DE10001163A1 - Verfahren zum Beschichten einer Platte und Plattenbeschichtungsanlage zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Abstract

Verfahren zum Beschichten einer Platte und Plattenbeschichtungsanlage zur Durchführung des Verfahrens. Das erfindungsgemäße Verfahren ist zum Beschichten einer Platte mit flüssigem Beschichtungsmaterial, insbesondere zum Beschichten einer für Leiterplatinen vorgesehenen Basisplatte mit flüssigem Photoresistant vorgesehen. Hierbei wird die Platte zum Beschichten von einer Transportvorrichtung an einer Beschichtungswalze in Kontakt mit dieser stehend vorbeitransportiert. Die Beschichtungswalze wird in vertikaler Anordnung gedreht, und die Platte wird während des Beschichtens von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite in vertikal hängender Position festgehalten an der vertikal angeordneten Beschichtungswalze vorbeigeführt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten einer Platte mit flüssigem Beschichtungsmaterial, insbesondere zum Beschichten einer für Leiterplatten vorgesehenen Basisplatte mit flüssigem Photoresist (Photolack), sowie eine Plattenbeschichtungsanlage zum Durchführen des Verfahrens.

Bei der Herstellung von mehrlagigen Leiterplatten werden in der Regel kupferkaschierte Innenlagen mit einem photosensitiven Ätzresist beschichtet. Der Ätzresist wird mittels einer Filmvorlage belichtet, und im Anschluß daran wird das Leiterbild ausentwickelt. Da immer feinere Strukturen im Leiteraufbau gefordert werden, ist es erforderlich, den Ätzresist sehr dünn und trotzdem mit hoher Genauigkeit in der Schichtdickenverteilung aufzutragen. Eine möglichst saubere Umgebung ist hierfür Voraussetzung, da bereits kleinste Partikel als Verunreinigung auf oder in der aufgebrachten Ätzresistschicht Fehlstellen verursachen können.

Zur Beschichtung von für Leiterplatten vorgesehene Basisplatten werden derzeit vorrangig zwei Verfahren eingesetzt. Zum einen wird ein Trockenfilm mittels einer Trägerfolie auf die Basisplatte aufgebracht. Nach dem Belichten des Trockenfilms wird dann die Trägerfolie wieder abgezogen, um die Entwicklung der Plattenstruktur mittels eines Ätzprozesses zu ermöglichen. Bei einem anderen Verfahren wird die Basisplatte mittels einer oder mehrerer Beschichtungswalzen mit flüssigem Photoresist beschichtet. Hierzu werden derzeit Horizontal- Beschichtungsvorrichtungen mit horizontal angeordneten Beschichtungswalzen eingesetzt. Die jeweilige Beschichtungswalze rotiert teilweise in einem Photoresistbad und wird damit gleichmäßig entlang ihrer gesamten Länge mit flüssigem Beschichtungsmaterial benetzt. Die Schichtdicke wird mittels einer Doktorwalze eingestellt, welche mit der Beschichtungswalze in Anlage ist und mit unterschiedlichem Anliegedruck gegen die Beschichtungswalze verstellbar ist. Der Beschichtungswalze gegenüber ist unter Ausbildung eines Durchgangsspalts ein Gegenhalter angeordnet, der als Gegenwalze oder als zweite Beschichtungsvorrichtung mit horizontal angeordneter Beschichtungswalze ausgebildet sein kann. Die jeweilige zu beschichtende Platte wird mittels eines Transport­ bands oder Transportrollen der Beschichtungsvorrichtung zugeführt und von deren Beschichtungswalze(n) und gegebenenfalls Gegenwalze erfasst und von diesen Walzen unter Beschichten der Platte durch den Durchgangsspalt hindurchtransportiert. Im Anschluß an die Beschichtung wird die dann beschichtete Platte von einem Transportgreifer ergriffen und zu einem nächsten Bearbeitungsschritt, wie z. B. dem Trocknen des Photoresists oder dem Belichten der beschichteten Basisplatte, weitertransportiert. Bei der beschriebenen, herkömmlichen Beschichtungsanlage zum Auftragen von flüssigem Photolack bestehen dahingehend Nachteile, dass nach dem Beschichten der Platte kein unbeschichteter freier Rand vorliegt, so dass eine Greifvorrichtung des Transportgreifers teilweise in den aufgebrachten Lack greifen muss, wobei es nach dem Abtrocknen des Lacks beim Öffnen der Greifer zu kleinen Lackabsplitterungen, sogenannten Flittern, kommen kann, welche zu Verunreinigungen auf der Basisplatte und damit zu Fehlstellen und zur Unbrauchbarkeit der späteren Leiterplatine führen können. Ferner kann es bei dem Einzug der Basisplatte zwischen die Walzen zu einer Verrückung der Platte kommen, was der Genauigkeit des Beschichtens ebenfalls abträglich ist. Da ferner die Beschichtungswalze gleichzeitig auch für den Transport der Basisplatte verwendet wird, ist ein entsprechender Anpressdruck gegen die Platte notwendig, von welchem auch die Beschichtungsdicke beeinflusst wird, so dass sich deren genaue Einstellung insgesamt schwieriger gestaltet. Desweiteren bereitet ein Wechsel des Plattenformats dahingehend Schwierigkeiten, dass das Transportsystem an unterschiedliche Breiten von Basisplatten angepasst werden muss, da es in der Regel von Transportgreifern gebildet ist, die die Platte an gegenüberliegenden Randseiten ergreifen. Das Ergreifen der Platten und deren Zuführung an die Walzen bereitet ferner dahingehend Schwierigkeiten, dass die Platten von den Greifvorrichtungen bzw. den Walzen nicht korrekt erfasst werden können, da sie, insbesondere wenn sie für Leiterzwischenlagen vorgesehen und sehr dünn ausgebildet sind, Verwindungen aufweisen können. Dies kann in der Produktion zu Stauungen und/oder zu Ausschußware führen.

Durch die Erfindung werden ein Verfahren sowie eine Plattenbeschichtungsanlage der eingangs erwähnten Art geschaffen, mittels deren Platten unterschiedlichster Formate auf einfache Weise mit verbesserter Qualität bei gleichzeitig höherer Produktivität beschichtet werden können.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Beschichten einer Platte mit flüssigem Beschichtungsmaterial, insbesondere zum Beschichten einer für Leiterplatinen vorgesehenen Basisplatte mit flüssigem Photoresist, wird die Platte zum Beschichten von einer Transportvorrichtung an einer Beschichtungswalze in Kontakt mit dieser stehend vorbeitransportiert wird. Hierbei wird die Beschichtungswalze erfindungsgemäß in vertikaler Anordnung gedreht, und die Platte wird während des Beschichtens von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite in vertikal hängender Position festgehalten an der vertikal angeordneten Beschichtungswalze vorbeigeführt. Das Verfahren kann außer zur Herstellung von Leiterplatten auch zur Herstellung anderer beschichteter Platten, wie Tisch- oder sonstiger Möbelplatten aus Holz, Stahl oder Kunststoff sowie für Bau- und Verkleidungsplatten eingesetzt werde.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können Platten unterschiedlichsten Formats in schneller und genauer Weise fehlerfreier beschichtet werden. Das maximale Plattenformat ist lediglich durch die Länge der Beschichtungswalze beschränkt, während davon ausgehend beliebige kleinere Platten ohne Anpassung der zugehörigen Transportvorrichtung beschichtbar sind, denn die Platten können stets auf gleichem Höhenniveau gehalten an den Walzen vorbeitransportiert werden, wobei der sich entlang der Beschichtungswalze erstreckende Plattenteil in seiner Länge bis zur maximalen Länge der Beschichtungswalze beliebig variierbar ist. Indem ferner die Platten von der Transportvorrichtung geführt an der Beschichtungswalze vorbeitransportiert werden, wird eine exaktere Beschichtung möglich als wenn der Transport mittels der Walzen selbst erfolgte.

Um einen noch schnelleren Produktionsbetrieb zu erzielen, wird die Platte nach einer Ausführungsform der Erfindung bei der Zuführung an die Transportvorrichtung von dieser gleichzeitig entlang der gesamten oberen Randseite ergriffen und/oder wird die Platte bei der Entnahme von der Transportvorrichtung von dieser gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite gelöst. Die Transportvorrichtung und eine automatische Plattenzuführ- bzw. eine Plattenentnahmeeinrichtung sind hierzu entsprechend ausgebildet.

Um ferner einen reibungsloseren Produktionsbetrieb zu gewährleisten, wird vorteilhafterweise die zu beschichtende Platte unter Begradigung ihrer von der Transportvorrichtung zu ergreifenden, oberen Randseite der Transportvorrichtung durch einen sich trichterförmig verjüngenden Einführschacht zugeführt.

Um den Produktionsvorgang bei der Beschichtung ferner zu beschleunigen, wird die Platte vorteilhafterweise nach dem Beschichtungsvorgang zum Trocknen des aufgetragenen Beschichtungsmaterials von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite ergriffen, in vertikal hängender Position durch eine Trockenvorrichtung geführt.

Insbesondere bei der Herstellung einer Leiterplatine ist es vor dem Belichtungsvorgang notwendig, dass der auf die Platte aufgebrachte Photoresist vor dem Belichtungsvorgang auf eine geeignete Temperatur abgekühlt wird. Um den Produktionsprozess insgesamt zu beschleunigen, wird hierzu im erfindungsgemäßen Beschichtungsverfahren die Platte nach dem Beschichtungsvorgang zum Kühlen des aufgetragenen Beschichtungsmaterials von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite ergriffen, in vertikal hängender Position durch eine Kühlungsvorrichtung geführt. Im Falle, dass die Platte beidseitig beschichtet werden soll, wird erfindungsgemäß die Platte im Beschichtungsvorgang von zwei Beschichtungsvorrichtungen gleichzeitig auf beiden Seiten beschichtet, wodurch die Beschichtungszeit verkürzt wird.

Um zu verhindern, dass das Beschichtungsmaterial an der Platte herabläuft, wird bevorzugt das aufzutragende Beschichtungsmaterial durch Kühlen und/oder Erwärmen auf eine vorbestimmte Viskosität eingestellt.

Das Ergebnis der Beschichtung kann dadurch weiter verbessert werden, dass die zu beschichtende Platte vor dem Beschichtungsvorgang erwärmt wird. Hierzu kann der Beschichtungsvorrichtung eine Wärmequelle, z. B. ein Infrarot- Wärmestrahler, vorgelagert sein. Die Beschichtung kann ferner qualitativ dadurch verbessert werden, dass die Platten vor dem Beschichtungsvorgang gereinigt werden.

