JP6626923B2 - 被加工物の移送および印刷 - Google Patents

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Description

本発明は、生産ラインと印刷ユニットとの間で被加工物を運搬するための移送装置と、被加工物に印刷するための印刷装置と、印刷組立体と、被加工物に印刷するための方法とに関する。
半導体のウェーハまたは基板などの被加工物は、例えば、印刷組立体によって印刷回路基板（ＰＣＢ）または太陽電池を形成するために、典型的には導体ペーストで印刷される。従来の印刷組立体では、被加工物は、コンベヤベルトなどの１つまたは２つの生産ラインで印刷ユニットまたは印刷ステーションまで運搬され、そこから、他の機器への運搬のために１つ以上の生産ラインに戻る。例えば光学検査機器を用いての被加工物の検査が、組立体の生産ラインに沿う様々な箇所で実施され得、このような検査は、例えば、印刷ステーションへと向かうときと印刷ステーションから離れるときとの両方で、被加工物の位置合わせを確認するために使用され得る。典型的には、回路基板または太陽電池に印刷するために使用されるものなどの従来の半導体印刷機またはウェーハ印刷機は、印刷ステーションへおよび印刷ステーションから被加工物を送るために、４つのプラテンが設けられた回転テーブルを使用する。これの例は特許文献１に示されている。一部の代替の設計は、一列の送り部を使用する。この設計はより小型となるが、並行して進められるサイクルが少ないため、概してより遅い。
１つの具体的な太陽電池印刷機械であるＡＳＭ Ａｓｓｅｍｂｌｙ Ｓｙｓｔｅｍｓによって生産される「Ｅｃｌｉｐｓｅ」は、印刷セルあたりの生産量を増加させるために並列の印刷エンジンを動作させることができる。しかしながら、各々の印刷エンジンへの一列での送りのため、Ｅｃｌｉｐｓｅは１時間あたり約１，５００個のウェーハの生産に限られている。
主要な市場動向は、片側から操作される二重レーンラインに向かっている。これの主な利点は、ラインを運転するのに必要とされる操作者がより少なく、２つの独立したラインと比較して全体のコストの低減が図れることである。ラインの設置面積も、二重レーンの構造を用いることで縮小され、それによって、工場の床面積の１平方メートルあたりのウェーハ生産量をより大きくすることができる。
好ましい二重レーンラインの構造を用いながら印刷機械の生産高を増大させることは、明らかに有利である。しかしながら、以下のような克服すべき２つの大きな問題がある。
ｉ）サイクル時間の制限：
印刷機サイクル時間への制限のうちの１つは、印刷の間でウェーハが送られて交換され得る速度である。
ｉｉ）検査の制限：
精度を必要とする印刷システムでは、視覚システムが、印刷が行われる前にウェーハの位置合わせを修正するために採用される。高い正確性のシステムは、概して５ミクロン〜１０ミクロンの位置合わせを必要とする。回転テーブルおよび一列のシステムは、印刷の品質および位置合わせを確認するための検査ステーションにおいて、第２の視覚システムを使用する。これは、複雑性、ラインの長さ、およびコストを増加させ、印刷ステーションと検査ステーションとの間に多くのウェーハが置かれることになり、検出されない欠陥を潜在的に有することになる。
米国特許第８２１５４７３号明細書
二重レーンラインの構造を保持しながら印刷機械の生産高を増大させることが、本発明の目的である。より具体的には、本発明は、現在達成可能である処理量と比較して、１日に生産されるウェーハの数の明らかな増加を、その主な目的としている。
本発明によれば、この目的は、改良された回転テーブル式被加工物移送装置の使用によって達成される。
ここでの被加工物移送装置はコンパクトな「Ｔ字スタブ」の構成を提供し、これは、知られている送りシステムと比較すると非常にコンパクトである。この構成は、二重レーン（つまり、２つの並行な生産ライン）構成と良好に働き、したがって一つだけの側での動作を可能にする。生産ラインは、近くで一緒に、操作者によってアクセス可能に配置され得る。
ここでの移送装置は、従来の回転テーブルの構成に対して、簡略化されたベルト構成要素の移送システムを提供する。
ここでの移送装置は、ウェーハなどの印刷された被加工物をその位置合わせ位置へと戻すことができ、したがって同じ検査システムが印刷されたウェーハを確認することができる。これは、密接に連結された閉ループの印刷位置合わせおよび品質確認を採用することを可能にする。これらの動作は、ライン長さが過剰に増加することなく、印刷ステップごとに可能であり得る。検査の目的のために追加のモジュールが必要とされることもない。
ここでの移送装置は、標準的な回転テーブルより効率的であり、より小さい質量とより小さい慣性とを有する。
ここでの移送装置は、高速で動作でき、１μｍ未満の再現性で、約３００ｍｓでの移動を達成する。
ここでの移送装置は、印刷された被加工物の生産量における日常的な改善をもたらして、最適化されるサイクル時間を提供できる。
この目的は、最適化された２つのステーションの回転テーブル構成を用いることで達成される。
本発明の第１の態様によれば、生産ラインと印刷ユニットとの間で被加工物を運搬するための移送装置であって、
第１のプラテンおよび第２のプラテンを上の空間的に分かれた場所において支持する回転テーブルであって、各々のプラテンが、回転テーブルに対して回転可能であり、第１のプラテン回転軸および第２のプラテン回転軸をそれぞれ中心として他方のプラテンに対して回転可能でもあり、使用中にその上のそれぞれの被加工物を支持するように構成され、
各々のプラテンが、前記テーブルの回転を通じて、使用中に生産ラインに近接する搭載位置と、使用中に印刷ユニットに近接する印刷位置との間で移動され得るように、第１のプラテン回転軸および第２のプラテン回転軸と平行なテーブル回転軸を中心として回転可能である回転テーブルと、
回転テーブルを、テーブル回転軸を中心として回転させるためのテーブル駆動デバイスと、
を備え、
移送装置は、第１の移動動作および第２の移動動作を周期的に実施するように動作可能であり、そのため、第１の移動動作において、回転テーブルは、第２のプラテンが印刷位置から搭載位置へと移動する間、第１のプラテンを搭載位置から印刷位置へと移動させるように回転し、第２の移動動作において、回転テーブルは、第２のプラテンが搭載位置から印刷位置へと移動する間、第１のプラテンを印刷位置から搭載位置へと移動させるように回転する、移送装置が提供される。
本発明の第２の態様によれば、被加工物を生産ラインから受け入れるための投入部と、第１の態様による移送装置と、印刷ユニットと、印刷された被加工物を生産ラインへと送出するための送出部とを備える、被加工物に印刷するための印刷装置が提供される。
