CN109443223A - 一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置，涉及玻璃基板制造技术领域。玻璃基板翘曲度测量基台用于承载待测量的玻璃基板，所述玻璃基板翘曲度测量基台包括基座、测试台、限位板和滚珠；所述测试台安装在所述基座上，所述基座用于支撑所述测试台，所述限位板平铺在所述测试台上，所述限位板上开设有多个圆孔，每个所述圆孔内设置一颗所述滚珠，所述圆孔的深度小于所述滚珠的直径，所述滚珠用于支撑玻璃基板。玻璃基板翘曲度测量基台能够配合激光测试头对玻璃基板的横向和竖向均可连续等距扫描采数，扫描步距可动态调整，测量方法简单可靠、测量结果准确度高，且设备加工难度小、设备易于维护。

Description

一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置

技术领域

本发明涉及玻璃基板制造技术领域，具体而言，涉及一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置。

背景技术

玻璃基板的翘曲度是指玻璃基板在经过退火点时，由于同一片玻璃中存在较大的温度差，玻璃板受到机械外力而造成局部区域较大面积的弯曲度。如果玻璃基板的翘曲度过大，在LCD器件制造过程中，会造成玻璃基板与底片吸附不紧，对压盒工艺产生影响，并造成光刻图形边缘不齐，分辨率下降，不利于面板厂家进行大面积封装。

玻璃基板在不断向大尺寸和薄型化发展，对测量翘曲度的设备的可靠性和准确性提出了更高要求，因此，如何准确测量玻璃基板的翘曲位置和翘曲度，并针对性进行成型和退火的温度调整，是玻璃基板成型工艺控制的关键。

在现有翘曲度的测量方法中，玻璃基板水平放置于有数道开槽的大理石台面上，槽棱对玻璃基板起到固定支撑作用，槽孔可以避免玻璃基板和支撑台面之间夹杂空气对玻璃基板局部翘曲度的影响。由于大理石本身材质的原因，机械开槽难度较大，槽棱易发生崩边、掉角等问题，将会严重影响玻璃基板的支撑效果，并对激光扫描采数的准确性造成影响。

另外，由于玻璃基板与支撑机构属于面接触，棱面在加工中的缺陷、使用中的磨损变形、玻璃粉或灰尘等，均可造成玻璃基板局部发生机械变形，影响玻璃基板翘曲度的测量结果，不能对成型工艺提供客观准确的数据，加之在翘曲度测量时，测量激光头只能在顺着开槽的方向实现连续扫描采数，但在与开槽呈90°的方向上无法连续扫描，即对玻璃基板来说，只能保证在流向或非流向一个方向上连续扫描采数，无法满足用户对玻璃基板品质越来越高的要求。

发明内容

本发明实施例提供一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置，其能够配合激光测试头对玻璃基板的横向和竖向均可连续等距扫描采数，扫描步距可动态调整，测量方法简单可靠、测量结果准确度高，且设备加工难度小、设备易于维护。

本发明实施例提供的第一种技术方案：

一种玻璃基板翘曲度测量基台，用于承载待测量的玻璃基板，所述玻璃基板翘曲度测量基台包括基座、测试台、限位板和滚珠；

所述测试台安装在所述基座上，所述基座用于支撑所述测试台，所述限位板平铺在所述测试台上，所述限位板上开设有多个圆孔，每个所述圆孔内设置一颗所述滚珠，所述圆孔的深度小于所述滚珠的直径，所述滚珠用于支撑玻璃基板。

进一步地，所述圆孔的直径小于或等于所述滚珠的直径。

进一步地，所述圆孔的底面为弧面形状。

进一步地，所述圆孔在所述限位板上呈矩阵形式排布。

进一步地，所述圆孔之间的横向间距与所述圆孔之间的竖向间距相等。

进一步地，所述滚珠的材质为不锈钢或陶瓷。

进一步地，所述基座为长方体形状，所述测试台为长方体形状。

本发明实施例提供的第二种技术方案：

一种玻璃基板翘曲度测量装置包括激光测试头、支座和第一种技术方案所述的玻璃基板翘曲度测量基台，所述支座安装在所述玻璃基板翘曲度测量基台的上方，所述激光测试头安装在所述支座上，所述激光测试头用于采集玻璃基板表面的平面数据。

进一步地，所述玻璃基板翘曲度测量装置还包括导轨，所述导轨安装在所述玻璃基板翘曲度测量基台的上方，所述支座安装在所述导轨上，所述支座可在所述导轨上移动。

进一步地，所述玻璃基板翘曲度测量装置还包括计算机，所述激光测试头与所述计算机通信连接，所述激光测试头将采集的平面数据发送给所述计算机，所述计算机根据平面数据进行程序化技术得到玻璃基板的翘曲度和三维画面。

本发明实施例提供的玻璃基板翘曲度测量基台和装置的有益效果是：

采用滚珠支撑玻璃基板，有效实现玻璃基板与支撑结构点接触。滚珠设置在限位板的圆孔内，避免滚珠的位置发生偏移，在测量玻璃基板的翘曲度时，激光测试头能够在玻璃基板的横向和竖向连续等距扫描采数，扫描步距可动态调整，测量方法简单可靠、测量结果准确度高，且设备加工难度小、设备易于维护，可较好地满足高世代、大尺寸、薄型化的玻璃基板的翘曲度的测量需要。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的玻璃基板翘曲度测量装置的结构示意图。

图2为滚珠支撑玻璃基板的结构示意图。

图标：1-玻璃基板翘曲度测量装置；2-激光测试头；3-支座；4-玻璃基板翘曲度测量基台；5-基座；6-测试台；7-限位板；8-滚珠；9-玻璃基板。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1和图2，本实施例提供了一种玻璃基板翘曲度测量装置1，玻璃基板翘曲度测量装置1包括激光测试头2、支座3、导轨、计算机和玻璃基板翘曲度测量基台4。

