FD1及び(第2のフローティング拡散領域FD2に接続された)キャパシタ236の蓄積容量に基づく第2の変換利得を含み、これは明るい光条件において有利である。
図4は、図3に示されたピクセルセル200の例示的な動作を示すタイミング図である。このタイミング図は、3つの期間Ta、Tb、Tcを示している。第1の期間Ta中に、行選択信号ROW(これは、図4中にアクティブローで示されている)が行選択トランジスタ209のゲートに与えられる。図4は、タイミング図の一例であり、信号が図4中にアクティブローで示されているかアクティブハイで示されているかは重要でない。本発明を実施するのに必要とされるのは、図示された制御信号がその制御する構成要素をアクティベートするということだけである。
ピクセル回路200の第1のフローティング拡散領域FD1は、二重変換利得制御信号DCG(これは図4中にアクティブローで示されている)と、リセット制御信号RST(これは図4中にアクティブローで示されている)とを同時に与えることにより、リセットされる。これにより、アレイピクセル供給電圧Vaa−pixが(リセット及びDCGトランジスタ207、234を介して)第1のフローティング拡散領域FD1に与えられる。アレイピクセル供給電圧Vaa−pixは、第2のフローティング拡散領域FD2及びキャパシタ236にも与えられる。リセットされたフローティング拡散領域FD1に関係付けられたリセット信号電圧Vrst(これは、ソースフォロワトランジスタ208及びアクティベートされた行選択トランジスタ209によって出力される)が列ライン211に与えられ、そして、列ライン211に接続されたサンプルアンドホールド回路761(図8)によってサンプルアンドホールドされる。このサンプルアンドホールドは、サンプルアンドホールドリセット信号SHRのパルスを与えてサンプルアンドホールド回路をアクティベートすることにより行なわれる。サンプルアンドホールド回路761は、以下で、図8を参照して一層詳細に述べられている。
第2の期間Tb中に、転送ゲート制御信号TXが与えられて(これは図4中ではアクティブローで示されている)転送トランジスタ206がアクティベートされると、フォトセンサ220に蓄積されている電荷が第1のフローティング拡散領域FD1へ転送される。第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積されたピクセル信号電荷に関係付けられたピクセル信号電圧Vsig1(これは、ソースフォロワトランジスタ208及びアクティベートされた行選択トランジスタ209によって出力される)が列ライン211に与えられ、列ライン211に接続されたサンプルアンドホールド回路761(図8)によってサンプルアンドホールドされる。このサンプルアンドホールドは、サンプルアンドホールドピクセル信号SHSのパルスを与えてサンプルアンドホールド回路をアクティベートすることにより行なわれる。
ピクセルセル200の電荷蓄積容量を増大させるため、第3の期間Tc中に、以下の動作が行なわれる。なお、第3の期間Tcにおける以下の動作は、各読み出し動作毎に行なわれてもよく、或いは、上述した容量を超過した状態を避ける必要がある場合(すなわち、コントローラ又はイメージプロセッサ(これは、以下に、図8を参照して一層詳細に記載されている)が、入射光の量で第1のフローティング拡散領域FD1が飽和したものと決定した時)にだけ行なわれてもよい。
第3の期間Tc中に、二重変換利得制御信号DCGが与えられる(これは、図4中にアクティブローで示されている)。これにより、DCGトランジスタ234がアクティブになり、第1のフローティング拡散領域FD1が第2のフローティング拡散領域FD2に接続される。第1のフローティング拡散領域FD1内の電荷が、第2のフローティング拡散領域FD2と共有され、続いてキャパシタ226に蓄積される。転送ゲート制御信号が与えられて(これは図4中にアクティブローで示されている)、転送トランジスタ206がアクティベートされる。フォトセンサ220に収集された新たな電荷が、第1のフローティング拡散領域FD1及び第2のフローティング拡散領域FD2に蓄積される。第1のフローティング拡散領域FD1及び第2のフローティング拡散領域FD2に蓄積された新たなピクセル信号電荷に関係付けられた新たなピクセル信号電圧Vsig2(これは、ソースフォロワトランジスタ208及びアクティベートされた行選択トランジスタ209によって出力される)が列ライン211に与えられ、そして、列ライン211に接続されたサンプルアンドホールド回路761(図8)によってサンプルアンドホールドされる。このサンプルアンドホールドは、第3のサンプルアンドホールド信号(これは図4中にSHDとして示されている)のパルスを与えてサンプルアンドホールド回路をアクティベートすることにより行なわれる。その後、3つのサンプルアンドホールド信号Vrst、Vsig1、Vsig2が、互いに関連するサンプリング動作を行なって、実際のピクセル信号レベルを得るようにしてもよい。
なお、HDRトランジスタ232がピクセル回路200に使用された場合は、高ダイナミックレンジ制御信号HDRが3つの期間Ta、Tb、Tcの全体に渡って与えられることで、読み出し動作中にHDRトランジスタ232が確実にアクティブのままとなる。これにより、読み出し動作中にブルーミングやその他の現象が発生するのが防止される。
