TWI397146B - 下一代網印系統 - Google Patents

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TWI397146B
TWI397146B TW098116884A TW98116884A TWI397146B TW I397146 B TWI397146 B TW I397146B TW 098116884 A TW098116884 A TW 098116884A TW 98116884 A TW98116884 A TW 98116884A TW I397146 B TWI397146 B TW I397146B
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Marco Galiazzo
Daniele Andreola
Santi Luigi De
Christian Zorzi
Tommaso Vercesi
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Description

下一代網印系統
本發明係關於一使用網印製程在基板表面上沈積一圖案化層的系統。
太陽電池為光電(PV)裝置，其直接將陽光轉換為電力。太陽電池典型具有一或多個p-n接合區。各接合區在一半導體材料內部包含兩個不同區域，其中一側表示為p型區，另一側則為n型區。當太陽電池之p-n接合區暴露至陽光(由來自光子的能量構成)時，陽光透過PV效應直接轉換為電力。太陽電池產生特定的電力量，並舖砌成一定尺寸的模組以傳送所需的系統功率量。太陽電池係以特定的框架及連接器連結為面板。太陽電池通常形成在矽基板上，其可為單晶或多晶矽基板。典型的太陽電池包含一矽晶圓、基板或薄板，其厚度典型小於約0.3 mm，並在形成於基板上之p型區的頂部上方具有一n型矽薄層。
在過去的十年間，PV市場經歷年成長率超過30%的成長。某些文章提出在不久的將來，全世界的太陽電池電力產量可超過10 GWp。據估計所有太陽模組超過95%皆以矽晶圓為基礎。高市場成長率與實質上降低太陽電力成本之需求結合導致對價廉地形成高品質太陽電池之數個嚴峻挑戰。因此，製造商業上可實行之太陽電池的一主要組成部分為藉由改善裝置產量及增加基板產量而降低形成太陽電池所需的製造成本。
網印長久以來用於在物體，例如，布料，上印刷設計，並在電子工業中用於在基板表面上印刷電部件設計，例如，電接觸或互連。目前最高技術的太陽電池製造製程亦使用網印製程。
因此，需要用於生產具有比其他已知設備更增加之產量及降低之所有權成本的太陽電池、電子電路或其他有用裝置的網印設備。
本發明之實施例提供一設備，其係用於在一基板表面上沈積一圖案化材料，並包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器；一第一輸送帶，當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位時，其係定位以移送一基板至該第一基板支撐；一第二輸送帶，當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，其係定位以接收來自該第一基板支撐之一基板；一第三輸送帶，當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，其係定位以移送一基板至該第二基板支撐；及一第四輸送帶，當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，其係定位以接收來自該第二基板支撐之一基板。
本發明之實施例進一步提供一設備，其用於在一基板表面上沈積一圖案化材料，並包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器；一第一輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第一輸送帶之該上部分係配置為在一收回位置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位且當該第一輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第一輸送帶之該上部分係定位以移送一基板至該第一基板支撐；及一第二輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第二輸送帶之該上部分係配置為在一收回位置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位且當該第二輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第二輸送帶之該上部分係定位以移送一基板至該第二基板支撐。
本發明之實施例進一步提供一設備，其用於在一基板表面上沈積一圖案化材料，並包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器，其中該第一基板支撐和該第二基板支撐係定位在該旋轉致動器之相對側；一第一輸送帶，其經定位以在該第一及第二基板支撐間移送一基板；一第二輸送帶，當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位時，其係定位以移動一基板至該第一基板支撐；及一第三輸送帶，當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，其係定位以接收來自該第二基板支撐之一基板。
本發明之實施例進一步提供一處理基板之方法，其包含：以一第一角位置定向一旋轉致動器，其中該旋轉致動器具有一第一基板支撐、一第二基板支撐、一第三基板支撐及一第四基板支撐；在一第一輸送帶上接收一第一基板，並在一第二輸送帶上接收一第二基板；當該旋轉致動器以該第一角位置定向時，移送該第一基板至該第一基板支撐；當該旋轉致動器以該第一角位置定向時，移送該第二基板至該第二基板支撐，其中移送該第一基板至該第一基板支撐及移送該第二基板至該第二基板支撐一般係同時執行；將該旋轉致動器由該第一角位置旋轉至一第二角位置，以便該第三基板支撐係定位以接收來自該第一輸送帶之一基板，且該第四基板支撐係定位以接收來自該第二輸送帶之一基板；當該旋轉致動器以該第二角位置定向時，在一第一網印腔室中於配置在該第一基板支撐上之該第一基板上沈積一材料；及當該旋轉致動器以該第二角位置定向時，在一第二網印腔室中於配置在該第二基板支撐上之該第二基板上沈積一材料。