Die Plattenbeschichtungsanlage zum Durchführen des erfindungsgemäßen Verfahrens ist insbesondere zum Beschichten von für Leiterplatten und Multilayer-Innenlagen vorgesehene Basisplatten mit flüssigem Photoresist vorgesehen. Sie kommt jedoch auch für die Beschichtung anderer Platten, wie Tisch- oder sonstiger Möbelplatten aus Holz, Stahl oder Kunststoff sowie für Bau- und Verkleidungsplatten in Frage. Sie weist eine Beschichtungsvorrichtung auf, welche ihrerseits eine Beschichtungswalze zum Auftragen des Beschichtungsmaterials auf eine Seite der Platte und eine Zuführeinrichtung zum Zuführen des flüssigen Beschichtungsmaterials an die Beschichtungswalze aufweist. Die Plattenbeschichtungsanlage weist ferner einen Gegenhalter auf, welcher der Beschichtungsvorrichtung gegenüberliegend angeordnet ist und welcher während des Beschichtens von der anderen Seite der Platte her dem von der Beschichtungswalze auf die Platte ausgebübten Druck entgegenwirkt. Die Plattenbeschichtungsanlage weist ferner eine Transportvorrichtung auf, von der die Platte während des Beschichtens durch einen Spalt zwischen der Beschichtungswalze und dem Gegenhalter mit der Beschichtungswalze in Kontakt stehend transportiert wird. Die Beschichtungsvorrichtung ist als Vertikal-Beschichtungsvorrichtung mit vertikal angeordneter Beschichtungswalze ausgebildet, und die Transportvorrichtung ist derart ausgebildet, dass von ihr die Platte an deren oberen Randseite vertikal hängend ergriffen wird und in dieser vertikal hängenden Position zum Beschichten an der Beschichtungswalze vorbeigeführt wird.

Aufgrund der vertikalen Anordnung der Beschichtungswalze und den durchgehend an der Transportvorrichtung aufgehängten Transport der Platte können ohne jegliche Verstellung der Transportvorrichtung Platten unterschiedlicher Formate beschichtet werden. Hierbei ist das maximale Plattenformat zwar nachwievor durch die Länge der Beschichtungswalze beschränkt, kleinere Platten können jedoch wahlweise und ohne Änderung der Anlage beschichtet werden. Denn kleinere Platten werden vom jeweiligen oberen Walzenabschnitt beschichtet, während der darunterliegende Walzenteil ohne Kontakt mit der Platte umläuft, wobei der Produktionsbetrieb nicht gestört wird. Hiermit wird aufgrund verringerter Stillstandzeiten eine Steigerung der Produktivität erzielt. Da ferner dadurch, dass das Transportsystem die Platte durchgehend, d. h. auch während des Beschichtungsvorgangs geführt transportiert, werden die zu beschichtenden Platten geführt an der Beschichtungswalze vorbeitransportiert, so dass eine exaktere Beschichtung ermöglicht ist. Da ferner die Platte an einer Randseite hängend transportiert wird, kann sie mit dieser Randseite aus der Beschichtungsvorrichtung hervorstehend durch diese hindurchtransportiert werden, womit eine Beschichtung dieser Randseite i. V. m. einem Eingreifen der Transportvorrichtung auf einen beschichteten Plattenteil vermieden wird. Hierdurch können Flitter vermieden werden, was letztlich zu weniger Ausschußware und zu höherer Produktivität führt.

Die Zuführeinrichtung zum Zuführen des flüssigen Beschichtungsmaterials an die Beschichtungswalze kann in Form einer Beschichtungswalze oder einer Sprüheinrichtung ausgebildet sein, von der die Walze vor dem Beschichten der Platte ihrerseits vorab beschichtet wird. Bevorzugt weist die Zuführvorrichtung einen Aufnahmeraum auf, in dem das flüssige Beschichtungsmaterial, d. h. z. B. der Photolack oder Photoresist, aufgenommen ist, und in dem die Beschichtungswalze längs eines Umfangsabschnitts rotiert. Damit steht die Beschichtungswalze umfangsseitig teilweise in einem Flüssigkeitsbad, welches eine stets ausreichende Versorgung mit Beschichtungsmaterial gewährleistet.

Die Beschichtungswalze kann synchronisiert mit dem Plattenvorschub angetrieben sein, so dass es zwischen der von der Transportvorrichtung an der Beschichtungswalze vorbeitransportierten Platte und der Beschichtungswalze ausschließlich zu einem Wälzkontakt kommt. Die Beschichtungswalze kann jedoch auch zur Einstellung der Schichtdicke gegenüber dem Plattenvorschub schneller oder langsamer gedreht werden, so dass es zwischen der Beschichtungswalze und der mit dieser in Kontakt stehend vorbeigeführten Platte zu einer Relativbewegung kommt, welche zu einem streichenden Auftrag des Beschichtungsmaterials auf die Platte führt. Hierbei kann durch ein gegenüber dem Vorschub der Platte schnelleres Drehen der Beschichtungswalze ein dickerer Auftrag erreicht werden, während durch ein langsameres Drehen der Beschichtungswalze mit demgegenüber schnellerem Plattentransport eine dünnere Beschichtungsdicke erzielt wird. Die Beschichtungswalze kann sowohl in Richtung der Plattentransportbewegung als auch zu dieser gegenläufig gedreht werden. Letzeres ist beispielsweise zur Erzielung hochgenauer Beschichtungen mit geringer Schichtdicke vorteilhaft.

Das Einstellen der Schichtdicke erfolgt bevorzugt durch eine Doktorwalze, welche mit der Beschichtungswalze in Anlage steht und sich zu dieser gegensinnig dreht. Durch Variieren des Anliegedrucks zwischen der Doktor- und der Beschichtungswalze kann die von der Beschichtungswalze nach außen mitgeführte Flüssigkeitsmenge und damit die von der Beschichtungswalze aufgetragene Schichthöhe eingestellt werden. Anstelle der Doktorwalze käme jedoch auch ein mit der Beschichtungswalze in Anlage stehender Abstreifer in Frage, von dem das auf der Beschichtungswalze mitgeführte Beschichtungsmaterial auf die gewünschte Höhe gleitend abgestreift wird.

Der Aufnahmeraum, in dem das flüssige Beschichtungsmaterial aufgenommen ist, kann von einem Kastenbehälter gebildet sein, in welchem die Beschichtungswalze und die Doktorwalze in vertikaler Position umfangsseitig teilweise angeordnet sind. Eine längs- und stirnseitige Abdichtung des Behälters gegen die Walzen kann zum Beispiel durch eine gegen letztere gedrückte Lippendichtung erfolgen. Nach einer bevorzugten Ausführungsform weist die Plattenbeschichtungsanlage folgende Komponenten auf: eine vertikal angeordnete Doktorwalze, welche mit der Beschichtungswalze in Anlage ist und welche zum Einstellen der Beschichtungsdicke mit unterschiedlichem Anliegedruck gegen die Beschichtungswalze verstellbar angeordnet ist, eine vertikal angeordnete Mitlaufwalze, welche mit der Beschichtungswalze abdichtend in Anlage ist und welche derart in einem Abstand von der Doktorwalze angeordnet ist, dass zwischen der Mitlaufwalze, der Doktorwalze und der Beschichtungswalze ein dreiseitig geschlossener Zwischenraum ausgebildet wird, eine Dichtungswalze, welche unter seitlichem Abdichten des Zwischenraums sowohl gegen die Doktorwalze als auch gegen die Mitlaufwalze anliegend angeordnet ist, und eine stirnseitige Dichtung, von welcher der Zwischenraum am unteren Stirnende der Walzen unter Ausbildung des Aufnahmeraums für das flüssige Beschichtungsmaterial abgedichtet ist.

Indem der Aufnahmeraum von vier sich drehenden Walzen umgrenzt ist, findet eine ständige und dabei schonende Durchmischung der im Aufnahmeraum aufgenommenen Beschichtungsflüssigkeit statt. Durch Einstellung des zwischen den Walzen vorliegenden Anliegedrucks kann die geforderte Dichtheit des Aufnahmeraums gewährleistet werden. Die Walzen können aus den unterschiedlichsten Metall- oder Kunststoffmaterialien sein. Bevorzugt sind die Beschichtungswalze und die Dichtungswalze als mit Kunststoff beschichtete Walzen ausgebildet, und zwar insbesondere einem weichen Kunststoff oder Gummi. Der Walzenkern ist bevorzugt aus Stahl. Die Doktorwalze und die Mitlaufwalze sind demgegenüber bevorzugt als komplette Stahlwalzen ausgeführt. Die kunststoffbeschichteten Walzen geben an den Anlagestellen zu den ihnen gegenüber härteren Stahlwalzen leicht nach, so dass eine Dichtwirkung erreicht wird. Die Außenfläche der Beschichtungswalze kann strukturiert sein, so dass eine vorbestimmte Schichtstruktur auf die Platte aufgebracht werden kann.

Bevorzugt ist der Anpressdruck, den die jeweiligen Walzen aufeinander ausüben, einstellbar. Hierzu sind nach einer bevorzugten Ausführungsform die beiden Stahlwalzen mit ortsverstellbaren Achsen vorgesehen, während die Dichtungswalze und die Beschichtungswalze mit feststehenden Achsen vorgesehen sind. Besonders bevorzugt sind die Doktorwalze und die Mitlaufwalze zur Einstellung der erforderlichen Anpressdrücke gegen die Beschichtungswalze und die Dichtungswalze in Richtung senkrecht zu der Verbindungslinie zwischen der Drehachse der Dichtungswalze und der Drehachse der Beschichtungswalze ortsverstellbar angeordnet. Hierdurch kann von der Stahlwalze auf die Dichtungswalze und auf die Beschichtungswalze jeweils eine gleiche Druckerhöhung bzw. -verringerung erzielt werden. Die Doktorwalze ist, wie oben erläutert, insbesondere zur Einstellung der Schichtdicke in ihrem Anliegedruck gegen die Beschichtungswalze variierbar vorgesehen. Da beim Variieren des Anpressdruckes gegen die Beschichtungswalze gleichzeitig der Anpressdruck gegen die Dichtungswalze variiert wird, kann es zu einem mangelnden Abdichten zwischen der Doktorwalze und der Dichtungswalze kommen. Dem kann dadurch entgegengewirkt werden, dass die Dichtungswalze vorab mit erhöhtem Druck gegen die Doktorwalze gepreß ist, so daß der Anliegedruck auch bei einer einstellungsbedingten Verringerung stets ausreichend groß ist. Bevorzugt ist vorgesehen, daß sich die Dichtungswalze und die Doktorwalze an ihrer Berührungsstelle jeweils in Richtung zu dem Aufnameraum hin drehen, so dass das flüssige Beschichtungsmaterial durch diese Drehbewegung in den Aufnahmeraum zurückgefördert wird. Hierdurch ist auch bei einem geringen Anpressdruck zwischen der Doktor- und der Dichtungswalze eine ausreichende Flüssigkeitsabdichtung gewährleistet. Ferner kann auch unter den Walzen ein Auffangbehälter vorgesehen sein, von welchem etwaige Leckage aufgefangen wird und über Leitungen dem Aufnahmeraum wieder zugeführt wird. Die Walzen können unterschiedliche Durchmesser aufweisen; sie sind jedoch zur Vermeidung von Verschleiß bevorzugt derart ausgebildet, dass sie ausschließlich gegeneinander abwälzen. Hierdurch wird auch sicherer verhindert, daß Abschürfungen auftreten, die in den Aufnahmeraum gelangen und das Beschichtungsmaterial verschmutzen könnten. Es ist ferner bevorzugt, die Doktorwalze und die Mitlaufwalze mit gleichem Durchmesser auszubilden, so dass die Beschichtungswalze mit frei wählbarem Durchmesser beliebig austauschbar ist.

