CN102901335B - 干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种粉尘等不会落下并附着于在工件上、能够防止工件上方的扬尘并使装置小型化的干燥装置，该工件保持于悬挂件上并以非接触的方式在干燥室内输送的期间被进行双面干燥。该干燥装置具有：悬挂件输送部（7），其使保持着工件（W）的悬挂件（H）保持在悬挂件插入部（8a）上并在干燥室（2）内以立起姿势沿链转动方向输送悬挂件（H），该悬挂件插入部（8a）隔开规定间隔地设于在供干燥风循环的干燥室（2）内转动的环状带链（8）上；悬挂件返回部（10），其从被悬挂件输送部（7）输送的悬挂件（H）上分离工件（W）并向下游侧送出，并且使与该工件（W）分离的悬挂件（H）准备保持下一个工件向工件输送方向上游侧送回。

Description

干燥装置

技术领域

本发明涉及一种在例如当在印刷电路基板的制造工序中进行曝光和显影或在印刷时对涂敷于基板双面的保护层等进行加热和干燥的工序中使用的基板等的干燥装置。

背景技术

作为进行基板干燥的旋转栅式（wicket）干燥装置，实际应用有图8所示的干燥装置60。该干燥装置60在干燥室61内由链条等构成的环形轨道62上隔开规定间隔地固定有多个作为工件W的保持构件的工件支承框63。

工件W在沿水平方向插入并支承于工件支承框63之间，在工件W保持于在环形轨道62的上表面上立起的工件支承框63之间的状态下，在干燥室61内以使工件W曝露于热风中的状态输送工件W的期间对工件W进行干燥（参照专利文献1、图6）。

另外，为了以非接触的方式使例如在基板双面涂敷有抗蚀剂等的工件双面干燥，也实际应用有一种在干燥室内在将工件悬挂在悬挂件上的状态下输送工件的装置。例如，该装置具有载置部及输送用工作部，该载置部沿干燥室的长度方向配置，在多个悬挂件保持着工件的状态下，隔开规定间隔地呈一列载置工件；该输送用工作部为了载置多个悬挂件并向输送方向断续地输送悬挂件，该输送用工作部依次进行为了载置着悬挂件的上升移动、载置着悬挂件向输送方向水平移动、为了使悬挂件下降的下降移动、向与输送方向相反方向水平移动的工作（参照专利文献2、图1）。

专利文献1：日本特许3926923号公报

专利文献2：日本特许4510304号公报

在印刷电路基板的制造工序中，利用有曝光和显影，或是利用有印刷技术，但是在这些制造工序中需要有基板的加热、干燥工序。即使是该加热、干燥工序中的干燥室，也要求较高的干净度（高空气清洁度）。

但是，在使用上述专利文献1的干燥装置的情况下，存在的问题在于，由图8所示的环形轨道62自身工作导致的扬尘、以及与以环形轨道62未挠曲的方式相接触并支承的结构之间的滑动接触导致的扬尘等、绕环形轨道62旋转移动的机构成为较大的扬尘源，这些都会成为从工件W上方降下的灰尘并对干燥室61内造成污染。另外，由于支承于旋转移动的环形轨道62上的返回的工件支承框63也下垂地输送，因此装置整体高度变高且干燥装置60变得大型化。另外，由于工件W靠在工件支承框63上进行输送，因此在双面涂敷了的基板上有可能残留有与工件支承框63之间的接触痕迹。

另外，专利文献2的干燥装置一边将工件固定在悬挂件上而将工件悬挂在干燥室内一边利用输送用动作部依次输送工件。因此，由于在工件的上方配置有输送用工作部的驱动源、驱动机构，因此灰尘、粉尘有可能落下并附着在工件上，而且装置整体高度变高，因此变得大型化。

而且，随着近年来半导体装置逐渐小型化，基板的厚度也变得薄型化，所以也存在有欲抑制干燥室内的基板的翘曲这样的需求。

发明内容

本发明是为了解决这些问题而做成的，其目的在于提供一种粉尘等不会落下并附着于工件上，该工件是在保持于悬挂件上并以非接触的方式在干燥室内输送的期间进行双面干燥的薄板状的工件，并且能够防止工件上方的扬尘并使装置小型化的干燥装置。

