KR20170089757A - 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치, 및 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법 - Google Patents
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Abstract
본 개시내용은 태양 전지의 제조를 위해 기판(10) 상에 프린팅하기 위한 장치(100)를 제공한다. 장치(100)는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110); 기판(10)을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부(120); 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110) 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부(120)를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부(120)를 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스(130)를 포함한다.
Description
[0001]
본 개시내용의 실시예들은 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치에 관한 것이며, 그리고 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반(transporting)하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 특히, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 스크린 프린팅하기 위한 장치에 관한 것이다.
[0002]
태양 전지들은 태양광을 전력(electrical power)으로 직접적으로 변환하는 광발전(photovoltaic)(PV) 디바이스들이다. 이러한 분야 내에서, 결정질 실리콘 베이스(crystalline silicon base)와 같은 기판 상에 스크린 프린팅과 같은 프린팅 기법들에 의해 태양 전지들을 제조하여, 태양 전지들의 전면(front surface) 상에 선택적 에미터(selective emitter)들의 구조를 달성하는 것이 알려져있다.
[0003]
태양 전지를 제조하기 위한 장치는 운반 경로(transportation path)를 갖는 라인 구성(line configuration)을 가지며, 복수의 프로세스 스테이션들이 운반 경로를 따라서 제공될 수 있다. 프로세스 스테이션들은 하나 또는 그 초과의 프린팅 스테이션들을 포함할 수 있다. 이러한 장치는 설치를 위해 상당한 공간을 소모한다. 제조량(production quantity)을 증가시키기 위해, 부가적인 장치들이 설치될 수 있는데, 이는 훨씬 더 많은 설치 공간을 필요로 한다. 또한, 장치들은, 예를 들어, 동작 및 유지보수(maintenance)와 관련하여 비용들을 발생시킨다.
[0004]
상기 내용을 고려하여, 본 개시내용의 목적은, 소형(compact)이며 그리고/또는 증가된 양의 태양 전지들을 제조할 수 있는, 기판 상에 프린팅하기 위한 장치를 제공하는 것이다.
[0005]
상기 내용을 고려하여, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치 및 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가의 양상들, 장점들 및 특징들이 종속 청구항들, 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0006]
본 개시내용의 일 양상에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들; 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스(transport device)를 포함한다.
[0007]
본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들; 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스를 포함하고, 수평 방향 및 수직 방향은, 실질적으로 수직으로 배향되는(vertically oriented) 2-차원 평면을 정의하며, 그리고 적어도 하나의 운반 디바이스는, 수평 평면에서 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향(angular orientation) 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키도록 구성되는 적어도 하나의 정렬 디바이스(alignment device)를 포함한다.
[0008]
본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법이 제공된다. 방법은, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 이동시키는 단계를 포함한다.
[0009]
실시예들은 또한, 개시되는 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이고, 설명되는 방법 단계들을 수행하기 위한 장치 부분(part)들을 포함한다. 이러한 방법 단계들은, 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 양자의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명되는 장치를 동작시키는 방법들에 관한 것이다. 방법은, 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 단계들을 포함한다.
[0010]
본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다.
도 1a 및 도 1b는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도들을 도시한다.
도 2는 본원에서 개시되는 추가의 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도를 도시한다.
도 3은 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 정면 단면도를 도시한다.
도 4는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 평면도를 도시한다.
도 5는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 측면도를 도시한다.
도 6a 및 도 6b는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 기판 지지부의 사시도들을 도시한다.
도 7은 본원에서 개시되는 추가의 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도를 도시한다.
도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법의 흐름도를 도시한다.
도 9(a) 내지 도 9(l)은 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 장치를 사용하여 태양 전지들을 제조하기 위한 시퀀스 스킴(sequence scheme)을 도시한다.
도 1a 및 도 1b는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도들을 도시한다.
도 2는 본원에서 개시되는 추가의 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도를 도시한다.
도 3은 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 정면 단면도를 도시한다.
도 4는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 평면도를 도시한다.
도 5는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 도 2의 장치의 측면도를 도시한다.
도 6a 및 도 6b는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 기판 지지부의 사시도들을 도시한다.
도 7은 본원에서 개시되는 추가의 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도를 도시한다.
도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법의 흐름도를 도시한다.
도 9(a) 내지 도 9(l)은 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 장치를 사용하여 태양 전지들을 제조하기 위한 시퀀스 스킴(sequence scheme)을 도시한다.
[0011]
이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 다양한 실시예들 중 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에서 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 일부로서 예시되거나 또는 설명되는 피처(feature)들은, 또 다른 실시예를 산출하기 위해, 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 변형들 및 변화들을 포함하도록 의도된다.
[0012]
본 개시내용의 일 양상에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들; 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스를 포함한다.
[0013]
몇몇 구현예들에서, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위한 적어도 하나의 기판 지지부의 이동(movement)은 수직 성분(vertical component) 및/또는 수평 성분(horizontal component)을 갖는다. 일 예로서, 이동은 비-수직의 상방(upward) 또는 하방(downward) 이동이다. 몇몇 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스는, 예를 들어, 비-수직의 상방 또는 하방 이동을 제공하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 동시에 운반하도록 구성된다.