Der Flüssigkeitsspiegel im Aufnahmeraum würde durch das ständige Abführen von Beschichtungsmaterial durch die Beschichtungswalze schnell abnehmen, wodurch eine komplette und damit genaue Beschichtung der Platte nicht mehr gewährleistet wäre. Der Flüssigkeitsspiegel kann durch ständige, geregelte Zufuhr von Beschichtungsmaterial in den Aufnahmeraum konstant gehalten werden. Die Regelung kann zum Beispiel durch einen im Aufnahmeraum angeordneten Sensor erfolgen werden, der den Flüssigkeitspegel erfaßt und dessen Signale an eine Zuführpumpe rückgeführt werden, die ihrerseits dann die von der Beschichtungswalze abgeführte Menge an Beschichtungsmaterial aus einem Vorratsbehälter in den Aufnahmeraum nachfördert. Nach einer bevorzugten Ausführungsform weist die Zuführvorrichtung einen Vorratsbehälter für flüssiges Beschichtungsmaterial, von dem aus dem Aufnahmeraum Beschichtungsmaterial zugeführt wird, und einen variierbaren Überlauf zur Einstellung des Flüssigkeitspegels im Aufnahmeraum auf, über welchen Überlauf das überschüssige Beschichtungsmaterial an den Vorratsbehälter zurückgeführt wird. Der Überlauf bildet eine einfache Einrichtung zur Einstellung des Flüssigkeitspegels, welche durch die entsprechende Höhenanordnung des Überlaufs erfolgt.

Ferner kann durch den Überlauf eine ständige Umwälzung der im Aufnahmeraum angeordneten Flüssigkeit erzielt werden, indem das nachgeförderte Beschichtungsmaterial von unten in den Aufnahmeraum zurückgefördert wird.

Es wurde ermittelt, dass das auf die Platte aufgebrachte flüssige Beschichtungsmaterial, wie z. B. der Photoresist oder Photolack, bei einer Viskosität von 500 bis 1200 mPa pro Sekunde und Schichtdicken von 4 bis 100 µm trotz der vertikalen Anordnung der Beschichtungswalze(n) und der Platte praktisch nicht an letzterer herabläuft, was andernfalls zu einer ungleichen Schichtdickenverteilung führen würde. Um die Viskosität sicherer auf diesen gewünschten Werten zu halten, ist nach einer bevorzugten Ausführungsform der Aufnahmeraum mit einer Kühl- und/oder Heizvorrichtung versehen, von welcher das darin aufgenommene, flüssige Beschichtungsmaterial zur Einstellung dessen Viskosität abkühlbar bzw. erwärmbar ist. Ob eine Heiz- oder Kühlvorrichtung oder beides zusammen eingesetzt wird, richtet sich nach den verwendeten Beschichtungsmaterialen und der Abhängkeit deren Viskosität von der Temperatur. Die Kühl- und/oder Heizvorrichtung ist hierzu bevorzugt thermostatgeregelt. Eine andere Möglichkeit die Viskosität einzustellen, besteht darin, dem flüssigem Beschichtungsmaterial je nach gewünschter Viskosität eine bestimmte Menge an Lösungsmittel zuzuführen. Durch eine geregelte Lösungsmittelzufuhr kann dann die gewünschte Viskosität des Beschichtungsmaterials aufrechterhalten werden.

Von den vier Walzen der Beschichtungsvorrichtung kann eine oder mehrere angetrieben sein. Bevorzugt sind alle vier Walzen jeweils gleichzeitig von der Antriebsvorrichtung angetrieben, wodurch Verschleiß vermieden wird, der andernfalls dadurch entstünde, dass sich die Walzen untereinander per Wälzkontakt antreiben würden. Der Antrieb kann über jegliche Art von Motor erfolgen; bevorzugt ist eine Elektromotor vorgesehen, der über ein Getriebe mit den jeweiligen Walzen verbunden ist. An die Walzen können hierzu jeweils Zahnräder angeschlossen sein, die zum Antreiben der Walzen miteinander im Eingriff stehen. Ferner können die Walzen auch über einen Riemen- und bevorzugt über eine genaueren Kettentrieb miteinander drehverbunden sein.

Bei großen erforderlichen Schichtdicken und/oder geringen Viskositäten des Beschichtungsmaterials ist die Beschichtungswalze bevorzugt bezüglich der zu beschichtenden Platte mit nach oben hin zunehmendem Abstand von der Platte geneigt angeordnet.

Hierdurch wird im oberen Plattenabschnitt eine zunächst höhere Schichtdicke erzielt, welche sich dann durch langsames Herunterlaufen der Flüssigkeit an der Platte zu der gewünschten gleichmäßigen Schichtdicke ausgleicht. Alternativ oder zusätzlich hierzu kann die Beschichtungswalze an ihrer Außenfläche derart strukturiert sein, dass das flüssige Beschichtungsmaterial durch die Drehbewegung der Beschichtungswalze an deren Außenfläche nach oben gefördert wird. Dies kann zum Beispiel durch eine in die Außenfläche der Beschichtungswalze eingebrachte schraubenlinienförmige Kerbe oder Rille erfolgen. Um die Gleichmäßigkeit der auf die Platte aufgebrachten Schicht nicht zu beeinflussen, ist diese Förderstruktur im Gegensatz zu jener Struktur, mit der strukturierte Schichten auf die Platte aufgebracht werden, in mikroskopischer Größenordnung vorgesehen.

Alternativ zu der geneigten Anordnung der Beschichtungswalze kann auch die Doktorwalze nach oben hin von der Beschichtungswalze weggeneigt angeordnet sein, so dass sie nach oben hin mit abnehmendem Druck gegen die Beschichtungswalze gedrückt ist. Hierdurch wird nach oben hin mehr Beschichtungsmaterial von der Beschichtungswalze aus dem Aufnahmeraum nach außen mitgeführt und auf die Platte aufgetragen, so dass die vorstehend erläuterte Wirkung ebenfalls erzielt wird.

Der Gegenhalter kann als Gegenhalteband oder als Gegenhalteleiste ausgebildet sein. Um jedoch insbesondere bei den für Leiterplatinen vorgesehenen Basisplatten mit Dicken im Bereich von zehntel Millimeter eine Beschädigung der Platten zu vermeiden, ist als Gegenhalter bevorzugt eine Gegenwalze vorgesehen, die sich per Wälzkontakt mit dem Vorschub der Platte mitdreht oder die vorteilhafterweise selbst drehgetrieben wird.

Nach einer anderen Ausführungsform ist als Gegenhalter eine zweite Beschichtungsvorrichtung vorgesehen, welche entsprechend der ersten Beschichtungsvorrichtung ausgebildet ist. Hierdurch ist die Platte gleichzeitig auf beiden Seiten beschichtbar.

Obwohl die Beschichtungsvorrichtung und der Gegenhalter unter Ausbildung eines Zwischenspalts konstanter Größe feststehend angeordnet sein können, sind die Beschichtungsvorrichtung und der Gegenhalter bevorzugt in Richtung senkrecht zu der Platte, d. h. zu deren Transportrichtung verstellbar angeordnet. Hierdurch kann in der Produktion von beschichteten Platten vor dem Beschichtungsvorgang die Beschichtungsvorrichtung und der Gegenhalter in einem solchen Abstand voneinander angeordnet werden, dass ein Beschichten des Gegenhalters durch die Beschichtungswalze und ein anschließendes nicht gewolltes Beschichten der Platte durch den Gegenhalter vermieden werden. Sobald die Platte von der Transportvorrichtung zu der Beschichtungsvorrichtung transportiert ist, können die Beschichtungsvorrichtung und der Gegenhalter dann aufeinander zu bewegt werden, wodurch die Beschichtung erfolgen kann. Durch die Ortsverstellbarkeit der Beschichtungsvorrichtung und/oder des Gegenhalters kann ferner der Anpressdruck eingestellt werden, wodurch eine weitere Möglichkeit zur Einstellung der Schichtdicke gegeben ist.

Die Transportvorrichtung kann zum Beispiel als Transportwagen ausgebildet sein, der seitlich von der Beschichtungsvorrichtung entlang einer Transportbahn bewegt wird. Der Transportwagen kann hierbei mit einem Tragarm versehen sein, an dem eine Greifvorrichtung zum Anhängen der zu transportierenden Platte angeordnet ist. Bevorzugt ist die Transportvorrichtung jedoch als komplett obenliegende Transportvorrichtung ausgebildet, die sich vorteilhafterweise oberhalb jener Anlagenkomponenten erstreckt, von denen die Platte bearbeitet wird, wie z. B. der Beschichtungsvorrichtung. Die Transportvorrichtung erstreckt hierbei bevorzugt durchgehend von einer Plattenzuführeinrichtung aus zu einer Plattenentnahmeeinrichtung.

Durch die oben liegende Anordnung der Transportvorrichtung können Überwachungs-, Wartungs-, und/oder Reinigungsarbeiten an der Beschichtungsvorrichtung behinderungsfrei von der Seite aus durchgeführt werden. Hierdurch werden Stillstandzeiten der Anlage verringert, wodurch die Produktivität der Anlage gesteigert wird.

Um sicherer zu ermöglichen, dass die Platte möglichst unverwunden in Richtung zu den Walzen und zu weiteren Bearbeitungsstationen transportiert wird, ist die Transportvorrichtung bevorzugt derart ausgebildet, dass die Platte entlang ihrer gesamten oberen Randseite von der Transportvorrichtung ergriffen wird. Unter Ergreifen entlang der gesamten oberen Randseite ist jedoch nicht nur ein ununterbrochenes Erfassen, sondern auch ein in Abständen erfolgendes, punktuelles Erfassen entlang der gesamten oberen Randseite zu verstehen.

Um der Beschichtungsanlage schneller Platten zuführen bzw. von ihr entnehmen zu können, sind vorteilhafterweise eine automatische Plattenzuführ- und/oder eine automatische Plattenentnahmeeinrichtung vorgesehen, von welchen Platten der Transportvorrichtung zugeführt bzw. von dieser entnommen werden.