本发明为了达到上述目的，具有以下结构。

一种干燥装置，在薄板状的工件保持在悬挂件上的状态下以非接触的方式在干燥室内移动期间，该干燥装置按照规定的温度曲线依次进行工件双面的干燥，其特征在于，该干燥装置具有：悬挂件输送部，其使保持上述工件的悬挂件保持在悬挂件保持部上并在上述干燥室内以立起姿势沿上述链转动方向进行输送该悬挂件，该悬挂件保持部隔开规定间隔地设于在供干燥风循环的干燥室内转动的环状带链上；悬挂件返回部，其从上述悬挂件输送部输送来的上述悬挂件上分离出上述工件并将该工件向下游侧送出，并且使与该工件分离的上述悬挂件准备保持下一个工件而将其向工件输送方向上游侧送回。

根据上述结构，在保持着工件的悬挂件被悬挂件输送部沿链转动以立起姿势输送期间以与工件非接触的方式对工件进行双面干燥。由此，在工件上方不存在驱动源、环形轨道、以及环形轨道的转动机构等的机械滑动部，不会有粉尘等落下并附着于在干燥室内输送的薄板状的工件上，能够防止工件上方的扬尘并使装置小型化。

期望的是，在上述干燥室内的工件输送路径上，在上述工件下方配置有输送驱动源及机械滑动部。

由此，至少在干燥室内来自输送驱动源、机械滑动部的粉尘、附着在驱动源等上的挥发性的溶剂不可能落到工件上，能够在清洁的环境下进行干燥。

优选的是，上述悬挂件保持部在一对环状带链上隔开规定间隔地组装有筒状的悬挂件插入部。

由此，能够更节省空间地将许多工件插入悬挂件插入部内并将工件支承为垂直姿势、使工件干燥。另外，通过将悬挂件的使用个数减为一半以下并重复使用，从而能够谋求装置小型化。而且，在面对工件的尺寸改变时，只要改变悬挂件即可，因此不需要大幅度改变装置，通用性提高。

期望的是，以上述工件与上述悬挂件相卡接或者用上述悬挂件引导上述工件的方式输送工件。在像薄型的薄膜状的基板那样，易于因干燥产生翘曲的工件的情况下，通过卡接4个边，从而能够抑制工件的翘曲、起伏等变形。另外，在为工件的刚性较高的例如玻璃基板等的情况下，不必进行卡接，通过沿着两侧引导件进行保持就能够使印刷面干燥。

优选的是，在上述干燥室内形成有借助于过滤器使干燥空气循环并供给、排出该干燥空气的一部分的循环路径。

由此，由于在干燥室内挥发的溶剂等通过过滤器被去除，因此不可能附着在天花板等上并落到工件上。

也可以是，该干燥装置具有：工件保持部，其将从工件输送方向上游侧输送来的薄板状的工件向保持位置输送，使上述工件保持在载置于向该保持位置上升后的第1悬挂件升降部上的悬挂件上；工件姿势改变部，其使保持着上述工件的悬挂件的姿势从水平姿势改变为立起姿势；使借助于上述工件姿势改变部变为立起姿势的悬挂件保持在上述悬挂件保持部上并利用上述悬挂件输送部在上述干燥室内沿上述链旋转方向输送悬挂件。

由此，若从工件输送方向上游侧向保持位置输送例如在前一工序中进行过涂敷的薄板状的工件，则能够自动地进行保持在悬挂件上、从水平姿势改变为立起姿势并直至保持在悬挂件保持部上的动作，能够高效地将工件搬入干燥室。

另外，也可以是，该干燥装置具有：悬挂件取出部，其从被上述悬挂件输送部输送并从垂直姿势成为水平姿势的悬挂件保持部中依次向保持解除位置取出悬挂件；工件送出部，其将干燥后的工件从取出到上述保持解除位置的悬挂件上解除保持并将该工件向下游侧输送；使接收了在上述保持解除位置与工件分离的悬挂件的第2悬挂件升降部下降，将该悬挂件交接到上述悬挂件返回部并使该悬挂件向上述工件保持部返回。

由此，使干燥后的工件从悬挂件上分离并输送到后一工序中，能够自动地进行使悬挂件再次向工件保持部返回并直至保持工件的动作，能够高效地进行工件输送。

如果使用上述干燥装置，则粉尘等不会落下并附着于薄板状的工件上，该工件是在保持于悬挂件上并在干燥室内以非接触的方式输送期间被进行双面干燥，能够防止工件上方的扬尘并使装置小型化。

附图说明

图1是透视干燥装置的内部结构而获得的主视图。

图2是透视干燥装置的内部结构而获得的俯视图。

图3是表示悬挂件输送部、悬挂件取出部、工件送出部、悬挂件返回部的结构的说明图。

图4是表示工件保持部及工件姿势改变部的结构的说明图。

图5是表示输送工件的拾取装置的配置的说明图。

图6是表示干燥室的热气循环的说明图。

图7（A）～图7（C）是表示其他例子的悬挂件的样子的正面说明图及俯视图。

图8是以往的旋转栅方式的干燥装置的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的干燥装置的实施方式。在本实施方式中，作为工件，例示在印刷布线基板的基板制造工序中使用的干燥装置来进行说明。

参照图1，说明干燥装置的概略结构。

干燥装置1在薄板状的工件W保持于悬挂件H上的状态下以非接触的方式在干燥室2内移动工件W的期间按照规定的温度曲线依次进行工件双面的干燥。

在前一工序中，工件W在基板双面上通过印刷或涂布抗蚀剂等涂敷材料而被双面涂敷。工件保持部3将从工件输送方向上游侧输送来的薄板状的工件W向卡接位置（保持位置）P1输送，使工件W保持在悬挂件H上，该悬挂件H载置于能上升到该卡接位置P1的第1悬挂件升降部4上。

工件姿势改变部5使保持着工件W的悬挂件H的姿势从水平姿势改变为立起姿势。借助于工件姿势改变部5变为立起姿势的悬挂件H被搬入悬挂件输送部7并在使该悬挂件H的两侧框体插入端部FE（参照图7（A）及图7（B））插入并保持在固定于环状带链8上的悬挂件保持部（悬挂件插入部8a）内的状态下在干燥室2内沿链转动方向输送该悬挂件H。

向在供干燥风循环的干燥室2内转动的环状带链8上隔开规定间隔地设有悬挂件插入部8a，悬挂件输送部7向该悬挂件插入部8a内插入悬挂件H的两侧框体插入端部FE并使保持着工件W的悬挂件H保持着立起姿势，在干燥室2内沿链转动方向输送悬挂件H。即，在干燥室2内以非接触方式输送工件W的期间对工件W进行双面干燥。

悬挂件取出部9从被悬挂件输送部7输送并从垂直姿势成为水平姿势的悬挂件插入部8a中拔出悬挂件H并依次向卡接解除位置P2输送悬挂件H。工件送出部10从取出到卡接解除位置P2的悬挂件H上释放工件W的夹具K并将该工件W向下游侧输送。

第2悬挂件升降部11在接收了在卡接解除位置P2与工件W分离的悬挂件H的状态下下降并将该悬挂件H交接到悬挂件返回部12。悬挂件返回部12向工件输送方向上游侧的工件保持部3送回悬挂件H。

在上述干燥室2内的工件输送路径上，在比工件W靠下方配置有输送驱动源及机械滑动部。由此，至少在干燥室2内来自输送驱动源、机械滑动部的粉尘、附着在上述驱动源等上的挥发性的溶剂不可能落到工件W上，能够在干净的环境下进行工件的双面干燥。

接着，说明干燥装置1的各部的结构。

在图1和图2中，经过双面涂敷并从工件输送方向上游侧输送来的工件W被交接到接收传送带13（参照图5）。在卡接位置P1，用第1悬挂件升降部4将悬挂件H支承为水平姿势并待机。如图4所示，悬挂件H是矩形的框体，在利用设在4个边各边上的各自1对的夹具K卡接工件W的各个边并以对工件W施加张力的状态下保持工件W。

图7（A）～图7（C）是表示悬挂件H的其他结构的主视图及俯视图。如图7（A）所示，也可以是，在悬挂件H的两侧的2个边上或在悬挂件H的3个边上利用夹具K卡接工件W，或者利用图7（C）所示的L型引导件24保持工件W的两侧并设置设于底边的支承销等来保持合成比较高的玻璃基板等。另外，夹具K的卡接位置也可以以能够装卸的方式设置，以使得能够根据工件W的尺寸进行改变。即，在图7（B）中，也可以是，在宽度方向两侧或上下装卸在悬挂件H的上下框体F上安装了夹具K或（L型引导件）的安装板25并改变安装位置。由此，能够保持多种尺寸的工件W、刚性不同的多种工件W来进行干燥。