なお、ピクセル200を駆動する他の方法は、第2の期間Tb中に電荷をフォトセンサ220から第1のフローティング拡散領域FD1へ転送することである。電荷を即座に読み出す代わりに、電荷を留めておき、過剰な電荷が存在する場合にその電荷を第2のフローティング拡散領域FD2へ漏らすようにすることも可能である。コントローラ又はイメージプロセッサが、第1のフローティング拡散領域FD1に電荷がいっぱいであると決定した場合、DCGトランジスタ234がアクティベートされて、電荷がキャパシタ236に蓄積される。第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積された残りのピクセル信号電
荷に関連付けられたピクセル信号電圧Vsig(これは、ソースフォロワトランジスタ208及びアクティベートされた行選択トランジスタ209によって出力される)は、ピクセル信号サンプルアンドホールドピクセル信号SHSによってサンプルアンドホールドされる。
ピクセルセル200は、増大された電荷蓄積容量を有しているが、追加の構成要素がセル200内で使用されているので(例えばDCGトランジスタ234及びキャパシタ236)、所望の増大されたフィルファクタを達成しているわけではない。フィルファクタを増大させる1つの方法は、隣接するピクセルとの間で構成要素を共有することである。図5は、本発明の一実施形態に従って構成された例示的な4方向共有のCMOSイメージャピクセル回路300を示している。このピクセル回路300は、4つのピクセルセル300a、300b、300c、300dの間でリセット及び読み出し回路を共有している。特に、4つのピクセルセル300a、300b、300c、300dは、第1及び第2のフローティング拡散領域FD1、FD2、DCGトランジスタ334、リセットトランジスタ307、蓄積キャパシタ336、ソースフォロワトランジスタ308、及び行選択トランジスタ309を共有している。
第1のピクセルセル300aは、(フォトダイオードとして示された)第1のフォトセンサ320a及び第1の転送トランジスタ306aを含んでいる。第1の高ダイナミックレンジ(HDR)トランジスタ332aが、もし望まれるのであれば、ピクセルセル300aの一部であってもよい。第1のHDRトランジスタ332aは(もし含まれているのであれば)、第1のフォトセンサ320aとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第1のHDRトランジスタ332aのゲート端子が、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>を受け取るように接続されている。動作中、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>が生成されると、HDRトランジスタ332aがアクティベートされて、電荷がフォトセンサ320aから排出可能となる。
第1の転送トランジスタ306aが、第1のフォトセンサ320aと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第1の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<0>によって制御可能である。第1の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<0>が生成されると、第1の転送トランジスタ306aがアクティベートされ、フォトセンサ320aからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1に流れるのを可能にする。
第2のピクセルセル300bは、(フォトダイオードとして示された)第2のフォトセンサ320b及び第2の転送トランジスタ306bを含んでいる。第2のHDRトランジスタ332bが、もし望まれるのであれば、第2のピクセルセル300bの一部であってもよい。第2のHDRトランジスタ332bは(もし含まれているのであれば)、第2のフォトセンサ320bとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第2のHDRトランジスタ332bのゲート端子が、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>を受け取るように接続されている。動作中、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>が生成されると、第2のHDRトランジスタ332bがアクティベートされて、電荷がフォトセンサ320bから排出可能となる。
第2の転送トランジスタ306bが、第2のフォトセンサ320bと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第2の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<1>によって制御可能である。第2の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<1>が生成されると、第2の転送トランジスタ306bがアクティベートされ、第2のフォトセンサ320bからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1に流れるのを可能にする。
第3のピクセルセル300cは、(フォトダイオードとして示された)第3のフォトセンサ320c及び第3の転送トランジスタ306cを含んでいる。第3のHDRトランジスタ332cが、もし望まれるのであれば、第3のピクセルセル300cの一部であってもよい。第3のHDRトランジスタ332cは(もし含まれているのであれば)、第3のフォトセンサ320cとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第3のHDRトランジスタ332cのゲート端子が、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>を受け取るように接続されている。動作中、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>が生成されると、第3のHDRトランジスタ332cがアクティベートされて、電荷が第3のフォトセンサ320cから排出可能となる。
