JP2009503504A - シート状ガラスを測定するための装置及び方法 - Google Patents
シート状ガラスを測定するための装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009503504A JP2009503504A JP2008523933A JP2008523933A JP2009503504A JP 2009503504 A JP2009503504 A JP 2009503504A JP 2008523933 A JP2008523933 A JP 2008523933A JP 2008523933 A JP2008523933 A JP 2008523933A JP 2009503504 A JP2009503504 A JP 2009503504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- sheet material
- base
- bearing
- sheet glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C5/00—Measuring height; Measuring distances transverse to line of sight; Levelling between separated points; Surveyors' levels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/045—Ball or roller bearings having rolling elements journaled in one of the moving parts
- F16C29/046—Ball or roller bearings having rolling elements journaled in one of the moving parts with balls journaled in pockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
12 球形部材(ベアリング、支持部材)
32 センサ
38 シート状ガラス(シート材)
A1、A2 単位セル
Claims (10)
- 略平面状のシート材の少なくとも1つの属性を測定するために、前記シート材を支持する装置であって、
ベースと、
前記ベース上に配置された複数の支持部材であって、前記略平面状のシート材と前記複数の支持部材のいずれの支持部材との接触も点接触のみであるよう各支持部材が構成された前記複数の支持部材と
を備えることを特徴とする装置。 - 前記略平面状のシート材の反りを測定するための、前記支持部材の上方に配置された手段を更に備えることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記ベースが、該ベースの上面上のいずれの点においても平面からのずれが未満15μmである前記上面を更に備えることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 複数の前記点接触間のピッチが10cm未満であることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記支持部材間の位置関係を維持するために前記支持部材と接触する支持部材拘束装置を更に備えることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記拘束装置が、前記支持部材を受容するための少なくとも1つの開口部を備えることを特徴とする請求項5記載の装置。
- 前記拘束装置が複数の開口部を備えることを特徴とする請求項6記載の装置。
- 前記複数の支持部材が、複数の単位セルの繰り返しパターンで配置されることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 略平面状のシート材の反りを測定する方法であって、
前記略平面状のシート材と複数の支持部材のいずれの支持部材との接触も点接触のみであるよう各支持部材が構成された前記複数の支持部材上に、前記略平面状のシート材を配置する工程と、
前記シート材上の複数の位置において、センサから前記シート材の上面までの距離を測定する工程と、
前記測定された距離を用いて前記シート材の反りを決定する工程と
を備えることを特徴とする方法。 - 前記センサの移動を較正する工程を更に備え、該較正する工程が、
a)較正平面を前記支持部材の第1の単位セルと接触させて配置する工程と、
b)前記センサから前記較正平面までの距離を測定する工程と、
c)前記較正平面を第2の単位セル上に配置する工程と、
d)上記a)〜c)の工程を繰り返す工程と
を備えることを特徴とする請求項9記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US70332305P | 2005-07-27 | 2005-07-27 | |
US60/703,323 | 2005-07-27 | ||
PCT/US2006/027492 WO2007015772A2 (en) | 2005-07-27 | 2006-07-13 | Apparatus and method for measuring a glass sheet |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013247179A Division JP5676726B2 (ja) | 2005-07-27 | 2013-11-29 | ガラスシートを測定するための装置及び方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009503504A true JP2009503504A (ja) | 2009-01-29 |
JP2009503504A5 JP2009503504A5 (ja) | 2009-09-03 |
JP5469340B2 JP5469340B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=37709041
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008523933A Active JP5469340B2 (ja) | 2005-07-27 | 2006-07-13 | シート状ガラスを測定するための装置及び方法 |
JP2013247179A Expired - Fee Related JP5676726B2 (ja) | 2005-07-27 | 2013-11-29 | ガラスシートを測定するための装置及び方法 |
JP2014228754A Expired - Fee Related JP6169063B2 (ja) | 2005-07-27 | 2014-11-11 | ガラスシートを測定するための方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013247179A Expired - Fee Related JP5676726B2 (ja) | 2005-07-27 | 2013-11-29 | ガラスシートを測定するための装置及び方法 |
JP2014228754A Expired - Fee Related JP6169063B2 (ja) | 2005-07-27 | 2014-11-11 | ガラスシートを測定するための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1907791A4 (ja) |
JP (3) | JP5469340B2 (ja) |
KR (1) | KR101294450B1 (ja) |
CN (1) | CN101268356B (ja) |
TW (1) | TWI300838B (ja) |
WO (1) | WO2007015772A2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102721356A (zh) * | 2012-06-12 | 2012-10-10 | 无锡市麦希恩机械制造有限公司 | 汽车玻璃天窗检具结构 |
JP2014066721A (ja) * | 2005-07-27 | 2014-04-17 | Corning Inc | ガラスシートを測定するための装置及び方法 |