在图5中，利用第1拾取装置14从接收传送带13保持工件W并将工件W输送到悬挂件H上的卡接位置P1。在利用第1悬挂件升降部4使第1拾取装置14向卡接位置P1上升时，设置在悬挂件H的4个边上的夹具K如图4所示被第1松开机构U1维持为打开状态。若在该状态下利用第1拾取装置14将工件W交接到悬挂件H，则第1松开机构U1关闭夹具K并同时卡接工件W的4个边。夹具K的开闭是例如利用设置在第1松开机构U1上的驱动器（螺线管、气缸等）进行开闭操作的。

期望在像薄型的膜状的基板那样为刚性比较低的工件W的情况下针对悬挂件H卡接4个边进行输送。在为因干燥而易于产生翘曲的工件W的情况下，通过卡接4个边，能够抑制工件的翘曲、起伏等变形。另外，在像玻璃基板那样刚性比较高的工件W的情况下，不必必须进行卡接，只要在两侧利用L型引导件等进行引导就可以。

在图4中，若在卡接位置P1将工件W保持在悬挂件H上，则在利用工件姿势改变部5所具有的能够进行升降动作及旋转动作的姿势改变机器人15的机器手15a把持悬挂件H的两侧框体的状态下，如图3所示使悬挂件H以水平姿势上升，在上升位置绕顺时针方向旋转90度，使姿势改变为垂直姿势（参照图1）。此时，在悬挂件H上工件W卡接在输送方向后面侧。然后，利用能够滑动的滑动机械手16把持如图1所示成为垂直姿势的悬挂件H的上边框体并搬入干燥室2内。

如图2所示沿干燥室2的长度方向设有一对设置在悬挂件输送部7上的环状带链8。一对环状带链8由未图示的驱动电动机驱动，在各个带链8上隔开规定间隔地组装有筒状的悬挂件插入部8a（悬挂件保持部）。在一对悬挂件插入部8a的成为垂直姿势的上游端，被滑动机械手16把持的悬挂件H获得释放，且在两侧下端部（两侧框体插入端部FE，参照图7（A）及图7（B））分别插入支承在悬挂件插入部8a内的状态下沿链转动方向输送悬挂件H。由此，通过将许多悬挂件H插入悬挂件插入部8a内来节省空间，从而能够在干燥室2内以非接触的方式以垂直姿势支承工件W并使其双面干燥。另外，通过将悬挂件H的使用个数减为一半以下并重复使用，从而能够谋求装置小型化。而且，面对工件W的尺寸改变，只要改变悬挂件H就足矣，因此不需要装置大幅度改变，通用性提高。另外，由于工件W与悬挂件H一起在干燥室2内被依次输送，进行规定时间的干燥，因此作用于各个工件W上的温度曲线是恒定的，因此工件W的干燥状态不会参差不齐，能够获得期望的干燥质量。

如图6所示，在干燥室2内配置有送风风扇17、过滤器18、加热器19等。利用送风风扇17将被加热器19加热了的干燥空气经由过滤器18从工件W的上方吹向工件W并使其干燥，形成有一边供给、排出一部分空气一边再次进行加热并使其循环的循环送风路径2a。由此，由于在干燥室2内挥发的溶剂等通过过滤器18被去除，因此不可能附着在天花板等上并落到工件W上。

在图3中，若利用环状带链8以垂直姿势从链转动方向上游侧向下游侧输送的悬挂件H成为水平姿势，则利用设置在图5所示的悬挂件取出部9上的滑动机构20的机械手20a把持悬挂件H的两侧并沿水平方向向卡接解除位置P2取出。然后，利用设置在滑动机构20上的第2松开机构U2释放夹具K。

另外，在图5中，在卡接解除位置P2释放了由夹具K进行的卡接的工件W利用第2拾取装置21仅保持工件W地进行交接并将工件W载置在交接传送带22上，向下游侧输送。

另外，与工件W分离的悬挂件H被交接到图3所示的第2悬挂件升降部11并下降，然后悬挂件H被交接到设在悬挂件返回部10上的送回用传送带23上。载置在送回用传送带23上的悬挂件H被送回至工件保持部6的下方位置。送回用传送带23也使用环状的铁制橡胶带等，以使得不产生粉尘。接着，悬挂件H被交接到第1悬挂件升降部4，卡接下一个工件W并上升到卡接位置P1待机。

如上所述以能够与悬挂件插入部8a间插拔的方式将悬挂件H支承在环状带链8上并进行输送，由于能够重复使用悬挂件H，因此与旋转栅方式的干燥装置相比，悬挂件H的使用数被控制在一半以下，装置高度也能够降低并能够谋求小型化。