第3の転送トランジスタ306cが、第3のフォトセンサ320cと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第1の奇数列転送ゲート制御信号TX_ODD<0>によって制御可能である。第1の奇数列転送ゲート制御信号TX_ODD<0>が生成されると、第3の転送トランジスタ306cがアクティベートされ、第3のフォトセンサ320cからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1に流れるのを可能にする。
第4のピクセルセル300dは、(フォトダイオードとして示された)第4のフォトセンサ320d及び第4の転送トランジスタ306dを含んでいる。第4のHDRトランジスタ332dが、もし望まれるのであれば、第4のピクセルセル300dの一部であってもよい。第4のHDRトランジスタ332dは(もし含まれているのであれば)、第4のフォトセンサ320dとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第4のHDRトランジスタ332dのゲート端子が、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>を受け取るように接続されている。動作中、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>が生成されると、第4のHDRトランジスタ332dがアクティベートされて、電荷が第4のフォトセンサ320dから排出可能となる。
第4の転送トランジスタ306dが、第4のフォトセンサ320dと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第2の奇数列転送ゲート制御信号TX_ODD<1>によって制御可能である。第2の奇数列転送ゲート制御信号TX_ODD<1>が生成されると、第4の転送トランジスタ306dがアクティベートされ、第4のフォトセンサ320dからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1に流れるのを可能にする。
ソースフォロワトランジスタ308のゲートが第1のフローティング拡散領域FD1に接続されている。ソースフォロワトランジスタ308のソース/ドレイン端子がアレイピクセル供給電圧Vaa−pixに接続されている。行選択トランジスタ309がソースフォロワトランジスタ308と列ライン311との間に接続されている。
リセットトランジスタ307がアレイピクセル供給電圧Vaa−pixと第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。キャパシタ336がリセットトランジスタ307を渡って接続されている。DCGトランジスタ334が第1のフローティング拡散領域FD1と第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。DCGトランジスタ334のゲート端子が二重変換利得制御信号DCGに接続されている。
二重変換利得制御信号DCGが生成されると、DCGトランジスタ334がアクティベートされ、キャパシタ336のキャパシタンスCと、第2のフローティング拡散領域FD2とが第1のフローティング拡散領域FD1に接続される。これにより、ピクセル回路300の蓄積能力が第1のフローティング拡散領域FD1の容量を超えて増大し、これは望ま
しいことであり、従来のピクセルセル100(図1)の漏れの問題が軽減される。すなわち、ピクセル回路300は、第1のフローティング拡散領域FD1の蓄積容量のみに基づく第1の変換利得を含み、これは低い光条件において有利であり、また、第1のフローティング拡散領域FD1及び(第2のフローティング拡散領域FD2に接続された)キャパシタ336の蓄積容量に基づく第2の変換利得を含み、これは明るい光条件において有利である。
図6は、図5に示されたピクセル回路300の一部分の例示的な動作を示すタイミング図である。記載を明瞭にすることのみを目的として、このタイミング図は第1のピクセルセル300aの動作を示している。なお、残りのピクセル300b、300c、300dの動作には、以下のステップが繰り返されることになる。第1の行の動作は(以下に述べる点を除き)本質的に同じものなので、残りのピクセル300b、300c、300dの動作についての詳細な説明は提供しない。図6は、或る時点でハイとローとが切り替わる行選択信号ROWを示している。この行選択信号ROWは、望まれるなら、3つの期間Ta、Tb、Tcの全ての期間中で与えられたままになってもよい、と認識されるべきである。
このタイミング図は、3つの期間Ta、Tb、Tcを示している。第1の期間Ta中、行選択信号ROWが行選択トランジスタ309のゲートに与えられる(これは、図6中にアクティブローで示されている)。図6は、例示的なタイミング図であり、かつ、図6中で信号がアクティブローとして示されるかアクティブハイとして示されるかは重要でない、と認識されるべきである。本発明を実施するのに要求されることは、図示された信号がその制御する構成要素をアクティベートするということだけである。