本發明之實施例進一步提供一處理基板之方法，其包含：以一第一角位置定向一旋轉致動器，其中該旋轉致動器具有一第一基板支撐、一第二基板支撐、一第三基板支撐及一第四基板支撐；在一第一輸送帶上接收一第一基板和一第二基板；當該旋轉致動器以該第一角位置定向時，移送該第一基板和該第二基板至該第一基板支撐；當該旋轉致動器以該第一角位置定向時，移送該第一基板至該第二基板支撐，其中移送該第一基板至該第一基板支撐，及移送該第一基板至該第二基板支撐係在移送該第二基板至該第一基板支撐前執行；將該旋轉致動器由該第一角位置旋轉至一第二角位置，以便該第三基板支撐係定位以接收來自該第一輸送帶之一基板；當該旋轉致動器以該第二角位置定向時，在一第一網印腔室中於配置在該第一基板支撐上之該第一基板上沈積一材料；及當該旋轉致動器以該第二角位置定向時，在一第二網印腔室中於配置在該第二基板支撐上之該第二基板上沈積一材料。
本發明之實施例提供一在多網印腔室處理系統中處理基板的設備及方法，其具有增加的系統產量、改善的系統可用時間及改善的裝置產量效能，同時在已處理的基板上維持可重複且準確的網印製程。在此配置中，多網印腔室處理系統的佔地面積實質上保持相同。在一實施例中，多網印腔室處理系統，此後稱為系統，適於在一部分的多晶矽太陽電池生產線內部執行網印製程，其中基板係以所需材料圖案化，並接著在一或多個後續處理腔室中處理。後續處理腔室可適於執行一或多個烘焙步驟及一或多個清潔步驟。在一實施例中，該系統為一模組，其定位在可由加州聖克拉拉之應用材料公司所擁有之Baccini S.p.A.購得的SoftlineTM 工具內部。
網印系統
第1至2圖說明一多網印腔室處理系統，或系統100，的一實施例，其可連同此發明的不同實施例使用。在一實施例中，系統100通常包含兩個引入輸送帶111、一旋轉致動器組件130、兩個網印頭102及兩個外出輸送帶112。兩個引入輸送帶111各自配置為平行處理配置，以便其可各自接收來自一輸入裝置，例如，輸入輸送帶113，之基板，並將基板移送至耦合到旋轉致動器組件130的印刷嵌套131。同樣地，外出輸送帶112各自配置為接收來自耦合到旋轉致動器組件130之印刷嵌套131的已處理基板，並移送各已處理基板至一基板移除裝置，例如，出口輸送帶114。輸入輸送帶113及出口輸送帶114通常為自動化的基板裝卸裝置，其為一連接至系統100之較大生產線，舉例來說，SoftlineTM 工具，的一部分。
第2圖為系統100之一實施例的平面圖，其概略說明旋轉致動器組件130的位置，其中兩個印刷嵌套131(例如，參考數字「1」和「3」)係定向以便其可由各印刷嵌套131移送基板150至外出輸送帶112，並各自接收來自各引入輸送帶111的基板150。基板運動因而大體上遵循示於第1及2圖的路徑「A」。在此配置中，另兩個印刷嵌套131(例如，參考數字「2」和「4」)係定向以便網印製程可在定位於兩個網印腔室(亦即，第1圖之網印頭102)內部的基板150上執行。同樣地，在此配置中，印刷嵌套131係定向以致嵌套上的基板移動方向正切旋轉致動器組件130，這和其他商業上可購得之具有徑向定向之基板移動的系統相異。輸送帶對旋轉致動組件130的正切定向允許基板在不增加系統佔地面積的情況下，由兩個位置，舉例來說，參考數字「1」和「3」(第2圖)，傳送及接收。
示於第1至2圖之平行處理配置的一優點在於如果輸送帶或網印頭102的其中一個變為不可操作或為維修而取下，系統仍可使用其他輸送帶及網印頭102繼續處理基板。一般說來，此處所述之不同實施例具有優於先前技術配置的優點，因為使用兩個可平行處理基板之網印頭將使產量加倍，同時不會在基礎上改變於基板上執行之網印製程。咸信當每次僅有一基板進行網印時，印刷準確性可保持非常高，因為網印頭102僅需要精確對準單一基板而非同時對準二或多個基板。此配置因而用於在不影響網印製程之準確性的情況下增加系統產量及系統可用時間。
用在系統100中之兩個網印頭102可為習用的網印頭，其可由Baccini S.p.A.購得，並適於在網印製程期間以所需圖案在定位於印刷嵌套131上的基板表面上沈積材料。在一實施例中，網印頭102適於在太陽電池基板上沈積含金屬或含介電質之材料。在一範例中，太陽電池基板具有介於約125 mm及156 mm大小之寬度，及介於約70 mm及156 mm間之長度。
在如第1至3圖所示之一實施例中，旋轉致動器組件130包含四個印刷嵌套131，其各自適於在各網印頭102內部執行之網印製程期間支撐基板150。第3圖為旋轉致動器組件130之一實施例的等角視圖，其說明一配置，其中基板150係配置在各四個印刷嵌套131上。旋轉致動器組件130可使用一旋轉致動器(未顯示)及系統控制器101繞軸「B」旋轉並有角度地定位，以便印刷嵌套131可在系統內部如所需般定位。旋轉致動器組件130亦可具有一或多個支撐部件，其幫助控制印刷嵌套131或其他用於在系統100中執行基板處理序列的自動化裝置。
如第4圖所示，各印刷嵌套131通常包含輸送帶139，其具有輸帶軸135及捲帶軸136，並適於饋送及羈留跨平臺138定位之材料137。在一實施例中，材料137為多孔材料，其允許配置在材料137之一側上的基板150藉由形成在平臺138中之真空埠所施加至材料137之相對側的真空而固定至平臺138。平臺138通常具有一基板支撐表面，在網印頭102中執行之網印製程期間，基板150及材料137係受到支撐及羈留於其上。在一實施例中，材料137為薄紙材料。在一配置中，一嵌套驅動機構(未顯示)係耦合至輸帶軸135及捲帶軸136或適於與之嚙合，以便定位在材料137上之基板150的移動可在印刷嵌套131內部準確受控。
引入輸送帶111及外出輸送帶112通常包含至少一皮帶116，其能夠藉由使用與系統控制器101通訊之一致動器(未顯示)而支撐及運送基板150至系統100內部之一所需位置。雖然第1至2圖大體上說明一雙皮帶116型基板移送系統，其他類型的移送機構可在未偏離本發明之基本範圍的情況下用於執行相同的基板移送及定位功能。。
在一實施例中，如第1至2圖所示，當旋轉致動器組件130旋轉時，印刷嵌套131清除與引入輸送帶111及外出輸送帶112之部分相交的容積。在這一類實施例中，介於印刷嵌套131及引入和外出輸送帶111、112間之沿一垂直軸(第1圖之B軸)的相對運動是必須的，以允許旋轉致動器組件130自由旋轉。在一實施例中，引入及外出輸送帶111、112可定位在印刷嵌套131上方，以便在旋轉致動器組件130旋轉時，印刷嵌套131將通過引入及外出輸送帶111、112下方。在另一實施例中，整個旋轉致動器組件130及所有的印刷嵌套131可垂直移動，亦即，平行軸「B」，以避免與引入及外出輸送帶111、112相干涉。在另一實施例中，個別的印刷嵌套可各自垂直移動以同樣避免與引入及外出輸送帶111、112相干涉。引入及外出輸送帶111、112、印刷嵌套131或旋轉致動器組件130之移動可使用一或多個與系統控制器101通訊之習用的致動器裝置控制。在一實施例中，印刷嵌套131係耦合至一線性馬達(未顯示)及其他支撐部件，其適於以高精確度沿相對旋轉致動器組件130為垂直的方向定位印刷嵌套131。在此配置中，線性馬達及其他支撐部件係用於確保可達到印刷嵌套131之可重複及準確的垂直位置，以確保網印製程之結果將不會明顯地由一基板偏離至下一基板。