本発明の第３の態様によれば、第２の態様の印刷装置と、生産ラインとを備え、印刷装置は前記生産ラインと連結される、印刷組立体が提供される。
本発明の第４の態様によれば、被加工物に印刷するための印刷装置であって、被加工物を生産ラインから受け入れるための投入部と、印刷ユニットと、印刷された被加工物を生産ラインへと送出するための送出部と、生産ラインと印刷ユニットとの間で被加工物を運搬するための移送装置とを備え、
移送装置は、
第１のプラテンおよび第２のプラテンを上の空間的に分かれた場所において支持する回転テーブルと、
各々のプラテンを、使用中に、投入部と送出部との間に一列に置かれる搭載位置と、印刷ユニットに近接する印刷位置との間で移動させるために、テーブルを、テーブル回転軸を中心として回転させるためのテーブル駆動デバイスと、
を備え、
移送装置は、第１の移動動作および第２の移動動作を周期的に実施するように動作可能であり、そのため、第１の移動動作において、回転テーブルは、第２のプラテンが印刷位置から搭載位置へと移動する間、第１のプラテンを搭載位置から印刷位置へと移動させるように回転し、第２の移動動作において、回転テーブルは、第２のプラテンが搭載位置から印刷位置へと移動する間、第１のプラテンを印刷位置から搭載位置へと移動させるように回転する、印刷装置が提供される。
本発明の第５の態様によれば、生産ライン上の被加工物に印刷するための方法であって、
ａ）第１のプラテンおよび第２のプラテンを上の空間的に分かれた場所において支持する回転テーブルを含む移送装置を提供するステップであって、各々のプラテンはその上のそれぞれの被加工物を支持するように構成される、ステップと、
ｂ）第２のプラテンが印刷ユニットに近接する印刷位置に置かれる間、第１の被加工物を、生産ラインに近接する搭載位置にある第１のプラテンへと搭載するステップと、
ｃ）第２のプラテンが印刷位置から搭載位置へと移動する間、第１のプラテンを印刷位置へと移動させるために回転テーブルを回転させることを含む第１の移動動作を実施するステップと、
ｄ）印刷ユニットを使用して第１の被加工物に印刷するステップと、
ｅ）第２のプラテンが搭載位置から印刷位置へと移動する間、第１のプラテンを印刷位置から搭載位置へと移動させるために回転テーブルを回転させることを含む第２の移動動作を実施するステップと、
ｆ）第１の被加工物を第１のプラテンから生産ラインへと降ろすステップと、
を含み、
第１の移動動作および第２の移動動作の各々において、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの一方は、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの他方に対して回転する、方法が提供される。
本発明の他の具体的な態様および特徴は、添付の特許請求の範囲において提示されている。
好ましい実施形態では、本発明による移送装置が、移送アームとして形成される回転テーブルの各々の端に固定される２つの独立したプラテンを備える。各々のプラテンは、アームに対して回転でき、アームはプラテンがその配向を搭載動作と降ろし動作との間で変更することを可能にし、したがって、紙コンベヤなど、プラテンに設けられる搭載コンベヤを、各々の被加工物搭載動作／降ろし動作で往復させることができる。これは、連続または無端のベルトが使用される必要がなく、構造を大幅に簡略化することを意味する。さらに、印刷組立体と関連する検査システムが、紙コンベヤによる汚染または欠陥を見つけたとき、紙の未使用部分が導入でき、したがって汚染または印刷欠陥の問題を自動的に洗浄する。
有利には、プラテンを回転させる能力によって、各々のプラテンを「θステージ」として使用することができることで、ウェーハを任意の角度への印刷のために位置合わせおよび配向させることができる。一部の場合では、これは、ベクトル印刷として知られる技術を用いて、印刷品質を最適化するのを助ける。
好ましくは、投入および送出生産ラインコンベヤは、例えば持ち上げられるといった、鉛直方向（従来は「Ｚ方向」と称される）で移動でき、プラテンがテーブルの回転の間に生産ラインコンベヤと接触しないことを可能にする。この構成は、二重レーンで１つだけの側からの動作の実施を行うコンパクトな設計を可能にする。
ここで、本発明は添付の図面を参照して説明される。
本発明の第１の実施形態による単一レーンの印刷装置の概略的な斜視図である。 図１の装置の概略的な側面図である。 第１の実施形態の印刷装置の印刷ユニットの概略的な斜視図である。 上方からの図３の印刷ユニットの概略図である。 第１の実施形態の印刷装置の回転テーブルの概略的な斜視図である。 図５の回転テーブルの概略的な側面図である。 図５の回転テーブルの概略的な側断面図である。 送りコンベヤが下降状態にある図１の移送装置の概略的な側面図である。 送りコンベヤが上昇状態にある図１の移送装置の概略的な側面図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 本発明の実施形態による移動動作のシーケンスを上方から示す概略図である。 二重レーン印刷構成を用いる本発明の第２の実施形態を上方から示す概略図である。 オフセット生産ラインを用いる、本発明の第３の実施形態による印刷装置の概略的な斜視図である。 無端プラテンベルトを用いる、本発明の第４の実施形態による移送装置の概略的な斜視図である。 図１２の移送装置の概略的な側面図である。 搭載動作の間の図１２の移送装置の概略的な平面図である。
以下の記載では、Ｘ、Ｙ、Ｚ、およびθという用語は、本技術におけるそれらの従来からの方法で使用され、つまり、Ｚ軸は、印刷されている被加工物の平面に対して垂直な軸を指しており、概して鉛直方向となる。Ｘ−Ｙ平面は、被加工物の平面と同一平面上であり、したがってＺ軸に対して垂直である。θは、Ｚ軸を中心とする被加工物の回転の角度を指している。
本発明の第１の実施形態による単一レーンの印刷装置の斜視図が、図１に概略的に示されている。
