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- 可撓性を有する基板上に設けられた第1の島状の補強膜と、
前記第1の島状の補強膜上に、チャネル形成領域と不純物領域とを具備する半導体膜と、
前記チャネル形成領域の上方にゲート絶縁膜を介して設けられた第1の導電膜と、
前記第1の導電膜及び前記ゲート絶縁膜を覆って設けられた第2の島状の補強膜と、
前記第2の島状の補強膜及び前記ゲート絶縁膜を覆って設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に、開口部を介して前記不純物領域と電気的に接続するように設けられた第2の導電膜とを有し、
前記チャネル形成領域の全域が前記第1の島状の補強膜と前記第2の島状の補強膜との間に設けられ、
前記第1の島状の補強膜及び前記第2の島状の補強膜は、窒化珪素、窒化酸化珪素、金属酸化物、或いは金属窒化物で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 可撓性を有する基板上に設けられた第1の島状の補強膜と、
前記第1の島状の補強膜上に、チャネル形成領域と不純物領域とを具備する複数の半導体膜と、
前記複数の半導体膜の各々の具備するチャネル形成領域の上方にゲート絶縁膜を介して設けられた第1の導電膜と、
前記第1の導電膜及び前記ゲート絶縁膜を覆って設けられた第2の島状の補強膜と、
前記第2の島状の補強膜及び前記ゲート絶縁膜を覆って設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に、開口部を介して前記不純物領域と電気的に接続するように設けられた第2の導電膜とを有し、
前記チャネル形成領域の全域が前記第1の島状の補強膜と前記第2の島状の補強膜との間に設けられ、
前記第1の島状の補強膜及び前記第2の島状の補強膜は、窒化珪素、窒化酸化珪素、金属酸化物、或いは金属窒化物で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 可撓性を有する基板上に設けられた第1の島状の補強膜と、
前記第1の島状の補強膜上に、チャネル形成領域と第1の不純物領域と第2の不純物領域とを具備する半導体膜と、
前記チャネル形成領域の上方にゲート絶縁膜を介して設けられた第1の導電膜と、
前記第1の導電膜を覆って設けられた第2の島状の補強膜と、
前記第2の島状の補強膜を覆って設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に、開口部を介して前記第2の不純物領域と電気的に接続するように設けられた第2の導電膜とを有し、
前記チャネル形成領域の全域が前記第1の島状の補強膜と前記第2の島状の補強膜との間に設けられ、
前記第1の島状の補強膜及び前記第2の島状の補強膜は、窒化珪素、窒化酸化珪素、金属酸化物、或いは金属窒化物で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 可撓性を有する基板上に設けられた第1の島状の補強膜と、
前記第1の島状の補強膜上に、チャネル形成領域と不純物領域とを具備する半導体膜と、
前記チャネル形成領域の上方にゲート絶縁膜を介して設けられた第1の導電膜と、
前記第1の導電膜を覆って設けられた第2の島状の補強膜と、
前記第2の島状の補強膜を覆って設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に開口部を介して前記不純物領域と電気的に接続するように設けられた第2の導電膜とを有し、
前記チャネル形成領域の全域が前記第1の島状の補強膜と前記第2の島状の補強膜との間に設けられ、
前記第1の島状の補強膜と前記第2の島状の補強膜とが接し、
前記第1の島状の補強膜及び前記第2の島状の補強膜は、窒化珪素、窒化酸化珪素、金属酸化物、或いは金属窒化物で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記第1の島状の補強膜及び前記第2の島状の補強膜は、前記半導体膜よりもヤング率の高い材料で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記第2の島状の補強膜は、前記第1の島状の補強膜と同じ材料で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記第1の島状の補強膜の膜厚は50nm乃至200nmであり、かつ前記第2の島状の補強膜の膜厚は100nm乃至400nmであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記第1の島状の補強膜の膜厚に比べて前記第2の島状の補強膜の膜厚が厚いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記第1の島状の補強膜の膜厚と前記第2の島状の補強膜の膜厚は同じであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
前記第1の島状の補強膜の膜厚と前記第2の島状の補強膜の膜厚の比率(第1の島状の補強膜の膜厚/第2の島状の補強膜の膜厚)は1/2以下であることを特徴とする半導体装置。
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