在示於第6AA至6HH圖之另一實施例中，引入及外出輸送帶111、112係配置為透過引入及外出輸送帶111、112之一上部分在路徑「A」(第1圖)之平面中的平移伸出及收回而允許旋轉致動器組件130自由旋轉。在此實施例中，引入及外出輸送帶111、112之上部分及下部分係配置用於平行路徑「A」之相對的平移伸出及收回，如後續關於第6AA至6HH圖所述。引入及外出輸送帶111、112之伸出及收回可透過與系統控制器101通訊之致動器裝置控制。致動器裝置之一範例示於第9A至9B圖，其在下文討論。
在一實施例中，系統100亦包含檢查組件200，其適於在執行網印製程之前或後檢查基板150。檢查組件200可包含一或多個攝影機120，其經定位以檢查定位在位置「1」和「3」之引入或已處理基板，如第1及2圖所示。檢查組件200通常包含至少一個攝影機120(例如，CCD攝影機)及其他電子部件，其能夠檢查及傳達檢查結果給系統控制器101，以便受損或未處理的基板可由生產線移除。在一實施例中，印刷嵌套131可各自包含一燈或其他類似的光學輻射裝置，以照亮定位在平臺138上方之基板150，以便其可更容易以檢查組件200檢查。
系統控制器101通常設計為幫助總系統100之控制及自動化，且典型包含一中央處理單元(CPU)(未顯示)、記憶體(未顯示)及支援電路(或輸入/輸出(I/O))(未顯示)。CPU可為任何形式之電腦處理器的其中一種，其用在工業設定中以控制不同腔室製程及硬體(例如，輸送帶、偵測器、馬達、流體輸送系統之硬體等)，並監控系統及腔室製程(例如，基板位置、製程時間、偵測器訊號等)。記憶體係連接至CPU，並可為一或多種現成可用之記憶體，例如，隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、軟碟、硬碟或任何其他形式之數位儲存，區域或遠端。軟體指令及資料可編碼並儲存在記憶體內部以用來指示CPU。支援電路亦連接至CPU並以習用方式支援處理器。支援電路可包含快取、電源供應、時鐘電路、輸入/輸出電路系統、子系統及其類似物等。一可由系統控制器101讀取的程式(或電腦指令)決定在基板上可執行何種任務。較佳地，程式為可由系統控制器101讀取之軟體，其包含編碼以產生並儲存至少基板的位置資訊、不同的受控部件之移動序列、基板檢查系統之資訊及其任意組合。
移送序列
第6A至6H及6AA至6HH圖為在基板處理序列500(第5圖)之不同階段期間，系統100之替代實施例的等角視圖，其中基板處理序列500係用於在基板150的表面上使用網印頭102形成一圖案化結構。示於第5及7圖之處理序列對應在第6A至6H及6AA至6HH圖中所繪示的階段，其在此處討論。第7圖說明移送步驟之一範例，其中當移送通過系統100時，基板150可遵循第5圖所述之處理序列。步驟502至512說明用於裝載在系統100中並在其中處理的第一對基板150的初始處理序列步驟。步驟514至526說明一般在系統100裝載並運轉後所執行之步驟。第6A及6AA圖繪示以一初始起始點配置之系統100的替代實施例，其中至少一對基板150係定位在各輸入輸送帶113上，並準備裝載至引入輸送帶111上。
在第6A圖所繪示之實施例中，引入輸送帶111係繪示位於一上部位置，以致其上部表面實質上與用於移送基板150之對應的輸入輸送帶113的上部表面共面。在第6AA圖所繪示之實施例中，引入輸送帶111及外出輸送帶112之上部分210係繪示位於一收回位置。在此配置中，引入輸送帶111係配置並對準以接收來自輸入輸送帶113之基板150，且外出輸送帶112係配置並對準以移送基板至出口輸送帶114。
在示於第5及7圖之步驟502，來自各輸入輸送帶113之第一對基板150係遵循移送路徑A1(第7圖)由其個別的引入輸送帶111接收。在此配置中，系統控制器101係用於協調皮帶116及存在各輸入輸送帶113及引入輸送帶111中之驅動致動器(未顯示)的運動，以便基板可以可靠地在這些自動化部件間移送。
在示於第5、6B及6B圖之步驟504，各引入輸送帶111係定位以便其可在下一處理序列步驟中傳送第一對基板150至位於位置「1」和「3」(第7圖)之印刷嵌套131。在示於第6B圖之一實施例中，引入輸送帶111係降下以對準各印刷嵌套131。為了降下引入輸送帶111中之基板支撐表面，系統控制器101係用於控制包含在引入輸送帶111組件內部之一致動器(未顯示)。在示於第6BB圖之一替代實施例中，引入輸送帶111及外出輸送帶112之上部分210係以實質上對準各印刷嵌套131的水平方向伸出。用於引入輸送帶111及外出輸送帶112之上部分210之平移伸出之機構的一實施例後續會針對第9A至9B圖敘述。
在第6C、6CC及7圖所示之步驟506，第一對基板150遵循移送路徑A2(第7圖)由引入輸送帶111之各皮帶116移送至印刷嵌套131中之材料137。在此配置中，系統控制器101係用於協調皮帶116及用於定位材料137之嵌套驅動機構(未顯示)之運動，以便基板可以可靠地定位在印刷嵌套131內部。
在步驟508，第一對基板150可由檢查組件200中的部件檢查，以確保在印刷嵌套131上未定位損壞、有缺口或破裂的基板。檢查組件亦可用來決定基板在各印刷嵌套131上的精確位置。各基板150在各印刷嵌套131上的位置資料可由系統控制器101使用以定位及定向網印頭102中之網印頭部件，以改善後續網印製程之準確性。在此實例中，基於在步驟508期間執行之檢查製程期間所接收的資料，各網印頭的位置可自動調整以將網印頭102對準定位在印刷嵌套131上之基板的確切位置。
在第5、6D及6DD圖所示之步驟510，各引入輸送帶111及外出輸送帶112係定位以便其將不會干涉在下一處理序列步驟期間執行之旋轉致動器組件130的移動。在第6D圖所示之實施例中，引入輸送帶111及外出輸送帶112係使用包含在引入輸送帶111組件和外出輸送帶112組件中之一致動器(未顯示)及由系統控制器101發送之指令舉升。在第6DD圖所示之一替代實施例中，各引入輸送帶111之上部分210係水平收回。相應地，各外出輸送帶112之上部分210亦水平收回。如第6D及6DD圖所示，以位於這些收回位置之引入及外出輸送帶111、112容許旋轉致動器組件130自由旋轉。