Nach einer vorteilhaften Ausführungsform weist die Plattenzuführeinrichtung einen Platteneinführschacht auf, durch den die Platte der Transportvorrichtung zugeführt wird. Der Platteneinführschacht ist nach oben hin trichterförmig verjüngt ausgebildet und mündet unmittelbar benachbart zu den Greifvorrichtungen der Transportvorrichtung aus. Durch das Hindurchführen der Platte durch den sich verjüngenden Schacht können etwaige Verwerfungen oder sonstige Unebenheiten der Platte an ihrer von der Transportvorrichtung zu ergreifenden Randseite begradigt werden, wodurch ein störungsfreier Übergang an die Transportvorrichtung gewährleistet ist. Hierdurch werden Transportstauungen und Ausschußware vermieden.

Die Transportvorrichtung kann derart ausgebildet sein, dass die jeweilige Platte beim Anhängen an die Transportvorrichtung von deren Greifvorrichtungen nach und nach im Sinne des Reißverschlußprinzips entlang der oberen Plattenrandseite ergriffen wird. Um jedoch den Produktionsvorgang insgesamt zu beschleunigen und damit die Produktivität zu erhöhen, ist die Plattenzuführeinrichtung und die Transportvorrichtung bevorzugt derart ausgebildet, dass die jeweilige Platte beim Anhängen an die Transportvorrichtung gleichzeitig entlang der gesamten Randseite der Platte von der Transportvorrichtung ergriffen wird. Entsprechendes ist bevorzugt für die Plattenentnahmevorrichtung hinsichtlich des Lösens der Platte von der Transportvorrichtung vorgesehen.

Als Transportvorrichtung kommen zum Beispiel in Schienen geführte Laufkatzen mit daran angebrachten Greifvorrichtungen in Frage. Eine bevorzugte Transportvorrichtung ist jedoch eine umlaufende Transportkette, an deren Kettengliedern die Greifvorrichtungen angebracht sind. Die Transportkette stellt ein kostengünstiges Transportmittel dar, welches zudem in einfacher Weise gesteuert von einem Ritzel antreibbar ist. Die Transportkette wird bevorzugt über zwei Kettenräder umgelenkt, während sie ansonsten in ihrer Längsrichtung frei beweglich gelagert ist. Das angetriebene Kettenrad und der Kettenantrieb, welcher bevorzugt als drehzahlgeregelter Elektromotor vorgesehen ist, sind bevorzugt in der Plattenentnahmeeinrichtung angeordnet. Das angetriebene Kettenrad ist hierbei feststehend installiert vorgesehen, während das andere Umkenk-Kettenrad zum Nachspannen der Kette als ortverstellbar in der Plattenzuführeinrichtung vorgesehen ist.

Die Greifvorrichtungen können als elektronisch gesteuerte Motorgreifer ausgebildet sein, die je nach Ansteuerung öffnen oder schließen. Bevorzugt sind als Greifvorrichtungen einfache mechanische Greifteile vorgesehen, die per Federkraft in Schließrichtung vorgespannt sind und per mechanischer Betätigung geöffnet werden können. Die gleichzeitige Öffnung mehrerer solcher mechanischer Greifteile kann zum Beispiel durch eine Leiste erfolgen, die gleichzeitig gegen mehrere an der Transportkette angeordnete Greifteile unter Öffnen derselben gedrückt wird. Um einen schnelleren Produktionsbetrieb zu gewährleisten, weist die Platt enzuführeinrichtung und/oder die Plattenentnahmeeinrichtung jedoch bevorzugt eine parallel zu der Transportkette angeordnete und mit deren Geschwindigkeit umlaufende Öffnerkette mit an deren Gliedern angebrachten Druckstempeln auf. Zum Öffnen der Greifteile wird die Öffnerkette mit ihren Druckstempeln gegen die Greifvorrichtungen gedrückt, wodurch die federvorgespannten Greifteile der Greifvorrichtungen über einen Mechanismus geöffnet werden. Dadurch können bei ständig umlaufender Transportkette aufeinanderfolgend Platten der Transportvorrichtung zugeführt bzw. von dieser entnommen werden, was die Produktionszeit für beschichtete Platten verringert. Das Andrücken der Öffnerkette kann zum Beispiel mittels eines Elektromotors oder mittels eines Pneumatikzylinders erfolgen.

Zur Beschleunigung des Trocknungsvorgangs des aufgetragenen Lacks ist bevorzugt eine Trocknungsvorrichtung zum Trocknen des von der Beschichtungsvorrichtung auf die Platte aufgebrachten Beschichtungsmaterials vorgesehen, wobei die Platte von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite ergriffen in vertikal hängender Position durch die Trocknungsvorrichtung transportiert wird.

Es kann gegebenenfalls erforderlich sein, dass die Platte den dem Beschichten folgenden Bearbeitungsschritt mit einer Beschichtungsmaterialtemperatur durchläuft, die geringer ist als die Beschichtungsmaterialtemperatur nach dem Beschichten und/oder nach dem Trocknen. Daher ist nach einer Ausführungsform die Plattenbeschichtungsanlage mit einer Kühlungsvorrichtung zum Kühlen des von der Beschichtungsvorrichtung auf die Platte aufgebrachten Beschichtungsmaterials ausgerüstet, wobei die Platte von der Transportvorrichtung an ihrer oberen Randseite ergriffen in vertikal hängender Position durch die Kühlungsvorrichtung transportiert wird. Dies ist insbesondere bei für Leiterplatten vorgesehene Basisplatten der Fall, welche nach der Beschichtung mit Photoresist in der Regel mit auf Zimmertemperatur abgekühltem Photoresist dem Belichtungsvorgang zugeführt werden.

Ein ggf. vorgesehenes Reinigen der Platte erfolgt in einer der Beschichtungsvorrichtung vorgeschalteten Reinigungsvorrichtung, welche bevorzugt eine mit der vorbeitransportierten Platte in Kontakt stehende Reinigungswalze und eine mit der Reinigungswalze abwälzende Klebewalze aufweist, welche die von der Reinigungswalze ggf. von der Platte aufgenommenen Partikel aufnimmt und festhält. Im Falle dass beidseitig beschichtet werden soll, ist vorteilhafterweise auf beiden Seiten der Platte eine Reinigungsvorrichtung vorgesehen. Die Transportvorrichtung erstreckt sich bevorzugt ebenfalls oberhalb der Reinigungsvorrichtung, so dass diese ebenfalls behinderungsfrei von der Seite her zugänglich ist. Die Transportvorrichtung ist derart ausgebildet, dass von ihr die Platte in vertikal hängender Position zum Reinigen durch die Reinigungsvorrichtung transportiert wird.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand bevorzugter Ausführungsformen mit Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht einer bevorzugten Plattenbeschichtungsanlage zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 2 eine Draufsicht der Plattenbeschichtungsanlage aus Fig. 1,

Fig. 3 eine vergrößerte Ansicht des in Fig. 2 mit "A" gekennzeichneten Teils der Plattenbeschichtungsanlage, welcher die Beschichtungsvorrichtung darstellt,

Fig. 4 die in Fig. 3 dargestellte Beschichtungsvorrichtung in Vorderansicht,

Fig. 5 eine Beschichtungsvorrichtung gemäß einer anderen Ausführungsform,

Fig. 6 einen Schnitt entlang der in Fig. 2 mit B-B bezeichneten Linie,

Fig. 7 eine Schnittansicht einer Transportvorrichtung im Bereich der Beschichtungsvorrichtung der Plattenbeschichtungsanlage aus Fig. 1, und

Fig. 8 eine Schnittansicht entlang der in. Fig. 2 mit C-C bezeichneten Linie.

In Fig. 1 und 2 sind eine Seitenansicht bzw. eine Draufsicht einer bevorzugten Beschichtungsanlage 1 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Die dargestellte Plattenbeschichtungsanlage 1 ist zum Beschichten von für Leiterplatten und/oder Leiterplatteninnenlagen vorgesehene Basisplatten mit flüssigem Photoresist, d. h. Photolack, vorgesehen. Gemäß der Fig. 1 und 2 weist die Plattenbeschichtungsanlage 1 folgende Komponenten auf: eine Beschichtungsvorrichtung 2, welche als Rolle-Coater mit einer Beschichtungswalze 3 (siehe Fig. 2) zum Auftragen des Photolacks auf eine Seite der zu beschichtenden Platte 4 ausgebildet ist. Die Beschichtungswalze 3 wird durch eine später genauer erläuterte Lackzuführeinrichtung mit Photolack versorgt, welchen sie dann per Wälzbewegung auf die mit der Beschichtungswalze in Kontakt stehend vorbeitransportierte Platte überträgt. Die Plattenbeschichtungsanlage 1 weist weiter einen Gegenhalter 5 auf, welcher der Beschichtungsvorrichtung 2 gegenüberliegend angeordnet ist und welcher während des Beschichtens von der anderen Seite der Platte 4 gegen diese drückt, um so dem von der Beschichtungswalze 3 auf die Platte 4 ausgeübten Druck entgegenzuwirken. Die Plattenbeschichtungsanlage 1 weist ferner eine Transportvorrichtung 6 auf, von der die Platte 4 während des Beschichtens durch einen Spalt 7 (siehe Fig. 3 und 5) zwischen der Beschichtungswalze 3 und dem Gegenhalter 5 mit der Beschichtungswalze 3 in Kontakt stehend transportiert wird. Wie aus Fig. 1 und 2 ersichtlich ist, ist die Beschichtungsvorrichtung 2 als Vertikal- Beschichtungsvorrichtung mit vertikal angeordneter Beschichtungswalze 3 ausgebildet. Ferner ist die Transportvorrichtung 6 derart ausgebildet, dass von ihr die jeweilige Platte 4 an deren oberen Randseite 8 vertikal hängend ergriffen werden kann und in dieser vertikal hängenden Position zum Beschichten an der Beschichtungswalze 3 vorbeigeführt werden kann. D. h., dass die Platte 4, während sie von der Beschichtungswalze 3 beschichtet wird, stets an der Transportvorrichtung 6 randseitig hängend an der Beschichtungswalze geführt vorbeitransportiert wird. Hierzu wird im Gegensatz dazu, dass der Transport gleichzeitig von der beschichtenden Walze vorgenommen wird, eine genaue Führung der Platte während des Beschichtens erreicht, wodurch eine hohe Genauigkeit in der Beschichtung erzielt wird.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, ist die Transportvorrichtung 6 oberhalb der Beschichtungsvorrichtung 2 und damit oberhalb der Walzen 3 angeordnet, wobei der obere Rand der Platte 4 nicht durch den Walzenspalt 7 geführt und damit nicht beschichtet wird. Nach der Beschichtung muss die Platte 4 für den Weitertransport an keiner anderen Stelle, insbesondere an keiner lackierten Stelle, ergriffen werden, so dass ein Beschädigen der aufgebrachten Lackschicht mit damit verbundenen Flitters vermieden wird, die zu Verunreinigungen auf oder in der Lackschicht und damit Fehlstellen in der späteren Leiterplatte führen können. Indem der Transport der Platte 4 durch die Beschichtungsvorrichtung 2 hindurch durchgehend mittels der Transportvorrichtung 6 erfolgt, d. h. ohne dass die Platte 4 zuerst der Beschichtungswalze 3 zugeführt, von dieser zum Weitertransport ergriffen, und anschließend von einer weiteren Transportvorrichtung wieder ergriffen werden muß, wird eine Beschleunigung des Produktionsvorgangs erreicht.

