CN207248105U - 平面度及厚度检测装置 - Google Patents

Abstract

一种平面度及厚度检测装置，包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构，所述承载架用于承载待测件，所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离，所述测量机构包括两组测量件，所述两组测量件安装在所述承载平台上，且位于所述承载架的两侧，分别对应待测件的上下表面，每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。

Description

平面度及厚度检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种平面度及厚度检测装置。

背景技术

传统的玻璃平面度及厚度检测技术是在玻璃上方或下方采用激光传感器检测玻璃，通过光面玻璃单个表面的反射，测量出第一个表面的平面度，通过修正玻璃折射系数求出玻璃厚度和第二平面的平面度。然而，这样的检测方式需要用到材质折射率，测量不同材质玻璃时需要调整修正系数，机种切换不方便。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要提供一种方便测量不同材质玻璃的平面度及厚度检测装置。

一种平面度及厚度检测装置，包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构，所述承载架用于承载待测件，所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离，所述承载架包括承载板，所述测量机构包括两组测量件，所述两组测量件安装在所述承载平台上，且位于所述承载板的两侧，分别对应待测件的上下表面，每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。

进一步地，所述两组测量件测量的上下表面间任意待测点之间的连线与所述承载板均不垂直。

进一步地，所述平面度及厚度检测装置还包括移动机构，所述移动机构安装在所述承载平台上，用于移动所述测量机构。

进一步地，所述移动机构包括X轴滑动组件，用于驱使所述测量机构沿X轴方向移动，所述X轴滑动组件包括直线导轨、滚珠丝杠、电机及滑板，所述直线导轨及所述滚珠丝杠安装在所述承载平台上，所述电机固定在所述滚珠丝杠的螺杆一端，所述滑板滑动装设在所述直线导轨及所述滚珠丝杠上。

进一步地，所述Y轴滑动组件包括固定在所述滑板上的底座、装设在所述底座上的导轨、与所述导轨滑动安装的导板、固定在所述导板上的立柱及两上下安装在所述立柱之间的安装板，所述安装板用于安装所述测量机构，且分别位于所述承载板的上下两侧。

进一步地，所述Y轴滑动组件还包括安装在所述底座外侧的Y轴微调件，所述Y轴微调件用于对所述安装板相对所述底座在Y方向上的位移进行微调。

进一步地，所述Z轴滑动组件分别安装包括固定架及Z轴微调件，所述固定架包括水平安装在所述安装板上的安装块、大致垂直所述安装块的安装条及装设在所述安装条上的Z轴导轨，所述安装块通过滑块与装设在安装板上的Y轴导轨滑动安装在一起。

进一步地，所述Z轴微调件与一Z轴锁定片安装在所述安装板上，用于对所述测量机构相对所述安装板在Z方向上的位移进行微调。

进一步地，所述安装板上还安装Y向微调件，用于对所述 测量机构相对所述安装板在Y方向上的位移进行微调。

进一步地，所述测量件为激光传感器或同轴共焦传感器。

上述平面度及厚度检测装置，在待测件的两面均装设测量件，待测件的每个面仅利用反射光就能测量待测点到测量件的距离，进而获得每个面的平面度及玻璃的厚度，不需要利用折射率，方便测量不同材质待测件的平面度及厚度。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式中平面度及厚度检测装置的立体示意图。

图2为图1所示平面度及厚度检测装置中承载平台与X轴滑动组件的立体示意图。

图3为图1所示平面度及厚度检测装置的一局部示意图。

图4为图3所示平面度及厚度检测装置的另一角度示意图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实 施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中设置的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中设置的元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1，本实用新型的平面度及厚度检测装置100，可对待测件200的平面度及厚度进行检测。在本实施例中，所述待测件200为玻璃。在其他实施例中，所述待测件200为表面可以反光的物件，例如金属镜面等。

本实用新型一实施方式中的平面度及厚度检测装置100包括承载平台10、承载架20、移动机构30及测量机构50。在本实施方式中，承载平台10为机械用花岗岩平台。在其他实施方式中，承载平台10为其他岩类平台，例如大理岩等。

在本实施方式中，承载架20安装在所述承载平台10上，用于承载若干待测件200。所述承载架20包括承载板21及安装在所述承载板21上的若干组限位块23。每组限位块23用以限位待测件200。

请同时参阅图2，所述移动机构30安装在所述承载平台10上，且包括X轴滑动组件31、Y轴滑动组件33及Z轴滑动组件35。

所述X轴滑动组件31包括两直线导轨311、一滚珠丝杠312、一电机313及一滑板315。所述直线导轨311及所述滚珠丝杠312安装在所述承载平台10上。所述滚珠丝杠312位于两所述直线导轨311之间。所述电机313固定在所述滚珠丝杠312的螺杆一端。所述滑板315装设在所述直线导轨311及所述滚珠丝杠312上。所述电机313通电转动，并通过所述滚珠丝杠312带动所述滑板315沿所述直线导轨311滑动。

请同时参阅图3及图4，所述Y轴滑动组件33包括一固定在所述滑板315上的底座331、两装设在所述底座331上的导轨332、一与所述导轨滑动安装的导板335。所述Y轴滑动组件33还包括两固定在所述导板335上的立柱336及两上下安装在所述立柱336之间的安装板337。所述安装板337用于安装所述测量机构50，且分别位于所述承载板21的上下两侧。每一安装板337上安装一Y轴导轨339。所述Y轴滑动组件33还包括一安装在所述底座331外侧的Y轴微调件333。所述Y轴微调件333用于对所述安装板337相对所述底座331在Y方向上的位移进行微调。

