DE102012205252A1

DE102012205252A1 - Bearbeitungsstation für flächige Substrate und Verfahren zum Bearbeiten von flächigen Substraten

Info

Publication number: DE102012205252A1
Application number: DE201210205252
Authority: DE
Inventors: Michael Reichenbach
Original assignee: Jrt Photovoltaics & Co KG GmbH
Current assignee: Jrt Photovoltaics & Co KG GmbH
Priority date: 2012-03-30
Filing date: 2012-03-30
Publication date: 2013-10-02

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Bearbeitungsstation für flächige Substrate mit wenigstens zwei Bearbeitungseinheiten und wenigstens zwei parallel zueinander angeordneten Transportlinien für Substrate, wobei die beiden Bearbeitungseinheiten zwischen den beiden Transportlinien platziert sind, sowie Mitteln zum Bewegen der Substrate von den Transportlinien zu den Bearbeitungseinheiten und zurück, wobei die Mittel zum Bewegen der Substrate wenigstens zwei Lineartransporteinheiten mit jeweils wenigstens einer Substratauflage aufweisen, wobei die erste Lineartransporteinheit zwischen einer ersten Übergabestelle auf die zweite Transportlinie, der ersten Bearbeitungseinheit und einer gemeinsamen Übergabestelle auf die erste Transportlinie angeordnet ist und wobei die zweite Lineartransporteinheit zwischen einer zweiten Übergabestelle auf die zweite Transportlinie, der zweiten Bearbeitungseinheit und der gemeinsamen Übergabestelle angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Bearbeitungsstation für flächige Substrate mit wenigstens zwei Bearbeitungseinheiten und wenigstens zwei parallel zueinander angeordneten Transportlinien für Substrate, wobei die beiden Bearbeitungseinheiten zwischen den beiden Transportlinien platziert sind, sowie Mitteln zum Bewegen der Substrate von den Transportlinien zu den Bearbeitungseinheiten und zurück. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Bearbeiten von flächigen Substraten mit einer erfindungsgemäßen Bearbeitungsstation.
Aus der internationalen Offenlegungsschrift WO 2011/000442 A1 ist eine gattungsgemäße Bearbeitungsstation für flächige Substrate bekannt, die als Siebdruckbearbeitungsstation ausgebildet ist. Unbearbeitete Substrate, speziell unbedruckte Solarzellenwafer, werden von den Transportlinien auf Drucknester übergeben, die dann auf einem Planartisch zu einer von zwei Siebdruckstationen bewegt werden. Nach dem Bedrucken der Solarzellenwafer werden die Drucknester wieder zu ihrem Ausgangspunkt verfahren und die bedruckten Solarzellenwafer werden wieder auf die Transportlinien übergeben.
Aus der internationalen Offenlegungsschrift WO 2009/141319 A1 ist eine im Wesentlichen gleichartige Siebdruckstation für Solarzellenwafer bekannt, an der insgesamt vier Drucknester auf einem Rundschalttisch angeordnet sind. Mittels des Rundschalttisches werden die Solarzellenwafer auf den jeweiligen Drucknestern zu den Siebdruckstationen und wieder zu den Transportlinien bewegt. Die Transportlinien sind im Bereich von Übergabestellen auf die Drucknester mit Hubbändern versehen, um die Bewegungsbahn der Drucknester freizuhalten und die Drucknester an die jeweilige Übergabestelle bewegen zu können. Die Solarzellenwafer können auch in einer sogenannten Cross-Flow-Konfiguration bearbeitet werden, indem sie von der ersten Transportlinie auf das Drucknest übergeben werden, das Drucknest nach dem Bedrucken der Solarzellenwafer dann zu der zweiten Transportlinie bewegt wird und die bedruckten Solarzellenwafer dann mittels der zweiten Transportlinie abtransportiert werden.
Mit der Erfindung soll eine Bearbeitungsstation für flächige Substrate und ein Verfahren zum Bearbeiten flächiger Substrate verbessert werden.
Erfindungsgemäß ist hierzu eine Bearbeitungsstation für flächige Substrate mit wenigstens zwei Bearbeitungseinheiten und wenigstens zwei zueinander parallel angeordneten Transportlinien für Substrate vorgesehen, wobei die beiden Bearbeitungseinheiten zwischen den beiden Transportlinien platziert sind und wobei Mittel zum Bewegen der Substrate von den Transportlinien zu den Bearbeitungseinheiten und zurück vorgesehen sind, bei der die Mittel zum Bewegen der Substrate wenigstens zwei Lineartransporteinheiten mit jeweils wenigstens einer Substratauflage aufweisen, wobei die erste Lineartransporteinheit zwischen der ersten Übergabestelle auf die zweite Transportlinie der ersten Bearbeitungseinheit und einer gemeinsamen Übergabestelle auf die erste Transportlinie angeordnet ist und die zweite Lineartransporteinheit zwischen einer zweiten Übergabestelle auf die zweite Transportlinie, der zweiten Bearbeitungseinheit und der gemeinsamen Übergabestelle angeordnet ist.