二重変換利得制御信号DCG(これは図6中にアクティブローで示されている)とリセット制御信号RST(これは図6中にアクティブローで示されている)とが同時に与えられることにより、ピクセル回路300の第1のフローティング拡散領域FD1がリセットされる。これにより、アレイピクセル供給電圧Vaa−pixが(リセット及びDCGトランジスタ307、334を介して)第1のフローティング拡散領域FD1に与えられる。アレイピクセル供給電圧Vaa−pixは、第2のフローティング拡散領域FD2にも与えられる。リセットされた第1のフローティング拡散領域FD1に関連付けられたリセット信号電圧Vrst(これは、ソースフォロワトランジスタ308及びアクティベートされた行選択トランジスタ309によって出力される)が列ライン311に与えられ、そして、第1のピクセルセル300aのために、サンプルアンドホールド回路761(図8)によってサンプルアンドホールドされる。このサンプルアンドホールドは、サンプルアンドホールドリセット信号SHRのパルスを与えることにより行なわれる。
第2の期間Tb中、第1の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<0>が与えられて(これは図6中にアクティブローで示されている)、第1の転送トランジスタ306aがアクティベートされると、第1のフォトセンサ320aに蓄積している電荷が第1のフローティング拡散領域FD1に転送される。その後、第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積された第1のピクセルセル300aのピクセル信号電荷に関係付けられたピクセル信号電圧Vsig1(これは、ソースフォロワトランジスタ308及びアクティベートされた行選択トランジスタ309によって出力される)が、サンプルアンドホールドピクセル信号SHSのパルスを与えることにより、サンプルアンドホールド回路761(図8)によってサンプルアンドホールドされる。
ピクセルセル200aの電荷蓄積容量を増大させるために、第3の期間Tc中に以下の動作が行なわれる。なお、第3の期間Tcにおける以下の動作は、全ての読み出し動作毎に行なわれるか、或いは、前述したように容量を超過した状態を避けるのが必要とされる
場合(すなわち、コントローラ又はイメージプロセッサ(これらは図8を参照して以下に一層詳細に説明される)が、入射光の量で第1のフローティング拡散領域FD1が飽和すると決定した場合)にのみ行なわれてもよい。
第3の期間Tc中、二重変換利得制御信号DCGが与えられる(これは、図6中にアクティブローで示されている)。これにより、DCGトランジスタ406がアクティブになり、第1のフローティング拡散領域FD1が第2のフローティング拡散領域FD2に接続される。第1のフローティング拡散領域FD1内の全電荷が、第2のフローティング拡散領域FD2へ流れて、キャパシタ326に蓄積される。第1の偶数列転送ゲート制御信号TX_EVEN<0>が与えられて(これは、図6中にアクティブローで示されている)、第1の転送トランジスタ306aがアクティベートされる。第1のフォトセンサ320aからの残りの過剰な電荷は、第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積される。第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積された過剰なピクセル信号電荷に関係付けられた新たなピクセル信号電圧Vsig2(これは、ソースフォロワトランジスタ308及びアクティベートされた行選択トランジスタ309によって出力される)が、サンプルアンドホールド回路761(図8)に接続された列ライン311に与えられ、続いて、第3のサンプルアンドホールドピクセル信号SHDのパルスを与えることによりサンプルアンドホールドされる。その後、3つのサンプルアンドホールド信号Vrst、Vsig1、Vsig2が、相互に関連するサンプリング動作を行なって、各変換利得のための実際のピクセル信号レベル(例えば、Vrst−Vsig1、Vrst−Vsig2)を得るようにしてもよい。
次に、これらの動作が、残りのピクセル300b、300c、300dのために繰り返される。なお、残りのピクセル300b、300c、300dにおいても、転送ゲート306b、306c、306dが転送ゲート制御信号TX_EVEN<1>、TX_ODD<0>、TX_ODD<1>によってそれぞれ制御されるという点を除き、同様な動作が行なわれる。
なお、HDRトランジスタ332a、332b、332c、332dがピクセル回路300内で使用される場合は、高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>、HDR<1>が3つの期間Ta、Tb、Tcの全体に渡って与えられることで、HDRトランジスタ332a、332b、332c、332dは、読み出し動作期間中、確実にアクティブのままとなる。これにより、読み出し処理期間中に電荷がフォトセンサ320a、320b、320c、320dから排出されることによるブルーミング及びその他の現象の発生が、防止される。
なお、ピクセル300を駆動する他の方法は、第2の期間Tb中に、電荷をフォトセンサ320a、320b、320c、320dから第1のフローティング拡散領域FD1へ転送することである。電荷を即座に読み出す代わりに、この電荷を留めておき、過剰な電荷があった場合に、この電荷が第2のフローティング拡散領域FD2に漏れるようにすることも可能である。コントローラ又はイメージプロセッサが、第1のフローティング拡散領域FD1中に満たされた電荷があると決定した場合、DCGトランジスタ334がアクティベートされることで、電荷がキャパシタ336に蓄積されるようにする。次に、第1のフローティング拡散領域FD1に蓄積された残りのピクセル信号電荷に関係付けられたピクセル信号電圧Vsig(これは、ソースフォロワトランジスタ308及びアクティベートされた行選択トランジスタ309によって出力される)が、ピクセル信号サンプルアンドホールドピクセル信号SHSによってサンプルアンドホールドされる。