所述Z轴滑动组件35分别安装在所述安装板337上。每一Z轴滑动组件35包括若干固定架350及Z轴微调件355。所述固定架350包括水平安装在所述安装板337上的安装块351、大致垂直所述安装块351的安装条352及装设在所述安装条352上的Z轴导轨353。所述安装块351通过滑块与装设在安装板337上的Y轴导轨339滑动安装在一起。所述Z轴微调件355与一Z轴锁定片356安装在所述安装板337上，用 于对所述测量机构50相对安装板337在Z方向上的位移进行微调。所述固定架350还包括Y轴锁定片354，用于限制测量机构50在Y方向上的自由滑动。

所述安装板337上还安装Y向微调件358，用于对所述测量机构50相对安装板337在Y方向上的位移进行微调。

所述Z轴滑动组件35对称安装在两所述安装板337上。

所述测量机构50包括若干测量件51。在本实施方式中，所述测量件51的数量为6个，且与所述Z轴导轨353滑动安装在一起，测量件51分为两组对称放置在所述承载板21的上下两侧，每组各3个。在本实施方式中，所述测量件51为激光传感器或同轴共焦传感器。

在其他实施例中，每组测量件可以仅包括一个测量件，一次测量一个待测件上的待测点，通过测量每个待测表面上多个待测点到对应测量件之间的距离是否相等，来判断待测表面是否平整。

在其他实施例中，也可以是预先设定一个比较距离，即表面平整时与测量件之间的距离，通过测量待测点与测量件之间的距离是否与预设距离相等，来判断单个待测点是否有凸起或凹陷。

在其他实施例中，每组测量件也可以包括2个或超过4个，以同时测量多个待测点对应测量件之间的距离。

在本实施例中，使用时，将待测件200放置在限位块23中，通过移动所述移动机构30的对应轴的移动组件，将所述测量件51移动至待测件200的对应待测点。利用测量件51接收到的反射光，可以测量出待测件200的上表面的待测点到承载板21上方的测量件51之间的距离h1、待测件200的下表面的待测点到承载板21下方的测量件51之间的距离h2。这 样，通过测量玻璃200的上表面的各个待测点到承载板21上方的测量件51之间的距离是否相等，就能知道待测件200的上表面的平面度；通过测量待测件200的下表面的各个待测点到承载板21下方的测量件51之间的距离是否相等，就能知道待测件200的下表面的平面度。当计算待测件200的厚度时，由于上下测量件51之间的距离h可以通过校正板测得，因此，待测件的厚度l＝h-h1-h2。这样，仅仅通过反射率就可以测出待测件两面的平整度与待测件的厚度。

在本实施方式中，上下两个对称的测量件51的待测点连接的直线与承载板21垂直。为了防止待测件200相对面的折射光影响，上下两个对称的测量件51可以错开一点距离，例如5㎜，使得待测件上下表面间的任意待测点连线与所述承载板21均不垂直。

另外，本领域技术人员还可在本实用新型精神内做其它变化，当然，这些依据本实用新型精神所做的变化，都应包含在本实用新型所要求保护的范围内。

Claims (10)

1.一种平面度及厚度检测装置，包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构，所述承载架用于承载待测件，所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离，所述承载架包括承载板，其特征在于：所述测量机构包括两组测量件，所述两组测量件安装在所述承载平台上，且位于所述承载板的两侧，分别对应待测件的上下表面，每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。

2.如权利要求1所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述两组测量件测量的上下表面间任意待测点之间的连线与所述承载板均不垂直。

3.如权利要求1所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述平面度及厚度检测装置还包括移动机构，所述移动机构安装在所述承载平台上，用于移动所述测量机构。

4.如权利要求3所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构包括X轴滑动组件，用于驱使所述测量机构沿X轴方向移动，所述X轴滑动组件包括直线导轨、滚珠丝杠、电机及滑板，所述直线导轨及所述滚珠丝杠安装在所述承载平台上，所述电机固定在所述滚珠丝杠的螺杆一端，所述滑板滑动装设在所述直线导轨及所述滚珠丝杠上。

5.如权利要求4所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构还包括Y轴滑动组件，所述Y轴滑动组件包括固定在所述滑板上的底座、装设在所述底座上的导轨、与所述导轨滑动安装的导板、固定在所述导板上的立柱及两上 下安装在所述立柱之间的安装板，所述安装板用于安装所述测量机构，且分别位于所述承载板的上下两侧。

6.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述Y轴滑动组件还包括安装在所述底座外侧的Y轴微调件，所述Y轴微调件用于对所述安装板相对所述底座在Y方向上的位移进行微调。

7.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构还包括Z轴滑动组件，所述Z轴滑动组件分别安装包括固定架及Z轴微调件，所述固定架包括水平安装在所述安装板上的安装块、大致垂直所述安装块的安装条及装设在所述安装条上的Z轴导轨，所述安装块通过滑块与装设在安装板上的Y轴导轨滑动安装在一起。

8.如权利要求7所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述Z轴微调件与一Z轴锁定片安装在所述安装板上，用于对所述测量机构相对所述安装板在Z方向上的位移进行微调。

9.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述安装板上还安装Y向微调件，用于对所述测量机构相对所述安装板在Y方向上的位移进行微调。

10.如权利要求1-9任一所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述测量件为激光传感器或同轴共焦传感器。