印刷装置１は、フレーム３内に搭載された支持プラットフォーム２を備え、支持プラットフォーム２は、以下に記載している主要な構成要素を支持している。複数の被加工物Ｗが単一のレーンの生産ラインで示されているが、明確性のために、生産ラインを形成するコンベヤベルトは図１では省略されている。図示しているように、被加工物Ｗは左側から印刷装置１へと運搬され、装置によって印刷され、次に、示した矢印の方向へと続いて右へと運搬される。印刷装置１へと運搬された後、各々の被加工物Ｗは搭載位置または領域Ｌへと順次に運搬され、後で詳細に記載しているように、移送装置４によって印刷位置または領域Ｐへと輸送される準備がされる。印刷ユニット５が印刷装置１内に設けられており、それぞれの被加工物Ｗに印刷位置Ｐにあるときに印刷するために、支持プラットフォーム２によって支持されている。ここで示した印刷ユニット５は、技術的に知られている標準的な種類のものであり、印刷動作の間、導体ペーストを分配させ、導体ペーストを印刷スクリーンにおいて「フラッディング」させ、次に、スキージ（図示されていない）を伴う印刷ヘッドを用いて、導体ペーストを被加工物Ｗへと塗布させ、印刷ヘッドは、印刷ヘッドＸ、Ｙ、θ位置合わせ制御手段（図示されていない）の制御の下で印刷ヘッド位置合わせアクチュエータによって位置合わせされ、印刷方向において印刷スクリーン（図示されていない）の上面にわたって移動するために印刷ヘッドアクチュエータによって駆動される。導体ペーストは、スクリーンにおける開口の像を通じて、スクリーンの下方に位置付けられる被加工物Ｗへと押し出され、スクリーンの像に対応する印刷パターンを形成する。印刷されると、被加工物Ｗは、生産ラインに沿った先への運搬のために、移送装置４によって搭載位置Ｌへと戻され得る。それ自体技術的に知られている光学カメラＣを含む光学検査装置が、搭載位置Ｌの上方においてフレーム３に設けられており、印刷ヘッドＸ、Ｙ、θ位置合わせ制御手段と通信可能に連結されている。それによって、検査装置は、印刷の前および後の両方で、搭載位置Ｌにおける被加工物Ｗの位置合わせを検査することができる。特に、検査装置は、搭載位置Ｌにおける被加工物Ｗの回転位置合わせを決定することができる。この特徴は、以下においてさらに詳細に説明されている。検査装置は、印刷された被加工物の印刷品質を検査するように構成されてもよい。また、上向きに方向付けられたカメラＵＣ１、ＵＣ２（図９Ａ〜図９Ｇ参照）が、使用中に印刷スクリーンにおける基準を照らして検査するために、印刷位置Ｐの下方に設けられている。このようなカメラの使用はそれ自体知られており、カメラの場所は適切となるように選択され得る。
図２は、図１の印刷装置の側面図を概略的に示しており、図３は、印刷ユニット５および移送装置４の斜視図を示しており、図４は、同じものの上方からの図を示している。ここでも生産ラインのコンベヤが明確正のために省略されていることは、留意されるべきである。移送装置４の様々な構成要素がより詳細に見て取れる。移送装置４は、搭載位置Ｌにおいて示された第１の回転可能プラテン７と、印刷位置Ｐにおいて位置付けられた第２の回転可能プラテン８とを支持する回転テーブル６を備えている。各々のプラテン７、８は、その上の被加工物Ｗを支持するためのベルト９を備えている。この実施形態では、技術的に標準となっているように、ベルト９は紙ロールとして形成されている。ベルト９は、後でより詳細に説明しているように、被加工物を生産ラインを往来して輸送することと、それぞれのプラテン７、８上での被加工物の横への位置合わせを提供することとの両方のために、その上の被加工物Ｗを移動させるように駆動可能である。第１の送りコンベヤ１０が、ここでは搭載位置Ｌにあるプラテン７へと被加工物を輸送するために、生産ラインの投入部において上流の生産ラインから被加工物Ｗを受け入れる搭載位置Ｌに近接して位置決めされている。また、第２の送りコンベヤ１１が、ここでは搭載位置Ｌにあるプラテン７から生産ラインの送出部における下流の生産ラインまで被加工物Ｗを輸送するために、搭載位置Ｌに近接して位置決めされている。これは、この実施形態では、搭載位置Ｌは投入部と送出部との間に一列に位置付けられることを意味する。印刷装置１は、回転テーブル６と各々の送りコンベヤ１０、１１との間に相対的に鉛直方向の移動をもたらすための手段をさらに備えている。この実施形態では、第１の送りコンベヤ１０および第２の送りコンベヤ１１は、後でさらに説明されているように、鉛直方向（従来では「Ｚ」方向と表されている）において移動可能である。
図４から、印刷装置は、生産ラインと「Ｔ字スタブ」を形成するように構成されており、つまり、被加工物の投入方向と送出方向とが同一線上となり、被加工物は、印刷のためにラインから取り出され、その後にそのラインへと戻されることが分かる。この構成は特にコンパクトであり、操作者によって容易に管理される。
図５は、回転テーブル６の切り離しての斜視図を概略的に示しており、図６では、その側面図が概略的に示されており、図７では、線Ａ−Ａに沿って切り取られた断面図が概略的に示されている。この実施形態では、回転テーブル６はアーム１２の形態を取っており、第１の回転可能プラテン７および第２の回転可能プラテン８は、アーム１２の両端における空間的に別れた場所にそれぞれ固定されている。アーム１２の中心において直径方向に位置付けられ、そこから下向きに延びているのは、不動支持体２４に対して支持軸受２０を介し、回転するように搭載された中空の中心ハブ１５である。アームモータ１３が、アーム１２の長さに対して直角な鉛直のテーブル回転軸１６（この軸は、「太陽軸」と称されてもよい）を中心としたアーム１２の回転運動を作り出すために、不動支持体２４内でハブ１５の下方に位置付けられている。この回転運動は、ハブ１５の周りに搭載されるアームエンコーダリング１４を有するアームエンコーダを用いて制御され、ハブ１５を上方に通る配線２５を介してアームエンコーダ用の電力が供給されている。代替の実施形態（図示されていない）では、アームモータ１３は、ずれた場所に位置付けられてもよく、歯車および／または駆動ベルトもしくはチェーンなどの伝達手段が、鉛直なテーブル回転軸１６を中心としたアームの回転をもたらすために設けられてもよい。各々のプラテン７、８は、平坦な上面２２ａ、２２ｂと、第１のプラテン７については互いに反対側の垂下側壁２７ａ、２７ｃと、第２のプラテン８については互いに反対側の垂下側壁２７ｂ、２７ｄとを有する逆さまの容器の大まかな形態を取っている。各々のプラテンは、アーム１２の端に回転可能に搭載されるそれぞれのステム１９ａ、１９ｂにおいて支持されている。それぞれのステム１９ａ、１９ｂの上端および下端に位置付けられる軸受２６ａ、２６ｂは、ステム１９ａ、１９ｂの回転を可能にし、したがってアーム１２に対するプラテン７、８の回転を可能にする。各々のプラテン７、８は、それぞれのステム１９ａ、１９ｂに駆動可能に連結されたそれぞれ独立したプラテンモータ１７ａ、１７ｂと、テーブル回転軸１６と平行なそれぞれの鉛直軸２１ａ、２１ｂ（「プラテン回転軸」または「月軸」）を中心とした、それぞれのステム１９ａ、１９ｂの回転運動、延いては、プラテン７、８の回転運動を生成および制御するためにステム１９ａ、１９ｂに搭載されたプラテンエンコーダ１８ａ、１８ｂとを有し、その結果、各々のプラテン７、８は、回転テーブル６に対して独立して回転可能である。プラテンモータ１７ａ、１７ｂおよびプラテンエンコーダ１８ａ、１８ｂのための電力は、ハブ１５を通じて送り込まれる電線２５によって提供される。
