JP5138108B1 - 乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】乾燥風が循環する乾燥室2内を周回移動する無端ベルトチェーン8にハンガー挿入部8aが所定ピッチで設けられた当該ハンガー挿入部8aにワークWを保持したハンガーHを保持させて乾燥室2内をチェーン回転方向に起立姿勢のまま移送されるハンガー移送部7と、ハンガー移送部7により移送されたハンガーHからワークWを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークWと分離されたハンガーHを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部10とを備えた。
【選択図】図1
Description
ワークWは、水平方向にワーク受枠63間に挿入支持されて無限軌道62の上面で起立するワーク受枠63の間に保持されたまま、乾燥室61内で熱風に晒された状態で搬送される間に乾燥が行われる(特許文献1、図6参照)。
しかしながら、上記特許文献1の乾燥装置を用いる場合、図8に示す無限軌道62自体の作動による発塵、さらに無限軌道62がたわまないように接触して支持する構成との摺接による発塵など、無限軌道62を周回移動する機構が大きな発塵源となり、ワークWの上方から降下する塵埃となって乾燥室61内が汚染されるという課題がある。また、周回移動する無限軌道62に支持された戻りのワーク受枠63も垂下して搬送されるため、装置全高が高くなり乾燥装置60が大型化する。また、ワークWはワーク受枠63に立て掛けて搬送されるため、両面コーティングされた基板においてはワーク受枠63との接触跡が残ってしまうおそれがある。
また、特許文献2の乾燥装置は、ワークをハンガーに固定して乾燥室内を吊り下げながら送り用作動部によって順送りされるようになっている。よって、ワークの上方に送り用作動部の駆動源や駆動機構が配置されるため、ごみや粉塵がワークに落下して付着するおそれがあるうえに、装置全高が高くなるため大型化する。
更には、近年半導体装置の小型化が進み、基板の厚みも薄型化しており、乾燥室内における基板の反りを抑えたいというニーズもある。
薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを順次保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを水平姿勢のまま次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備し、前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されていることを特徴とする。
上記構成によれば、ワークを保持したハンガーがハンガー移送部によりチェーン回転方向に起立姿勢で移送される間にワークに非接触で両面乾燥される。乾燥室内のワーク移送経路において、ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されているので、乾燥室内を搬送される薄板状のワークに搬送駆動源や機械的摺動部からの粉塵や駆動源等に付着した揮発性の溶剤がワークに落下するおそれがなくなり、クリーンな環境下で乾燥が行なえる。また、ワークから分離されたハンガーがハンガー戻し部によって水平姿勢でワーク搬送方向上流側へ送り返されるので装置高さを抑えて装置を小型化することが可能となる。
これにより、より省スペースで多数のワークをハンガー挿入部に挿入して垂直姿勢で支持して乾燥させることができる。また、ハンガーの使用枚数を半分以下に減らして繰り返し使用することにより、装置の小型化を図ることができる。更には、ワークのサイズ変更はハンガーを変更すれば足りるので、装置の大幅な改変は不要となり、汎用性が向上する。
これにより、乾燥室内で揮発した溶剤等がフィルターを通じて除去されるため、天井等に付着してワークに落下するおそれはなくなる。
これにより、ワーク搬送方向上流側より例えば前工程でコーティングされた薄板状のワークが保持位置へ搬送されると、ハンガーに保持させて水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させてハンガー保持部に保持させるまでの動作を自動化して効率よくワークを乾燥室に搬入することができる。
これにより、乾燥後のワークをハンガーより分離して後工程に搬送し、ハンガーを再度ワーク保持部へ戻してワークを保持させるまでの動作を自動化して効率よくワーク搬送を行うことができる。
乾燥装置1は、薄板状のワークWがハンガーHに保持されたまま乾燥室2内を非接触で移送される間に所定の温度プロファイルにしたがって順次ワーク両面の乾燥が行われる。
