JP2009105081A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9922854B2 (en) * 2010-04-30 2018-03-20 Applied Materials, Inc. Vertical inline CVD system
WO2011142351A1 (ja) * 2010-05-12 2011-11-17 シャープ株式会社 基板載置台車
KR101036123B1 (ko) * 2010-06-10 2011-05-23 에스엔유 프리시젼 주식회사 박막 증착 장치
KR101708420B1 (ko) * 2010-09-15 2017-02-21 삼성디스플레이 주식회사 기판 증착 시스템 및 이를 이용한 증착 방법
JP5843779B2 (ja) * 2010-10-12 2016-01-13 株式会社カネカ 有機ｅｌ素子の製造装置
JP5533708B2 (ja) * 2011-01-31 2014-06-25 株式会社Ｉｈｉ アンテナ搬送体、アレイアンテナ式プラズマｃｖｄ装置、並びに、アレイアンテナ式プラズマｃｖｄ装置のアンテナおよび基板搬送方法
DE102011085789B4 (de) * 2011-11-04 2015-02-12 Von Ardenne Gmbh Vertikale Durchlaufbeschichtungsanlage zur kontinuierlichen Vakuumbeschichtung von Substraten
JP5939817B2 (ja) * 2012-01-30 2016-06-22 株式会社アルバック 成膜装置
KR20170139173A (ko) * 2012-09-10 2017-12-18 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 프로세싱 시스템 및 기판들을 프로세싱하는 방법
KR101488944B1 (ko) 2012-09-24 2015-02-06 주식회사 선익시스템 증발물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치
KR101394367B1 (ko) 2012-09-27 2014-05-27 주식회사 선익시스템 기판처리장치 및 기판처리방법
KR101405102B1 (ko) 2012-10-04 2014-06-10 주식회사 선익시스템 기판처리장치 및 기판처리방법
JP5942937B2 (ja) * 2013-07-26 2016-06-29 トヨタ自動車株式会社 プラズマ成膜装置及びプラズマ成膜方法
KR101486937B1 (ko) * 2013-11-15 2015-01-29 코닉이앤씨 주식회사 원자층 증착 장치 및 방법
CN105177514B (zh) * 2014-05-28 2018-04-10 佳能安内华股份有限公司 基板处理装置
JP6463220B2 (ja) * 2015-05-21 2019-01-30 東京エレクトロン株式会社 処理システム
KR102605917B1 (ko) * 2016-04-07 2023-11-27 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
JP6846943B2 (ja) * 2017-02-10 2021-03-24 東京エレクトロン株式会社 塗布装置、および塗布方法
DE102019102492A1 (de) * 2019-01-31 2020-08-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Wafern
CN110504331B (zh) * 2019-07-29 2021-03-23 中建材智能自动化研究院有限公司 一种全自动光伏背板玻璃生产线
DE102020100171B3 (de) * 2020-01-07 2021-07-01 Cemecon Ag Vorrichtung zum Halten von Werkstücken, Beschichtungsanlage sowie Verfahren zum Beschichten eines Werkstücks
TWI737520B (zh) * 2020-08-14 2021-08-21 友達光電股份有限公司 顯示面板
IT202000024337A1 (it) * 2020-10-15 2022-04-15 Bottero Spa Metodo e navetta per lo spostamento di una lastra di vetro

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08196894A (ja) * 1995-01-25 1996-08-06 Tokki Kk 真空装置の小型、低価格化のための構成方法及び、材料の搬送形態
JP3582330B2 (ja) * 1997-11-14 2004-10-27 東京エレクトロン株式会社 処理装置及びこれを用いた処理システム
JP2002246435A (ja) * 2001-02-16 2002-08-30 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板処理装置と基板処理方法
JP2003192127A (ja) 2002-12-03 2003-07-09 Takehide Hayashi フラットパネル枚葉搬送システム

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