在第5、6D、6DD圖所示之步驟512，旋轉致動器組件130係旋轉以便各第一對基板遵循移送路徑A3(第7圖)定位在網印頭102內部。在如第6D、6DD及7圖所示之一實施例中，旋轉致動器組件130係旋轉90度以便將基板定位在網印頭102內部。
在步驟514，網印製程係執行以在第一對基板150之至少一個表面上沈積所需材料。典型地，網印製程將花費約2秒完成。在一實施例中，欲改善基板產量，當步驟514正在執行時，步驟515至523通常並行地執行。吾人將注意到示於第5圖之偶數步驟係打算在第一對基板上執行，而奇數步驟係打算在第二對及/或一替代對基板上執行。
在第5圖所示之步驟515及517，來自各輸入輸送帶113之第二對基板150由引入輸送帶111接收，且引入輸送帶111係定位以便其可傳送第二對基板150至印刷嵌套131，其類似於上文所示並關於第6A至6B圖或第6AA至6BB圖所討論之步驟502及504中所述的製程。須注意步驟515至525之群組內部的某些步驟可與在處理序列500期間執行的一或多個其他步驟同時執行。舉例來說，步驟515可在步驟512正執行時執行，或步驟519可在步驟515及517正執行時執行。
吾人會注意到在穩態基板處理期間，例如，當所有印刷嵌套皆已裝載時，如上文所討論在步驟512期間致動旋轉致動器組件130前，一對基板150將在網印頭102中處理完成。因此，在步驟519期間，定位在旋轉致動器位置「1」和「3」(第6E、6EE及7圖)之先前處理的基板現可由檢查組件200檢查，以確保沒有損壞、有缺口或破裂的基板，且網印製程的品質符合某些使用者定義之標準。
在示於第5、6E、6EE及7圖之步驟521，第二對基板150現可遵循移送路徑A2(第7圖)由位於引入輸送帶111中之各皮帶116移送至位於印刷嵌套131中之材料137，其類似於上文在步驟506中所討論者。
不過，在系統100內部之穩態處理期間，在於步驟512中致動旋轉致動器組件130前，一對基板150將在網印頭102中處理完成，從而需要在第二對基板150可裝載至印刷嵌套131前由印刷嵌套131移除已處理基板150。在一實施例中，早已處理的該對基板150移出印刷嵌套131(亦即，第7圖中之移送路徑A4)，及第二對基板移送至印刷嵌套131中(亦即，第7圖中之移送路徑A2)大體上同時發生。在已處理基板由印刷嵌套131移除後，傳送至外出輸送帶112的已處理基板150可接著遵循移送路徑A5(第7圖)傳送至各出口輸送帶114。在第6F圖所示之一實施例中，於接收已處理基板150後，各外出輸送帶112係舉升以垂直對準個別的出口輸送帶114。在第6FF圖所示之一替代實施例中，各外出輸送帶112已配置為傳送早已處理的基板150至出口輸送帶114。系統控制器101係用於協調皮帶116及存在各外出輸送帶112和出口輸送帶114中之驅動致動器(未顯示)的運動，以便基板可以可靠地在這些自動化部件間移送。出口輸送帶114可接著遵循移送路徑A6移送已處理基板150至其他部分的生產線。
第6G及6GG圖說明一對已移動至外出輸送帶112上之早已處理的基板150及已移送至印刷嵌套131上之第二對基板150的位置。在此配置中，系統控制器101係用於協調引入輸送帶111中之皮帶116的運動、材料137之移動及外出輸送帶112中之皮帶116的運動，以便基板可以可靠地移送。
在步驟523，第二對基板150可選擇地由檢查組件200中的部件檢查，以確保沒有損壞、有缺口或破裂的基板定位在印刷嵌套131上，且在各印刷嵌套131上之基板的精確位置可以類似步驟508中所討論之方式決定，如上文所示。
在第5、6H及6HH圖所示之步驟525，各引入輸送帶111及外出輸送帶112係定位以便其將不會干涉在下一處理序列步驟期間之旋轉致動器組件130的移動。在第6H圖所示之實施例中，引入輸送帶111及外出輸送帶112使用一包含在引入輸送帶111和外出輸送帶112中之致動器(未顯示)及由系統控制器101發送之指令舉升。在第6HH圖所示之一替代實施例中，引入輸送帶111之上部分210係水平收回遠離印刷嵌套131，且外出輸送帶112之上部分210亦收回遠離印刷嵌套131。在一實施例中，系統控制器101發送指令以控制引入及外出輸送帶111、112之上部分210的收回。
在第5及7圖所示之步驟526，旋轉致動器組件130係旋轉以便遵循移送路徑A3(第7圖)在網印頭102內部定位各第二對基板，且第一對基板係遵循移送路徑A7(第6E、6EE及7圖)定位在旋轉致動器位置「1」和「3」。在如第6D、6DD及7圖所示之一實施例中，旋轉致動器組件130在步驟526期間旋轉約90度。
在步驟526完成後，接著可依據有多少基板欲在系統100中處理而一再重複步驟514至526。須注意第5圖中所說明之步驟數目及序列並非打算限制此處所述之本發明的範圍，因為一或多個步驟可在不偏離此處所述之本發明之基本範圍的情況下刪除及/或重新安排。同樣地，第5圖所示之步驟示意圖並非打算限制此處所述之本發明的範圍，因為步驟不須如圖示般以序列方式完成，且二或多個步驟可同時完成。
在檢查組件200偵測到損壞或缺陷基板之實例中，基板可存放至廢料收集裝置117(第1圖)，以便基板由處理流程移除，並因此不會損害或影響其他下游製程。參照第8A及8B圖，定位在印刷嵌套131之一上的缺陷基板150A必須移動至廢料收集裝置117。在一實施例中，欲移除缺陷基板150A，外出輸送帶112舉升(第8B圖)，且缺陷基板藉由系統控制器101發送指令在受影響的印刷嵌套131中移動材料137而由印刷嵌套131移動至廢料收集裝置117之一。在一替代實施例中，上部分210可收回以允許缺陷基板由印刷嵌套131移送至廢料收集裝置117。
引入及外出輸送帶之配置
在第6AA至6HH圖所繪示之實施例中，引入及外出輸送帶111、112係如此配置以致其個別的上部分210水平伸出以接收並分配基板150往返印刷嵌套131，及水平收回以允許旋轉致動器組件130之自由旋轉。第9A及9B圖為根據本發明之一實施例之引入輸送帶111的簡化示意橫剖面圖。雖然下列敘述與引入輸送帶111相關，其同時亦適用外出輸送帶112，其可與引入輸送帶完全相同。
在如第9A及9B圖繪示之一實施例中，引入輸送帶111包含上部分210及下部分220，在兩者間配置有固定式小齒輪230。固定式小齒輪230以小齒輪馬達240驅動以同時水平伸出及收回引入輸送帶111之上部分及下部分210、220。上部分210可為一結構齒條，其具有配置為在其上支撐一或多個皮帶116之上部表面212。上部分210之下部214可配置為具有與固定式小齒輪230匹配之齒輪齒。相應地，下部分220可為一結構齒條，其具有上部224，其配置為具有與固定式小齒輪230匹配之齒輪齒；及下部表面222，其配置為在其上導引一或多個皮帶116。