先に記載したように、各々のプラテン７、８は、無端ベルトを含め、他の材料および構成が使用され得るが、往復する紙ロールの形態のベルト９を介して被加工物Ｗをプラテンに載せたり降ろしたりするのに送るための手段を備える。各々のプラテン７、８の第１の垂下側壁２７ａ、２７ｂはそれぞれの紙ベルトモータ２８ａ、２８ｂを支持し、一方、反対側の垂下側壁２７ｃ、２７ｄはそれぞれの紙ローラ２９ａ、２９ｂを支持している。紙ベルトモータ２８ａ、２８ｂの作動は、紙ベルトモータに近接して位置付けられるそれぞれの紙ベルトエンコーダ（図示されていない）と通信している内部制御チップ（図示されていない）によって制御される。紙ベルトモータのための電力は、配線２５を介して供給される。各々のプラテン７、８には、真空送り管２３を介して提供される制御可能な真空源が設けられており、真空送り管２３は、ベルト９と連通して開口しており、ハブ１５を通過し、その遠位端において連結されたリモート供給源（図示されていない）を介して真空を供給する。紙ベルト９は多孔質であり、そのため、加えられる真空によって、滑りを防止するために、被加工物Ｗをベルト９に選択的に拘束することができる。
この好ましい実施形態では、アームモータ１３は、アーム１２を２つの固定された停止部（図示されていない）の間でおおよそ１８０°にわたって往復させるように動作可能である。他の実施形態では、アームモータ１３は、アーム１２を完全に３６０°回転させ続けるために、または代替で、回転の連続的な範囲を提供するために、代わりに動作可能であり得る。しかしながら、ここでは、固定された停止部を設けることがアーム１２の正確で再現可能な位置決めを可能にするため、往復の構成が好ましいとされる。他方で、３６０°またはより大きな運動の範囲は、移動する停止部の使用を必要とし、これは実施するのがより複雑となり、さらには、複雑な回転ジョイントが用いられない場合、アームの中心ハブ内で配線の絡みを伴う可能性がある。
図８Ａは、送りコンベヤ１０、１１が下降状態にある移送装置４の側面図を概略的に示している。送りコンベヤ１０、１１は同様に構成されており、各々の送りコンベヤ１０、１１は、各々の端においてローラ４８に搭載された輪になった連続コンベヤベルト４７を支持する軸方向に延びる支持塔４６を有する。各々のコンベヤベルト４７は、少なくとも１つのローラ４８を回転させ、延いては、支持されたベルト４７を回転させるように動作可能なそれぞれの駆動手段４９によって駆動される。各々のコンベヤベルト４７の上面は、その上の被加工物Ｗを支持するように構成されている。好ましい実施形態では、真空源（図示されていない）が各々のベルト４７に連結されることで、滑りを防止するために、その上の支持された被加工物Ｗを拘束してもよい。先に記載したように、各支持塔４６は、軸方向に、つまり、鉛直方向または「Ｚ軸」方向に延長可能であり、このような延長を可能にするために相対的に移動可能な伸縮部材５０ａ、５０ｂを備えている。軸方向の延長をもたらすための駆動手段（図示されていない）は、例えば支持プラットフォーム２内といった、塔４６の基部に設けられている。これらは、例えば、それ自体技術的によく知られている空気圧または機械による線形駆動手段を備え得る。図８Ａでは、塔はその引き込み状態または下降状態で示されており、その状態において、コンベヤベルト４７の上面はプラテン７の上面と実質的に同一平面にあり、そのため被加工物Ｗは、過剰な曲げ歪みが加えられることなく、プラテン７とコンベヤベルト４７との間で安全に移送され得る。各々のコンベヤベルト４７はその内端をプラテン７に近接して有しており、これは、被加工物Ｗに曲げ歪みを望ましくなく加えることを回避するのに有利であることに留意されたい。しかしながら、この近接は、送りコンベヤ１０、１１がこの状態にある間の回転テーブル６の回転が、プラテン７と送りコンベヤ１０、１１とを衝突させてしまうことも意味している。
この問題を回避するために、送りコンベヤは鉛直方向において移動可能であり、図８Ｂは、図８Ａと同様であるが、線形駆動手段の適切な作動により、送りコンベヤが上昇状態にある状態での側面図を概略的に示している。したがって、支持塔４６は延長されており、そのためコンベヤベルト４７の下面はプラテン７の上面より高い鉛直方向高さにあることが分かる。この構成では、回転テーブル６は、送りコンベヤ１０、１１に衝突することなく自由に回転できる。
アームおよびプラテン駆動手段の制御された作動、コンベヤベルトおよびプラテンベルトの駆動、真空の作動および解放、印刷動作、および検査を含む印刷装置１の動作は、好ましくは専用の制御ソフトウェアがインストールされているコンピュータである、遠隔に置かれた処理手段など、制御手段（図示されていない）によってすべて制御される。
ここで、この実施形態による印刷装置１の動作が、図９Ａ〜図９Ｇを参照して説明される。明確性のために、印刷ユニット５のほとんどはこれらの図から省略されており、そのため移送装置４の動作がより明確に見て取れる。各々の被加工物Ｗの配向が明確に分かるようにするために、各々の被加工物Ｗはそれ自体における矢印を伴って示されており、この矢印は、その被加工物に対する配向において固定されたままになっている。
図９Ａは、印刷手順における代表的な時点における印刷装置１を上方から概略的に示している。第１のプラテン７は搭載位置Ｌに位置決めされており、第２のプラテン８は印刷位置Ｐに位置決めされている。第１の被加工物Ｗ１が、送りコンベヤ１０から第１のプラテン７に搭載されており、さらに、送りコンベヤ１０へは上流の生産ラインから搭載されている。第２の被加工物Ｗ２は、印刷位置Ｐにおいて第２のプラテン８に支持されており、被加工物Ｗ２には印刷がされている。第３の被加工物Ｗ３が送りコンベヤ１０上に位置付けられており、上流の生産ラインから受け入れられている。第４の被加工物Ｗ４が、下流の生産ラインへの続いての移送のために、送りコンベヤ１１に位置付けられている。送りコンベヤ１０、１１はそれらの下降状態にあり、被加工物Ｗ１を第１のプラテン７上へと搭載することと、被加工物Ｗ４を第１のプラテン７から降ろすこととが起こっただけである。
Ｗ１が第１のプラテン７上に搭載されるとすぐに、カメラＣがＷ１の画像を撮るために使用される。この画像はＷ１についての位置合わせ情報を提供し、その位置合わせ情報は印刷ヘッドＸ、Ｙ、θ位置合わせ制御手段へと送られ、入ってくる被加工物とスクリーン印刷画像とが位置合わせされて印刷する準備ができるように、印刷ヘッド位置合わせアクチュエータに最新の位置合わせ位置へと移動することを開始させる（実際には、この位置合わせ移動は、続いてのアーム回転の間に完了される）。
これと並行して、送りコンベヤ１０、１１は、それらの上昇状態まで上昇させられる。