[0014]
수평으로 그리고 수직으로 모두 이동될 수 있는 기판 지지부들을 제공함으로써, 기판 지지부들은 수직으로 배열 또는 적층될(stacked) 수 있다. 이 때문에, 장치는 소형(compact)일 수 있게 되어, 더 적은 설치 공간을 필요로 하게 된다. 또한, 수직으로 배열되는 기판 지지부들은, 서로 간섭하지 않으면서, 하나의 프로세스 스테이션으로부터 다른 프로세스 스테이션으로 동시에 이동할 수 있으며, 그리고 장치의 처리량이 증가될 수 있다.
[0015]
"수직 방향(vertical direction)" 또는 "수직 배향(vertical orientation)"이라는 용어는, "수평 방향" 또는 "수평 배향"에 대해 구별하기 위한 것으로 이해된다. 수직 방향은 중력에 대해 실질적으로 평행할 수 있다.
[0016]
도 1a 및 도 1b는, 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판(10) 상에 프린팅하기 위한 장치의 사시도들을 도시한다.
[0017]
예시적으로 도시된 장치는: 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110); 기판(10)을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부, 예를 들어, 제 1 기판 지지부(120) 및 제 2 기판 지지부(220); 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110) 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스(미도시)를 포함할 수 있다.
[0018]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 수평 방향(300) 및 수직 방향(310)은, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면(305)을 정의한다. 다시 말해, 수평 방향(300)의 벡터 및 수직 방향(310)의 벡터는, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면(305), 예를 들어 데카르트 좌표들에 걸쳐있다(span).
[0019]
"실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면(substantially vertically oriented two-dimensional plane)"이라는 용어는, "실질적으로 수평으로 배향되는 2-차원 평면"에 대해 구별하기 위한 것으로 이해된다. 즉, "실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면"은 2-차원 평면(305)의 실질적으로 수직인 배향과 관련되며, 여기서, 정확한 수직 배향으로부터의 몇도(few degrees), 예를 들어 10o 까지의 또는 심지어 15o 까지의 편차는, 여전히 "실질적으로 수직인 배향"으로서 고려된다.
[0020]
몇몇 구현예들에서, 적어도 하나의 운반 디바이스는, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면(305)에 놓여 있는 운반 경로를 따라서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하도록 구성된다.
[0021]
도 1a에서, 적어도 하나의 기판 지지부, 예를 들어 제 1 기판 지지부(120)는 제 1 운반 경로(106)를 따라서 운반된다. 도 1b에서, 적어도 하나의 기판 지지부, 예를 들어 제 1 기판 지지부(120)는 제 2 운반 경로(107)를 따라서 운반된다.
[0022]
운반 경로는 하나 또는 그 초과의 프로세스 위치(process position)들, 예를 들어 제 1 프로세스 위치(102) 및 제 2 프로세스 위치(104)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 제 1 프로세스 위치(102)는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110) 중 제 1 프로세스 스테이션의 위치에 대응한다. 제 2 프로세스 위치(104)는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110) 중 제 2 프로세스 스테이션의 위치에 대응할 수 있다. 적어도 하나의 운반 디바이스는, 적어도 하나의 기판 지지부를 프로세싱을 위해 프로세스 위치들 중 적어도 하나의 프로세스 위치로 운반하도록 구성될 수 있다.
[0023]
도 1a를 참조하면, 몇몇 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스는, 적어도 하나의 기판 지지부를 순차적으로, 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성된다. "순차적으로(sequentially)"라는 용어는, 순서(sequence)를 따라 이루어지는, 적어도 하나의 기판 지지부의 수직 이동 및 수평 이동을 지칭할 수 있는 바, 즉, 수직 이동 및 수평 이동은 동시에 수행되는 것이 아니라 연속적으로 수행된다. 일 예로서, 운반 경로는 하나 또는 그 초과의 수평 섹션들 및 하나 또는 그 초과의 수직 섹션들을 가질 수 있다. 특히, 운반 경로는, 예를 들어 도 1a에 도시된 제 1 운반 경로(106)와 같이, 불연속적인 운반 경로일 수 있다. "불연속적인(discontinuous)"이라는 용어는 수학적 의미(mathematical sense)로 이해되어야 한다.
[0024]
도 1b를 참조하면, 몇몇 다른 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스는 적어도 하나의 기판 지지부를 동시에, 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성된다. "동시에(simultaneously)"라는 용어는, 적어도 하나의 기판 지지부의 수직 이동 및 수평 이동이 동시에 수행되는 것을 지칭할 수 있다. 일 예로서, 적어도 하나의 기판 지지부의 이동 방향(moving direction) 또는 이동 벡터(moving vector)는 수직 성분 및 수평 성분을 가질 수 있다. 특히, 운반 경로는, 예를 들어 도 1b에 도시된 제 2 운반 경로(107)와 같이, 연속적인 운반 경로일 수 있다. "연속적인(continuous)"이라는 용어는 수학적 의미로 이해되어야 한다. 일 예로서, 운반 경로는 연속적으로 인클라인(inclining) 운반 경로이거나, 디클라인(declining) 운반 경로이거나, 또는 인클라인 운반 경로와 디클라인 운반 경로의 조합일 수 있다.