在一實施例中，上部分210包含附接至一端之上部滾輪216。上部滾輪217係配置在相對端，並配置為在上部分210伸出及收回時保持固定。各上部滾輪216、217可配置為自由旋轉及在上部分210之上部表面212上方導引皮帶116。因此，下部分220亦可包含附接至一端之下部滾輪226。下部滾輪226亦可配置為自由旋轉及導引皮帶116至下部分220之下部表面222上。
在一實施例中，引入輸送帶111包含一或多個驅動滾輪250，其由輸送帶皮帶馬達206驅動以驅動及導引一或多個皮帶116用於運送基板150。在一實施例中，引入輸送帶111包含一或多個惰滾輪270，其用於導引及拉緊一或多個皮帶116。此外，引入輸送帶111可包含一或多個額外的自由轉滾輪280，其用於如引入輸送帶111之特定配置及尺寸所需般導引一或多個皮帶116。
在操作中，引入輸送帶111首先可如第9A圖所示般定位在收回位置。如先前所述，當引入輸送帶111位於收回位置(且外出輸送帶112位於收回位置)時，其容許旋轉致動器組件130繞B軸自由旋轉印刷嵌套131(第6AA至6HH圖)。基板150可由輸入輸送帶113移送至引入輸送帶111上。此時，引入輸送帶111可由第9A圖所示之收回位置伸出至第9B圖所示之伸出位置以分配基板150至印刷嵌套131。
在一實施例中，下列操作發生以完成上部分210由收回位置至伸出位置之伸出。系統控制器101可發送訊號至小齒輪馬達240以驅動小齒輪230沿「C」方向旋轉。隨著小齒輪230旋轉，上部分210以「X」方向水平伸出，且下部分220同時以「Y」方向收回。在一實施例中，系統控制器101實質上同時發送訊號至輸送帶皮帶馬達260以沿「F」方向旋轉一或多個驅動器滾輪250以驅動一或多個皮帶116。驅動皮帶116及平移上部分210實質上同時允許基板150由一接收位置(第9A圖)迅速移動至一分配位置(第9B圖)。為了將引入輸送帶之上部分210由伸出位置收回至收回位置，先前操作，除了時時可保持相同之驅動器滾輪250的旋轉方向外，實質上逆行。
如先前所述，外出輸送帶112之構成及操作實質上與引入輸送帶111相同。
替代的輸送帶網印系統配置
第10圖說明系統100，或系統100A，之另一實施例，其中引入輸送帶111及外出輸送帶112係成形以便引入輸送帶111及外出輸送帶112的位置不需要相對印刷嵌套131移動，以允許旋轉致動器組件130在不同位置「1」至「4」間旋轉。此配置可因而減少移送序列的時間並降低引入輸送帶111及外出輸送帶112的成本。
參照第10圖，系統100A通常包含兩個引入輸送帶111、旋轉致動器組件130、兩個網印頭102、兩個外出輸送帶112及四對支撐輸送帶133，其附接至旋轉致動器組件130並與之共同旋轉。系統100A通常利用兩個以平行處理配置配置之引入輸送帶111，以便各引入輸送帶111可使用引入輸送帶111中之皮帶116及支撐輸送帶133中之皮帶接收來自輸入輸送帶113之基板，並移送基板至耦合到旋轉致動器組件130之印刷嵌套131。同樣地，各外出輸送帶112通常適於使用支撐輸送帶133中之皮帶及引入輸送帶111中之皮帶116由印刷嵌套131接收已處理基板，並移送各已處理基板至出口輸送帶114。
用於透過系統100A移送基板之處理序列步驟類似於第5圖所示之步驟。主要差異所包含之特徵在於系統100A並不需要用以改變位置之引入或外出輸送帶111、112來使輸送帶對準印刷嵌套131或移動輸送帶以便其不會干涉旋轉致動器組件130之移動。在此實例中，通常不需要存在處理序列500中和系統100共同使用的步驟504、510、517及525。其他主要的處理序列差異亦包含額外需求，那就是系統控制器101亦在裝載步驟(亦即，步驟506及521)期間，控制支撐輸送帶133的移動連同引入輸送帶111中之皮帶和印刷嵌套131中之材料137的移動；還有在卸載步驟(亦即，步驟521)期間，控制支撐輸送帶133的移動以及外出輸送帶112中之皮帶和印刷嵌套131中之材料137的移動。在一範例中，通過系統100之基板移送路徑通常遵循路徑B1至B7。
替代的輸送帶網印系統配置
第11圖說明一多網印腔室處理系統，或系統1000，之一替代配置，其可連同此處所述之此發明的不同實施例一起使用。除了使用單一的引入輸送帶111及外出輸送帶112來傳送基板至旋轉致動器組件130及一對網印頭102外，系統1000類似於上文所討論之系統100的配置。移除一引入輸送帶111、一外出輸送帶112可降低總系統成本。為了幫助了解，已盡可能地使用相同元件符號來標明存在第1至10圖中共用的相同元件。在第11圖所示之配置中，印刷嵌套131係定向以致嵌套上之基板移動方向相對旋轉致動器組件130為徑向定向。
在一實施例中，系統1000包含一個引入輸送帶111、旋轉致動器組件130、兩個網印頭102、中央輸送帶組件1010及一個外出輸送帶112。系統1000通常利用一個引入輸送帶111來傳送基板至一位在位置「1」(第11圖)之印刷嵌套131，以及利用外出輸送帶112從定位在位置「3」之印刷嵌套131移除基板。介於輸入輸送帶113、引入輸送帶111、印刷嵌套131、外出輸送帶112及出口輸送帶114間的基板移動類似於上文所討論的運動。不過，系統1000具有優於上文所討論之處理序列的優點，因為引入輸送帶111及外出輸送帶112不須相對印刷嵌套131移動，以允許旋轉致動器組件130在不同位置「1」至「4」間旋轉。此配置可因而減少移送序列的時間並降低引入輸送帶111及外出輸送帶112的成本。
中央輸送帶組件1010通常為一輸送帶或類似的機器人裝置，其能夠跨旋轉致動器組件130移送基板150至相對的印刷嵌套，以便基板可移送至相對的印刷嵌套、外出輸送帶及/或出口輸送帶。在一實施例中，中央輸送帶組件1010適於藉由定位在位置「1」和「3」之印刷嵌套中之材料137的合作移動以及位在中央輸送帶組件1010中之皮帶1011的移動而從位在位置「1」之印刷嵌套移送基板至位在位置「3」之印刷嵌套。在一實施例中，中央輸送帶組件1010包含兩組滾輪或皮帶，其適於和旋轉致動器組件130共同旋轉從而固定對準各對相對的印刷嵌套131。在另一實施例中，中央輸送帶組件1010保持固定且對準，以便基板僅可由位在位置「1」之印刷嵌套移送至位在位置「3」之印刷嵌套。