図９Ｂでは、第１の移動動作の開始が上方から示されており、回転テーブル６は、被加工物Ｗ２の完了に続いて、図示しているように、時計回りの回転方向で移動させられている。この第１の移動動作では、投入送りコンベヤ１０がその上昇状態にあるため、プラテン７はその送りコンベヤ１０の下方で搭載位置Ｌから印刷位置Ｐに向かって安全に進むことができる。第１のプラテン７と、その上で支持された被加工物Ｗ１とは、この移動の間にアーム１２に対して固定された角度のままとなり得る。しかしながら、有利には、第１のプラテン７は、制御手段の制御の下で、第１のプラテンエンコーダ１８ａを用い、第１のプラテンモータ１７ａの選択的な作動によって、例えば、被加工物Ｗ１のベクトル印刷または誤差修正のために、このアームの回転の間、必要により回転されてもよい。同時に、印刷された被加工物Ｗ２がその上で支持された第２のプラテン８は、印刷位置Ｐから搭載位置Ｌに向かって移動する。この第１の移動動作の間、第２のプラテン８はアーム１２と第１のプラテン７との両方に対して回転し、この回転は、第２のプラテンモータ１７ｂによってもたらされ、第２のプラテンエンコーダ１８ｂを用いて制御される。しかしながら、その絶対的な配向、または、支持プラットフォーム２に対する回転位置は、実質的に変化されていないままである。このように、印刷された被加工物Ｗ２はプラテン軸を中心として１８０°回転させられ、それに応じて、次の被加工物を搭載するおよび降ろすときのベルト９の必要な駆動方向が反転させられる。
第１の移動動作の間、印刷された被加工物Ｗ２を「逃がす」ことができるように、かつ、入ってくる被加工物Ｗ１が印刷スクリーンの下を通過するだけの十分なクリアランスを提供するために、印刷ヘッドおよびスクリーンを鉛直方向またはＺ軸方向に上昇させることが必要であり得ることは、留意されるべきである。このように印刷ヘッドを移動する必要性は、印刷の実行に対して操作者によって設定される印刷ギャップに依存することになる。印刷ヘッドの任意の鉛直方向の移動が必要な場合、プラテンの接触する可能性がなく通過すると印刷ヘッドはすぐに元の印刷高さへと戻るように移動され、この戻りは、アーム１２がその物理的停止部に到達することによって完了される。そのため、サイクル時間への影響が生じない。
また、第１の移動動作の間、印刷スクリーンが導体ペーストでフラッディングされるフラッディングストロークが行われる。
この段階において、プラテンはその見え方が不明瞭となり、上向きに見ているカメラＵＣ２は、印刷スクリーンの基準を照らして検査し得る。
送りコンベヤ１０、１１は、第２のプラテン８が搭載位置Ｌへと移るとすぐに降下させられる。
第１の移動動作の最後における構成を上方から示している図９Ｃでは、印刷された被加工物Ｗ２がその上にある第２のプラテン８が搭載位置Ｌに到達しており、被加工物Ｗ１がその上にある第１のプラテン７は印刷位置Ｐに到達している。
先に提示されているように、欠陥がなければ、第１の移動動作の間に完了されている被加工物Ｗ１の正しい配向が得られているとき、Ｗ１の印刷が始まる。その間（つまり、被加工物Ｗ１の印刷の間）、被加工物Ｗ４が下流の生産ラインへと運搬され、印刷された被加工物Ｗ２は第２のプラテン８から第２の送りコンベヤ１１へと降ろされ、被加工物Ｗ３は、第２のプラテンベルト９および送りコンベヤ１０、１１の駆動を通じて、第１の送りコンベヤ１０から第２のプラテン８上へと搭載される。印刷された被加工物Ｗ２を降ろすことと、次の被加工物Ｗ３を搭載することとは同時に行われる。この動作において、第２のプラテン８のベルト９は、第１の方向において、例えばおおよそ２つの被加工物の寸法といった設定距離で回転させられる。同じく同時に、さらなる被加工物Ｗ５が生産ラインから第１の送りコンベヤ１０へと運搬される。
第２のプラテン８における搭載位置Ｌでは、被加工物Ｗ３は光学的検査システムの視野にある。より詳細には、被加工物Ｗ３の後方の縁が、送りコンベヤ１０を離れるときに決定され、そのとき、被加工物Ｗ３のほとんどは第２のプラテン８上にあり、その運動プロフィールによる滑りを防止するために必要とされる真空制御下にある。所定位置から約１ｍｍ未満での着地される位置が、この技術を用いて達成され得る。着地される位置が実際の位置合わせ位置により近いほど、最終的な印刷の精度がより良好になり、サイクル時間がより良好になる。被加工物Ｗ３が所望の位置で停止されている状態で、その位置合わせは、被加工物Ｗ３の縁を特定すること、または、被加工物の前面において先に印のつけられた位置合わせ点を特定することとのいずれかで、検査システムによって光学的に捉えられる。代替の実施形態では、先に印刷された被加工物を位置合わせ目標として使用することも可能である。
そのため、搭載位置Ｌにおける被加工物Ｗ３の位置合わせと被加工物Ｗ１の印刷とが並列に行われることが分かる。
これら位置合わせの手順と印刷の手順との両方が完了されるとすぐに、投入送りコンベヤ１０と送出コンベヤ１１とが再び上昇させられ、印刷ヘッド位置合わせアクチュエータは、入ってくる被加工物とスクリーン印刷画像とが位置合わせされて印刷する準備ができるように、最新の位置合わせへと移動する。
次に第２の移動動作が始まる。上昇させられた送りコンベヤ１０、１１は、被加工物Ｗ３を印刷位置Ｐに向けて移動するために、アーム１２を、この場合には反時計回りの方向で、１８０°にわたって邪魔されずに移動させることができる。図９Ｄおよび図９Ｅは、この第２の移動動作の始まりの後の２つの連続する瞬間における印刷装置１を上方から概略的に示しており、図９Ｄでは、第２のプラテン８が送出コンベヤ１１の下方を通過しており、図９Ｅでは、第２のプラテン８は送出コンベヤ１１をすでに通り過ぎているが、第１のプラテン７が、上昇させられた投入送りコンベヤ１０の下方を通過している。
第２のプラテン８と、その上で支持された被加工物Ｗ３とは、この移動の間にアーム１２に対して固定された角度のままとなり得る。しかしながら、有利には、第２のプラテン８は、制御手段の制御の下で、第２のプラテンエンコーダ１８ｂを用い、第２のプラテンモータ１７ｂの選択的な作動によって、例えば、被加工物Ｗ３のベクトル印刷または誤差修正のために、このアームの回転の間、必要により回転されてもよい。同時に、印刷された被加工物Ｗ１がその上で支持された第１のプラテン７は、印刷位置Ｐから搭載位置Ｌに向かって移動する。この第２の移動動作の間、第１のプラテン７はアーム１２と第２のプラテン８との両方に対して回転し、この回転は、第１のプラテンモータ１７ａによってもたらされ、第１のプラテンエンコーダ１８ａを用いて制御される。しかしながら、その絶対的な配向、または、支持プラットフォーム２に対する回転位置は、実質的に変化されていないままである。このように、印刷された被加工物Ｗ１はプラテン軸を中心として１８０°回転させられ、それに応じて、次の被加工物を搭載するおよび降ろすときの第１のプラテンのベルト９の必要な駆動方向が反転させられる。