図7は、本発明の一実施形態に従って構成された例示的な2方向共有のCMOSイメージャピクセル回路400を示している。このピクセル回路400は、2つのピクセルセル
400a、400b間でリセット及び読み出し回路を共有している。特に、ピクセルセル400a、400bは、第1及び第2のフローティング拡散領域FD1、FD2、DCGトランジスタ434、リセットトランジスタ407、蓄積キャパシタ436、ソースフォロワトランジスタ408、及び行選択トランジスタ409を共有している。
第1のピクセルセル400aは、(フォトダイオードとして示された)第1のフォトセンサ420aと第1の転送トランジスタ406aとを含んでいる。望まれるのであれば、第1の高ダイナミックレンジ(HDR)トランジスタ432aが第1のピクセルセル400aの一部であってもよい。(もし含まれているのであれば)第1のHDRトランジスタ432aが、第1のフォトセンサ420aとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第1のHDRトランジスタ432aのゲート端子が、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>を受け取るように接続されている。動作中、第1の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<0>が生成されると、第1のHDRトランジスタ432aがアクティベートされ、電荷が第1のフォトセンサ420aから排出可能となる。
第1の転送トランジスタ406aが、第1のフォトセンサ420aと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第1の転送ゲート制御信号TX<0>によって制御可能である。第1の転送ゲート制御信号TX<0>が生成されると、第1の転送トランジスタ406aがアクティベートされ、第1のフォトセンサ420aからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1へ流れることが可能になる。
第2のピクセルセル400bは、(フォトダイオードとして示された)第2のフォトセンサ420bと第2の転送トランジスタ406bとを含んでいる。望まれるのであれば、第2のHDRトランジスタ432bが第2のピクセルセル400bの一部であってもよい。(もし含まれているのであれば)第2のHDRトランジスタ432bが、第2のフォトセンサ420bとピクセル供給電圧Vaa−pixとの間に接続されている。第2のHDRトランジスタ432bのゲート端子が、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>を受け取るように接続されている。動作中、第2の高ダイナミックレンジ制御信号HDR<1>が生成されると、第2のHDRトランジスタ432bがアクティベートされ、電荷が第2のフォトセンサ420bから排出可能となる。
第2の転送トランジスタ406bが、第2のフォトセンサ320bと、共有された第1のフローティング拡散領域FD1との間に接続され、第2の転送ゲート制御信号TX<1>によって制御可能である。第2の転送ゲート制御信号TX<1>が生成されると、第2の転送トランジスタ406bがアクティベートされ、第2のフォトセンサ420bからの電荷が第1のフローティング拡散領域FD1へ流れることが可能になる。
ソースフォロワトランジスタ408のゲートが第1のフローティング拡散領域FD1に接続されている。ソースフォロワトランジスタ408のソース/ドレイン端子がアレイピクセル供給電圧Vaa−pixに接続されている。行選択トランジスタ409が、ソースフォロワトランジスタ408と列ライン411との間に接続されている。
リセットトランジスタ407が、アレイピクセル電源電圧Vaa−pixと第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。キャパシタ436が、リセットトランジスタ407及び第2のフローティング拡散領域FD2を渡って接続されている。DCGトランジスタ434が、第1のフローティング拡散領域FD1と第2のフローティング拡散領域FD2との間に接続されている。DCGトランジスタ434のゲート端子が二重変換利得制御信号DCG<0>に接続されている。
二重変換利得制御信号DCG<0>が生成されると、DCGトランジスタ434がアク
ティベートされ、キャパシタ436の蓄積キャパシタンスCと第2のフローティング拡散領域FD2とが、第1のフローティング拡散領域FD1に接続される。これにより、ピクセル回路400の蓄積能力が第1のフローティング拡散領域FD1の容量を超えて増大し、これは望ましいことであり、従来のピクセルセル100(図1)の漏れの問題が軽減される。すなわち、ピクセル回路400は、第1のフローティング拡散領域FD1の蓄積容量のみに基づく第1の変換利得を含み、これは低い光条件において有利であり、また、第1のフローティング拡散領域FD1及びキャパシタ436の蓄積容量に基づく第2の変換利得を含み、これは明るい光条件において有利である。