第12圖說明通過系統1000之基板處理序列1100的一範例。第12圖說明移送步驟之一範例，其中當移送通過系統1000時，基板可遵循第12圖所述之處理序列1100。步驟1102至1112說明用於第一對基板之主要的初始處理序列步驟，而步驟1114至1126說明通常在系統1000裝載以及運轉時執行的步驟。
在示於第11及12圖之步驟1102，來自輸入輸送帶113之第一對基板150係遵循移送路徑C1(第11圖)由引入輸送帶111接收。在此配置中，系統控制器101係用於協調皮帶116及存在輸入輸送帶113及引入輸送帶111中之驅動致動器(未顯示)的運動，以便基板可以可靠地在這些自動化部件間移送。
在第11及12圖所示之步驟1106，第一對基板150遵循移送路徑C2及C4(第11圖)由引入輸送帶111之皮帶116移送至印刷嵌套131中之材料137。在此配置中，系統控制器101係用於協調引入輸送帶111中之皮帶116、位在位置「1」之印刷嵌套131中之材料137、中央輸送帶組件1010中之皮帶1011及位在位置「3」之印刷嵌套131中之材料137的運動，以便一基板可定位在位於位置「1」和「3」之各印刷嵌套中。在一實施例中，引入輸送帶111所接收的基板係隔開一所需距離(亦即，介於定位在位置「1」和「3」之印刷嵌套131間的距離)，以允許所有自動化部件的速度保持固定，以便基板可在概略相同的時間輕易定位在其個別的印刷嵌套中。
在步驟1108，第一對基板150可選擇地由檢查組件200中的部件檢查，以確保在印刷嵌套131上未定位損壞、有缺口或破裂的基板。檢查組件亦可用來決定基板在各印刷嵌套131上的精確位置。各基板150在各印刷嵌套131上的位置資料可由系統控制器101使用以定位及定向網印頭102中之網印頭部件，以便後續的網印製程可準確地定位在各基板150上。在此實例中，基於在步驟1108期間執行之檢查製程期間所接收的資料，各網印頭的位置可自動調整以將網印頭102對準定位在印刷嵌套上之基板的確切位置。
在第11及12圖所示之步驟1112，旋轉致動器組件130係旋轉以便各第一對基板遵循移送路徑A3(第10圖)定位在網印頭102內部。在如第10圖所示之一實施例中，旋轉致動器組件130係旋轉90度以便將基板定位在網印頭102內部。
在步驟1114，網印製程係執行以在第一對基板150之至少一個表面上沈積所需材料。在一實施例中，欲改善基板產量，當步驟1114正在執行時，步驟1115至1123通常並行地執行。吾人將注意到偶數步驟係打算在第一對基板上執行，而奇數步驟係打算在第二對及/或一替代對基板上執行。
在第12圖所示之步驟1115，來自輸入輸送帶113之第二對基板150由引入輸送帶111接收，且引入輸送帶111係定位以便其可傳送第二對基板150至印刷嵌套131，其類似於上文所示並在步驟1102中敘述的製程。須注意步驟1115至1123之群組內部的某些步驟可與在處理序列1100期間執行的一或多個其他步驟同時執行。舉例來說，步驟1115可在步驟1112正執行時執行，或步驟1119可在步驟1115正執行時執行。
吾人會注意到在系統1000內部之穩態基板處理期間，例如，當所有印刷嵌套皆已裝載時，如上文所討論在步驟1112期間致動旋轉致動器組件130前，一對基板將在網印頭102中處理完成。因此，在步驟1119期間，定位在旋轉致動器位置「1」和「3」(第11圖)之印刷嵌套131中的這些已處理基板現可由檢查組件200中的部件檢查，以確保沒有損壞、有缺口、或破裂的基板，並可監控網印製程的品質。
在示於第11及12圖之步驟1121，第二對基板150現可遵循移送路徑C2及C4(第11圖)由位於引入輸送帶111中之各皮帶116移送至位於印刷嵌套131中之材料137，其類似於上文在步驟506中所討論者。在此配置中，系統控制器101係用於協調引入輸送帶111中之皮帶116、位在位置「1」之印刷嵌套131中之材料137、中央輸送帶組件1010中之皮帶1011及位在位置「3」之印刷嵌套131中之材料137的運動，以便一基板可定位在位於位置「1」和「3」之各印刷嵌套中，如上文連同步驟1106所討論者。在一實施例中，引入輸送帶111所接收的基板係隔開一所需距離(亦即，介於定位在位置「1」和「3」之印刷嵌套131間的距離)，以允許所有自動化部件的速度保持固定，以便基板可在概略相同的時間輕易定位在其個別的印刷嵌套中。
不過，在系統1000內部之穩態處理期間，在於步驟1112中致動旋轉致動器組件130前，一對基板將在網印頭102中處理完成，從而需要在第二對基板可裝載至印刷嵌套131前由印刷嵌套131移除已處理基板。在一實施例中，早已處理的該對基板移出印刷嵌套131(亦即，第10圖中之移送路徑C4及C5)，及第二對基板移送至印刷嵌套131中(亦即，移送路徑C2及C4)大體上同時發生。在此實例中，定位在位置「1」的已處理基板必須藉由系統控制器101發送指令以憑藉定位在位置「1」之印刷嵌套131中之材料137、中央輸送帶組件1010中之皮帶1011及定位在位置「3」之印刷嵌套131中之材料137的運動和外出輸送帶112中之皮帶116的運動而移動至外出輸送帶112。當位置「1」的基板藉由系統控制器101發送指令以使用定位在位置「3」之印刷嵌套131中之材料137的運動及外出輸送帶112中之皮帶116的運動移動時，定位在位置「3」的已處理基板可同時移動至外出輸送帶112。在一實施例中，早已處理的基板始於旋轉致動器組件130的移動及新進基板至旋轉致動器組件130的移動係以串列方式同時發生。
由印刷嵌套131傳送至外出輸送帶112的已處理基板可接著遵循移送路徑C5(第11圖)傳送至各出口輸送帶114。在此配置中，系統控制器101係用於協調皮帶116及存在外出輸送帶112及出口輸送帶114中之驅動致動器(未顯示)的運動，以便基板可以可靠地在這些自動化部件間移送。出口輸送帶114可接著遵循移送路徑C6移送已處理基板至其他部分的生產線。
在步驟1123，第二對基板150可選擇地由檢查組件200中的部件檢查，以確保在印刷嵌套131上未定位損壞、有缺口、或破裂的基板，且在各印刷嵌套131上之基板的精確位置可以類似步驟508及1108中所討論之方式決定，如上文所示。
在第11及12圖所示之步驟1126，旋轉致動器組件130係旋轉以便遵循移送路徑C3(第11圖)在網印頭102內部定位各第二對基板，且第一對基板係遵循移送路徑C7(第11圖)定位在旋轉致動器位置「1」和「3」。在如第11圖所示之一實施例中，旋轉致動器組件130係旋轉90度以便將基板定位在網印頭102內部。