[0025]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 운반 경로는 하나 또는 그 초과의 버퍼 위치(buffer position)들을 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 버퍼 위치는 적어도 하나의 기판을 저장하도록 구성된다. 일 예로서, 버퍼 위치는, 적어도 하나의 기판을 저장하도록 구성되는 버퍼 스테이션 또는 버퍼 디바이스의 위치에 대응할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 적어도 하나의 운반 디바이스는, 예를 들어, 타겟 프로세스 위치(target process position)가 다른 기판 지지부에 의해 점유되어 있는 경우, 적어도 하나의 기판을 저장하거나 또는 대기(waiting)하기 위해 적어도 하나의 기판 지지부를 하나 또는 그 초과의 버퍼 위치들 중 하나의 버퍼 위치로 운반하도록 구성될 수 있다.
[0026]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 장치는, 스크린 프린팅, 잉크-젯 프린팅 및 레이저 프로세싱 중 적어도 하나를 위해 구성된다. 몇몇 구현예들에서, 레이저 프로세싱은, 프린팅 구조를 형성하기 위하여 프린팅 페이스트(printing paste)가 증착될 수 있는 패턴을 생성하기 위해 기판 내에 홀(hole)들을 생성하는 것을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, "레이저 프로세싱"은 또한 "레이저 프린팅"이라고도 지칭될 수 있다.
[0027]
도 2는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판(10) 상에 프린팅하기 위한 장치(100)의 사시도를 도시한다. 도 3은 도 2의 장치(100)의 정면 단면도를 도시한다. 도 4는 도 2의 장치(100)의 평면도를 도시한다. 도 5는 도 2의 장치(100)의 측면도를 도시한다.
[0028]
예시적으로 도시된 바와 같은 장치(100)는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110); 기판(10)을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부, 예를 들어 제 1 기판 지지부(120) 및 제 2 기판 지지부(220); 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들(110) 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스, 예를 들어, 제 1 운반 디바이스(130) 및 제 2 운반 디바이스(230)를 포함한다.
[0029]
몇몇 구현예들에서, 장치(100)는 하나 또는 그 초과의 컨베이어들, 이를 테면 제 1 컨베이어(140) 및 제 2 컨베이어(142)를 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 컨베이어들은 프로세싱되지 않은 기판을 제 1 기판 지지부(120) 상으로 그리고/또는 제 2 기판 지지부(220) 상으로 이송(transfer)하도록 구성될 수 있다. 부가적으로 또는 선택적으로, 하나 또는 그 초과의 컨베이어들은 프로세싱된 기판을 제 1 기판 지지부(120)로부터 그리고/또는 제 2 기판 지지부(220)로부터 이송하도록 구성될 수 있다. 일 예로서, 제 1 컨베이어(140)는, 입력 디바이스(미도시)로부터 프로세싱되지 않은 기판을 수용(receiving)하도록 구성되는 유입 컨베이어(incoming conveyor)일 수 있으며, 그리고 프로세싱되지 않은 기판을 제 1 기판 지지부(120) 및/또는 제 2 기판 지지부(220)로 이송하도록 구성될 수 있다. 제 2 컨베이어(142)는, 제 1 기판 지지부(120) 및/또는 제 2 기판 지지부(220)로부터 프로세싱된 기판을 수용하도록 구성되는 유출 컨베이어(outgoing conveyor)일 수 있으며, 그리고 프로세싱된 기판을 기판 제거 디바이스(미도시)로 이송하도록 구성될 수 있다.
[0030]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스, 예를 들어, 제 1 운반 디바이스(130) 및 제 2 운반 디바이스(230)는, 적어도 하나의 기판 지지부, 이를 테면 제 1 기판 지지부(120) 및 제 2 기판 지지부(220)를 수평 방향(300)으로 그리고 수직 방향(310)으로 운반하도록 구성된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 수평 방향(300) 및 수직 방향(310)은, 도 1과 관련하여 상기 설명된 바와 같이, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면을 정의한다.
[0031]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스는 적어도 하나의 기판 지지부를 수직 방향(310)으로 운반하기 위한 제 1 모터를 포함한다. 일 예로서, 제 1 모터는 선형 모터(linear motor)이다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 제 1 모터는 스테퍼 모터(stepper motor), 서보 모터 또는 공기압 모터(pneumatic motor)이다. 특히, 선형 모터를 사용하게 되면, 적어도 하나의 기판 지지부의 수직 위치의 미세한(fine) 조정을 가능하게 한다.
[0032]
몇몇 구현예들에서, 장치(100)는, 적어도 하나의 운반 디바이스, 구체적으로는 제 1 모터를 적어도 하나의 기판 지지부와 연결하도록 구성되는 연결 디바이스를 포함한다. 연결 디바이스는 적어도 하나의 운반 디바이스에 포함될 수 있다. 일 예로서, 장치(100)는, 제 1 운반 디바이스(130), 구체적으로는 제 1 운반 디바이스(130)의 제 1 모터를 제 1 기판 지지부(120)와 연결하도록 구성되는 제 1 연결 디바이스(134)를 포함할 수 있다. 또한, 장치(100)는, 제 2 운반 디바이스(230), 구체적으로는 제 2 운반 디바이스(230)의 제 2 모터를 제 2 기판 지지부(220)와 연결하도록 구성되는 제 2 연결 디바이스(234)를 포함할 수 있다.
[0033]
몇몇 실시예들에 따르면, 연결 디바이스, 이를 테면 제 1 연결 디바이스(134) 및 제 2 연결 디바이스(234)는 실질적으로 L-형상(L-shaped)이다. 실질적으로 L-형상 연결 디바이스는, 실질적으로 수직 방향(310)으로 연장하는 제 1 연결 엘리먼트를 포함할 수 있고, 그리고 실질적으로 수평 방향(300)으로 연장하는 제 2 연결 엘리먼트를 포함할 수 있다. 일 예로서, 제 1 연결 디바이스(134)는 제 1 연결 엘리먼트(135) 및 제 2 연결 엘리먼트(136)를 포함할 수 있다. 제 2 연결 디바이스(234)는 다른 제 1 연결 엘리먼트(235) 및 다른 제 2 연결 엘리먼트(236)를 포함할 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제 1 연결 엘리먼트는 적어도 하나의 운반 디바이스와의 연결을 위해 구성될 수 있고, 제 2 연결 엘리먼트는 적어도 하나의 기판 지지부와의 연결을 위해 구성될 수 있다.
[0034]
"실질적으로 수직 방향으로 연장하는"이라는 용어는, "실질적으로 수평 방향으로 연장하는"에 대해 구별하기 위한 것으로 이해된다. 즉, "실질적으로 수직 방향으로 연장하는"은, 예를 들어 제 1 연결 엘리먼트의 실질적으로 수직 연장과 관련되며, 여기서, 정확한 수직 연장으로부터의 몇도(few degrees), 예를 들어 10o 까지의 또는 심지어 30o 까지의 편차는, 여전히 "실질적으로 수직 연장"으로서 고려된다. 유사하게, "실질적으로 수평 방향으로 연장하는"은, 예를 들어 제 2 연결 엘리먼트의 실질적으로 수평 연장과 관련되며, 여기서, 정확한 수평 연장으로부터의 몇도(few degrees), 예를 들어 10o 까지의 또는 심지어 30o 까지의 편차는, 여전히 "실질적으로 수평 연장"으로서 고려된다.
[0035]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 운반 디바이스는 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향(300)으로 운반하기 위한 제 2 모터(150)를 포함한다. 일 예로서, 제 2 모터(150)는 선형 모터이다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 제 2 모터는 스테퍼 모터, 서보 모터 또는 공기압 모터이다. 특히, 선형 모터를 사용하게 되면, 적어도 하나의 기판 지지부의 수직 위치의 미세한 조정을 가능하게 한다.
[0036]
몇몇 구현예들에서, 적어도 하나의 운반 디바이스는, 정적(static) 또는 비-이동(non-moving) 부분, 및 이동가능(moveable) 부분, 이를 테면, 제 1 운반 디바이스(130)의 제 1 이동가능 부분(131) 및 제 2 운반 디바이스(230)의 제 2 이동가능 부분(231)을 포함한다. 일 예로서, 제 2 모터(150)는 제자리에(in position) 고정되는 자석들(151)을 포함할 수 있고, 그리고 제 2 모터(150)는, 운반 디바이스의 이동가능 부분과 함께 적어도 수평으로 이동하는 코일들을 포함할 수 있다. 추가의 예로서, 이동가능 부분은 운반 디바이스의 제 1 모터를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제 1 모터는 적어도 하나의 기판 지지부와 함께 수평 방향(300)을 따라서 이동가능하다.
[0037]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 장치는, 적어도 하나의 기판 지지부 상에 포지셔닝되는(positioned) 기판의 배향 및/또는 위치를 검출하도록 구성되는 검사 시스템을 포함한다. 검사 시스템은, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 중 적어도 하나, 예를 들어 검사 스테이션 또는 정렬 스테이션에 포함될 수 있다.
[0038]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 장치(100)는, 수평 평면에서 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키도록 구성되는 정렬 디바이스를 더 포함한다. 정렬 디바이스는, 프린팅된 패턴을 후속적으로 프린팅되는 패턴과 정렬시키기 위해, 예를 들어 프린팅 디바이스에 대해, 기판의 배향 및/또는 위치의 조정을 허용한다. 특히, 정렬 디바이스는, 기판 상에 프린팅된 패턴들이 기판에 대하여 그리고/또는 서로에 대하여 정렬될 수 있도록 하는, 기판의 정렬을 가능하게 한다.
[0039]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 정렬 디바이스는, 수평 평면에서 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키기 위해, 검사 시스템에 의해 획득되는 데이터를 사용할 수 있다. 일 예로서, 적어도 하나의 기판 지지부 상의 기판의 로케이션(location) 및/또는 배향이, 예를 들어 검사 시스템에 의해 검출되며, 그리고 기판의 검출되는 로케이션 및/또는 배향은, 예를 들어 프린팅 헤드와 같은 프린팅 디바이스에 대해, 기판 지지부 및 그에 따라 기판을 포지셔닝(position)하는 데에 사용된다.
[0040]
몇몇 구현예들에서, 정렬 디바이스는, 적어도 하나의 기판 지지부를 X-방향 및 Y-방향으로 포지셔닝하도록 구성되고, 그리고/또는 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향을 타겟(target) 배향에 대해 조정하도록 구성된다. X-방향 및 Y-방향은 데카르트 좌표 시스템의 X-방향 및 Y-방향일 수 있으며, 그리고 특히, 수평 평면을 정의할 수 있다. 각도 배향은, 타겟, 이를 테면 프린팅 디바이스에 대한 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향을 지칭할 수 있다. 일 예로서, 각도 배향은, 기판 지지부에서의 제 1 기준 라인과 프린팅 디바이스와 같은 타겟에서의 제 2 기준 라인 간의 각도(예를 들어, 세타(theta))로서 정의될 수 있다.
[0041]
몇몇 실시예들에 따르면, 정렬 디바이스는, 수평 평면에서 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향 및/또는 위치를 정렬시키기 위한 하나 또는 그 초과의 액추에이터(actuator)들을 포함할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 액추에이터들은 스테퍼 모터, 공기압 모터 및/또는 서보 모터를 포함할 수 있다. 일 예로서, 정렬 디바이스는, 3개의 액추에이터들, 예를 들어 기판 지지부를 X-방향으로 포지셔닝 또는 이동시키기 위한 제 1 액추에이터, 기판 지지부를 Y-방향으로 포지셔닝 또는 이동시키기 위한 제 2 액추에이터, 및 기판 지지부를 각도를 이루며(angularly) 이동 또는 포지셔닝하기 위한 제 3 액추에이터를 포함할 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제 1 액추에이터 및 제 2 액추에이터는 선형 액추에이터들일 수 있으며, 그리고/또는 제 3 액추에이터는 회전식 액추에이터(rotary actuator)일 수 있다.
[0042]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 정렬 디바이스는 운반 디바이스에 그리고/또는 기판 지지부에 포함된다.
[0043]
몇몇 구현예들에서, 적어도 하나의 기판 지지부 및 하나 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들에 포함된 프린팅 디바이스(예를 들어, 프린팅 헤드)는 프린팅을 위해 서로에 대해 이동가능하다. 특히, 프린팅 디바이스 및 적어도 하나의 기판 지지부는 수평 방향(300)으로, 예를 들어 X-방향으로 서로에 대해 이동가능하다. 일 예로서, 프린팅 디바이스는, 프린팅을 위해 적어도 하나의 기판 지지부를 따라서 적어도 하나의 방향, 이를 테면 X-방향으로 이동가능하다. 이러한 경우, 적어도 하나의 기판 지지부는 자신의 위치를 유지할 수 있는 바, 즉 적어도 하나의 기판 지지부는 프린팅 동안 이동하지 않는다. 다른 예에서, 프린팅 디바이스는 제자리에 고정되는 한편, 적어도 하나의 기판 지지부는, 예를 들어, 프린팅을 위해 프린팅 디바이스에 대해 X-방향으로 이동하도록 구성된다. 이러한 경우, 프린팅 디바이스는 자신의 위치를 유지할 수 있는 바, 즉 프린팅 디바이스는 프린팅 동안 이동하지 않지만, 적어도 하나의 기판 지지부는 프린팅 동안 이동한다. 프린팅 디바이스는 스크린 프린팅, 잉크-젯 프린팅 또는 레이저 프로세싱 또는 레이저 프린팅을 위해 구성될 수 있다.
[0044]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들은: 기판 로딩 스테이션, 기판 언로딩 스테이션, 프린팅 스테이션, 정렬 스테이션, 버퍼 스테이션, 검사 스테이션, 가열 스테이션, 및 이들의 조합들을 포함하는 그룹으로부터 선택된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 장치는 스크린 프린팅을 위해 구성된다. 일 예로서, 프린팅 스테이션은, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 패턴들, 이를 테면 핑거들 및 버스바들을 스크린 프린팅하기 위한 하나 또는 그 초과의 스크린 디바이스들 및 하나 또는 그 초과의 프린팅 헤드들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 스크린 디바이스는 기판 상에 프린팅될 구조에 대응하는 피처들 또는 패턴을 정의하며, 이러한 피처들 또는 패턴은, 홀들, 슬롯(slot)들, 인시전(incision)들 또는 다른 애퍼처(aperture)들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
[0045]
몇몇 구현예들에서, 장치는 스퀴지(squeegee)를 포함하며, 스크린 디바이스는 기판 지지부와 스퀴지 사이에 제공된다. 스퀴지는 프린팅 헤드에 포함될 수 있다. 스퀴지는 프린팅, 특히 스크린 프린팅을 위해 구성될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 스퀴지 및 스크린 디바이스는 프린팅을 위해 서로에 대해 이동가능하다. 일 예로서, 스퀴지는 프린팅을 위해 스크린 디바이스를 따라서 적어도 하나의 방향으로 이동가능하다. 이러한 경우, 적어도 하나의 기판 지지부는 자신의 위치를 유지할 수 있는 바, 즉 적어도 하나의 기판 지지부는 프린팅 동안 이동하지 않는다. 다른 예에서, 스퀴지는 제자리에 고정되는 한편, 적어도 하나의 기판 지지부는, 예를 들어, 프린팅을 위해 스퀴지에 대하여 X-방향으로 이동하도록 구성된다. 이러한 경우, 스퀴지는 자신의 위치를 유지할 수 있는 바, 즉 스퀴지는 프린팅 동안 이동하지 않지만, 적어도 하나의 기판 지지부는 프린팅 동안 이동한다.
[0046]
본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들; 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스를 포함하고, 수평 방향 및 수직 방향은, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면을 정의하며, 그리고 운반 디바이스는, 수평 평면에서 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키도록 구성되는 정렬 디바이스를 포함한다.
[0047]
도 6a는 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 기판 지지부(400)의 사시도를 도시한다. 몇몇 실시예들에 따르면, 기판 지지부는 또한 "프로세싱 네스트(processing nest)"라고도 지칭될 수 있다.
[0048]
몇몇 구현예들에서, 기판 지지부(400)는, 피드 롤(feed roll)(407) 및 수용 롤(reception roll)(408)을 갖는 컨베이어 디바이스(406)를 포함한다. 피드 롤(407) 및 수용 롤(408)은, 기판 지지부(400)의 표면(404) 상에 포지셔닝되는 재료(material)(402)를 피딩(feed) 및 유지(retain)하도록 구성된다. 몇몇 실시예들에 따르면, 재료(402)는 주기적으로 제거되고 교체될 수 있다.
[0049]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 기판 지지부(400)는 기판 지지부(400) 상에 기판(10)을 유지하도록 구성되는 적어도 하나의 석션 디바이스를 포함한다. 일 예로서, 재료(402)는, 재료(402)의 일 측에 배치되는 기판(10)이, 재료(402)의 반대 측에 적용되는 진공에 의해, 예를 들어 표면(404)에 형성되는 진공 포트들에 의해, 표면(404)에 대해 유지되도록 허용하는 다공성 재료(porous material)일 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 진공은, 표면(404)에서의 포트들에 커플링되는 진공 소스(미도시)를 사용하여 생성된다.
[0050]
도 6b는 본원에서 개시되는 추가의 실시예들에 따른 기판 지지부(500)의 사시도를 도시한다. 몇몇 실시예들에 따르면, 기판 지지부는 또한 "프로세싱 네스트"라고도 지칭될 수 있다. 기판 지지부(500)의 컨베이어 디바이스(506)는, 표면(504)에 걸쳐서 포지셔닝되는 재료(502)를 피딩하기 위한 하나 또는 그 초과의 제 1 롤러들(508) 및 하나 또는 그 초과의 제 2 롤러들(507)을 갖는 연속적인 컨베이어 시스템으로서 구성된다. 표면(504)은, 예를 들어, 프린팅 스테이션과 같은 프로세스 스테이션에서, 프로세싱 동안 기판(10) 및 재료(502)를 지지할 수 있다.
[0051]
본원에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따르면, 기판 지지부(500)는, 기판 지지부(500) 상에 기판(10)을 유지하도록 구성되는 적어도 하나의 석션 디바이스를 포함한다. 일 예로서, 재료(502)는, 재료(502)의 일 측에 배치된 기판(10)이, 재료(502)의 반대 측에 적용되는 진공에 의해, 예를 들어 표면(504)에 형성되는 진공 포트들에 의해, 표면(504)에 대해 유지되도록 허용하는 다공성 재료일 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 진공은, 표면(504)에서의 포트들에 커플링되는 진공 소스(미도시)를 사용하여 생성된다. 몇몇 실시예들에 따르면, 재료(502)는, 하나 또는 그 초과의 피드 롤러들(508)에 의해 공급될 때 세정된다.
[0052]
도 7은, 본원에서 개시되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 시스템(600)의 사시도를 도시한다.
[0053]
시스템(600)은 듀얼-라인(dual-line) 구성을 가지며, 그리고 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 제 1 장치(610), 및 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 제 2 장치(612)를 포함한다.
[0054]
몇몇 구현예들에서, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612)는 평행하게 배열되며, 그리고 태양 전지들의 제조를 위한 2개의 제조 라인들을 제공한다. 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612)는 서로로부터 독립적으로 동작할 수 있으며, 이에 따라, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612) 각각은, 태양 전지 제조 프로세스, 특히 완전한 태양 전지 제조 프로세스의 적어도 일부를 수행할 수 있다.
[0055]
다른 예들에서, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612)는, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612)가 태양 전지 제조 프로세스를 함께 수행하도록 협력하여 동작할 수 있다. 일 예로서, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612)는 상이한 프로세스 스테이션들을 포함할 수 있으며, 적어도 하나의 기판 지지부는, 제 1 장치(610)로부터 제 2 장치(612)로 그리고 제 2 장치(612)로부터 제 1 장치(610)로 이송될 수 있다.
[0056]
시스템(600)은, 프로세싱되지 않은 기판들을 시스템(600) 내로 투입(inputting)시키기 위한 입력부(input)(620)를 갖는다. 입력부(620)는, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612) 각각에서 기판들을 투입시키기 위한 더블-라인(double-line) 입력부일 수 있다. 시스템(600)은 프로세싱된 기판들을 시스템으로부터 제거하기 위한 출구(exit)(622)를 갖는다. 출구(622)는, 제 1 장치(610) 및 제 2 장치(612) 각각으로부터 기판을 제거하기 위한 더블-라인 출구일 수 있다.
[0057]
몇몇 실시예들에 따르면, 시스템은, 입력부(620)에 또는 입력부(620) 근방에 제 1 검사 시스템(630)을 포함한다. 제 1 검사 시스템(630)은 도 1 내지 도 5와 관련하여 상기 설명된 바와 같이 정렬을 위해 사용될 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, 시스템은 출구(622)에 또는 출구(622) 근방에 제 2 검사 시스템(640)을 포함한다. 제 2 검사 시스템(640)은, 예를 들어, 프린팅된 패턴들의 품질 검사를 위해 그리고/또는 피드백을 위해 사용될 수 있다. 피드백과 관련하여, 제 2 검사 시스템(640)은 기판 상에 프린팅된 패턴들의 배향 및/또는 위치를 검출하도록 구성될 수 있으며, 그리고 검출된 배향 및/또는 위치를 정렬 디바이스에 제공할 수 있고, 정렬 디바이스는 획득된 정보를 이후의 기판의 정렬을 위해 사용할 수 있다.
[0058]
도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법(700)의 흐름도를 도시한다.
[0059]
본 개시내용의 일 양상에 따르면, 방법(700)은, 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 이동시키는 단계(블록 710)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 방법은, 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로, 동시에 또는 순차적으로 이동시키는 단계(블록 720)를 더 포함할 수 있다.
[0060]
몇몇 실시예들에 따르면, 방법은, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치를 사용한다.
[0061]
본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법은, 컴퓨터 프로그램들, 소프트웨어, 컴퓨터 소프트웨어 물건들(computer software products) 및 서로 관련된 제어기들(interrelated controllers)에 의해 수행될 수 있으며, 제어기들은, CPU, 메모리, 사용자 인터페이스, 및 대면적(large area) 기판을 프로세싱하기 위해 장치의 대응하는 컴포넌트들과 통신하는 입력 및 출력 수단을 가질 수 있다.
[0062]
도 9(a) 내지 도 9(l)은, 본원에서 개시되는 실시예들에 따른 방법 및 장치를 사용하여 태양 전지들을 제조하기 위한 시퀀스 스킴을 도시한다.
[0063]
장치는, 정렬 스테이션(810), 프린팅 스테이션(812) 및 검사 스테이션(814)을 포함한다. 도 9에서, 섹션들 (a) 내지 (l)은 2개의 기판들, 즉 제 1 기판(820) 및 제 2 기판(830)을 동시에 프로세싱하기 위한 시퀀스를 도시한다.
[0064]
섹션 (a)에서, 제 1 기판(820)이, 예를 들어 제 1 기판(820) 상에 제 1 패턴의 프린팅을 위해, 프린팅 스테이션(812)에 포지셔닝되고, 제 2 기판(830)이 장치에 투입된다. 섹션 (b)에서, 제 1 기판(820)은 제 1 기판(820) 상에 제 1 패턴을 프린팅하기 위해 프린팅 스테이션(812)에 여전히 포지셔닝되어 있으며, 그리고 제 2 기판(830)은, 수직으로 이동된 이후, 예를 들어, 프린팅 스테이션에서의 프린팅 헤드와 제 2 기판(830)의 초기 정렬을 위해, 정렬 스테이션(810)에 포지셔닝된다. 섹션 (d)에서, 제 2 기판(830)이, 예를 들어, 제 2 기판(830) 상에 제 1 패턴을 프린팅하기 위해, 프린팅 스테이션(812)에 포지셔닝되고, 그리고 제 1 기판(820)이, 예를 들어, 제 1 기판(820) 상에 프린팅된 제 1 패턴을 검사하기 위해 검사 스테이션에 포지셔닝될 때 까지, 섹션 (c)에서, 제 1 기판(820) 및 제 2 기판은 적어도 수평으로 이동된다.
[0065]
섹션들 (e) 내지 (h)에서, 제 2 기판(830)은, 예를 들어, 제 2 기판(830) 상에 제 1 패턴을 프린팅하기 위해, 프린팅 스테이션(812)에 포지셔닝된다. 제 1 기판(820)은, 예를 들어, 프린팅 스테이션에서의 프린팅 헤드와 제 1 기판(820) 또는 제 1 기판(820) 상에 프린팅된 제 1 패턴을 정렬시키기 위해, 검사 스테이션(814)으로부터 다시 정렬 스테이션(810)으로 수직으로 그리고 수평으로 이동되며, 그에 따라, 제 1 기판(820) 상에 프린팅될 제 2 패턴이 제 1 기판(820) 상의 제 1 패턴과 정렬된다.
[0066]
섹션 (i)에서, 제 2 기판(830)은, 예를 들어, 제 2 기판(830) 상에 프린팅된 제 1 패턴을 검사하기 위해, 검사 스테이션(814)에 포지셔닝되며, 그리고 제 1 기판(820)은, 예를 들어, 제 1 기판(820) 상에 제 2 패턴을 프린팅하기 위해, 프린팅 스테이션(812)에 포지셔닝된다. 일 예로서, 제 1 패턴 및 제 2 패턴은, 각각, 핑거들 및 버스바들일 수 있다.
[0067]
섹션들 (k) 및 (l)에서, 제 2 기판(830)은, 예를 들어, 프린팅 스테이션에서의 프린팅 헤드와 제 2 기판(830) 또는 제 2 기판(830) 상에 프린팅된 제 1 패턴을 정렬시키기 위해, 검사 스테이션(814)으로부터 다시 정렬 스테이션(810)으로 수직으로 그리고 수평으로 이동되며, 그에 따라, 제 2 기판(830) 상에 프린팅될 제 2 패턴이 제 2 기판(830) 상의 제 1 패턴과 정렬된다.
[0068]
프로세싱 단계들의 상기 시퀀스는 완전한 것이 아니며, 그리고 추가의 프로세스 스테이션들로의 이동 및 그러한 추가의 프로세스 스테이션들에서의 프로세싱을 포함하는 다양한 부가적인 시퀀스 단계들이 태양 전지를 제조하기 위해 제공될 수 있음을 주목한다.
[0069]
전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.
Claims (15)
- 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치로서,
2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들;
상기 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및
상기 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스(transport device)를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 수평 방향 및 상기 수직 방향은, 실질적으로 수직으로 배향되는(oriented) 2-차원 평면을 정의하며, 그리고 상기 적어도 하나의 운반 디바이스는 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 상기 2-차원 평면에서 운반하도록 구성되는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 운반 디바이스는, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로, 동시에 또는 순차적으로 운반하도록 구성되는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 운반 디바이스는, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수직 방향으로 운반하기 위한 제 1 모터를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 모터는 스테퍼 모터(stepper motor), 서보 모터 또는 공기압 모터(pneumatic motor)인,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 운반 디바이스는, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 운반하기 위한 제 2 모터를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
수평 평면에서 상기 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향(angular orientation) 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키도록 구성되는 적어도 하나의 정렬 디바이스(alignment device)를 더 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 정렬 디바이스는, 상기 적어도 하나의 기판 지지부 및/또는 상기 적어도 하나의 운반 디바이스에 포함되는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 기판 지지부는, 상기 적어도 하나의 기판 지지부 상에 상기 기판을 유지(holding)하도록 구성되는 적어도 하나의 석션 디바이스(suction device)를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 기판 지지부는, 상기 기판을 상기 적어도 하나의 기판 지지부 상으로 나르고(conveying) 그리고/또는 상기 기판을 상기 적어도 하나의 기판 지지부로부터 나르기 위한 컨베이어 디바이스(conveyor device)를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 장치는, 스크린 프린팅, 잉크-젯 프린팅 및 레이저 프로세싱 중 적어도 하나를 위해 구성되는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들은:
기판 로딩 스테이션, 기판 언로딩 스테이션, 프린팅 스테이션, 정렬 스테이션, 버퍼 스테이션, 검사 스테이션, 가열 스테이션, 및 이들의 조합들을 포함하는 그룹으로부터 선택되는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치로서,
2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들;
상기 기판을 지지하도록 구성되는 적어도 하나의 기판 지지부; 및
상기 2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 운반하도록 구성되는 적어도 하나의 운반 디바이스를 포함하고,
상기 수평 방향 및 상기 수직 방향은, 실질적으로 수직으로 배향되는 2-차원 평면을 정의하며, 그리고
상기 적어도 하나의 운반 디바이스는, 수평 평면에서 상기 적어도 하나의 기판 지지부의 각도 배향 및 위치 중 적어도 하나를 정렬시키도록 구성되는 적어도 하나의 정렬 디바이스를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판 상에 프린팅하기 위한 장치. - 태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법으로서,
2개 또는 그 초과의 프로세스 스테이션들 사이에서 적어도 하나의 기판 지지부를 운반하기 위해, 상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법. - 제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 기판 지지부를 수평 방향으로 그리고 수직 방향으로, 동시에 또는 순차적으로 이동시키는 단계를 더 포함하는,
태양 전지의 제조를 위해 기판을 운반하기 위한 방법.
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