JP2015014608A (ja) * | 2007-11-30 | 2015-01-22 | コーニング インコーポレイテッド | 動いている基板の形状変化を検出する方法および装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103418644B (zh) * | 2013-09-02 | 2015-02-18 | 苏州赛斯德工程设备有限公司 | 一种具有辅助定位治具的折弯机 |
WO2015077113A1 (en) * | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Corning Incorporated | Methods for determining a shape of a substantially cylindrical specular reflective surface |
CN103673915A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-03-26 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 触摸屏保护玻璃翘曲度快速测量装置 |
CN104006769B (zh) * | 2014-05-13 | 2017-01-18 | 苏州金牛精密机械有限公司 | 一种用于检测翘片管平面度的治具 |
CN104310032A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-28 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃测量系统的输送装置 |
CN105783794B (zh) * | 2016-03-22 | 2019-03-15 | 阳谷祥光铜业有限公司 | 一种平面检测方法及设备 |
CN105806247A (zh) * | 2016-05-23 | 2016-07-27 | 南京林业大学 | 一种木质板材翘曲的在线检测装置和检测方法 |
CN109737881A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-05-10 | 李兆祥 | 一种齿轮监测设备 |
CN112595281B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-09-27 | 域鑫科技(惠州)有限公司 | 一种工件的面轮廓度快速测量方法及介质 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6310409U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | ||
JPH1070179A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Canon Inc | 基板保持装置およびこれを用いた露光装置 |
JP2000065506A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ngk Insulators Ltd | 厚さ測定用治具 |
JP2001041712A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 被測定体の支持装置およびその製造方法 |
JP2004087593A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Nikon Corp | ステージ装置および露光装置 |
JP2004303923A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Shimadzu Corp | 基板アライメント機構、及びそれを用いた基板検査装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1277576A (en) * | 1968-06-27 | 1972-06-14 | Ernest James Price | Conveyors or supports |
JPS60146807U (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | 河口湖精密株式会社 | デジタルノギスの防塵構造 |
US5291269A (en) * | 1991-12-06 | 1994-03-01 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology on a thin film layer having shape deformations and local slope variations |
JPH06331339A (ja) * | 1993-05-21 | 1994-12-02 | Hitachi Cable Ltd | 薄板の変形測定方法及びその装置 |
JP2991932B2 (ja) * | 1994-07-12 | 1999-12-20 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼板の平坦度測定方法 |
JPH08166226A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Casio Comput Co Ltd | 平面度測定装置およびそれを用いた平面度測定方法 |
JPH11351857A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
US6608689B1 (en) * | 1998-08-31 | 2003-08-19 | Therma-Wave, Inc. | Combination thin-film stress and thickness measurement device |
JP2000314613A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-14 | Kobe Steel Ltd | 表面形状測定装置 |
DE60039491D1 (de) * | 1999-08-31 | 2008-08-28 | Nxp Bv | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des verziehens einer halbleiterscheibe |
JP2001332609A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-11-30 | Nikon Corp | 基板保持装置及び露光装置 |
JP2001330430A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Daido Steel Co Ltd | 平面度測定方法および平面度測定装置 |
US20020036774A1 (en) * | 2000-08-08 | 2002-03-28 | Emil Kamieniecki | Apparatus and method for handling and testing of wafers |
US7131211B2 (en) * | 2003-08-18 | 2006-11-07 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for measurement of thickness and warpage of substrates |
US7225665B2 (en) * | 2005-07-27 | 2007-06-05 | Corning Incorporated | Process and apparatus for measuring the shape of an article |
KR101294450B1 (ko) * | 2005-07-27 | 2013-08-07 | 코닝 인코포레이티드 | 유리시트를 측정하기 위한 장치 및 방법 |
-
2006
- 2006-07-13 KR KR1020087004569A patent/KR101294450B1/ko active IP Right Grant
- 2006-07-13 EP EP06787404A patent/EP1907791A4/en not_active Withdrawn