另外，由于悬挂件H未固定在带链8上，因此即使改变基板尺寸，也能够仅靠改变悬挂件H来进行应对，能够提高装置的通用性。

另外，由于夹具K的夹持位置是基板产品上不需要的部位，因此能够进行基板的双面同时干燥。

另外，由于比工件W靠上方未存在有输送驱动源、环形轨道、以及环形轨道的转动机构等机械滑动部，在干燥室2内的悬挂件输送部7内设置工件W并以使工件W处于垂直姿势输送工件W，因此工件W上不可能落有粉尘等，异物不可能附着在工件W上。

另外，通过在干燥室2的循环送风路径2a上设置预滤器、高效微粒空气过滤器（HigHEfficiencyParticulateAirFilter），从而能够进行无尘炉中的双面干燥。

在上述实施方式中，在悬挂件输送部7的上游侧配置了工件姿势改变部5，在下游侧配置了工件送出部10，但是也可以将它们交换位置配置。

即，使工件W以水平姿势保持在悬挂件H的夹具K上，以水平姿势搬入干燥室2内并将悬挂件H插入支承在位于水平位置的悬挂件插入部8a内。

保持着工件W的悬挂件H随着环状带链8的转动而从水平姿势变化为垂直姿势并以该状态在干燥室2内向下游侧移动。而且，也可以是，在带链8的垂直姿势的下游端利用设置在工件姿势改变部5上的滑动机械手16把持悬挂件H并将悬挂件H交接到姿势改变机器人15，使悬挂件H绕逆时针方向旋转90度而使姿势改变为水平姿势，解除夹具K并使工件W与悬挂件H分离。

另外，保持在悬挂件输送部7上的悬挂件H的数量能够根据悬挂件插入部8a的数量、带链8的长度的改变任意地增减。另外，保持在悬挂件H上的工件W也并不限于4个边卡接，也可以是3个边卡接、2个边卡接，或者是两侧引导件等。在悬挂件H上设置L型引导件24而未使用卡盘的情况下，也能够省略第1松开机构U1、第2松开机构U2。

Claims (7)

1.一种干燥装置，在薄板状的工件保持在悬挂件上的状态下以非接触的方式在干燥室内输送期间，该干燥装置按照规定的温度曲线依次进行工件双面的干燥，其特征在于，该干燥装置具有：

悬挂件输送部，其使保持上述工件的悬挂件依次保持在悬挂件保持部上并在上述干燥室内以立起姿势沿环状带链转动方向输送该悬挂件，该悬挂件保持部隔开规定间隔地设于在供干燥风循环的干燥室内转动的上述环状带链上；

悬挂件返回部，其从被上述悬挂件输送部输送来的上述悬挂件上分离出上述工件并将工件向下游侧送出，并且为了使与该工件分离的上述悬挂件准备保持下一个工件而将其向工件输送方向上游侧送回。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

在上述干燥室内的工件输送路径上，在上述工件的下方配置有输送驱动源及机械滑动部。

3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

上述悬挂件保持部在一对环状带链上隔开规定间隔地组装有筒状的悬挂件插入部。

4.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

在上述工件与上述悬挂件卡接或者用上述悬挂件引导上述工件的状态下输送上述工件。

5.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

在上述干燥室内形成有借助于过滤器使干燥空气循环并供给、排出该干燥空气的一部分的循环送风路径。

6.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，该干燥装置具有：

工件保持部，其将从工件输送方向上游侧输送来的薄板状的工件向保持位置输送，使上述工件保持在载置于向该保持位置上升后的第1悬挂件升降部上的悬挂件上；

工件姿势改变部，其使保持着上述工件的悬挂件的姿势从水平姿势改变为立起姿势；

使借助于上述工件姿势改变部变为立起姿势的悬挂件保持在上述悬挂件保持部上并利用上述悬挂件输送部在上述干燥室内沿链旋转方向输送悬挂件。

7.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，该干燥装置具有：

悬挂件取出部，其从被上述悬挂件输送部输送并从垂直姿势成为水平姿势的悬挂件保持部中依次向保持解除位置取出悬挂件；

工件送出部，其将干燥后的工件从取出到上述保持解除位置的悬挂件上解除保持并将该工件向下游侧输送；

使接收了在上述保持解除位置与工件分离的悬挂件的第2悬挂件升降部下降，将该悬挂件交接到上述悬挂件返回部并使该悬挂件向上述工件保持部返回。