玻璃基板翘曲度测量基台4用于承载待测量的玻璃基板9。这里的玻璃基板9还可以代表盖板玻璃或各类平板玻璃。导轨安装在玻璃基板翘曲度测量基台4的上方，支座3安装在导轨上，支座3可在导轨上移动。激光测试头2安装在支座3上，激光测试头2用于采集玻璃基板9表面的平面数据，激光测试头2的扫描步距可动态调整。

激光测试头2与计算机通信连接，激光测试头2将采集的平面数据发送给计算机，计算机根据平面数据进行程序化计算得到玻璃基板9的翘曲度和三维画面，为技术人员分析对策提供准确可靠的依据。

具体的，玻璃基板翘曲度测量基台4包括基座5、测试台6、限位板7和滚珠8。基座5用于支撑在地面上。基座5的形状可以有多种选择，本实施例中，基座5为长方体形状。测试台6安装在基座5上，基座5用于支撑测试台6。测试台6的形状可以有多种选择，本实施例中，测试台6为长方体形状。

限位板7平铺在测试台6上，限位板7上开设有多个圆孔，每个圆孔内设置一颗滚珠8，圆孔有限定滚珠8位置偏移的作用。圆孔的深度小于滚珠8的直径，滚珠8用于支撑玻璃基板9。滚珠8与玻璃基板9之间的接触形式为点接触，可有效避免玻璃基板9和支撑结构之间夹杂空气、以及支撑台面本身加工缺陷、使用中磨损变形、玻璃粉或灰尘残留等，造成玻璃基板9局部机械变形，进而对翘曲度测量结果的误导和影响。

圆孔在限位板7上呈矩阵形式排布。圆孔在横向和纵向上等间距排布，每个圆孔内设置一个滚珠8，滚珠8同样在横向和纵向上等间距排布，起到对玻璃基板9点接触地支撑作用。激光测试头2在玻璃基板9的横向和纵向均可连续等距扫描采数。优选地，圆孔之间的横向间距与圆孔之间的竖向间距相等。圆孔的底面为弧面形状，滚珠8能够更加稳定地设置在圆孔内。

可以理解的是，圆孔之间的间距或者说滚珠8之间的中心距还可以有其他设置方式，主要根据玻璃基板9的厚度和测量步距等要求设定。

圆孔的直径小于或等于滚珠8的直径。滚珠8为一种高精度、硬度大、耐磨损的球体，滚珠8的材质包括但不限于不锈钢或陶瓷。

玻璃基板翘曲度测量装置1的工作过程：

在测量玻璃基板9的翘曲度时，将玻璃基板9水平放置于滚珠8组成的支撑面上。激光测试头2按照设定的程序，在玻璃基板9的有效测量范围内进行横向和竖向扫描采数，测量完成后回到起始原点。激光测试头2采集到的数据即时传输给计算机，并通过程序计算，得到玻璃基板9的整板翘曲度数据和三维画面，为技术人员分析对策提供准确可靠的依据。

本实施例提供的玻璃基板翘曲度测量基台4和装置的有益效果是：

采用滚珠8支撑玻璃基板9，有效实现玻璃基板9与支撑结构点接触。滚珠8设置在限位板7的圆孔内，避免滚珠8的位置发生偏移，在测量玻璃基板9的翘曲度时，激光测试头2能够在玻璃基板9的横向和竖向连续等距扫描采数，扫描步距可动态调整，测量方法简单可靠、测量结果准确度高，且设备加工难度小、设备易于维护，可较好地满足高世代、大尺寸、薄型化的玻璃基板9的翘曲度的测量需要。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种玻璃基板翘曲度测量基台，用于承载待测量的玻璃基板(9)，其特征在于，所述玻璃基板翘曲度测量基台包括基座(5)、测试台(6)、限位板(7)和滚珠(8)；

所述测试台(6)安装在所述基座(5)上，所述基座(5)用于支撑所述测试台(6)，所述限位板(7)平铺在所述测试台(6)上，所述限位板(7)上开设有多个圆孔，每个所述圆孔内设置一颗所述滚珠(8)，所述圆孔的深度小于所述滚珠(8)的直径，所述滚珠(8)用于支撑玻璃基板(9)。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述圆孔的直径小于或等于所述滚珠(8)的直径。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述圆孔的底面为弧面形状。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述圆孔在所述限位板(7)上呈矩阵形式排布。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述圆孔之间的横向间距与所述圆孔之间的竖向间距相等。

6.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述滚珠(8)的材质为不锈钢或陶瓷。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，其特征在于，所述基座(5)为长方体形状，所述测试台(6)为长方体形状。

8.一种玻璃基板翘曲度测量装置，其特征在于，所述玻璃基板翘曲度测量装置包括激光测试头(2)、支座(3)和权利要求1所述的玻璃基板翘曲度测量基台，所述支座(3)安装在所述玻璃基板翘曲度测量基台的上方，所述激光测试头(2)安装在所述支座(3)上，所述激光测试头(2)用于采集玻璃基板(9)表面的平面数据。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板翘曲度测量装置，其特征在于，所述玻璃基板翘曲度测量装置还包括导轨，所述导轨安装在所述玻璃基板翘曲度测量基台的上方，所述支座(3)安装在所述导轨上，所述支座(3)可在所述导轨上移动。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板翘曲度测量装置，其特征在于，所述玻璃基板翘曲度测量装置还包括计算机，所述激光测试头(2)与所述计算机通信连接，所述激光测试头(2)将采集的平面数据发送给所述计算机，所述计算机根据平面数据进行程序化技术得到玻璃基板(9)的翘曲度和三维画面。