図1及び図2において、両面コーティングされてワーク搬送方向上流側から搬送されたワークWは受け取りコンベア13に受け渡される(図5参照)。チャック位置P1には、第1ハンガー昇降部4によってハンガーHは水平姿勢で支持されて待機している。図4に示すように、ハンガーHは、矩形の枠体であって、4辺に1対ずつ設けられたクリップKによってワークWの各辺をチャックしてテンションを付与した状態で保持するようになっている。
また、ハンガーHは無端ベルトチェーン8に固定されていないため、基板サイズ変更してもハンガーHを変更するだけで対応することができ、装置の汎用性を高めることができる。
また、クリップKによるクリップ位置は、基板製品として不要な部分であるため、基板の両面同時乾燥が可能になる。
また、乾燥室2内に設けられたハンガー移送部7内を垂直姿勢で移送されるワークWより上方に搬送駆動源や無限軌道やその周回機構などの機械的摺動部は存在しないのでワークWへの粉塵等の落下や異物の付着のおそれはない。
また、乾燥室2内の循環送風路2aにプレフィルターやヘパフィルターを設けることで、クリーン炉における両面乾燥を行うことが可能になる。
即ち、ワークWを水平姿勢のままハンガーHのクリップKに保持させて、水平姿勢のまま乾燥室2内に搬入してハンガーHを水平位置にあるハンガー挿入部8aに挿入支持させる。
P2 チャック解放位置
H ハンガー
F フレーム
FE フレーム挿入端部
W ワーク
K クリップ
U1 第1アンクランプ機構
U2 第2アンクランプ機構
1 乾燥装置
2 乾燥室
2a 循環送風路
3 ワーク保持部
4 第1ハンガー昇降部
5 ワーク姿勢変更部
6 ワーク保持部
7 ハンガー移送部
8 無端ベルトチェーン
8a ハンガー挿入部
9 ハンガー取り出し部
10 ワーク送り出し部
P2 チャック解除位置
11 第2ハンガー昇降部
12 ハンガー戻し部
13 受け取りコンベア
14 第1ピックアップ装置
15 姿勢変更ロボット
15a,20a ハンド
16 スライドハンド
17 送風ファン
18 フィルター
19 ヒータ
20 スライド機構
21 第2ピックアップ装置
22 受け渡しコンベア
23 返送用コンベア
24 L型ガイド
25 取付板
Claims (6)
- 薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、
乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを順次保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、
前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを水平姿勢のまま次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備し、
前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されていることを特徴とする乾燥装置。 - 前記ハンガー保持部は、一対の無端ベルトチェーンに筒状のハンガー挿入部が所定ピッチで組み付けられている請求項1記載の乾燥装置。
- 前記ハンガーに対して前記ワークがチャック若しくはガイドされて移送される請求項1又は請求項2記載の乾燥装置。
- 前記乾燥室内には、乾燥空気をフィルターを介して循環させ該乾燥空気の一部を給排気する循環送風路が形成されている請求項1乃至請求項3のうちいずれか1項記載の乾燥装置。
- ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークを保持位置へ搬送し、当該保持位置へ上昇した第1ハンガー昇降部に載置したハンガーに前記ワークを保持させるワーク保持部と、
前記ワークを保持したハンガーを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させるワーク姿勢変更部と、を具備し
前記ワーク姿勢変更部により起立姿勢にしたハンガーを前記ハンガー保持部に保持させて前記ハンガー移送部によって前記乾燥室内を前記チェーン回転方向に移送される請求項1乃至請求項4のうちいずれか1項記載の乾燥装置。 - 前記ハンガー移送部により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー保持部からハンガーを順次保持解除位置へ取り出すハンガー取り出し部と、
前記保持解除位置に取り出されたハンガーから保持を解除して乾燥後のワークを下流側へ搬送するワーク送り出し部と、
前記保持解除位置でワークと分離されたハンガーを受け取った第2ハンガー昇降部を下降させて当該ハンガーを前記ハンガー戻し部に受け渡して前記ワーク保持部へ戻す請求項5記載の乾燥装置。
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