Dadurch dass die Transportvorrichtung 6 oberhalb der Beschichtungsvorrichtung angeordnet ist, können seitlich der Beschichtungsvorrichtung Türen 9 und/oder Glasschaufenster in einfacher Weise installiert werden, wodurch die Überwachung, die Reinigung und Wartung der Beschichtungsvorrichtung erleichtert wird.

Die Beschichtungsanlage 1 weist ferner eine automatische Plattenzuführeinrichtung oder Beladestation 10 auf, welche in Platten-Transportrichtung gesehen vor der Beschichtungsvorrichtung 2 (in Fig. 1 und 2 links von der Beschichtungsvorrichtung 2) angeordnet ist. Die Plattenzuführeinrichtung 10 hat einen nicht dargestellten Vakuumaufnehmer (Vakuumsauger), mit dem zu der Beschichtungsanlage 1 herantransportierte Platten angesaugt und in eine vertikale Position gebracht werden können. Der Vakuumaufnehmer kann ferner eine vertikale Hubbewegung ausführen, um die Platte nach oben der Transportvorrichtung 6 zuzuführen, von welcher sie dann in dieser vertikalen Position randseitig ergriffen wird. Zum Ergreifen der Platte ist neben der Transportvorrichtung 6 eine Öffnungsvorrichtung in Form einer Öffnerkette 11 vorgesehen, mittels welcher, wie später noch im Detail erläutert, das randseitige Ergreifen der Platte 4 durch die Transportvorrichtung 6 erfolgt.

Nach dem Anhängen der Platte 4 an der Transportvorrichtung 6 erfolgt eine Vorreinigung der Platte 4, wofür eine Plattenreinigungsstation 12 zwischen die Beladestation 10 und die Beschichtungsvorrichtung 2 geschaltet ist. Die Reinigungsstation 12 weist beidseitig der Platte 4 jeweils zwei Reinigungswalzen 13', 13" auf, und zwar je eine Aufnahmewalze 13', welche an der von der Transportvorrichtung 6 vorbeitransportierten Platte 4 zum Aufnehmen von Partikeln abwälzt, und je eine Klebewalze 13", welche mit der Aufnahmewalze 13' abwälzt und an welcher die von der Aufnahmewalze 13' aufgenommenen Partikel kleben bleiben.

An die Beschichtungsvorrichtung 2 ist eine Trocknungsvorrichtung 14 angeschlossen. Die Trocknungsvorrichtung 14 weist mehrere Trocknerelemente 15 mit daran angebrachten Wärmequellen 16, wie zum Beispiel Infrarot- Wärmestrahlern, auf. Die Transportvorrichtung 6 erstreckt sich entlang der Trocknungsvorrichtung 14 oberhalb derselben, wobei die Platte 4 während des Trocknens des aufgebrachten Lacks von der Transportvorrichtung 6 weiterhin in vertikal hängender Position durch die Trocknungsvorrichtung 14 transportiert wird.

Die Transportvorrichtung 6 ist mit geradliniger Transportbahn ausgebildet, wobei sich die Trockner- oder Heizelemente 15 entlang der geradlinigen Transportbahn aufeinanderfolgend aneinandergereiht sind. Die Transportvorrichtung 6 kann jedoch auch eine gekrümmte Transportbahn beschreiben, was je nach den örtlichen Gegebenheiten und der Anordnung der anderen Anlageteile von Vorteil bzw. von Notwendigkeit sein kann. Da gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Platte 4 beidseitig beschichtbar ist, sind auf beiden Seiten der Transportbahn und damit beidseitig der Platte 4, Heizelemente 15 angeordnet. Die Trocknungsvorrichtung nimmt hierbei etwa die Hälfte der Gesamtlänge der Plattenbeschichtungsanlage 1 ein, welche Gesamtlänge sich nach dieser Ausführungsform auf circa 10 m beläuft. Die Länge der Trocknungsvorrichtung 14 (und damit die Gesamtlänge der Anlage 1) sind jedoch in Abhängigkeit vom geplanten Plattendurchsatz abhängig. D. h. wenn Platten 4 schneller transportiert werden sollen (größerer Durchsatz), dann ist die Trocknungsvorrichtung 14 entsprechend zu verlängern, um die rechtzeitige Trockung des Beschichtungsmaterials 29 zu gewährleisten.

Auf die Trocknungsvorrichtung 14 folgend ist eine Kühlungsvorrichtung 17 vorgesehen, in welcher mehrere Kühlelemente 18 angeordnet sind. Als Kühlelemente 18 sind gemäß dieser Ausführungsform Lüfter vorgesehen, von denen ein Abkühlraum mit gefilterter Umgebungsluft belüftet wird, um die durch den Abkühlraum transportierte Platte 4 auf etwa Raumtemperatur abzukühlen. Die Kühlelemente 18 können zusätzlich mit Kühlaggregaten versehen sein, um die dem Abkühlraum zugeführte Umgebungsluft abzukühlen, um so die Abkühlung der Platte 4 zu beschleunigen. Die Transportvorrichtung 6 ist oberhalb der Kühlelemente 18 verlaufend angeordnet, so dass wiederum die Platte 4 in vertikaler Position an der Transportvorrichtung 6 hängend durch die Kühlvorrichtung 17 transportierbar ist. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind auf beiden Seiten der transportierten Platte 4 Kühlelemente 18 angeordnet, um den beidseitig auf die Platte 4 aufgetragenen Photolack gleichmäßig abzukühlen. Hinsichtlich der notwendigen Länge der Kühlvorrichtung 17 gilt entsprechendes wie bei der Trocknungsvorrichtung 14.

In der Trocknungsvorrichtung ist ein ständiger, geregelter Austausch der in der Trocknungsvorrichtung 14 befindlichen Warmluft gegen frisch zugeführte, gefilterte und neu aufgeheizte oder aufzuheizende Luft vorgesehen, um eine Anreicherung der die Platte umgebenden Luft mit Lösungsmitteldämpfen zu verhindern. Hierbei wird der Volumenstrom der Abluft messtechnisch erfasst und einem Lüftermotor als Regelgröße zugeführt. Die zu trocknenden Platten 4 können anstatt mit Infrarot-Wärmestrahlung auch wahlweise oder in Kombination mit zugeführter Warmluft getrocknet werden. Eine den Trockenraum umfassende Isolierung, verhindert eine unnötige Abstrahlung von Wärmeenergie an die Umgebung.

An die Kühlungsvorrichtung 17 ist eine automatische Plattenentnahmeeinrichtung 19 angeschlossen, welche entsprechend der Plattenzuführeinrichtung 10 ausgebildet ist und demnach einen nicht dargestellten Saugarm und eine Öffnungsvorrichtung in Form einer Öffnerkette 20 aufweist.

Im Folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform einer als Rolle-Coater ausgebildeten Beschichtungsvorrichtung 2 anhand von Fig. 3 erläutert, welche eine vergrößerte Ansicht des in Fig. 2 mit "A" bezeichneten Anlagenteils darstellt. Wie oben erläutert, weist die Plattenbeschichtungsanlage 1 nach Fig. 2 zwei Beschichtungsvorrichtungen 2 auf, die einander gegenüberliegend und bezüglich der Transportbahn der Platte 4 symmetrisch zueinander angeordnet sind. Die jeweils zu der anderen Beschichtungsvorrichtung 2 gegenüberliegende Beschichtungsvorrichtung 2 dient gleichzeitig als Gegenhalter 5, der während des Beschichtens von der der Beschichtungsvorrichtung 2 gegenüberliegenden Seite der Platte 4 her gegen diese drückt, um dem von der Beschichtungsvorrichtung 2 auf die Platte 4 ausgeübten Druck beim Beschichten entgegenzuwirken. Im Folgenden wird nur eine der beiden Beschichtungsvorrichtungen 2 erläutert, da die beiden einander entsprechen. Die Beschichtungsvorrichtung 2 weist, wie oben erläutert, eine drehgetriebene Beschichtungswalze 3 auf, die vertikal angeordnet ist und die sich an der Berührungsstelle mit der zu beschichtenden Platte 4 in deren Transportrichtung bewegt. Die Beschichtungswalze 3 (oder Auftragswalze) weist eine Umfangsschicht 21 aus einem weichen Kunststoff, insbesondere Gummi, auf. Diese Umfangsschicht 21 ist in mikroskopischer Größenordnung derart strukturiert, dass die Beschichtungswalze 3 das ihr von der nachfolgend erläuterten Zuführvorrichtung zugeführte Beschichtungsmaterial besser in Richtung zu der zu beschichtenden Platte 4 mitführen kann. Der Kern der Beschichtungswalze 3 ist aus einem härteren Material als ihre Umfangsschicht 21, wobei zum Beispiel Stahl oder ein im Vergleich zur Umfangsschicht 21 härterer Kunststoff in Frage kommen. Die Beschichtungswalze 3 kann auch vollständig aus dem Umfangsschichtmaterial sein. Mit der Beschichtungswalze 3 liegen zwei komplett aus Stahl ausgebildete sowie ebenfalls vertikal angeordnete Walzen 22, 23 derart in Anlage, dass die beiden Stahlwalzen 22, 23 mit der Beschichtungswalze abwälzen.