図8は、本発明の実施形態のいずれかを利用した例示的なイメージャ700を示している。このイメージャ700は、先に図3〜7について述べたように構成されかつ駆動されるピクセルを備えたピクセルアレイ705を有している。行ラインが、行アドレスデコーダ720に応答して行ドライバ710により選択的にアクティベートされる。列ドライバ760及び列アドレスデコーダ770が、イメージャ700にも含まれている。このイメージャ700は、アドレスデコーダ720、770を制御するタイミング及び制御回路750によって駆動される。この制御回路750は、本発明の一実施形態(例えば図4及び図6)に従い行及び列ドライバ回路710、760をも制御する。
列ドライバ760に関係付けられたサンプルアンドホールド回路761が、選択されたピクセルのためのピクセルリセット信号Vrst及び2つのピクセルイメージ信号Vsig1、Vsig2を読み出し、その後、この選択されたピクセルは、互いに関連したサンプリング動作を行なって、実際のピクセル信号レベル(例えばVrst−Vsig1、Vrst−Vsig2)を得る。これらの互いに関連した信号は、各ピクセル毎に増幅器762によって増幅され、アナログ/デジタルコンバータ775(ADC)によってデジタル化される。このアナログ/デジタルコンバータ775は、デジタル化されたピクセル信号をイメージプロセッサ780へ供給し、そこでデジタルイメージが形成される。これらの信号の両方がデジタル信号に変換されてイメージプロセッサ780へ送られてもよく、或いは、2つの信号のうちの一方のみが変換のために選択されてイメージプロセッサ780へ送られてもよい。
図9は、本発明の(図8に示されたイメージングデバイス700のような)イメージングデバイス1008を含むよう変更された典型的なプロセッサシステムであるシステム1000を示している。このプロセッサシステム1000は、イメージセンサデバイスを含むことの可能なデジタル回路を有するシステムの一例である。限定はされないが、そのようなシステムは、コンピュータシステム、カメラシステム、スキャナ、マシンビジョン、車両ナビゲーション、ビデオフォン、サーベイランスシステム、オートフォーカスシステム、スタートラッカシステム、運動検知システム、画像安定化システム、及びデータ圧縮システム、並びに、イメージャを採用する他のシステムを含むことができる。
システム1000、例えばカメラシステムは、一般に、バス1020を介して入力/出力(I/O)デバイス1006と通信する、マイクロプロセッサのような中央処理ユニット(CPU)1002を備えている。イメージングデバイス1008は、バス1020を介してCPU1002とも通信する。プロセッサベースのシステム1000は、ランダムアクセスメモリ(RAM)1004をも含んでおり、また、フラッシュメモリのようなリムーバブルメモリ1014をも含むことができ、これらもバス1020を介してCPU1002と通信する。イメージングデバイス1008は、単一の集積回路上又はプロセッサとは異なるチップ上に設けられたメモリ記憶装置を伴った、又はそれらを伴わない、CPUのようなプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、又はマイクロプロセッサと組み合わされてもよい。
なお、本発明は、フォトダイオードフォトセンサを参照して説明してきたが、(限定はされないが)フォトゲート、フォトコンダクタ、pinフォトダイオード、並びに、フォトダイオード及びpinフォトダイオードの各種構成のような、イメージングピクセル回路に使用される何らかのタイプのフォトセンサが利用されてもよい、と認識されるべきである。
上述したプロセス及びデバイスは、使用及び製造可能な多くの中から好ましい方法及び典型的なデバイスを示したものである。上述した説明及び図面は、本発明の目的、構成、及び効果を達成する実施形態を示している。しかし、本発明は、上述した実施形態に厳密に限定されることを意図するものではない。今は予測できないが、特許請求の範囲に記載された精神及び範囲内での何らかの変更も、本発明の一部である、と考えられるべきである。
従来のCMOSイメージャピクセルセルを示す図である。 図1に示されたCMOSイメージャピクセルセルの断面図である。 本発明の一実施形態に従って構成された例示的なCMOSイメージャピクセルセルを示す図である。 図3に示されたピクセルセルの例示的動作を示すタイミング図である。 本発明の一実施形態に従って構成された、例示的な4方向共有のCMOSイメージャピクセル回路を示す図である。 図5に示されたピクセル回路の例示的な動作を示すタイミング図である。 本発明の一実施形態に従って構成された、例示的な2方向共有のCMOSイメージャピクセル回路を示す図である。 本発明の一実施形態に従って構成されたイメージャを示す図である。 本発明の一実施形態に従って構成された少なくとも1つのイメージャを含むプロセッサシステムを示す図である。

Claims (38)

  1. イメージャデバイスの駆動方法であって、
    第1の拡散領域を、第2の拡散領域を介してリセットすることと、
    前記リセットされた第1の拡散領域を示す第1の信号を出力することと、
    光生成電荷を前記第1の拡散領域に蓄積することと、
    前記蓄積された光生成電荷を示す第2の信号を出力することと、
    を備える方法。
  2. 前記蓄積された光生成電荷を前記第2の拡散領域へ転送するステップと、
    追加の光生成電荷を前記第1の拡散領域に蓄積するステップと、
    前記蓄積された追加の光生成電荷を示す第3の信号を出力するステップと、
    を更に備える請求項1記載の方法。
  3. 前記第1、第2、及び第3の信号をサンプルアンドホールドするステップと、