在步驟1126完成後，接著可依據有多少基板欲在系統1000中處理而一再重複步驟1114至1126。須注意第12圖中所說明之步驟數目及序列並非打算限制此處所述之本發明的範圍，因為一或多個步驟可在不偏離此處所述之本發明之基本範圍的情況下刪除及/或重新安排。同樣地，第12圖所示之步驟示意圖並非打算限制此處所述之本發明的範圍，因為如上文所提到，步驟不須如圖示般以序列方式完成，因為一或多個步驟可同時完成。
雖然以上內容已揭示本發明之數個實施例，但可在不偏離本發明基本範圍的情況下做出本發明的其他及進一步實施例，且本發明範圍當由後附申請專利範圍決定。
A．．．路徑
A1~A7．．．路徑
B．．．軸
B1~B7．．．路徑
C．．．方向
C1~C7．．．路徑
F．．．方向
1~4．．．位置
100．．．系統
100A．．．系統
101．．．系統控制器
102．．．網印頭
111．．．引入輸送帶
112．．．外出輸送帶
113．．．輸入輸送帶
114．．．出口輸送帶
116．．．皮帶
117．．．廢料收集裝置
120．．．攝影機
130．．．旋轉致動器組件
131．．．印刷嵌套
133．．．支撐輸送帶
135．．．輸帶軸
136．．．捲帶軸
137．．．材料
138．．．平臺
139．．．輸送帶
150．．．基板
150A．．．基板
200．．．檢查組件
210．．．上部分
212．．．上部表面
214．．．下部
216．．．上部滾輪
217．．．上部滾輪
220．．．下部分
222．．．下部表面
224．．．上部
226．．．下部滾輪
230．．．固定式小齒輪
240．．．小齒輪馬達
250．．．驅動器滾輪
260．．．輸送帶皮帶馬達
270．．．惰滾輪
280．．．自由轉滾輪
500．．．處理序列
502~526．．．步驟
1000．．．系統
1010．．．中央輸送帶組件
1011．．．皮帶
1100．．．處理序列
1102~1126．．．步驟
參照繪示於附圖中的實施例來提供於上文扼要總結之本發明的更具體敘述，以達到且更詳細了解本發明之上述的特徵結構。
第1圖為根據本發明之一實施例之網印系統的等角視圖。
第2圖為根據本發明之一實施例之示於第1圖中之網印系統的平面圖。
第3圖為根據本發明之一實施例之旋轉致動器組件的等角視圖。
第4圖為根據本發明之一實施例之網印系統之印刷嵌套部分的等角視圖。
第5圖說明根據本發明之一實施例之基板處理序列的流程圖。
第6A至6H圖說明根據本發明之一實施例，在基板處理序列之不同階段期間，網印系統中之部件的概略等角視圖。
第6AA至6HH圖說明根據本發明之另一實施例，在基板處理序列之不同階段期間，網印系統中之部件的概略等角視圖。
第7圖概略說明根據本發明之一實施例之基板通過網印系統的移動。
第8A至8B圖說明根據本發明之一實施例，在基板處理序列的不同階段期間，網印系統中之部件的概略等角視圖。
第9A至9B圖為根據本發明之一實施例之引入或外出輸送帶的簡化示意圖。
第10圖為根據本發明之一實施例之網印系統之一替代配置的平面圖。
第11圖為根據本發明之一實施例之網印系統之另一替代配置的平面圖。
第12圖說明根據本發明之一實施例之基板處理序列的流程圖。
為了幫助了解，已盡可能地使用相同元件符號來標明各圖中共用的相同元件。無需進一步詳述的情況下，可預期一實施例中的元件及特徵結構能有利地併入其他實施例中。
不過，須注意附圖僅繪示本發明的示範性實施例，且因此不應視為對本發明範圍之限制，因為本發明可容許其他等效實施例。
B．．．軸
100．．．系統
101．．．系統控制器
102．．．網印頭
113．．．輸入輸送帶
114．．．出口輸送帶
116．．．皮帶
130．．．旋轉致動器組件
131．．．印刷嵌套
150．．．基板
210．．．上部分

Claims (17)

  1. 一種用於在基板上沈積材料的設備，包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器；一第一輸送帶，其經定位以當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位時，移送該些基板至該第一基板支撐；一第二輸送帶，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，接收來自該第一基板支撐之該些基板；一第三輸送帶，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，移送該些基板至該第二基板支撐；及一第四輸送帶，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，接收來自該第二基板支撐之該些基板，其中該些輸送帶的每一者包含一上部分，該上部分支撐至少一皮帶，並配置為相對於該輸送帶的一下部分伸出及收回。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其更包含：一第三基板支撐和一第四基板支撐，其各自耦合至 該旋轉致動器；一第一腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第三基板支撐上的該些基板，並沈積一材料於該些基板；及一第二腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第四基板支撐上的該些基板，並沈積一材料於該些基板。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之設備，其更包含一檢查系統，其包含：一第一攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第一基板支撐上之該些基板；及一第二攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第二基板支撐上之該些基板。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中當該旋轉致動器繞該旋轉軸旋轉時，該第一輸送帶、該第二輸送帶、該第三輸送帶及該第四輸送帶各自對準以沿一路徑移送該些基板，該路徑平行一實質上正切該基板支撐掃過之一弧的方向。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之設備，其更包含： 一第一方向致動器，其適於沿一第一方向由一第一位置移送至少一部分的該第一輸送帶至一第二位置，該第一方向實質上平行該第一旋轉軸；及一第二方向致動器，其適於沿一第二方向由一第一位置移送至少一部分的該第二輸送帶至一第二位置，該第二方向實質上平行該第一旋轉軸。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之設備，其中該第一輸送帶、該第二輸送帶、該第三輸送帶及該第四輸送帶各自包含一致動器，該致動器耦合至該至少一個皮帶，其中該致動器適於使用由一控制器發送的指令定位該皮帶。