Die in Fig. 3 untere Stahlwalze ist als Doktorwalze 22, und die in Fig. 3 obere Stahlwalze ist als Mitlaufwalze 23 vorgesehen. Anstatt aus Stahl können die Doktorwalze 22 und die Mitlaufwalze 23 auch aus einem anderen Material, z. B. Kunststoff, sein, das härter als das Material der Umfangsschicht 21 der Beschichtungswalze 3 ist. Die Drehachsen der drei genannten Walzen 3, 22, 23 sind derart angeordnet, dass die Verbindungslinien zwischen der Doktorwalze 22 und der Beschichtungswalze 3 sowie der Mitlaufwalze 23 und der Beschichtungswalze 3 einen spitzen Winkel bilden, wobei aber die Doktorwalze 22 und die Mitlaufwalze 23 nicht aneinander anliegen. Der Durchmesser der Doktorwalze 22 ist gleich dem Durchmesser der Mitlaufwalze 23, so dass die beiden Walzen 22, 23 derart in Anlage mit der Beschichtungswalze mitdrehen können, dass es zu keiner Relativbewegung zwischen den Walzen 3, 22, 23 kommt. Die Beschichtungswalze 3 hat im Gegensatz zu den beiden Stahlwalzen 22, 23 einen größeren Durchmesser. Zwischen den derart angeordneten Walzen der Beschichtungsvorrichtung 2 wird ein Zwischenraum 24 ausgebildet, der seitlich von den drei Walzen 3, 22, 23 begrenzt ist. An beiden Stahlwalzen 22, 23 anliegend ist eine vertikal angeordnete Dichtungswalze 25 vorgesehen, welche mit den beiden Stahlwalzen 22, 23 abwälzt. Die vier Walzen 3, 22, 23, 25 des Rolle-Coaters sind somit parallel zueinander angeordnet. Die Dichtungswalze 25 weist eine Außenschicht aus gegenüber dem Material der Doktorwalze 22 und der Mitlaufwalze 23 weicherem Material auf. Insbesondere ist als Außenschicht 26 der Dichtungswalze 25 ein Gummimaterial vorgesehen, während der Kern der Dichtungswalze 25 ebenfalls aus Stahl sein kann. Die Dichtungswalze 25 kann jedoch auch komplett aus ihrem Außenschichtmaterial sein. Die Dichtungswalze 25 ist derart sowohl gegen die Doktorwalze 22 als auch gegen die Mitlaufwalze 23 gepresst, dass der Zwischenraum 24 zur Seite hin flüssigkeitsabgedichtet ist. Ferner ist die Mitlaufwalze 23 derart gegen die Beschichtungswalze 3 gedrückt, dass auch zwischen diesen beiden Walzen zur Seite hin keine Flüssigkeit nach außen dringen kann. Die vier Walzen 3, 22, 23, 25 sind an ihrer unteren Stirnseite durch eine Lagerplatte 27 gestützt, welche gleichzeitig gegen die Stirnenden der vier Walzen 3, 22, 23, 25 abgedichtet ist, so dass ein flüssigkeitsabgedichteter Aufnahmeraum 28 ausgebildet wird, in dem das auf die Platte 4 aufzutragende flüssige Beschichtungsmaterial 29 aufgenommen ist.

Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Beschichtungswalze 3 und die Dichtungswalze 26 mit ortsfesten Achsen vorgesehen, während die Doktorwalze 22 und die Mitlaufwalze 23 in Richtung senkrecht zu der Verbindungslinie zwischen den Achsen der Dichtungswalze 25 und der Beschichtungswalze 3 verstellbar angeordnet sind. Damit kann die Mitlaufwalze 23 mit wahlweisem Anpressdruck gegen die Dichtungswalze 26 und die Beschichtungswalze 3 gedrückt werden, um die erforderliche Flüssigkeitsabdichtung zu erreichen. Die Beschichtungswalze 3 und die Doktorwalze 22 rotieren derart gegenläufig, dass sich sie an ihrer gegenseitigen Anlagelinie in Richtung nach außen von dem Aufnahmeraum 28 bewegen. Hierdurch kann die Beschichtungswalze 3 in einfacher Weise Beschichtungsmaterial 29 von dem Aufnahmeraum 28 heraus nach außen in Richtung zu der zu beschichtenden Platte 4 fördern. Das Beschichtungsmaterial 29 wird hierbei von der Oberfläche der Beschichtungswalze 22 im Aufnahmeraum 28 aufgenommen und von der Beschichungswalze 22 via deren Drehbewegung durch den Spalt zwischen der Doktorwalze 22 und der Beschichtungswalze 3 nach außen gefördert und anschließend auf die Platte 4 übertragen. Durch Einstellen des Anpressdrucks der Doktorwalze 22 gegen die Beschichtungswalze 3 wird festgelegt, wieviel Beschichtungsmaterial von der Beschichtungswalze 3 aus dem Aufnahmeraum 28 hinausgefördert wird; hierbei gilt: je größer der Anpreßdruck, desto weniger kann die Beschichtungswalze 3 nach außen fördern und umso geringer wird die Schichtdicke. Die Doktorwalze 22 ist, wie die Mitlaufwalze 23 und die Dichtungswalze 25, an ihrer Außenfläche glatt ausgebildet, so dass sie keine Flüssigkeit aus dem Aufnahmeraum 28 mit nach außen führt. Mit der Verstellung der Doktorwalze 22 kann es auch zu einer Anpressdruckänderung zwischen der Dichtungswalze 25 und der Doktorwalze 22 kommen. Um eine hierdurch verursachte mangelnde Abdichtung zwischen der Dichtungswalze 25 und der Doktorwalze 22 zu verhindern, ist die Dichtungswalze vorab entsprechend stark gegen die Doktorwalze 22 gepresst und/oder rotieren die Doktorwalze 22 und die Dichtungswalze 26, wie auch in Fig. 3 gezeigt, derart gegenläufig, dass sie sich an ihrer Verbindungslinie in Richtung zu dem Aufnahmeraum 28 bewegen. Hierdurch wird eine Rückförderung der Flüssigkeit 29 in den Aufnahmeraum 28 begünstigt. Aufgrund der glatten Außenflächen der Doktorwalze 22, der Mitlaufwalze 23 und der Dichtungswalze 25 und dem berührungsstellenseitigen Nachgeben der im Vergleich zu den Stahlwalzen 22, 23 weicheren Dichtungswalze 25, wird zwischen diesen Walzen 25, 22, 23 eine ausreichende Abdichtung erzielt, so dass kein Beschichtungsmaterial 29 dazwischen nach außen gelangt. Sollte dennoch einmal Flüssigkeit nach außen dringen, so wird diese von der unten angeordneten Lagerplatte 27 aufgefangen, welche hierzu als Auffangbehälter ausgebildet ist. Die von der Lagerplatte 27 aufgefangene Flüssigkeit wird dann über eine Rücklaufleitung 30 (siehe Fig. 4) an einen nicht dargestellten Vorratsbehälter zurückgeführt.

Der Aufnahmeraum 28 ist über eine Verbindungsleitung 31 mit einer nicht dargestellten Pumpe verbunden, die aus dem Vorratsbehälter flüssiges Beschichtungsmaterial 29 über die Leitung 31 in den Aufnahmeraum 28 fördert, um die Materialausfuhr durch die Beschichtungswalze 3 auszugleichen. Die Verbindungsleitung 31 ist hierbei in der unteren Lagerplatte 27 angebracht, so dass nachgefördertes Beschichtungsmaterial von unten her in den Aufnahmeraum 28 gelangt. In dem Aufnahmeraum 28 ist ferner ein Überlauf in Form eines Überlaufrohrs 32 vorgesehen, welches sich vertikal und damit parallel zur Aufnahmeraumlängsrichtung erstreckt, nach oben hin offen ist und nach unten über eine andere Verbindungsleitung 33 mit dem Vorratsbehälter verbunden ist. Die im Aufnahmeraum 28 aufgenommene Beschichtungsflüssigkeit 29 kann daher bis zum Erreichen des oberen Endes 34 des Überlaufrohrs 32 nach oben steigen, wodurch bei ständiger Nachförderung von Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter der Flüssigkeitspegel im Aufnahmeraum 28 genau auf das Höhenniveau des Endes 34 des Überlaufrohrs 32 eingestellt wird. Das Überlaufrohr 32 ist in seiner Länge bevorzugt variabel, so dass unterschiedliche Flüssigkeitspegel im Aufnahmeraum 28 einstellbar sind. Die Einstellung der Länge des Überlaufrohrs 32 kann dabei gestuft oder stufenlos erfolgen. Alternativ dazu können im Überlaufrohr 32 verschließbare Öffnungen vorgesehen sein, durch deren Öffnen entsprechend andere Flüssigkeitspegel eingestellt werden können. Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, sind die Walzen an ihrer Oberseite durch eine obere Lagerplatte 35 abgestützt. Die Transportvorrichtung 6 ist oberhalb der Beschichtungsvorrichtung 2 und damit oberhalb der Walzen 3, 22, 23, 25 angeordnet. In dieser Ausführungsform sind die beiden oberen Lagerplatten 35 der beiden Beschichtungsvorrichtungen 2 in einem Abstand voneinander angeordnet, wobei sich die Transportvorrichtung 6 zwischen den beiden Lagerplatten 35 erstreckt, so dass die Platte 4 unmittelbar oberhalb der Walzen 3, 22, 23, 25 von der Transportvorrichtung 6 festgehalten werden kann. Hierdurch kann die nicht beschichtete Randseite 8 und damit der ungenutzte Teil der Platte 4 klein gehalten werden. Der für den optimalen Transport der Platte 4 erforderliche Seitenrand 8 ist mit einer Breite von 6-12 mm vorgesehen.

In Fig. 5 ist der dem Abschnitt "A" aus Fig. 2 entsprechende Abschnitt einer Plattenbeschichtungsanlage 1 gemäß einer anderen Ausführungsform dargestellt. Hiernach ist nur eine Beschichtungsvorrichtung 2 vorgesehen, die der vorangehend beschriebenen Beschichtungsvorrichtung 2 entspricht. Dieser Beschichtungsvorrichtung 2 ist jedoch keine weitere Beschichtungsvorrichtung gegenüberliegend angeordnet, sondern eine Gegenhalterwalze 36. Zwischen der Beschichtungswalze 3 und der Gegenhalterwalze 36 ist der Spalt 7 ausgebildet, durch welchen die Platte 4 von der Transportvorrichtung 6 geführt transportiert wird. Bei dieser Ausführungsform wird die Platte 4 bei einem Beschichtungsvorgang nur von einer Seite her beschichtet.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, erstreckt sich die Transportvorrichtung 6 von der Plattenzuführeinrichtung 10 über die Beschichtungsvorrichtung 2, eine Wartungszone 44 mit Türen 9, die Trocknungsvorrichtung 14, die Kühlungsvorrichtung 17 und die Plattenentnahmeeinrichtung 19 jeweils oberhalb dieser Ein- und Vorrichtungen. Gemäß der gezeigten Ausführungsform ist die Transportvorrichtung 6 als umlaufende Transportkette 37 vorgesehen, an deren Kettengliedern 38, wie insbesondere aus Fig. 6 und 7 ersichtlich, seitlich Greifvorrichtungen 39 befestigt sind. Die jeweilige Greifvorrichtung 39 hat ein Greifteil 40 in Form einer Hakenklammer, welche z. B. aus einem hakenförmig gebogenen Blech oder Kunststoff ist. Das Greifteil 40 ist in einem dreiseitig geschlossenen, rechtwinklig abgebogenen Rahmenteil 41 zwischen dessen beiden freien, parallel verlaufenden Rahmenschenkeln 41' und 41" angeordnet. Es erstreckt sich in seiner Längsrichtung zwischen den beiden Rahmenschenkeln 41', 41" sowie durch diese hindurch. Die beiden Rahmenschenkel 41', 41" des Winkelrahmens 41 sind über einen Steg 41''' miteinander verbunden, welcher an einem Schenkel 43' eines Befestigungswinkels 43 angebracht ist, welcher seinerseits mit seinem zweiten Schenkel 43" durch den Kettengliedbolzen an einem der Kettenglieder 38 befestigt ist. Das Greifteil 40 ist mittels einer Feder 42 derart vorgespannt, dass es mit seinem in Richtung zu dem einen Rahmenschenkel 41" des Rahmenteils 41 hin abgebogenen, einen Hakenende 40' gegen diesen Rahmenschenkel 41" drückend vorgespannt ist. Das Greifteil 40 erstreckt sich in seiner Längsrichtung senkrecht zu der Transportkette 37; hierbei ist sein Hakenabschnitt mit dem Hakenende 40' der Transportkette 37 zugewandt, während sein anderes Ende 40" von der Transportkette 37 abgewandt ist. Das Greifteil 40 wird durch Drücken an seinem von der Transportkette 37 abgewandten Ende 40" in Richtung zu der Transportkette 37 in Öffnungsstellung gebracht werden; anschließend kann eine Platte 4 zwischen den einen Rahmenschenschenkel 41" und das Hakenende 40' des Greifteils 40 geführt und nach anschließendem Loslassen des Greifteils 40 durch die Federkraft der Feder 42 zwischen dem Hakenende 40' und dem einen Rahmenschenkel 41" klemmend an der Tranportkette 37 befestigt werden kann.

Fig. 6 zeigt ferner einen Schnitt durch die Plattenzuführeinrichtung 10 entlang einer in Fig. 2 mit B-B bezeichneten Linie. Hiernach weist die Plattenzuführeinrichtung 10 einen in Transportkettenlängsrichtung langgestreckten Platteneinführschacht 45 auf, der unmittelbar unterhalb der Transportkette 37 angeordnet ist und sich nach oben in Richtung zu der Transportkette 37 hin trichterförmig verjüngt. Unmittelbar am Ausmündungsende 46 sind die Greifvorrichtungen 39 angeordnet, so dass die jeweilige Platte 4 von unten her durch den Einführungsschacht 45 direkt im Anschluss an diesen von den Greifvorrichtungen 39 erfasst werden kann. Der Platteneinführungsschacht 45 ist durch zwei sich gegenüberliegend angeordnete, entsprechend der Trichterform abgebogene Platten 47, 48 ausgebildet. In der vorliegenden Ausführungsform verlaufen die beiden Kettenzüge 37', 37" der Transportkette 37 übereinanderliegend. Zum Öffnen der Greifvorrichtungen 39 ist eine Öffnungsvorrichtung 49 in Form einer Öffnerkette 50 vorgesehen, an deren Kettengliedern Druckstempel 51 in Form von Druckplatten mit jeweils zwei Winkeln 52 angebracht sind. Die Öffnerkette 50 ist parallel zu der Transportkette 37 verlaufend sowie mit horizontal nebeneinander angeordneten Kettenzügen 50', 50" vorgesehen. Sie ist komplett, d. h. entlang ihrer gesamten Länge, in Richtung zu der Transportkette 37 derart verfahrbar (Doppelpfeil P), dass die Druckstempel 51 unter Öffnen der Greifvorrichtungen 39 gegen deren von der Transportkette 37 abgewandten Enden 40" gedrückt werden. Die Länge der Öffnungsvorrichtung 49 und damit (etwa) die halbe Öffnerkettenlänge entsprechen der erwarteten Maximallänge einer zu transportierenden Platte 4. Somit können beim Zuführen einer Platte 4 an die Transportvorrichtung 6 von der Öffnungsvorrichtung 49 derart viele Greifvorrichtungen 39 geöffnet werden, dass die Platte 4 gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite 8 von den Greifvorrichtungen 39 ergriffen werden kann. Durch Wegfahren der Öffnungsvorrichtung 49 wird die der Transportvorrichtung 6 zugeführte Platte 4 in den Greifvorrichtungen 39, wie oben erläutert, eingeklemmt und fortan von der Transportkette 37 in Richtung zu der Reinigungseinheit 12 und der Beschichtungsvorrichtung 2 transportiert.

Der Platteneinführungsschacht 45 verjüngt sich auf eine Weite, die kleiner oder gleich dem Abstand zwischen dem einen Schenkel 41" des Schenkelrahmens 41 und dem Hakenende 40' des geöffneten Greifteils 40 ist. Hierdurch wird erreicht, dass die der Transportvorrichtung 6 zugeführte Platte 4 stets behinderungsfrei in die Greifvorrichtungen 39 eingeführt werden kann. Falls die Platte 4 an ihrer oberen Randseite 8 Verwerfungen oder sonstige Wölbungen aufweist, werden diese durch die Trichterform des Platteneinführschachts 45 begradigt und können aufgrund der vorgenannten Weite des Einführschachts 45 nie größer sein als der vorstehend genannte Abstand zwischen den Klemmteilen (Schenkel 41" und Hakenende 40') der Greifvorrichtungen 39.

Fig. 7 zeigt einen Schnitt durch die Transportvorrichtung 6 im Bereich der Beschichtungsvorrichtung 2, welche unterhalb der Transportvorrichtung 6 angeordnet ist. Wie aus Fig. 7 ersichtlich ist, laufen der obere 37' und untere 37" Kettenzug der Transportkette 37 jeweils in einem Stützgehäuse 53, 54, von welchem insbesondere der untere Kettenzug 37", an dem die Platten 4 hängen, über seine gesamte Transportlänge hinweg nach unten hin sowie gegen ein Verdrillen abgestützt ist. Hierdurch wird eine exaktere Führung der Platten 4 erzielt. Um eine bessere Abstützung gegen das Verdrillen der Kette 37 zu erzielen, ist die Transportkette 37 als Zweifach-Kette ausgebildet. Die Greifvorrichtungen 39 sind an einer Seite der Transportkette 37 mittels deren Bolzen seitlich befestigt. Die Transportkette 37 ist zwischen jenen beiden Kettenlaschen, die von den Greifvorrichtungen 39 abgewandt sind, oben und unten abgestützt und an jenen Kettenbolzen, die zwischen den beiden den Greifvorrichtungen 39 zugewandten Kettenlaschen angeordnet sind, unten abgestützt. Somit ist die Transportkette 37 entlang ihrer Kettenzüge 37', 37" durch zwei in einem Abstand voneinander angeordnete, untere Gehäusearme 53', 53" bzw. 54', 54" und einen oberen Gehäusearm 53''' bzw. 54''' verdrillsicher geführt. Unterhalb der Transportkette 37 und der Greifvorrichtungen 39 ist eine Verkleidung oder Abdeckung 55 mit einem Schlitz 56 vorgesehen, durch welchen sich die von der Transportvorrichtung 6 transportierte Platte 4 erstreckt. Die Verkleidung 55 verhindert, dass Partikel von der Transportkette 37, wie zum Beispiel Schmierstoffe, nach unten auf die Platte 4 fallen können, wo sie zu Verunreinigungen der Beschichtung führen könnten. Gemäß der Ausführungsform nach Fig. 7 ist direkt über dem Schlitz 56 eine beidseitig der Platte 4 angeordnete Bürste 57 vorgesehen, welche mit der Platte 4 an deren oberen Randseite 8 in Anlage ist und so den Schlitz 56 zusätzlich gegen das Austreten von Partikeln abdichtet. Diese Bürsre 57 ist insbesondere im Bereich der Beschichtungsvorrichtung 2 angeordnet.

Fig. 8 zeigt einen Schnitt entlang der in Fig. 2 mit C-C bezeichneten Linie und damit einen Schnitt durch die Trocknungsvorrichtung 14. Wie aus Fig. 8 ersichtlich ist, sind die Trocknungselemente 15 in Platten 58 angeordnet, die an ihrer Unterseite an den Maschinenrahmen 59 der Anlage 1 anscharniert sind, so dass sie nach unten weggeklappt werden können. In den Platten 58 sind die jeweiligen Heizteile 18 angeordnet.

Die Komponenten der Plattenbeschichtungsanlage 1 sind insgesamt innerhalb des Maschinenrahmens 59 angeordnet und können je nach Bedarf einfach aus diesem ausgebaut und durch andere Komponenten ersetzt werden. Ferner kann der Maschinenrahmen 59 auch beliebig erweitert und mit weiteren Komponenten versehen werden.

Die Kontroll- und Wartungszone 44 zwischen der Beschichtungsvorrichtung 2 und der Trocknungsvorrichtung 14 ist bevorzugt belüftet, um bei Wartungsarbeiten die Bedienperson nicht durch Lösemitteldämpfe zu gefährden. Sonstige zu der Beschichtungsvorrichtung 2 gehörige Geräte, wie zum Beispiel die Beschichtungsmaterialpumpe, ein Thermostat zum Einstellen der Temperatur des Beschichtungsmaterials zu dessen Viskositätsregelung, der Lackvorratsbehälter und ein Lösemittelbehälter zum Zuführen von Lösemittel an das Beschichtungsmaterial sind benachbart zu der Beschichtungsvorrichtung 2 im Anlagerahmen 59 angeordnet und von der Wartungs- und Kontrollzone 44 aus zugänglich.

Claims (35)

1. Verfahren zum Beschichten einer Platte (4) mit flüssigem Beschichtungsmaterial (29), insbesondere zum Beschichten einer für Leiterplatinen vorgesehenen Basisplatte mit flüssigem Photoresistant, bei dem die Platte (4) zum Beschichten von einer Transportvorrichtung (6) an einer Beschichtungswalze (3) in Kontakt mit dieser stehend vorbeitransportiert wird, wobei die Beschichtungswalze (3) in vertikaler Anordnung gedreht wird und wobei die Platte (4) während des Beschichtens von der Transportvorrichtung (6) an ihrer oberen Randseite (8) in vertikal hängender Position festgehalten an der vertikal angeordneten Beschichtungswalze (3) vorbeigeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Platte (4) bei der Zuführung an die Transportvorrichtung (2) von dieser gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite (8) ergriffen wird und/oder wobei die Platte (4) bei der Entnahme von der Transportvorrichtung (6) von dieser gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite (8) gelöst wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Platte (4) beim Zuführen an die Transportvorrichtung (6) an ihrer von der Transportvorrichtung (6) zu ergreifenden, oberen Randseite (8) begradigt wird, indem die Platte (4) durch einen sich trichterförmig verjüngenden Einführschacht (45) geführt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das auf die Platte (4) aufgetragene Beschichtungsmaterial (29) nach dem Beschichtungsvorgang getrocknet wird, indem die Platte (4) von der Transportvorrichtung (6) an ihrer oberen Randseite (8) ergriffen, in vertikal hängender Position durch eine Trockenvorrichtung (14) transportiert wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das auf die Platte (4) aufgetragene Beschichtungsmaterial (29) nach dem Beschichtungsvorgang gekühlt wird, indem die Platte (4) von der Transportvorrichtung (6) an ihrer oberen Randseite (8) ergriffen, in vertikal hängender Position durch eine Kühlungsvorrichtung (17) transportiert wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Platte (4) im Beschichtungsvorgang von zwei Beschichtungsvorrichtungen (2) gleichzeitig auf beiden Seiten beschichtet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das aufzutragende Beschichtungsmaterial (29) vor dem Auftragen auf die Platte (4) gekühlt und/oder erwärmt wird, um es auf eine vorbestimmte Viskosität einzustellen.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Platte (4) vor dem Beschichten gereinigt wird.