    前記サンプルアンドホールドされた第1、第2、及び第3の信号を用いて、互いに関連する出力値を得るステップと、
    を更に備える請求項2記載の方法。
  4. 前記蓄積された光生成電荷を前記第2の拡散領域へ転送する前記ステップは、
    二重変換利得素子をアクティベートするステップと、
    前記転送された前記蓄積された光生成電荷を蓄積素子に蓄積するステップと、
    を更に備える請求項2記載の方法。
  5. 前記蓄積された光生成電荷を前記第2の拡散領域へ転送する前記ステップは、
    前記蓄積された光生成電荷が所定のレベルを超えたかどうかを決定することと、
    前記蓄積された光生成電荷が前記所定のレベルを超えた場合、二重変換利得素子をアクティベートし、前記転送された前記蓄積された光生成電荷を蓄積素子に蓄積することと、
    を更に備える請求項2記載の方法。
  6. 光生成電荷を蓄積する前記ステップは、該電荷を感光素子から転送素子を介して前記第1の拡散領域へ転送するステップを備える請求項2記載の方法。
  7. 追加の光生成電荷を蓄積する前記ステップは、該追加の光生成電荷を前記感光素子から前記転送素子を介して前記第1の拡散領域へ転送するステップを備える請求項6記載の方法。
  8. 過剰な電荷を前記感光デバイスから排出するステップを更に備える請求項6記載の方法。
  9. 共有されたピクセルセルのアレイを備えるイメージャデバイスの駆動方法であって、
    第1の共有された拡散領域を、第2の共有された拡散領域に接続された二重変換利得素子を介してリセットするステップと、
    前記リセットされた第1の共有された拡散領域を示す第1の信号を出力するステップと、
    第1のピクセルセルからの第1の光生成電荷を前記第1の共有された拡散領域に蓄積するステップと、
    前記蓄積された第1の光生成電荷を示す第2の信号を出力するステップと、
    前記蓄積された第1の光生成電荷を前記第2の共有された拡散領域へ転送するステップと、
    追加の第1の光生成電荷を前記第1の共有された拡散領域に蓄積するステップと、
    前記蓄積された追加の第1の光生成電荷を示す第3の信号を出力するステップと、
    を備える方法。
  10. 第2のピクセルセルからの第2の光生成電荷を前記第1の共有された拡散領域に蓄積するステップと、
    前記蓄積された第2の光生成電荷を示す第4の信号を出力するステップと、
    前記蓄積された第2の光生成電荷を前記第2の共有された拡散領域へ転送するステップと、
    追加の第2の光生成電荷を前記第1の拡散領域に蓄積するステップと、
    前記蓄積された追加の第2の光生成電荷を示す第5の信号を出力するステップと、
    を更に備える請求項9記載の方法。
  11. 前記第1、第2、及び第3の信号をサンプルアンドホールドするステップと、
    前記サンプルアンドホールドされた第1、第2、及び第3の信号を用いて、互いに関連する出力値を得るステップと、
    を更に備える請求項10記載の方法。
  12. 前記第1、第2、第3、第4、及び第5の信号をサンプルアンドホールドするステップと、
    前記サンプルアンドホールドされた第1、第2、及び第3の信号を用いて、互いに関連する第1の出力値を得るステップと、
    前記サンプルアンドホールドされた第1、第4、及び第5の信号を用いて、互いに関連する第2の出力値を得るステップと、
    を更に備える請求項10記載の方法。
  13. 前記第1の共有された拡散領域をリセットする前記ステップから、第5の信号を出力する前記ステップまでを、共有されたピクセルにおける次の行のために繰り返すステップを更に備える請求項10記載の方法。
  14. 前記蓄積された第1の光生成電荷を前記第2の拡散領域へ転送する前記ステップは、
    前記二重変換利得素子をアクティベートすることと、
    前記転送された前記蓄積された第1の光生成電荷を蓄積素子に蓄積するステップと、
    を更に備える請求項9記載の方法。
  15. 前記蓄積された第1の光生成電荷を前記第2の拡散領域へ転送する前記ステップは、
    前記蓄積された第1の光生成電荷が所定のレベルを超えたかどうかを決定することと、
    前記蓄積された光生成電荷が前記所定のレベルを超えた場合、前記二重変換利得素子をアクティベートし、前記転送された前記蓄積された第1の光生成電荷を蓄積素子に蓄積することと、
    を更に備える請求項9記載の方法。
  16. 過剰の電荷を前記第1のピクセルの前記感光デバイスから排出するステップを更に備える請求項15記載の方法。
  17. イメージャデバイスの駆動方法であって、
    第1の拡散領域を、二重変換利得素子を介してリセットすることと、
    前記リセットされた第1の拡散領域を示す第1の信号を出力することと、
    光生成電荷を前記第1の拡散領域に蓄積することと、
    蓄積された光生成電荷が第2の拡散領域へ漏れるのを可能にすることと、
    追加の光生成電荷を前記第1の拡散領域に蓄積することと、
    前記蓄積された追加の光生成電荷を示す第2の信号を出力することと、
    を備える方法。
  18. 前記第1及び第2の信号をサンプルアンドホールドするステップと、
    前記サンプルアンドホールドされた第1及び第2の信号を用いて、互いに関連する出力値を得るステップと、
    を更に備える請求項17記載の方法。
  19. 過剰の電荷を感光デバイスから排出するステップを更に備える請求項17記載の方法。
  20. 前記二重変換利得素子をアクティベートするステップと、