  7. 一種用於在基板上沈積材料的設備，包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器；一第一輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第一輸送帶之該上部分係配置為在一收回位置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位且當該第一輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第一輸送帶之該上部分係定位以移送該些基板至該第一基板支撐；及一第二輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第二輸送帶之該上部分係配置為在一收回位 置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位且當該第二輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第二輸送帶之該上部分係定位以移送該些基板至該第二基板支撐。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之設備，其更包含：一第三輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第三輸送帶之該上部分係配置為在一收回位置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位且當該第三輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第三輸送帶之該上部分係定位以接收來自該第一基板支撐之該些基板；及一第四輸送帶，其包含一上部分以支撐一皮帶構件，其中該第四輸送帶之該上部分係配置為在一收回位置及一伸出位置間移動，且其中當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位且當該第四輸送帶之該上部分位於該伸出位置時，該第四輸送帶之該上部分係定位以接收來自該第二基板支撐之該些基板。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之設備，其更包含：一第三基板支撐和一第四基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器；一第一腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第三基板支撐上的該些 基板，並沈積一材料於該些基板；及一第二腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第四基板支撐上的該些基板，並沈積一材料於該些基板。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之設備，其更包含一檢查系統，其包含：一第一攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第一基板支撐上之該些基板；及一第二攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第二基板支撐上之該些基板。
  11. 如申請專利範圍第7項所述之設備，其中當該旋轉致動器繞該旋轉軸旋轉時，該第一輸送帶及該第二輸送帶各自對準以沿一路徑移送該些基板，該路徑一般係平行於一實質上正切該基板支撐掃過之一弧的方向。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之設備，其中該第一及第二輸送帶之每一者更包含一下部分，其配置為導引該皮帶構件，且其中各上部分及下部分係配置為相對彼此橫向移動。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之設備，其中該第一及第二輸送帶之每一者更包含一固定式小齒輪，其配置在該上部分及下部分間以橫向移動該上部分及下部分；一驅動器滾輪，其用於移動該皮帶構件；及一惰滾輪，其用於拉緊該皮帶構件。
  14. 一種用於在基板上沈積材料的設備，包含：一旋轉致動器，其具有一旋轉軸；一第一基板支撐和一第二基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器，其中該第一基板支撐和該第二基板支撐係定位在該旋轉致動器之相對側；一第一輸送帶，其經定位以在該第一及第二基板支撐間移送該些基板；一第二輸送帶，當該旋轉致動器以一第一定向有角度地定位時，其係定位以移動該些基板至該第一基板支撐；及一第三輸送帶，當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，其係定位以接收來自該第二基板支撐之該些基板。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之設備，其更包含：一第三基板支撐和一第四基板支撐，其各自耦合至該旋轉致動器，其中該第三基板支撐和該第四基板支撐係定位在該旋轉致動器之相對側； 一第一腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第三基板支撐上的該些基板，並沈積一材料於該些基板；及一第二腔室，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，容納在該第四基板支撐上的該些基板，並沈積一材料於該些基板。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之設備，其更包含一檢查系統，其包含：一第一攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第一基板支撐上之該些基板；及一第二攝影機，其經定位以當該旋轉致動器以該第一定向有角度地定位時，監控配置在該第二基板支撐上之該些基板。
  17. 如申請專利範圍第14項所述之設備，其中該第一輸送帶、該第二輸送帶及該第三輸送帶各自包含至少一個皮帶及一致動器，其耦合至該至少一個皮帶，其中該致動器適於使用由一控制器發送的指令定位該皮帶。
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