第１の移動動作と同様に、印刷された被加工物Ｗ１を「逃がす」ことができるように、かつ、入ってくる被加工物Ｗ３が印刷スクリーンの下を通過するだけの十分なクリアランスを提供するために、印刷ヘッドおよびスクリーンを鉛直方向またはＺ軸方向に上昇させることが必要である。
第２の移動動作の間も、印刷スクリーンが導体ペーストでフラッディングされるフラッディングストロークが行われる。
この段階において、プラテンはその見え方が不明瞭となり、上向きに見ているカメラＵＣ１は、印刷スクリーンの基準を照らして検査し得る。
送りコンベヤ１０、１１は、第１のプラテン７が搭載位置Ｌへと移るとすぐに降下させられる。
第２の移動動作の最後における構成を上方から示している図９Ｆでは、印刷された被加工物Ｗ１がその上にある第１のプラテン７が搭載位置Ｌに到達しており、被加工物Ｗ３がその上にある第２のプラテン８は印刷位置Ｐに到達している。
先に提示されているように、欠陥がなければ、第２の移動動作の間に完了されている被加工物Ｗ３の正しい配向が得られているとき、Ｗ３の印刷が始まる。その間（つまり、被加工物Ｗ３の印刷の間）、被加工物Ｗ２が下流の生産ラインへと運搬され、印刷された被加工物Ｗ１は第１のプラテン７から第２の送りコンベヤ１１へと降ろされ、被加工物Ｗ５は、第１のプラテンベルト９および送りコンベヤ１０、１１の駆動を通じて、第１の送りコンベヤ１０から第１のプラテン７上へと搭載される。印刷された被加工物Ｗ１を降ろすことと、次の被加工物Ｗ５を搭載することとは同時に行われる。この動作において、第１のプラテン７のベルト９は、第１の方向において、例えばおおよそ２つの被加工物の寸法といった設定距離で回転させられる。同じく同時に、さらなる被加工物Ｗ６が生産ラインから第１の送りコンベヤ１０へと運搬される。図９Ｇは、この並列の印刷と搭載する／降ろすとのステップに続く構成を上方から概略的に示している。そのため、図９Ｇは図９Ａに類似しており、その後に前述のステップが周期的に繰り返される。
図９Ａと図９Ｇとを比較すると、プラテン７、８がそれらの元の場所に戻っている一方で、両方とも１８０°回転されていることを示している。これは、各々のプラテンについての連続的な搭載する／降ろすステップが、関連するベルトを異なる方向で駆動することを伴うことを意味する。そのため、無端ベルトを使用することは必須でなく、はるかにより単純な往復するベルト構成が代わりに使用されてもよい。
時間と共に、温度およびスクリーンの伸縮のため、印刷再現性がドリフトする可能性がある。先の光学検査装置、または、個別の光学検査装置を用いることで、印刷動作毎の後に印刷再現性を確認することと、時間に伴う変化を監視することとは、経験する動作上の任意の変化を補正するために、オフセットを適用させることができる。
図１０は、本発明の第２の実施形態を上方から概略的に示している。ここでは、二重レーンの印刷構成が、２つの個別の印刷装置３０、３１を用いて構成されている。各々の印刷装置３０、３１は、図１の印刷装置１と実質的に同様であり、詳細に説明される必要はない。示した構成は２つの個別の生産レーン３２、３３を提供しており、図示しているように、各々のレーンは左から右へと被加工物を送る。印刷装置３０、３１は、向かい合う構成で配置されており、つまり、それらのそれぞれの支持プラットフォームおよびフレームが隣接するが、一方の装置３１が他方の装置３０に対して１８０°回転されるように配置されている。このように、各々の印刷装置３０、３１は、異なるそれぞれの生産レーン３２、３３によって提供される被加工物に印刷するように配置されており、装置３０が生産レーン３２からの被加工物に印刷するように配置され、装置３１が生産レーン３３からの被加工物に印刷するように配置されている。図４のコンパクトな「Ｔ字スタブ」の構成は、各々のスタブがそれぞれの生産レーンと関連付けられている状態で保持されている。生産レーン３２の被加工物は、それらのそれぞれの印刷装置に到着し、それらの生産レーン３３における対応するものの前で印刷されるが、サイクル時間はこの相違によって影響されないことは、留意されるものである。
重要なことには、「Ｔ字スタブ」構成は、生産レーン３２、３３の間の距離が比較的短く、操作者によって容易に管理されるコンパクトな構成をもたらすことを確保する。
図１１は、オフセット生産レーンを用いる、本発明の第３の実施形態による印刷装置の斜視図を概略的に示している。この実施形態では、移送装置と印刷ユニットとは第１の実施形態から大まかに変更されておらず、しかしながら、被加工物生産ラインの送りは、ここではオフセット構成となっており、そのため、被加工物投入方向と被加工物送出方向とはもはや同一線上ではない。ここで使用されている投入送りコンベヤ４０は実質的にＬ字形であり、協働するための上流の生産ラインと平行に配置される第１の投入送りベルト４１と、第１の投入送りベルト４１から被加工物を受け入れて被加工物を搭載位置に搭載する、生産ラインに対して直角に配置される第２の投入送りベルト４２とを備える。ここで使用されている送出コンベヤ４３も実質的にＬ字形であり、被加工物を搭載位置Ｌ’から降ろす、生産ラインに対して直角に配置される第１の送出ベルト４４と、ベルト４４から被加工物を受け入れ、それら被加工物を下流の生産ラインへと送り込むための、下流の生産ラインと平行に配置される第２の送出ベルト４５とを備える。
この構成は、先に記載した「Ｔ字スタブ」ほどコンパクトではないが、特定の場所において好ましい可能性がある。
図１２は、無端ベルトを用いる、本発明の第４の実施形態による移送装置５１の概略的な斜視図である。一方、図１３は、この移送装置の側面図を示している。
この実施形態は、鉛直に移動可能な送りコンベヤと共に、搭載位置と印刷位置との間で被加工物を移動するために２つのプラテン回転テーブルを使用することなど、図１〜図９で示した第１の実施形態と多くの類似性を有しており、そのため、特に、その実施形態のコンパクトな「Ｔ字スタブ」の構成を保持している。しかしながら、この実施形態では、プラテンをアームまたは他方のプラテンのいずれかに対して回転させることができる手段が設けられていない。これは、第１の実施形態と比較して、以下のような利点をいくつか提供する。
ｉ）各々のプラテンの複雑性が低減される。
ｉｉ）各々の被加工物がその元の配向を送出部において保持する。
しかしながら欠点もあり、特に以下の通りである。
ｉ）各々のプラテンのθ角度回転が不可能である。
ｉｉ）無端ベルトを各々のプラテンで使用することが必要である。
実施の選択は具体的な状況に依存することになる。