    前記漏れた光生成電荷を蓄積素子に蓄積するステップと、
    を更に備える請求項17記載の方法。
  21. 光生成電荷を蓄積する前記ステップは、該電荷を感光素子から転送素子を介して前記第1の拡散領域へ転送するステップを備える請求項17記載の方法。
  22. 追加の光生成電荷を蓄積する前記ステップは、該追加の光生成電荷を前記感光素子から前記転送素子を介して前記第1の拡散領域へ転送するステップを備える請求項21記載の方法。
  23. 第1の感光素子と、
    前記第1の感光素子と第1の拡散領域との間に接続され、光生成電荷を前記第1の感光素子から前記第1の拡散領域へ転送する第1の転送トランジスタと、
    前記第1の拡散領域と第2の拡散領域との間に接続され、アクティベートされた場合に前記第1の拡散領域を前記第2の拡散領域に接続する二重変換利得素子と、
    リセット電圧と前記第2の拡散領域との間に接続されたリセット素子と、
    前記リセット素子を渡って接続された電荷蓄積素子と、を備え、
    前記第1の拡散領域は前記リセット及び二重変換利得素子をアクティベートすることによりリセットされる、イメージングデバイス。
  24. 前記リセット及び二重変換利得素子はトランジスタを備える請求項23記載のイメージングデバイス。
  25. 電圧源と前記第1の感光素子との間に接続された高ダイナミックレンジ素子を更に備える請求項23記載のイメージングデバイス。
  26. 前記高ダイナミックレンジ素子がアクティベートされて、電荷を前記第1の感光素子から排出する請求項25記載のイメージングデバイス。
  27. 第2の感光素子と、
    前記第2の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第2の転送トランジスタと、
    を更に備える請求項23記載のイメージングデバイス。
  28. 第2の感光素子と、
    前記第2の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第2の転送トランジスタと、
    第3の感光素子と、
    前記第3の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第3の転送トランジスタと、
    第4の感光素子と、
    前記第4の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第4の転送トランジスタと、
    を更に備える請求項23記載のイメージングデバイス。
  29. 前記電荷蓄積素子は、前記二重変換利得素子がアクティベートされた場合に前記第1の拡散領域の変換利得を増大させるキャパシタである請求項23記載のイメージングデバイス。
  30. 前記電荷蓄積素子は、前記二重変換利得素子がアクティベートされた場合に前記第1の拡散領域からの電荷を蓄積するキャパシタである請求項23記載のイメージングデバイス。
  31. プロセッサと、
    前記プロセッサに接続されたイメージングデバイスと、を備え、
    前記イメージングデバイスは、
    第1の感光素子と、
    前記第1の感光素子と第1の拡散領域との間に接続され、光生成電荷を前記第1の感光素子から前記第1の拡散領域へ転送する第1の転送トランジスタと、
    前記第1の拡散領域と第2の拡散領域との間に接続され、アクティベートされた場合に前記第1の拡散領域を前記第2の拡散領域に接続する二重変換利得素子と、
    リセット電圧と前記第2の拡散領域との間に接続されたリセット素子と、
    前記リセット素子を渡って接続された電荷蓄積素子と、を備え、
    前記第1の拡散領域は前記リセット及び二重変換利得素子をアクティベートすることによりリセットされる、イメージャシステム。
  32. 前記リセット及び二重変換利得素子はトランジスタからなる請求項31記載のシステム。
  33. 前記イメージングデバイスは、電圧源と前記第1の感光素子との間に接続された高ダイナミックレンジ素子を更に備える請求項31記載のシステム。
  34. 前記高ダイナミックレンジ素子がアクティベートされて、電荷を前記第1の感光素子から排出する請求項33記載のシステム。
  35. 前記イメージングデバイスは、
    第2の感光素子と、
    前記第2の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第2の転送トランジスタと、
    を更に備える請求項31記載のシステム。
  36. 前記イメージングデバイスは、
    第2の感光素子と、
    前記第2の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第2の転送トランジスタと、
    第3の感光素子と、
    前記第3の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第3の転送トランジスタと、
    第4の感光素子と、
    前記第4の感光素子と前記第1の拡散領域との間に接続された第4の転送トランジスタと、
    を更に備える請求項31記載のシステム。
  37. 前記電荷蓄積素子は、前記二重変換利得素子がアクティベートされた場合に前記第1の拡散領域の変換利得を増大させるキャパシタである請求項31記載のシステム。
  38. 前記電荷蓄積素子は、前記二重変換利得素子がアクティベートされた場合に前記第1の拡散領域からの電荷を蓄積するキャパシタである請求項37記載のシステム。
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