9. Plattenbeschichtungsanlage (1) zum Beschichten von Platten (4) mit flüssigem Beschichtungsmaterial (29), insbesondere zum Beschichten von für Leiterplatinen vorgesehene Basisplatten mit flüssigem Photoresistant, mit einer Beschichtungsvorrichtung (2), welche eine Beschichtungswalze (3) zum Auftragen des Beschichtungsmaterials (29) auf eine Seite der Platte (4) aufweist und welche eine Zuführeinrichtung zum Zuführen des flüssigen Beschichtungsmaterials (29) an die Beschichtungswalze (3) aufweist, einem Gegenhalter (5), welcher der Beschichtungsvorrichtung (2) gegenüberliegend angeordnet ist und welcher während des Beschichtens von der anderen Seite der Platte (4) her dem von der Beschichtungswalze auf die Platte (4) ausgeübten Druck entgegenwirkt, und einer Transportvorrichtung (6), von der die Platte (4) während des Beschichtens durch einen Spalt (7) zwischen der Beschichtungswalze (3) und dem Gegenhalter (5) mit der Beschichtungswalze (3) in Kontakt stehend transportiert wird, wobei die Beschichtungsvorrichtung (2) als Vertikal- Beschichtungsvorrichtung mit vertikal angeordneter Beschichtungswalze (3) ausgebildet ist und wobei die Transportvorrichtung (6) derart ausgebildet ist, dass von ihr die Platte (4) an deren oberen Randseite (8) vertikal hängend ergriffen wird und in dieser vertikal hängenden Position zum Beschichten an der Beschichtungswalze (3) vorbeigeführt wird.

10. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach Anspruch 9, wobei die Zuführvorrichtung einen Aufnahmeraum (28) aufweist, in dem das flüssige Beschichtungsmaterial (29) aufgenommen ist und in dem die Beschichtungswalze (3) längs eines Umfangsabschnitts rotiert.

11. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach Anspruch 10, wobei die Beschichtungsvorrichtung (2) ferner aufweist: eine vertikal angeordnete Doktorwalze (22), welche mit der Beschichtungswalze (3) in Anlage ist und welche zum Einstellen der Beschichtungsdicke mit unterschiedlichem Anliegedruck gegen die Beschichtungswalze (3) verstellbar angeordnet ist, eine vertikal angeordnete Mitlaufwalze (23), welche mit der Beschichtungswalze (3) abdichtend in Anlage ist und welche derart in einem Abstand von der Doktorwalze (22) angeordnet ist, dass zwischen der Mitlaufwalze (23), der Doktorwalze (22) und der Beschichtungswalze (3) ein dreiseitig geschlossener Zwischenraum (24) ausgebildet wird, eine Dichtungswalze (25), welche unter seitlichem Abdichten des Zwischenraums (24) sowohl gegen die Doktorwalze (22) als auch gegen die Mitlaufwalze (23) anliegend angeordnet ist, und eine stirnseitige Dichtung (27), von welcher der Zwischenraum (24) am unteren Stirnende der Walzen (3, 22, 23, 25) unter Ausbildung des Aufnahmeraums (28) für das flüssige Beschichtungsmaterial (29) abgedichtet ist.

12. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach Anspruch 10 oder 11, wobei die Zuführvorrichtung aufweist: einen Vorratsbehälter für das flüssige Beschichtungsmaterial (29), von dem aus dem Aufnahmeraum (28) Beschichtungsmaterial (29) zugeführt wird, und einen variierbaren Überlauf (32) zur Einstellung des Flüssigkeitspegels im Aufnahmeraum (28), über welchen Überlauf (32) das überschüssige Beschichtungsmaterial (29) an den Vorratsbehälter zurückgeführt wird.

13. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Aufnahmeraum (28) mit einer Kühl- und/oder Heizvorrichtung versehen ist, von welcher das im Aufnahmeraum aufgenommene, flüssige Beschichtungsmaterial (29) zur Einstellung dessen Viskosität abkühlbar bzw. erwärmbar ist.

14. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei die Beschichtungsvorrichtung (2) eine Antriebsvorrichtung aufweist, von der die vier Walzen (3, 22, 23, 25) jeweils gleichzeitig angetrieben werden.

15. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 14, wobei die Beschichtungswalze (3) bezüglich der zu beschichtenden Platte (4) mit nach oben hin zunehmenden Abstand von der Platte (4) geneigt angeordnet ist.

16. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 14 wobei die Doktorwalze (22) nach oben hin von der Beschichtungswalze (3) weggeneigt angeordnet ist, so dass sie nach oben hin mit abnehmendem Druck gegen die Beschichtungswalze (3) gedrückt ist.

17. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 16, wobei die Mitlaufwalze (23) zur Einstellung des erforderlichen Anpressdrucks gegen die Beschichtungswalze (3) verstellbar angeordnet ist.

18. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 17, wobei sowohl die Doktorwalze (22) als auch die Mitlaufwalze (23) zur Einstellung der erforderlichen Anpressdrücke in Richtung senkrecht zu der Verbindungslinie zwischen der Dichtungswalze (25) und der Beschichtungswalze (3) verstellbar angeordnet sind.

19. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 18, wobei die Doktorwalze (22) und die Mitlaufwalze (23) denselben Durchmesser aufweisen.

20. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 19, wobei die Beschichtungswalze (22) und die Dichtungswalze (25) eine Außenfläche aus Kunststoff, insbesondere Gummi, aufweisen, und wobei die Doktorwalze (22) und die Mitlaufwalze (23) als Stahlwalzen ausgeführt sind.

21. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 11 bis 20, wobei die Beschichtungswalze (3) an ihrer Außenfläche derart strukturiert ist, dass das flüssige Beschichtungsmaterial (29) durch die Drehbewegung der Beschichtungswalze (3) an deren Außenfläche nach oben gefördert wird.

22. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 21, wobei der Gegenhalter (5) als Gegenwalze (36) ausgebildet ist.

23. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 22, wobei der Gegenhalter (5) eine zweite Beschichtungsvorrichtung (2) ist, welche entsprechend der ersten Beschichtungsvorrichtung (2) ausgebildet ist, so dass die Platte (4) gleichzeitig auf beiden Seiten beschichtbar ist.

24. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 23, wobei die Beschichtungsvorrichtung (2) und/oder der Gegenhalter (5) in Richtung senkrecht zu der Platte (4) verstellbar angeordnet ist.

25. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 24, wobei die Transportvorrichtung (6) als komplett obenliegende Transportvorrichtung ausgebildet ist.

26. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 25, wobei die Transportvorrichtung (6) derart ausgebildet ist, dass die Platte (4) entlang ihrer gesamten oberen Randseite (8) von der Transportvorrichtung (6) ergriffen wird.

27. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 26, ferner mit einer automatischen Plattenzuführeinrichtung (10), von welcher Platten (4) der Transportvorrichtung (6) zugeführt werden, und/oder einer automatischen Plattenentnahmeeinrichtung (19), von welcher Platten (4) von der Transportvorrichtung (6) abgenommen werden.

28. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach Anspruch 27, wobei die Plattenzuführeinrichtung (10) und die Transportvorrichtung (6) derart ausgebildet sind, dass die jeweilige Platte (4) beim Anhängen an die Transportvorrichtung (6) gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite (8) ergriffen wird.

29. Plattenbeschichtungsanlage nach Anspruch 27 oder 28, wobei die Plattenentnahmeeinrichtung (19) und die Transportvorrichtung (6) derart ausgebildet sind, dass die jeweilige Platte (4) beim Abnehmen von der Transportvorrichtung (6) gleichzeitig entlang ihrer gesamten oberen Randseite (8) gelöst wird.

30. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 27 bis 29, wobei die Plattenzuführeinrichtung (10) einen Platteneinführschacht (45) aufweist, durch den die Platte (4) der Transportvorrichtung (6) zugeführt wird, wobei der Platteneinführschacht (45) nach oben hin trichterförmig verjüngt ausgebildet ist und benachbart zu Greifvorrichtungen (39) der Transportvorrichtung (6) ausmündet, so dass die jeweilige Platte (4) mit begradigter oberer Randseite (8) unmittelbar den Greifvorrichtungen (39) der Transportvorrichtung (6) zugeführt wird.

31. Plattenbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 9 bis 30, wobei die Transportvorrichtung (6) als umlaufende Transportkette (37) ausgebildet ist, an deren Kettengliedern (38) Greifvorrichtungen (39) zum Ergreifen der Platte (4) angebracht sind.

32. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach Anspruch 31, wobei die Plattenzuführeinrichtung (10) und/oder die Plattenentnahmeeinrichtung (19) eine parallel zu der Transportkette (37) angeordnete und mit deren Geschwindigkeit umlaufende Öffnerkette (50) mit an deren Gliedern angebrachten Druckstempeln (51) aufweist, wobei die Greifvorrichtungen (39) Greifteile (40) aufweisen, die in ihre Schließrichtung federvorgespannt sind, und wobei die Öffnerkette (50) mit ihren Druckstempeln (51) gegen die Greifvorrichtungen (39) unter Öffnen der Greifteile (40) drückbar ist.

33. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 32, ferner mit einer Trocknungsvorrichtung (14) zum Trocknen des von der Beschichtungsvorrichtung (2) auf die jeweilige Platte (4) aufgebrachten Beschichtungsmaterials (29), wobei die Platte (4) von der Transportvorrichtung (6) an ihrer oberen Randseite (8) ergriffen, in vertikal hängender Position durch die Trocknungsvorrichtung (14) transportiert wird.

34. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 33, ferner mit einer Kühlungsvorrichtung (17) zum Kühlen des von der Beschichtungsvorrichtung (2) auf die Platte (4) aufgebrachten Beschichtungsmaterials (29), wobei die Platte (4) von der Transportvorrichtung (6) an ihrer oberen Randseite (8) ergriffen, in vertikal hängender Position durch die Kühlungsvorrichtung (17) transportiert wird.

35. Plattenbeschichtungsanlage (1) nach einem der Ansprüche 9 bis 34, ferner mit einer Reinigungseinrichtung (12) zum Reinigen der zu beschichtenden Platte (4), welche Reinigungseinrichtung (12) in Transportrichtung der Platte (4) gesehen vor der Beschichtungsvorrichtung (2) angeordnet ist, wobei die Transportvorrichtung (6) derart ausgebildet ist, dass die Platte (4) in vertikal an der Transportvorrichtung (6) hängender Position zum Reinigen durch die Reinigungseinrichtung (12) transportiert wird.