図１２および図１３に戻って、移送装置５１は、回転テーブルをアーム５２の形態で備えている。プラテン５３ａ、５３ｂがアーム５２の各々の端に搭載されており、各々のプラテン５３ａ、５３ｂはアーム５２に対する回転ができない。各々のプラテン５３ａ、５３ｂには、無端または連続の紙ベルト５４ａ、５４ｂがそれぞれ設けられている。各々のベルト５４ａ、５４ｂは、プラテンの端に位置付けられるそれぞれのローラ５５ａ、５６ａ、５５ｂ、５６ｂに搭載されている。各々のプラテン５３ａ、５３ｂの第１のローラ５５ａ、５５ｂは、周方向で歯付きとされた端５７ａ、５７ｂを有する。アーム５２に搭載されたそれぞれのベルト駆動アクチュエータ５８ａ、５８ｂは、歯付きとされた端５７ａ、５７ｂを必要に応じて回転させるために歯付きとされた端５７ａ、５７ｂと噛み合う回転可能な駆動出力歯車５９ａ（図１２では見ることができない）、５９ｂと動作する。制御チップ（図示されていない）が、これらのアクチュエータ５８ａ、５８ｂの制御をもたらすために、移送装置５１内に設けられる。各々のベルトが多孔質であるため、プラテンの上部に位置付けられる被加工物（図示されていない）に、その望ましくない移動を防止するために真空を適用できる。
図１４は、搭載動作の間の図１２の移送装置の平面図を概略的に示している。動作は第１の実施形態の動作と多くの類似性を有しており、同様の符号が可能な場合には保持されていることは、留意されるべきである。特に、第１の送りコンベヤ１０および第２の送りコンベヤ１１は、ここでも搭載位置に隣接して設けられており、これらの送りコンベヤは、アーム５２およびプラテン５３ａ、５３ｂを、搭載位置と印刷位置との間での被加工物の移送の間に下方で通過させることができるように、鉛直方向に移動可能である。上向きに方向付けられたカメラＵＣ１、ＵＣ２が、印刷位置に近接して位置付けられている。印刷装置の残りの部分は、明確性のために省略されているが、ここではプラテン５３ａ、５３ｂが回転できないため、印刷ヘッドがθ位置合わせを提供するために回転できるべきであることを除いて、第１の実施形態のものと同一である。図１４は、いずれのプラテン５３ａ、５３ｂもアーム５２に対して回転できないため、各々の被加工物が、同じ方向で、つまり、図示しているように左から右へと、プラテン上に搭載され、プラテンから降ろされなければならないことを明確にしている。これは、各々のプラテン５３ａ、５３ｂのベルト５４ａ、５４ｂが、搭載の動作と降ろす動作との両方について同じ方向で駆動可能でなければならず、したがって、連続ベルトの使用が好ましいことをさらに意味している。
この実施形態では、回転テーブルが第１の移動動作と第２の移動動作とのいずれかの間にいずれかの方向で回転できることは、留意されるべきである。
前述の実施形態は単なる例示であり、本発明の範囲内にある他の可能性および代替が、当業者には明らかとなる。例えば、
ｉ）上記の第１の実施形態は、第１および第２のプラテンの回転をもたらすために専用の駆動デバイスを使用するが、この回転は、代替で、アームモータと動作可能に連結された伝達装置を用いて駆動されてもよい。このような伝達装置は、技術的によく知られている歯車および／または駆動ベルトもしくはチェーンを備えてもよい。これは、簡潔性、再現性、および動力要件の低減の利点を提供するが、θ角度回転の能力が失われる。
ｉｉ）被加工物生産レーンは、他の処理を受け入れるために、いくつかの場所において停止するように構成されてもよい。プラテンは、いくつかのウェーハを印刷の間に送る、または、降ろさせる追加の投入条件および送出条件を許容するように構成されてもよい。
１ 印刷装置
２ 支持プラットフォーム
３ フレーム
４ 移送装置
５ 印刷ユニット
６ 回転テーブル
７ 第１のプラテン
８ 第２のプラテン
９ ベルト
１０ 第１の送りコンベヤ
１１ 第２の送りコンベヤ
１２ アーム
１３ アームモータ
１４ アームエンコーダリング
１５ ハブ
１６ 太陽軸
１７ａ 第１のプラテンモータ
１７ｂ 第２のプラテンモータ
１８ａ 第１のプラテンエンコーダ
１８ｂ 第２のプラテンエンコーダ
１９ａ 第１のプラテンステム
１９ｂ 第２のプラテンステム
２０ アーム軸受
２１ａ 第１のプラテン回転軸
２１ｂ 第２のプラテン回転軸
２２ａ 第１のプラテン上面
２２ｂ 第２のプラテン上面
２３ 真空送り管
２４ 不動支持体
２５ 配線
２５ａ アームエンコーダ配線
２６ａ 第１のプラテン軸受
２６ｂ 第２のプラテン軸受
２７ａ、２７ｃ 第１のプラテン側壁
２７ｂ、２７ｄ 第２のプラテン側壁
２８ａ 第１のプラテン紙ベルトモータ
２８ｂ 第２のプラテン紙ベルトモータ
２９ａ 第１のプラテン紙ローラ
２９ｂ 第２のプラテン紙ローラ
３０ 印刷装置
３１ 印刷装置
３２ 第１の生産レーン
３３ 第２の生産レーン
４０ 投入送りコンベヤ
４１ 第１の投入送りベルト
４２ 第２の投入送りベルト
４３ 送出コンベヤ
４４ 第１の送出ベルト
４５ 第２の送出ベルト
４６ 支持塔
４７ コンベヤベルト
４８ ローラ
４９ コンベヤベルト駆動手段
５０ａ、５０ｂ 伸縮部材
５１ 移送装置
５２ アーム
５３ａ、５３ｂ プラテン
５４ａ、５４ｂ 無端紙ベルト
５５ａ、５５ｂ 第１のローラ
５６ａ、５６ｂ 第２のローラ
５７ａ、５７ｂ 歯付きとされた端
５８ａ、５８ｂ ベルト駆動アクチュエータ
５９ａ、５９ｂ 出力歯車
Ｗ 被加工物
Ｌ 搭載位置
Ｐ 印刷位置
Ｃ カメラ
ＵＣ１、ＵＣ２ 上向きに方向付けられたカメラ

Claims (14)

  1. 生産ラインと印刷ユニットとの間で被加工物を運搬するための移送装置であって、
    第１のプラテンおよび第２のプラテンを上の空間的に分かれた場所において支持する回転テーブルであって、各々のプラテンが、前記回転テーブルに対して回転可能であり、第１のプラテン回転軸および第２のプラテン回転軸をそれぞれ中心として他方のプラテンに対して回転可能でもあり、使用中にその上のそれぞれの被加工物を支持するように構成され、
    各々のプラテンが、前記回転テーブルの回転を通じて、使用中に前記生産ラインに近接する搭載位置と、使用中に印刷ユニットに近接する印刷位置との間で移動され得るように、前記第１のプラテン回転軸および前記第２のプラテン回転軸と平行なテーブル回転軸を中心として回転可能である回転テーブルと、
    前記回転テーブルを、前記テーブル回転軸を中心として回転させるためのテーブル駆動デバイスと、
    を備え、
    前記移送装置は、第１の移動動作および第２の移動動作を周期的に実施するように動作可能であり、そのため、前記第１の移動動作において、前記回転テーブルは、前記第２のプラテンが前記印刷位置から前記搭載位置へと移動する間、前記第１のプラテンを前記搭載位置から前記印刷位置へと移動させるように回転し、前記第２の移動動作において、前記回転テーブルは、前記第２のプラテンが前記搭載位置から前記印刷位置へと移動する間、前記第１のプラテンを前記印刷位置から前記搭載位置へと移動させるように回転し、
    さらに、各々のプラテンは、その上の被加工物を輸送するためのベルトと、前記ベルトを駆動するためのベルト駆動部とを備え、該ベルト駆動部は、第１の方向と、前記第１の方向と反対の第２の方向とにおいて、前記ベルトを順次に駆動するように動作可能である、
    移送装置。
  2. 前記第１の移動動作および前記第２の移動動作の各々において、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの一方は、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの他方に対して回転するが、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの他方は回転しない、請求項１に記載の移送装置。
  3. 前記第１の移動動作では、前記第２のプラテンは、前記第１のプラテンが前記回転テーブルに対して不動の状態で前記回転テーブルに対して回転し、前記第２の移動動作では、前記第１のプラテンは、前記第２のプラテンが前記回転テーブルに対して不動の状態で前記回転テーブルに対して回転する、請求項２に記載の移送装置。
  4. 前記回転テーブルは、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンを、記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンのそれぞれのプラテン回転軸を中心としてそれぞれ回転させるための第１のプラテン駆動デバイスおよび第２のプラテン駆動デバイスを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の移送装置。
  5. 前記第１のプラテン駆動デバイスおよび前記第２のプラテン駆動デバイスは、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンを、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンのそれぞれのプラテン回転軸を中心として角度θだけ選択的にそれぞれ回転させるように動作可能である、請求項４に記載の移送装置。
  6. 前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンは、前記テーブル回転軸を中心として互いに対しておおよそ１８０°に位置決めされる、請求項１に記載の移送装置。
  7. 被加工物を前記生産ラインから前記搭載位置におけるプラテンまで輸送するために前記搭載位置に近接して位置決めされる第１の送りコンベヤと、被加工物を前記搭載位置におけるプラテンから前記生産ラインまで輸送するために前記搭載位置に近接して位置決めされる第２の送りコンベヤとをさらに備える、請求項１に記載の移送装置。
  8. 前記第１の移動動作および前記第２の移動動作の各々の間に、前記回転テーブルから離れる、または、前記回転テーブルへと向かう各々の送りコンベヤの相対移動をもたらすように各々の送りコンベヤを順次に移動させるために、それぞれの駆動アクチュエータをさらに備える、請求項７に記載の移送装置。
  9. 被加工物を生産ラインから受け入れるための投入部と、請求項１から８のいずれか一項に記載の移送装置と、印刷ユニットと、印刷された被加工物を前記生産ラインへと送出するための送出部とを備える、被加工物に印刷するための印刷装置。
  10. 請求項９に従う第１の印刷装置と、第１の生産ラインとを備え、前記第１の印刷装置は前記第１の生産ラインと連結される、印刷組立体。
  11. 第２の生産ラインと、前記第２の生産ラインと連結される、請求項９に従う第２の印刷装置とを備え、前記第１の生産ラインおよび前記第２の生産ラインは、前記第１の印刷装置および前記第２の印刷装置が前記第１の生産ラインと前記第２の生産ラインとの間に置かれる状態で平行に配置される、請求項１０に記載の印刷組立体。
  12. 生産ライン上の被加工物に印刷するための方法であって、
    ａ）第１のプラテンおよび第２のプラテンを上の空間的に分かれた場所において支持する回転テーブルを含む移送装置を提供するステップであって、各々のプラテンはその上のそれぞれの被加工物を支持するように構成される、ステップと、
    ｂ）前記第２のプラテンが印刷ユニットに近接する印刷位置に置かれる間、第１の被加工物を、前記生産ラインに近接する搭載位置にある前記第１のプラテン上へと搭載するステップと、
    ｃ）前記第２のプラテンが前記印刷位置から前記搭載位置へと移動する間、前記第１のプラテンを前記印刷位置へと移動させるために前記回転テーブルを回転させることを含む第１の移動動作を実施するステップと、
    ｄ）前記印刷ユニットを使用して前記第１の被加工物に印刷するステップと、
    ｅ）前記第２のプラテンが前記搭載位置から前記印刷位置へと移動する間、前記第１のプラテンを前記印刷位置から前記搭載位置へと移動させるために前記回転テーブルを回転させることを含む第２の移動動作を実施するステップと、
    ｆ）前記第１の被加工物を前記第１のプラテンから前記生産ラインへと降ろすステップと、
    を含み、
    前記第１の移動動作および前記第２の移動動作の各々において、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの一方は、前記第１のプラテンおよび前記第２のプラテンの他方に対して回転する、方法。
  13. ステップｂ）において、前記第２のプラテン上において支持される第２の被加工物が、前記印刷ユニットを使用して印刷され、ステップｄ）において、前記第２の被加工物は、前記第２のプラテンから前記生産ラインへと降ろされ、第３の被加工物が前記生産ラインから前記第２のプラテンへと搭載される、請求項１２に記載の方法。
  14. 各々のプラテンは、その上の被加工物を輸送するためのベルトと、前記ベルトを駆動するためのベルト駆動部とを備え、ステップｂ）では、前記第１の被加工物は、前記ベルトを第１の方向において駆動することで前記第１のプラテン上へと搭載され、ステップｆ）では、前記第１の被加工物は、前記ベルトを、前記第１の方向と反対の第２の方向において駆動することで、前記第１のプラテンから降ろされる、請求項１２または１３に記載の方法。
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