- 2006-07-13 WO PCT/US2006/027492 patent/WO2007015772A2/en active Application Filing
- 2006-07-13 CN CN200680034661XA patent/CN101268356B/zh active Active
- 2006-07-13 JP JP2008523933A patent/JP5469340B2/ja active Active
- 2006-07-25 TW TW095127223A patent/TWI300838B/zh not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-11-29 JP JP2013247179A patent/JP5676726B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-11-11 JP JP2014228754A patent/JP6169063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6310409U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | ||
JPH1070179A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Canon Inc | 基板保持装置およびこれを用いた露光装置 |
JP2000065506A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ngk Insulators Ltd | 厚さ測定用治具 |
JP2001041712A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 被測定体の支持装置およびその製造方法 |
JP2004087593A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Nikon Corp | ステージ装置および露光装置 |
JP2004303923A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Shimadzu Corp | 基板アライメント機構、及びそれを用いた基板検査装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014066721A (ja) * | 2005-07-27 | 2014-04-17 | Corning Inc | ガラスシートを測定するための装置及び方法 |
JP2015062023A (ja) * | 2005-07-27 | 2015-04-02 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートを測定するための方法 |
JP2015014608A (ja) * | 2007-11-30 | 2015-01-22 | コーニング インコーポレイテッド | 動いている基板の形状変化を検出する方法および装置 |
CN102721356A (zh) * | 2012-06-12 | 2012-10-10 | 无锡市麦希恩机械制造有限公司 | 汽车玻璃天窗检具结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007015772A2 (en) | 2007-02-08 |
TWI300838B (en) | 2008-09-11 |
JP6169063B2 (ja) | 2017-07-26 |
JP2015062023A (ja) | 2015-04-02 |
CN101268356A (zh) | 2008-09-17 |
TW200722705A (en) | 2007-06-16 |
CN101268356B (zh) | 2012-07-25 |
EP1907791A4 (en) | 2009-12-23 |
JP2014066721A (ja) | 2014-04-17 |
JP5469340B2 (ja) | 2014-04-16 |
KR20080036118A (ko) | 2008-04-24 |
JP5676726B2 (ja) | 2015-02-25 |
KR101294450B1 (ko) | 2013-08-07 |
EP1907791A2 (en) | 2008-04-09 |
WO2007015772A3 (en) | 2007-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6169063B2 (ja) | ガラスシートを測定するための方法 | |
TW528881B (en) | Position measuring apparatus | |
JP7384242B2 (ja) | 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2007178819A (ja) | 支持機構及び支持機構を使ったマスクステージ | |
CN214149172U (zh) | 晶圆测量装置 | |
WO2018062500A1 (ja) | 移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法 | |
WO2018062491A1 (ja) | 移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法 | |
GB2587498A (en) | Inspection apparatus and methods for precision vibration-isolation tabletops | |
EP2647900B1 (en) | Mount for a calibration standard | |
WO2017057589A1 (ja) | 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに物体の移動方法 | |
JP4449299B2 (ja) | 基板ホルダ、基板トレイ、ステージ装置、露光装置 | |
JP3532642B2 (ja) | ウェーハその他の薄層体の表面形状測定方法及び装置 | |
JP4251546B2 (ja) | 薄板の水平保持装置 | |
JP2014077743A (ja) | 板状部材の反り測定装置及びこれを用いた測定方法 | |
JP7267541B2 (ja) | 産業用ロボットの調整方法および測定用器具 | |
US6242926B1 (en) | Method and apparatus for moving an article relative to and between a pair of thickness measuring probes to develop a thickness map for the article | |
JP5849377B2 (ja) | 裏返し法による形状測定方法及び装置 | |
JP4218916B2 (ja) | 被測定体の支持装置の製造方法 | |
CN109443223A (zh) | 一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置 | |
JP2007327812A (ja) | 直径測定方法,直径測定装置 | |
JP2004028644A (ja) | ガラス製平面調整テーブル | |
JPH05332761A (ja) | パターン位置測定装置 | |
JPH1124236A (ja) | フォトマスク、フォトマスク支持装置及びフォトマスク支持方法 | |
JP2007142293A (ja) | 基板検査装置 | |
JP2013228221A (ja) | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090713 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120724 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121018 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5469340 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |