CN1303744A - 一种用于涂敷板的方法和用于实施该方法的涂敷板系统 - Google Patents

Abstract

一种涂敷板的方法和用于实施该方法的板涂敷系统。本发明的方法意在用于利用液体涂敷材料涂敷板,特别是用于利用液体光敏抗蚀剂涂敷意在用于电路板的基板。其中,利用输送装置输送需涂敷的板通过涂敷辊同时与涂敷辊相接触。在涂敷过程中竖直定位的涂敷辊旋转,板处在悬挂位置由输送装置夹持板的上边缘并由输送装置导引通过竖直定位的涂敷辊。

Description

一种用于涂敷板的方法和用于实施该方法的涂敷板系统

本发明涉及一种用于利用液体涂敷材料涂敷板的方法，特别是用于利用液体光敏抗蚀剂(光敏蜡克漆(photolacquer))涂敷意在用于电路板的基板的方法以及实施该方法的涂敷板系统。

在生产多层电路板时，铜层叠的内层通常涂敷光敏抗蚀剂。利用IC-原型并在此后将曝光抗蚀剂将电路图形显影。由于在电路结构中需要更精密的结构，在分配层厚度时需要非常薄地和高精度地施加抗蚀剂。为此，先决条件是要有尽可能清洁的环境，这是由于即使作为杂质的最微小的颗粒在施加的抗蚀剂上/中也可能引起产生缺陷。

当前，主要两种方法用于涂敷意在用于电路板的基板。在其中一种方法中，通过利用一载膜将一干膜施加到基板上。接着干膜曝光后除去载膜，以便通过蚀刻处理能够将电路板显影。在另一种方法中，利用一个或多个涂敷辊将液体光敏抗蚀剂涂敷到基板。当前为此目的采用具有水平涂敷辊的水平涂敷装置。部分地在光敏抗蚀剂槽中的每个涂敷辊旋转并因此沿涂敷辊的整个长度均匀地沾有液体涂敷材料。利用与涂敷辊相接触的刮刀辊设置层厚，并且通过改变刮刀辊对于涂敷辊的接触压力层厚是可调节的。与涂敷辊相对设置一支承件(brace)，以此在其之间形成一直通间隙。支承件可以作为对立辊或者作为具有水平设置的涂敷辊的第二涂敷装置构成。将每个需涂敷的板利用传送带或一些输送辊输送到涂敷装置，并利用它的涂敷辊以及对立辊(如果需要)夹持，同时利用这些辊将板输送通过该直通间隙。涂敷之后，利用输送夹具夹持被涂敷的电路板，然后进一步输送以执行下一个处理步骤，例如干燥光敏抗蚀剂或者将涂敷的基板曝光。在常规的用于应用液体光敏抗蚀剂的涂敷系统中，存在的缺点是，在涂敷板后，不存在未涂敷的空白区，使得输送夹具中的夹持装置必须部分地夹入到施加的蜡克漆中，因此在打开夹具接着干燥蜡克漆时可能形成很小的蜡克漆片即所谓的箔。这些箔可能导致在基板上成为杂质，并因此产生缺陷，使以后的电路板不可用。此外，在辊间拉动基板期间可能产生板的偏斜扭曲，某种程度上还使涂敷的精度下降。此外，由于涂敷辊同时输送基板，需要对板有相应的接触压力，这也影响涂敷厚度，使得严格的定位整体上变得更困难。此外，板的规格的变化引起的问题是，使得输送装置的构成必须适应各种宽度的基板。这是因为输送装置通常做成在二相对边缘夹持板的输送夹。板的夹持及其输送到辊产生另外的困难是板不能正确地由夹持装置或辊夹持，由于这些可能出现扭曲。当板意在用于中间电路层并做得非常薄时，这种情况尤为严重。在生产中，这可能导致增加备用和/或产生有缺陷的产品。

本发明提供一种在开始提到的那种类型的涂敷板的方法和系统，利用该方法和系统可以涂敷各种不同规格的板，易于提高质量，同时提高生产率。

根据本发明的利用液体涂敷材料涂敷板的方法，特别是利用光敏抗蚀剂涂敷意在用于的板电路板的方法，利用输送装置将与涂敷辊相接触的板输送通过涂敷辊以进行涂敷。根据本发明，在涂敷过程中，涂敷辊沿竖直方向旋转，板被输送装置夹住在垂直悬挂位置的上边缘而通过竖直定位的涂敷辊。除了生产电路板之外，还可以将该方法用于涂敷的，像由木材、钢或合成材料制成的桌面其它家具板，以及用于构成和盘面板。

按照本发明，可以以快速精确的方式无误差地涂敷各种不同规格的板。最大规格的板仅由涂敷辊的长度限制，而以此作为起点，任何更小的板都可以涂无须改动相关的输送装置。这是因为，可以将板按照恒定的高度不断地输送通过辊，因此，板沿涂敷辊伸展的部分的长度在涂敷辊的最大长度范围内是任意可变的。由输送装置导引的板输送通过涂敷辊，可以比利用辊本身输送更精确地涂敷。

为了实现更快的生产操作，在本发明的一个优选实施例中的板，在其提供给输送装置的同时沿板的整个上边缘被输送装置夹持和/或从输送装置移出的同时沿板的整个上边缘松开。为此，相应地形成输送装置和板自动供应和/或板移出装置。

此外，为了保证平稳生产操作，最好将需涂敷的板通过一通道形状的带锥度的引入管道供应到输送装置，因此，矫直需由输送装置夹持的板的上边缘。

为了在涂敷期间进一步加速生产操作，在涂敷操作之后，最好是由输送装置夹持的板的上边缘在竖直悬挂位置导引通过干燥装置，以便对涂敷材料进行干燥处理。

特别是，在生产电路板时，在曝光处理之前需要将施加的光敏抗蚀剂冷却到适宜的温度。为了进一步加速总体的生产操作，按本发明的涂敷方法在涂敷操作之后，将处在竖直悬挂位置由输送装置夹持上边缘的板导引通过冷却装置，以便对涂敷材料进行冷却处理。根据本发明，对于需在两侧涂敷板的情况，在涂敷操作过程中利用两个涂敷装置同时在板两侧上涂敷，以节省涂敷时间。

为了防止涂敷材料从板上流掉，最好将需涂敷的材料通过冷却和/或加热调节到一预定的粘度。

通过在涂敷操作之前将需涂敷的板加热，可以进一步提高涂敷效果。为此，可以在涂敷装置之前设置一热源例如红外热辐射体。在涂敷操作之前通过清洁板，可以改进涂敷的质量。

用于实施本发明涂敷方法的板涂敷系统，是特别意在用于利用液体光敏抗蚀剂涂敷本身又用于电路板的基板和多层的内层。然而，也可以用于涂敷其它板，像由木材、钢或合成材料制成的桌面其它家具板，以及用于结构和盘面板。该系统包含一涂敷装置，而涂敷装置本身包含：用于将涂敷材料施加到版的一侧的涂敷辊，以及用于向涂敷辊供应涂敷材料的供应装置。板涂敷系统还包含：设置在涂敷装置对面的支承件，该支承件在涂敷过程中对着由涂敷辊给板施加的力从板的另一侧作用。板涂敷系统还包含一输送装置，在涂敷过程中利用该输送装置将与涂敷辊相接触的板输送通过涂敷辊和支承件之间的间隙。涂敷装置做成具有竖直定位的涂敷辊的竖直涂敷装置，以及这样构成的输送装置，板在其被涂敷的竖直悬挂位置由输送装置夹持上边缘的导引通过涂敷辊。

由于涂敷辊的竖直定位和板通过输送装置的悬挂输送，可以涂敷不同规格的板，而无需输送装置做任何调节。这里，最大板规格仍受涂敷辊长度的限制，然而，可以涂敷较小的板而不对系统作任何改变。这是因为，利用各上辊部涂敷较小的板，而低于这一上辊部的辊部分旋转与板脱离接触。因此生产操作过程不受影响。以此，由于降低了停顿时间，使生产率提高。此外，由于在涂敷过程中输送系统连续地即以导引方式输送板，需涂敷的板导引输送通过涂敷辊，从而能更精确地涂敷板。此外，由于以在一个边缘的悬挂方式输送板，可以利用从涂敷装置伸出的这一边缘输送板通过涂敷装置，以此与输送装置中的结合部相连接的这一边缘的涂敷可以避免。按这种方式，可以避免形成箔片，最终导致较少的报废和提高生产率。

用于向涂敷辊供应液体涂敷材料的供应装置可以按涂敷辊或喷射装置的形式构成，利用供应装置可以在涂敷板之前将辊本身预先涂敷。最好，供应装置包含一容纳空间，在该空间内容纳液体涂敷材料例如光敏蜡克漆或光敏抗蚀剂，以及涂敷辊圆周部分在其中沿轴向旋转。因此涂敷辊沿圆周部分地位于液体槽中，这保证了连续地充足地供应涂敷材料。

涂敷辊可以与板的行进同步地驱动，使得在由输送装置输送通过涂敷辊的板和涂敷辊之间仅仅有辊接触。然而，涂敷辊可以相对于板的行进使转得较快或较慢，以便调节层厚，使得在涂敷辊和被导引通过的并保持与涂敷辊接触的板之间出现相对运动，导致将涂敷材料往复施加到板上。按照这种方式，通过使涂敷辊比板的行进旋转得更快可以实现施加较厚的涂敷，而通过使涂敷辊较慢旋转而相对较快输送板可以实现较簿的涂敷。可以使涂敷辊不仅沿板输送移动的方向旋转，而且也可以沿与该移动相反的方向旋转。后一方案对例如实现低层厚高精度涂敷是有利的。

最好利用依靠在涂敷辊上并与其相反旋转的刮刀辊进行层厚的调节。通过改变刮刀和涂敷辊之间的接触压力，可以调节由向外输送的流体量亦即因此由涂敷辊施加的层深。代替刮刀辊也可以利用靠置在涂敷辊上的去除器(stripper)，利用该去除器将涂敷辊上携带的涂敷材料滑动地去除到预期的高度。

利用带壳容器可以构成容纳液体涂敷材料的容纳空间，在其中涂敷辊和刮刀辊周向上部分地设置在竖直位置。容器相对于辊的纵向和前密封例如利用压靠辊的唇密封可以实现。根据一个优选实施例，板涂敷系统包含如下的部件：竖直定位的刮刀辊，靠置在涂敷辊上并且它可以用改变对涂敷辊的接触压力加以调节，以调节涂敷厚度；竖直设置的共转(corotaory)辊，其以密封方式靠置在涂敷辊上并且设置在距刮刀辊这样一个距离，使得在共转辊、刮刀辊和涂敷辊之间形成一个三横向上封闭的腔；密封辊，其设置不仅与涂敷辊相接触而且共转辊相接触，同时以侧向密封该腔；以及一前密封件，利用该前密封件将辊下前侧的腔密封，同时形成液体涂敷材料的容纳空间。

其中容纳空间邻接4个连续的旋转辊，并因此将在容纳空间容纳的涂敷流体平缓地混合。通过调节存在于各辊之间的接触压力可以保证容纳空间的所需不渗透性。辊可以由各种金属或合成材料制成。涂敷辊和密封辊最好按照涂敷合成材料的辊构成，特别是柔性的合成材料或橡胶构成。辊芯最好由钢制成。相反，刮刀辊和共转辊最好是完全由钢制的辊构成。涂敷合成材料的辊它们相对于较硬的钢辊在接触点稍有弹性使得可以实现密封效果。涂敷辊的外表面其构成使得可以将预定的图形层施加到板上。

作用于各对应辊的相互接触压力最好是可调的。为此，在一个优选实施例中的钢辊装有位置可调的轴，而密封辊和共转辊装备固定的轴。为了调节作用于涂敷辊和密封辊所需的接触压力，特别优选的是刮刀辊和共转辊沿与密封辊的旋转轴和涂敷辊的连线垂直的方向可重新定位设置。按照这种方式，利用在每个密封辊和涂敷辊上的钢辊可以实现相同的压力增加或压力降低。正如上面解释的，特别装设对于涂敷辊接触压力可变的刮刀辊，以便调节层厚。由于改变对于涂敷辊的接触压力，同时改变对于密封辊的接触压力，可能引起刮刀辊和密封辊之间的密封不够。按照这样一种方式这点可以消除，即密封辊预先对于刮刀辊固定地加压，接触压力总是足够大，即使在部分降低调节的情况下。最好使每个密封辊和刮刀辊在它们在容纳空间方向的接触点旋转，使得液体涂敷材料由于它们的转动传输返回到容纳空间。按照这种方式，即使在密封辊和刮刀辊之间的低接触压力下也保证了流体的足够密封。此外，也可以将涂敷用容器装在辊之下，以此任何引起的泄露可通过导管返回到容纳空间。然而，辊可以有各种直径，以便避免磨损，它们的构成最好使它们仅彼此滚离(roll off)。这还可靠地防止发生在它们的路径中可能发现的磨损的颗粒落入容纳空间和污染涂敷材料。此外最好形成相同直径的共转辊和刮刀辊，使得涂敷辊可以任选的方式按照自由选择的直径互换。

由于连续地由涂敷辊带走涂敷材料，在容纳空间中的流体液位会快速降低，因此，使完全并精确涂敷板的问题复杂化。通过经常调节供应到容纳空间中的涂敷材料，可以使流体液位保持恒定。例如利用设置在容纳空间中检测流体液位的传感器可以实现这种调节，传感器的信号发送返回供应泵，然后供应泵本身将涂敷辊由供应容器转移出的涂敷材料数量输送到容纳空间。根据一个优选实施例，供应装置包含：液体涂敷材料的供应容器，由该供应容器将涂敷材料供应到容纳空间；以及可调的溢流管，用于调节容纳空间的流体液位，超过溢流管的多余涂敷材料回流到供应容器。溢流管构成一个用于调节的流体液位的简单器具，利用高度对应设置的溢流管可实现该调节。此外，通过溢流管使重新供应的涂敷材料从下方再输送到容纳空间，可以实现位于在容纳空间中的涂敷材料连续循环。

施加给板的液体涂敷材料例如光敏抗蚀剂或光敏蜡克漆是预先确定的，如果粘度为500-1200mPa/s(毫帕/秒)和层厚4-100微米，尽管涂敷辊竖直定位，不会流下到板上。否则这种流下会导致层厚的不均匀分布。为了更可靠地维持粘度在所需的数值，根据一个优选实施例中的容纳空间装备有冷却和/或加热装置，利用该装置可以将包含在其中的液体涂敷材料冷却或加温，以调节材料粘度。是否采用加热或冷却装置或这两者取决于使用的涂敷材料及它们的粘度与温度的关系。为此，加热或冷却装置最好是利用恒温器可调的。另外调节粘度的可能方法包括根据所需的粘度供应一定量的溶剂到液体涂敷材料中。通过调节供应溶剂可以维持涂敷材料所需的粘度。

涂敷装置的4个辊中，可以驱动一个或多个。最好所有4个辊全由驱动装置驱动。可利用任何类型的原动机驱动：最好，使用电动机通过齿轮传动与各个辊连接。为此，可以将用于驱动各个辊的彼此啮合的齿轮连接到每个辊。此外还可以将辊通过传动带或者通过更精确的链式传动彼此旋转连接。

对于需要大的层厚和/或低粘度材料的情况，涂敷辊最好相对于需涂敷的板倾斜设置，向上与板增加间距。

按照这种方式，起初在板的上部实现较大层厚，然后通过液体沿板向下的缓慢流动，达到预期的均匀层厚。作为这种方式的替换或附加，可以在涂敷辊的其它表面上按这样一种方式成形(pattern)，即通过使辊转动使液体涂敷材料在涂敷辊的外表面上向上输送。例如通过在涂敷辊的外表面上的螺旋形沟或槽可以实现这一点。为了不影响施加给板上的层，这种输送结构与该成形方式相反，以极微尺寸提供成形的层施加到板上。

替代涂敷辊的倾斜定位，也可以使刮刀辊定位成向上倾斜离开涂敷辊，对于顶部利用对于涂敷辊降低的压力对刮刀辊加压。按照这种方式，利用涂敷辊由容纳空间向外携带更多的涂敷材料，并施加到板上，也可以达到前述的效果。

支承件可以构成支承带或支承条。然而，为了避免表受到损坏，特别是意在用于电路板的厚度量级为几十分之一毫米的基板，支承件最好为支承辊，通过与板的行进的滚动接触而转动，或者最好自身被驱动。

根据另一个优选实施例，第二涂敷装置具有支承件，其构成方式与第一涂敷装置相应。按照这种方式，可以在两侧同时涂敷板。

虽然涂敷装置和支承件可以固定地设置，因此，形成恒定尺寸的中间间隙，但该涂敷装置和支承件最好是可调节地设置垂直于板即垂直于其输送方向。按照这种方式，在生产涂敷的板时，涂敷装置和支承件可以在涂敷操作之前彼此按这样一种间距设置，即利用涂敷辊涂敷支承件，可以避免接着由支承件非所需地涂敷板。板一旦从输送装置输送到涂敷装置，涂敷装置和支承件马上就可彼此相向移动，因此可以进行涂敷。利用涂敷装置和/或支承件的的位置可调节性，可以进一调节接触压力，表示层厚的进一步调节的可能性。

输送装置例如可以做成沿输送通道用涂敷装置以滑动方式移动的输送车。输送车可以配备一托架，在其上有一夹持装置用于连接被输送的板。然而，输送装置最好是做成完全位于顶部的输送装置，并在系统的各个处理板的装置上方，例如涂敷装置的上方延伸是有利的。这里，输送装置从板供应装置连续地延伸到板移出装置。

输送装置的位置位于顶部使得能够从侧面在涂敷装置上进行监视、维护和/或清洁工作，而不受妨碍。按照这种方式，系统的停顿时间减少，因此，系统的生产率提高。

为了使板尽可能更可靠地以不扭曲的方式输送到辊和进一步输送到处理站，输送装置最好这样构成，使得由输送装置沿板的整个上边缘夹持板。然而，沿板的上边缘夹持板应理解为不仅连续地夹持，而且也沿板的整个上边缘逐点递增地夹持板。

为了更快地向涂敷系统供应板和从涂敷系统移出板，最好是向输送装置供应板和从输送装置移出板实现自动供应板和自动移出板。

根据一个优选实施例，板供应装置包含一板引入管道，通过该轴将板供应给输送装置。朝向顶端该板引入管道做成带锥度的漏斗状形式，并在紧靠输送装置的夹持装置处立即排出。通过经带锥度的轴馈送的各板，由输送装置夹持上边缘的板的任何偏移或其它不规则都可矫直，因此输送装置的输送可保证无间断。以这种方式，可以避免输送备份和报废产品。

输送装置可以按照这种方式改变，即每个板悬挂在输送装置上时，由夹持装置根据拉链(zipper)原理沿板的上边缘逐渐地夹持每个板。然而，为了加速整个生产操作过程并因此提高生产率，最好这样构成板供应装置和输送装置，即各的板悬挂在输送装置上时，同时由输送装置沿板的上边缘夹持板。至于从输送装置释放板，最好板移出装置相应地设置成这样的装置。

在轨道上的安装有夹持装置的输送车是输送装置的一个可行的实例。然而优选的是循环式输送链，夹持装置安装在其各个链元件上。输送链代表一种经济的输送装置，此外，输送装置易于调节的方式可利用传动齿轮驱动。输送链最好围绕两个链轮转动，而其通常位置在其纵向上可自由移动。传动链轮和最好做成可调转速电动机形成的链驱动装置最好位于在板移出装置中。这里，传动链轮以固定安装方式装设，而其它绕圆转动的链轮按照位置可调的方式装设在板供应装置中，以便维持链的张紧。夹持装置可以按照开环或闭环控制方式电控制的电动机开动的夹持器。装设简单的机械夹持部件作为优选的夹持装置，其受弹簧作用沿闭合方向而被偏置，并可用机械作用打开。例如用一个可以同时压住多个位于输送链上的夹持部件的杆，可以同时打开多个这样的机械夹持部件，因此将其打开。然而，为了保证更快速地生产操作，板供应装置和/或板移出装置包含一个开式链，它与输送链平行，该开式链其按速度循环，该开式链包括在其链节上安装的力柱塞。为了打开夹持部件，具有力柱塞的开式链推靠夹持装置，因此，经过一个机构夹持装置中的弹簧偏置的夹持部件被打开。按照这种方式，利用连续循环的输送链，可以将板顺序地供应给输送装置或从输送装置移出，这减少了用于涂敷的板的生产时间。例如利用电动机或利用气缸装置可以向开式链施加压力。

最好装设用于干燥涂敷装置施加于板上的涂敷材料的干燥装置，以便加速施加的蜡克漆的干燥过程，其中处在竖直悬挂位置由输送装置夹持其上边缘的板被输送通过干燥装置。

可能需要在涂敷之后以低于涂敷之后和/或干燥之后的涂敷材料温度的涂敷材料温度使板行进经过处理步骤。为此，根据一实施例，板涂敷系统装设有冷却装置，用于冷却涂敷装置施加给板上的涂敷材料，其中处在竖直悬挂位置由输送装置夹持其上边缘的板被输送通过冷却装置。对于意在用于电路板的基板的情况这一点特别重要，其中该基板在用光敏抗蚀剂涂敷之后通常用冷却到室温的光敏抗蚀剂进行曝光处理。

在涂敷装置之前的清洁装置中可选择地对板进行清洁，该清洁装置最好包括：一个与被输送通过的板相接触的清洁辊和一个与清洁辊滚离的粘附辊，该粘附辊拾取并保持由清洁辊从板中拾取的颗粒。对于需两侧涂敷的情况，清洁装置装设在板的两侧是有利的。输送装置也最好在清洁装置上方延伸，使得清洁装置也能从侧面接近而不受妨碍。输送装置的做成使得利用输送装置将处在竖直悬挂位置的板输送通过清洁装置。

下面借助于优选实施例参照附图解释本发明。

在附图中：

图1是表示用于实施本发明方法的优选的板涂敷系统的侧视图；

图2是表示图1中的板涂敷系统的俯视图；

图3是表示图2的板涂敷系统中用“A”表示的部分的的放大图，该部分表示涂敷装置；

图4是表示图3所示的涂敷装置的正视图；

图5表示根据另一实施例的涂敷装置；

图6表示在图2中剖面线B-B之间的剖面；

图7表示在图1的板涂敷系统中的涂敷装置区域内的输送装置的剖视图；

图8表示沿图2的剖面线C-C所取的剖视图。

图1和图2是分别表示用于实施本发明方法的优选的板涂敷系统1的侧视图和俯视图。所示的板涂敷系统1意在用于利用液体光敏抗蚀剂即光敏蜡克漆，涂敷用于电路板的基板和/或电路板的内层。根据图1和图2，板涂敷系统1包含如下各部分：涂敷装置2，它做成辊式涂敷器形成，具有一涂敷辊3(参见图2)，用于将光敏蜡克漆施加于需涂敷的板4的一侧。利用蜡克漆供应装置(下面将详细描述)向涂敷辊3供应光敏抗蚀剂，然后将光敏抗蚀剂经过转动转移到被输送通过的与涂敷辊相接触的板上。板涂敷系统1还包含一个位置与涂敷装置2相对的支承件5，支承件5在涂敷过程中从板4的另一侧压靠板4，其作用是抵抗由涂敷辊3向板4施加的压力。板涂敷系统1还包含一输送装置6，在涂敷过程中利用输送装置6将与涂敷辊3相接触的板4输送通过在涂敷辊3和支承件5之间的间隙7(见图3和5)。由图1和图2可以看出，涂敷装置2做成具有竖直定位的涂敷辊3的竖直涂敷装置。此外，输送装置6是这样构成的，对于将相应的板4在竖直悬挂方式下可以夹持板的上边缘8，并且在这一竖直悬挂位置导引通过用于涂敷的涂敷辊3。这意味着，当利用涂敷辊3涂敷板4时，在输送装置6上连续地从板的上边缘悬挂的同时，将板4导引通过涂敷辊。按照这种方式，与利用涂敷辊同时进行输送的情况相反，在涂敷过程中实现板的精确导引，因此，获得高精度的涂敷。由图1可以看出，输送装置6设置在涂敷装置2的上方，因此也在涂敷辊3的上方，因此导引板4的上边缘没有通过辊间间隙7，并因此未被涂敷。涂敷之后，板4可以不夹持其它位置，而是在未涂蜡克漆的位置夹持，以便进一步输送，使得能避免涂蜡克漆层受到损害产生箔片。否则可能导致在蜡克漆层上或中受到污染，因此使以后的电路板产生缺陷。在利用输送装置6将板4输送连续通过涂敷装置2的情况下，为了进一步输送，即没有用这一装置抓住的板4首先供应到涂敷辊3，并最终被另一个输送装置再次抓住，从而实现了加速生产过程。18.1在输送装置6位于涂敷装置、门9和或玻璃观察窗的上方的情况下，可以按简易的方法在侧面安装在涂敷装置中，因此简化了对涂敷装置的监视、清洁和维护。

涂敷系统1还包含自动供板装置或加料站10，从输送板的方向看，位于在涂敷装置2的前方(在图1和图2中涂敷装置2的左侧)。供板装置10具有一未示出的真空夹具(真空吸引器)，利用该真空夹具的空吸作用将输送到涂敷系统1的板被吸住并带到竖直位置。此外，该真空夹具可以执行竖直提升移动，以便将板向上供应给输送装置6，然后利用输送装置6将处于竖直位置的板的上边缘夹持。为了夹持板，除了输送装置6之外装设一开式链11形式的打开装置，正如下面详细介绍的，借助于该打开装置用输送装置6实现板4的边缘夹持。19.1在将板4悬挂在输送装置6之后，对板进行预清洁，为此将板清洁站12插入加料站10和涂敷装置2之间。板清洁站12在板4的一侧或两侧包括两个清洁辊13’、13″，因此，每一清洁收集辊13’滚离板4，该板4被输送装置6输送通过，清洁辊13’用于收集颗粒，每一清洁粘附辊13″与清洁辊收集13’滚动，在清洁粘附辊13″上粘附清洁收集辊13’收集的颗粒。

干燥装置14连接于涂敷装置2。干燥装置14包含多个利用连接到其上的例如红外热辐射体的热源16干燥元件15。输送装置6在干燥装置14上方沿干燥装置14延伸，因此，在施加的蜡克漆的干燥过程中，利用输送装置6将处在竖直悬挂位置的板4连续地移动通过干燥装置14。

输送装置6其构成具有直线输送通道，其中干燥或加热元件15基本上沿着直线输送通道依次排列。然而，输送装置6也可以为曲线输送通道，这取决于现场的条件和其它装置部件的配置，曲线输送通道可能是有利的或必须的。因为根据本实施例，板4可在两侧涂敷，加热元件15配置在输送通道的两侧，因此亦在板4两侧。这里，干燥装置取为板涂敷系统1的长度的约二分之一，根据本实施例即10米的量级。然而，干燥装置14的长度(因而系统1的总长度)取决于计划的板的生产量。这意味着，如果要将板4输送得更快(生产量更高)，则干燥装置14要相应地延长，以便保证涂敷材料29的干燥时间。

在干燥装置14之后装设在其中设置多个冷却元件18的冷却装置17。根据本实施例，装设通风装置作为冷却元件18，利用通风装置以过滤的环境空气使冷却空间通风，以便冷却板4，板4输送通过冷却空间，使之下降到室温。冷却元件18可以另外装备有冷却填料，以便冷却供给冷却空间的环境空气，从而按照这种方式加速板4的冷却。输送装置6以延伸方式位于冷却元件18的上方，使得按竖直位置悬挂在输送装置6上的板4可输送通过冷却装置17。本实施例中冷却元件18在位于在输送的板4的两侧，以便均匀地冷却施加在板4的两侧上的光敏抗蚀剂，关于冷却装置17所需的长度，考虑按照与干燥装置14相应的长度。

在干燥装置中，利用供给新过滤的并且新加热的或仍需要加热的空气连续地规则地与干燥装置14中的温暖空气进行交换，以便防止板周围的空气中的溶剂蒸汽的浓度加大。这里测量所使用的空气的体积流量并提供给通风电动机作为调节变量。需干燥的板4通过供给暖空气取代红外热辐射体也可以任选方式或以组合方式干燥。将干燥空间包围隔离防止热能不必要地散失到周围环境中。

板自动移出装置19连接于冷却装置17，板自动移出装置19是根据板供应装置10构成的，因此，包含一个未示出的吸引器臂和一个开式链20形式的打开装置。

在如下的涂敷装置2的优选实施例中，参照图3解释了作为辊式涂敷器涂敷装置2。图3表示了在图2中“A”部分的放大图。正如上面解释的，根据图2的板涂敷系统1包含2个涂敷装置2，它们的位置是相对的且相对于板4的输送通道是彼此对称的。与另一个涂敷装置2位相对的涂敷装置2，同时用作为支承件5，它在涂敷的过程中从板4的与对应的另一个涂敷装置2相对的侧面压靠板4，以便在涂敷板4的过程中，作用抵抗由对应的涂敷装置2施加的压力。在下面，仅解释两个涂敷装置2中的一个，因为两者是彼此对应的。正如上面解释的，涂敷装置2包括旋转驱动的涂敷辊3，它竖直设置并沿板4的输送方向与需涂敷的板4的接触处运动。涂敷辊3(或施加辊)包括由柔性合成材料特别是橡胶制成的周边层21。这一周边层21以极微尺寸成形，因而涂敷辊3可以更好地将供应装置(下面解释)供应到其上的涂敷材料输送到板4。涂敷辊3的核心是由比其周边层21更硬的材料制成的，其中例如钢或合成材料，它们与周边层21相比更硬。涂敷辊3也可以完全由周边层材料制成。完全由钢制成的辊22和23也是竖直设置的，与涂敷辊3相接触，使辊22和23随涂敷辊转动。图3中的下钢辊作为刮刀辊22，图3中的上钢辊作为共转辊23。取代钢，刮刀辊22和共转辊23也可以由其它材料例如合成材料制成，该合成材料比涂敷辊3的周边层21的材料硬。三个所述辊3、22和23的转轴是这样设置的，即刮刀辊22和涂敷辊3之间的连线以及共转辊23和涂敷辊3之间的连线形成一锐角，然而其中刮刀辊22和共转辊23彼此不是靠置的。刮刀辊22的直径和共转辊23的直径相同，使得刮刀辊22和共转辊23两者与涂敷辊3接触旋转，因而在辊3、22和23之间没有相对运动。与刮刀辊22和共转辊23两者相反，涂敷辊3具有更大的直径。一个中间空间24形成在涂敷装置2中的这样设置的各辊之间，中间空间24邻接辊3、22和23。竖直设置的密封辊25靠置在两个钢辊22和23上。辊式涂敷器中的4个辊3、22、23和25彼此平行地设置。密封辊25包括相对于刮刀辊22和共转辊23的材料较软材料的外层。特别是使用橡胶材料作为密封辊25的外层26，而密封辊25的核心也可以由钢制成。然而，密封辊25的核心也可以完全由其外层材料制成。密封辊25不仅压靠刮刀辊22而且还压靠共转辊23，使中间空间24朝向侧面形成流体密封。此外，共转辊23按照这样一种方式压靠涂敷辊3，即在这两个辊之间没有流体朝侧面向外逸出。辊3、22、23和25在它们的最下侧由支承板27支承，支承板27还同时对于4个辊3、22、23和25的前方形成密封，因而形成流体密封的容纳空间28，在该容纳空间28中接纳要涂敷到板4的液体涂敷材料29。

根据一个优选实施例，涂敷辊3和密封辊26有位置固定的轴，而刮刀辊22和共转辊23是垂直于密封辊25和涂敷辊3的轴之间的连线可调地设置的。共转辊23因此抵抗密封辊26和涂敷辊3可受到预期的接触压力，以便实现所需的流体密封。涂敷辊3和刮刀辊22相反地旋转，使得它们从容纳空间28在它们的相接的接触线向外运动。按照这种方式，涂敷辊3可以易于由容纳空间28向外沿需涂敷的板4的方向输送涂敷材料29。这里，在容纳空间28中的涂敷辊22的表面拾取涂敷材料29，并利用涂敷辊3的转动通过刮刀辊22和涂敷辊3之间的间隙向外输送，并最终转移到板4。通过设置刮刀辊22对于涂敷辊3的接触压力，可以确定利用涂敷辊3由容纳空间28转移多少涂敷材料29，其中作用如下：接触压力越高、涂敷辊3能向外输送的涂料越少以及层厚越小。与共转辊23和密封辊25相似，刮刀辊22的外表面光滑地形成，使得它不从容纳空间28向外携带任何流体。调节刮刀辊22还可以导致密封辊25和刮刀辊22之间的接触压力改变。为了防止以这种方式引起的密封辊25和刮刀辊22之间的密封不足，使密封辊预先相应固定地压靠刮刀辊22和/或(如图3中所示)刮刀辊22和密封辊26相反旋转，使得在它们的接触线上它们沿容纳空间28的方向移动。按照这种方式，容纳空间28的涂敷材料29再输送是有利的。由于刮刀辊22、共转辊23和密封辊26的光滑的外表面，以及由于与钢辊22和23相比较较软的密封辊25的各接触点侧的柔性，在这些辊25、22和23之间形成足够的密封，使得在其间涂敷材料不会向外逸出。然而，偶然发生流体向外逸出，这是由位于在下方的支承板27引起的，为此支承板27被做成一收集容器。由支承板27汇集的流体然后经过再循环导管30(见图4)返回馈送到一未示出的供应容器。

容纳空间28经过连接管线31与泵(未示出)连通，该泵将液体涂敷材料29从供应容器中经管线31输送到容纳空间28，以便补偿由涂敷辊3带走的材料。这里连接管线31位于下支承板27中使得重新供应的涂敷材料从下方进入容纳空间28。此外，以溢流管32形式的溢流装置设置在容纳空间28中，溢流管32竖直延伸并因此平行于容纳空间28的纵向，溢流管32朝顶部开通并朝底部经过另一连接管线33与供应容器连接。因此包含在容纳空间28中的涂敷流体29可以上升直到达到溢流管32的上端34。因此，通过从供应容器中经常重新供应流体，使在容纳空间28中的流体液位精确地调节到溢流管32的上端34的高度。最好溢流管32其长度是可变的，使得能够调节确定在容纳空间28中的各种液位。这里，溢流管32长度的设定可以步进的或非步进的方式进行。与此不同，在溢流管32中可以形成一些可闭合的开口，其中通过打开这些开口可以相应地设定其它的液位。由图4可以看出，在辊的上侧由上支承板35支承辊。输送装置6位于涂敷装置2的上方并因此在辊3、22、23和25的上方。在这一个优选实施例中，涂敷装置2的两个上支承板35的位置彼此分开一定距离，其中输送装置6延伸在两个上支承板35之间，板4可以由高度直接在辊3、22、23和25之上的输送装置6夹持。按照这种方式，可以使未涂敷的上边缘8并因此使板4的未使用部分很小。为实现最佳输送板4所需的上边缘8的宽度为6-12毫米。

图5表示根据另一个优选实施例的与图2的“A”部分相对应的板涂敷系统1中的部分。根据这一个优选实施例仅装设一个与前面介绍的涂敷装置2相对应的涂敷装置2。然而，位于与这一涂敷装置2相对的不是另一个涂敷装置而是支承辊36。间隙7位于涂敷辊3和支承辊36之间，由输送装置6导引板4通过间隙7。这一个优选实施在中在一个涂敷过程中仅从一侧涂敷板4。

由图2可以看出，在每一种情况下，输送装置6从板供应装置10延伸通过涂敷装置2，一具有门9的维护区44、干燥装置14、冷却装置17和板移出装置19，均在这些装置和设备的上方。根据该优选实施例所示的输送装置6是循环输送链37，在它的链节38上，特别是从图6和7可以看出，夹持装置39侧面安装。各夹持装置39具有一个钩状夹形式夹持部件40，例如由钩形弯曲金属片或合成材料制成。夹持部件40位于按直角方式弯曲的三角形闭合框架部件41中，其中夹持部件40设置在所述框架部件41中的两个自由平行动作框架臂41’、41″之间。夹持部件40沿其纵向方向延伸在两个框架臂41’、41″之间以及通过它们。角形框架部件41中的两个框架臂14’、14″经过一过桥41彼此相连，该过桥41安装在角形安装件43中的臂43’上，角形安装件43本身利用其第二臂43″通过链节螺栓固紧在其中一个链节38上。利用弹簧42将夹持部件40偏置，使得夹持部件40由于它的一个钩端而被偏置，该钩朝向框架部件41中的一个框架臂41″弯曲，推靠这一框架臂41″。夹持部件40沿其与输送链37相垂直的纵向延伸；在这里它的具有钩端40’的钩部分面向输送链37，而另一钩端40”的面向背离输送链37。通过沿输送链37的方向推其面向背离输送链37的端部40″，将使夹持部件40进入打开位置，接着可以将板4导引到一个框架臂41″和夹持部件40的钩端40’之间，并且接着释开夹持部分40，可按照这样一种方式固紧到输送链37上，即由钩端40’和一个框架臂41″之间的弹簧42的弹力作用箝住。

图6表示一沿图2中B-B线的直线通过板供应装置10的剖视图。根据这一实施例，板供应装置10包括一板引入管道45，它沿输送链的纵向延长，并直接位于输送链37之下，沿输送链37的纵向朝顶部带有锥度，形状为漏斗形。夹持装置直接位于在排放端46，使得从下方通过引入管道45的供应的板4可以由在引入管道45之后的夹持装置39直接夹持。板引入管道45由位置彼此相支并弯成相应的漏斗形的两个板47和48形成。在本实施例中，输送链37中的两个张紧件37’、37″一个在另一个之上运转。打开装置49构成开式链50形式，用于打开夹持装置39，使压片形式的每个具有两个角52的力柱塞51附着在链节上。以平行于输送链37运转的方式装设开式链50，以及使链的张紧件(stretch)50’、50″沿水平方向彼此接近。换句话说，开式链50可完全沿到输送链37的方向沿其整个长度运动(双箭头)，使得柱塞51推靠该面向背离输送链37的端部40″同时打开夹持装置39。打开装置49的长度亦即(约)开式链50长度的二分之一对应于需输送的预期的板4的最大长度。因此，在向输送装置6供应板4的过程中，利用打开装置49可以打开一些沿板的整个上边缘8可以夹持板4的夹持装置39。如上面所解释的，被输送装置6供应的板4通过驱动打开装置49，被箝入夹持装置39，然后利用输送链37沿清洁装置12和涂敷装置2的方向输送。

板引入管道45是宽度带锥度的，其宽度小于或者等于一个框架臂41″和打开的夹持部分钩端40’之间的距离。按照这种方式，实现了供应到输送装置6的板4可以连续地引入到夹持装置39而不受妨碍。在板4呈现扭曲或在上边缘8弯曲的情况下，利用隧道形的板引入管道45将这些部分矫直，这是由于上述引入管道45的宽度绝不会大于夹持装置39的上述箝住部分(臂41”和钩端40’)之间的距离。

图7表示一在涂敷装置2的区域通过输送装置6剖视图，涂敷装置2位于输送装置6的下方。由图7可以看出，输送链37中的上和下张紧件37’和37”分别在支承壳体53和54中运转，特别是悬挂板4的下张紧件37”从下方在其整个长度范围内支承，以克服下垂以及克服扭转。按照这种方式，实现更精确地导引板4。输送链37是按照双链构成的，以便实现更好地支承克服链37的扭转。夹持装置39利用它们的螺栓从侧面安装在输送链37的侧面。输送链37由上方和下方支承在两个连接板之间，两个连接板面向背离夹持装置39并由下方支承在位于面向夹持装置39两个连接板之间的链螺栓上。因此，输送链37可靠地导引，防止沿链张紧件37’和37”的方向扭转，链张紧件37’和37”通过两个彼此按一定距离配置的下壳体(casing)臂53’和53”及54’和54”以及通过上壳体臂53及54。将带有缝隙56的板或盖板55装设在输送链37和夹持装置39的下方，由输送装置6输送的板4延伸通过缝隙56。板55防止来自输送链37的颗粒例如润滑剂落入到板4上，该颗粒可能导引污染涂敷层。根据图7所示的实施例，将刷57装设直接在缝隙56的上方于板4的两侧，刷57接触板4的上边缘8，使得另外将缝隙56封住防止颗粒逸出。这一刷57特别配置在涂敷装置2的区域。

图8表示一沿在图2中按剖面线C-C标注的剖视图，为通过干燥装置14的剖视图。由图8可以看出，干燥元件15设置在板58中，而板58铰接到系统1中的机器框架59上位于在它们的下侧，使得它们可以向旁摆。各加热部分18配置在板58中。

总体配置在机器框架59内的板涂敷系统1中的各组成部分，如果需要，可以从中移出和利用其它部分替代。此外，机器框架59可根据选择延伸或装设另外的部分。

在涂敷装置2和干燥装置14之间的控制和维护区44最好通风，以便在维护作业的过程中不使操作人员受到溶剂蒸汽的危害。属于涂敷装置2的其它装置例如涂敷材料泵、用于调节涂敷材料温度和粘度的恒温器、蜡克漆供应容器和用于向涂敷材料供应溶剂的溶剂容器邻近在系统框架59内的涂敷装置2配置，并从控制和维护区44可接近。

Claims (35)

1.一种利用液体涂敷材料涂敷板(4)的方法，特别是用于利用液体光敏抗蚀剂涂敷意在用于电路板的基板，其中为了涂敷。用输送装置(6)将板(4)输送通过涂敷辊(3)与涂敷辊(3)相接触，以及其中竖直定位的涂敷辊(3)旋转，在涂敷过程中由输送装置(6)夹持处在竖直悬挂位置的板的上边缘(8)，并用输送装置(6)导引通过竖直定位的涂敷辊(3)。

2.根据权利要求1所述的方法，在板(4)供应给输送装置(6)的过程中同时由输送装置(6)沿板的整个上边缘(8)夹持和/或其中在板(4)从输送装置(6)移出的过程中同时由输送装置(6)沿板的整个上边缘(8)释放。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中在板(4)行进到输送装置(6)的过程中由输送装置(6)夹持的板的上边缘(8)被矫直，将板(4)导引通过带锥度的漏斗形引入通道(45)。

4.根据权利要求1所述的方法，其中施加到板(4)上的涂敷材料(29)在涂敷操作之后被干燥，由输送装置(6)沿板的上边缘(8)夹持的板(4)在竖直悬挂位置输送通过干燥装置(14)。

5.根据权利要求1所述的方法，其中涂敷在板(4)上的涂敷材料(29)在涂敷操作之后被冷却，由输送装置(6)沿板的上边缘(8)夹持的板(4)在竖直悬挂位置输送通过冷却装置(17)。

6.根据权利要求1所述的方法，其中在涂敷过程中利用2个涂敷装置(2)同时在两侧涂敷板(4)。

7.根据权利要求1所述的方法，其中在涂敷材料(29)施加到板(4)上之前，为了将涂敷材料(29)调节到预定的粘度，将待涂敷的涂敷材料(29)冷却和或加温。

8.根据权利要求1所述的方法，其中在涂敷之前清洁板(4)。

9.一种板涂敷系统(1)，用于利用液体涂敷材料(29)涂敷板(4)，特别是用于利用液体光敏抗蚀剂涂敷用于电路板的基板，包括涂敷装置(2)，该涂敷装置(2)包括用于将涂敷材料(29)施加到板(4)的一侧的涂敷辊(3)；和包括用于将液体涂敷材料(29)供给涂敷辊(3)的供应装置；还包括，一个支承件(5)，它设置在与涂敷装置(2)相对，在涂敷过程中从敷板(4)的另外一侧用作抵抗由涂敷辊向板(4)施加的力；以及输送装置(6)，在涂敷过程中用输送装置(6)将与涂敷辊(3)相接触的板(4)输送通过在涂敷辊(3)和支承件(5)之间的间隙(7)，其中涂敷装置(2)做成具有竖直定位的涂敷辊(3)的竖直涂敷装置，以及其中输送装置(6)的做成使得输送装置将以竖直悬挂方式夹持其上边缘(8)的板(4)导引通过处在竖直悬挂涂敷位置的涂敷辊(3)。

10.根据权利要求9所述的板涂敷系统(1)，其中供给装置包括一包含液体涂敷材料(29)的容纳空间(28)并且在该空间中，涂敷辊(3)的周边部分沿纵向旋转。

11.根据权利要求10所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷装置(2)还包括：一竖直设置的刮刀辊(22)，它与涂敷辊(3)相接触并以可调节方式设置，改变对于涂敷辊(3)的接触压力以便调节涂敷厚度；一竖直设置的共转辊(23)，它密封地靠置涂敷辊(3)并与距刮刀辊(22)以这样一个距离配置，使得在共转辊(23)、刮刀辊(22)和涂敷辊(3)之间形成一个三角形的密闭腔(24)；一密封辊(25)，它设置不仅靠置于刮刀辊(22)还靠置共转辊(23)，同时侧面密封该腔(24)；以及一前密封件(27)，利用该前密封件(27)密封在辊(3、22、23、25)的下前侧的腔(24)，同时形成液体涂敷材料(29)的容纳空间(28)。

12.根据权利要求10或11所述的板涂敷系统(1)，其中该供应装置还包括：液体涂敷材料(29)的供应容器，涂敷材料(29)由该供应容器供应到容纳空间(28)；一可调节的溢流部件(32)，用于确定容纳空间(28)中的液位，超过溢流部件(32)的过多的涂敷材料(29)再循环到供应容器。

13.根据权利要求10到12中之一所述的板涂敷系统(1)，其中容纳空间(28)中装设冷却和/或加热装置，利用该冷却和/或加热装置可以将容纳在容纳空间(28)中的液体涂敷材料(29)冷却或加温，以调节其粘度。

14.根据权利要求10到13中之一所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷装置(2)包括驱动装置，用于将所有4个辊(3、22、23、25)同时驱动。

15.根据权利要求9到14中之一所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷辊(3)相对于需涂敷的板(4)倾斜设置，板(4)沿向上方向增加间距。

16.根据权利要求11到14中之一所述的板涂敷系统(1)，其中刮刀辊(22)可以向上倾斜定位，与涂敷辊(3)分离，使得相对于涂敷辊(3)的压力向顶部递降。

17.根据权利要求11到16中之一所述的板涂敷系统(1)，其中共转辊(23)以可调节方式设置，用于改变相对于涂敷辊(3)的接触压力。

18.根据权利要求11到17中之一所述的板涂敷系统(1)，其中刮刀辊(22)和共转辊(23)可重定位地设置在垂直于密封辊(25)和涂敷辊(3)之间的连线方向，以调节所需的的接触压力。

19.根据权利要求11到18中之一所述的板涂敷系统(1)，其中刮刀辊(22)和共转辊(23)具有相同的直径。

20.根据权利要求11到19中之一所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷辊(22)和密封辊(25)具有由塑料材料特别是橡胶构成的外表面，以及其中装设的刮刀辊(22)和共转辊(23)是钢辊。

21.根据权利要求11到20中之一所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷辊(3)其外表面构成使得液体涂敷材料(29)由于涂敷辊(3)的转动沿其外表面输送到顶部。

22.根据权利要求9到21中之一所述的板涂敷系统(1)，其中支承件(5)做成支承辊(36)。

23.根据权利要求9到22中之一所述的板涂敷系统(1)，其中支承件(5)相应于第一涂敷装置(2)做成第二涂敷装置(2)，以便板(4)可以同时在两侧涂敷。

24.根据权利要求9到23中之一所述的板涂敷系统(1)，其中涂敷装置(2)和支承件(5)以可调节地设置在与板(4)垂直的方向。

25.根据权利要求9到24中之一所述的板涂敷系统(1)，其中输送装置(6)构成完全位于在顶部的输送装置(6)。

26.根据权利要求9到25中之一所述的板涂敷系统(1)，其中输送装置(6)的构成使得由输送装置(6)夹持板的整个上边缘(8)。

27.根据权利要求9到26中之一所述的板涂敷系统(1)，其中还包括：自动的板供应装置(10)，板(4)从该自动的板供应装置(10)供应到输送装置(6)，以及还包括：自动的板移出装置(19)，板(4)利用该自动的板移出装置(19)从输送装置(6)移出。

28.根据权利要求27所述的板涂敷系统(1)，其中板供应装置(10)和输送装置(6)的构成使得各板(4)同时沿其整个上边缘(8)被夹持，将其悬挂到输送装置(6)。

29.根据权利要求27或28所述的板涂敷系统(1)，其中板移出装置(19)和输送装置(6)的构成使得各板(4)同时沿板的整个上边缘(8)被释放，将其从输送装置(6)移出。

30.根据权利要求27到29中之一所述的板涂敷系统(1)，其中板供应装置(10)包含板引入管道(45)，通过管道(45)将板(4)供给输送装置(6)，其中板引入管道(45)做成朝向顶部带锥度的漏斗形状并在直接邻近输送装置中的夹持装置(39)处排放，使得具有矫直上边缘(8)的各板(4)直接馈送到输送装置中的夹持装置(39)。

31.根据权利要求9到30中之一所述的板涂敷系统(1)，其中输送装置(6)装设成循环输送链(37)，在输送链(37)中的链节(38)上安装用于夹持板(4)的夹持装置(39)。

32.根据权利要求31所述的板涂敷系统(1)，其中板供应装置(10)和/或板移出装置(19)包括开式链(50)，在其上装设有链节力柱塞(51)，开式链(50)平行于输送链(37)设置并按其速度运转，其中夹持装置(39)包括沿闭合方向弹性偏置的夹持部件(40)，并且其中开式链(50)可以利用开式链中的力柱塞(51)压靠夹持装置，同时打开夹持部件(40)。

33.根据权利要求9到32中之一所述的板涂敷系统(1)，还包括干燥装置(14)，用于干燥被涂敷装置(2)施加到各板(4)上的涂敷材料(29)，其中输送装置(6)将以竖直悬挂位置夹持上边缘(8)的板(4)输送通过干燥装置(14)。

34.根据权利要求9到33中之一所述的板涂敷系统(1)，还包含冷却装置(17)，用于冷却由涂敷装置(2)施加到各板(4)上的涂敷材料(29)，其中输送装置(6)将以竖直悬挂位置夹持上边缘(8)的板(4)输送通过冷却装置(17)。

35.根据权利要求9到34中之一所述的板涂敷系统(1)，其中还包含清洁装置(12)，用于清洁需涂敷的板(4)，从涂敷装置(2)的方向看，清洁装置(12)设置在板(4)的输送方向，输送装置(6)的构成使得在输送装置(6)中处在竖直悬挂位置的板(4)被输送通过清洁装置(12)以便清洁板(4)。

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