Der Einsatz von Lineartransporteinheiten vereinfacht den konstruktiven Aufbau und ermöglicht einen Betrieb mit hoher Geschwindigkeit und dadurch großem Durchsatz, einen energiesparenden Betrieb und eine sehr hohe Präzision bei der Positionierung der Substratauflagen im Bereich der Bearbeitungseinheiten.
Die erfindungsgemäße Bearbeitungsstation ermöglicht es, mit lediglich zwei Lineartransporteinheiten in Kombination mit drei Übergabestellen Substrate von zwei Transportlinien zu den Bearbeitungseinheiten und wieder zurück zu transportieren. Da die beiden Lineartransporteinheiten eine gemeinsame Übergabestelle benutzen, um Solarzellenwafer von der ersten Transportlinie zu übernehmen bzw. auf die erste Transportlinie zu übergeben, kann der konstruktive Aufwand verringert werden. Die erfindungsgemäße Bearbeitungsstation ermöglicht es, zwei Bearbeitungsstationen und zwei Transportlinien in geschickter Weise miteinander zu kombinieren, so dass zum einen kurze Taktzeiten erreicht werden können, zum anderen aber auch beide Transportlinien weiterlaufen können, auch wenn eine der Bearbeitungseinheiten ausfällt oder beispielsweise gewartet werden muss. Bereits mit einer Substratauflage pro Lineartransporteinheit kann ein Pendelbetrieb der Substratauflage zwischen den Transportlinien und der jeweiligen Bearbeitungseinheit realisiert werden. Eine Anordnung mit zwei Lineartransporteinheiten, die jeweils zwei Übergabestellen bedienen und beispielsweise senkrecht zu den Transportlinien angeordnet sind, ist zwar ebenfalls möglich, erfordert gegenüber der erfindungsgemäßen Lösung aber eine Übergabestelle mehr. Mit der Erfindung kann eine sehr geschickte Anordnung zweier Lineartransporteinheiten zwischen zwei parallelen Transportlinien bereitgestellt werden, wobei ein Winkel, in dem die beiden Lineartransporteinheiten zueinander angeordnet sind, in Abhängigkeit des Abstandes der Transportlinien zueinander und der Bearbeitungseinheiten zueinander gewählt wird.
In Weiterbildung der Erfindung sind die beiden Lineartransporteinheiten in einer Draufsicht auf die Bearbeitungsstation in einem Winkel zwischen 80° und 100°, insbesondere 90°, zueinander angeordnet.
Auf diese Weise kann bei noch geringem Platzbedarf eine gemeinsame Übergabestelle auf der ersten Transportlinie genutzt werden und die beiden Bearbeitungseinheiten können im Verfahrweg der jeweiligen Lineartransporteinheit angeordnet werden. Bei einem Winkel zwischen 80° und 100°, insbesondere 90°, kommt es auch im Bereich der gemeinsamen Übergabestelle nicht zu Kollisionen zwischen der Substratauflage der Lineartransporteinheit und der Substratauflage der zweiten Lineartransporteinheit beim Anfahren der gemeinsamen Übergabestelle.
In Weiterbildung der Erfindung weisen die beiden Lineartransporteinheiten jeweils zwei Substratauflagen auf, wobei die Substratauflagen in einer Bewegungsrichtung der Lineartransporteinheit voneinander beabstandet angeordnet sind.
Mittels zweier Substratauflagen auf einer Lineartransporteinheit kann in äußerst vorteilhafter Weise ein Pendelbetrieb der Lineartransporteinheit bzw. der Substratauflagen realisiert werden. Während eine der Substratauflagen im Bereich der Bearbeitungseinheit positioniert ist und in der Bearbeitungseinheit beispielsweise ein auf der Substratauflage befindlicher Solarzellenwafer bedruckt wird, kann sich die andere Substratauflage an einer Übergabestelle im Bereich der Transportlinien befinden. An der Übergabestelle kann ein bedruckter Solarzellenwafer auf die Transportlinie übergeben werden und gleichzeitig kann ein unbedruckter Solarzellenwafer wieder auf die Substratauflage übernommen werden. Die Substratauflage mit dem unbedruckten Solarzellenwafer wird dann in den Bereich der Bearbeitungseinheit verfahren, wodurch gleichzeitig die andere Substratauflage mit dem dann bereits bedruckten Solarzellenwafer zu der gegenüberliegenden Transportlinie bewegt wird. Vorteilhafterweise sind beide Lineartransporteinheiten mit jeweils zwei voneinander beabstandeten Substratauflagen versehen.
In Weiterbildung der Erfindung ist die Bearbeitungseinheit mittig zwischen den beiden Transportlinien angeordnet und die beiden Substratauflagen sind in einem festen Abstand zueinander angeordnet, wobei der Abstand so bemessen ist, dass die erste Substratauflage entweder im Bereich der Bearbeitungseinheit oder an der gemeinsamen Übergabestelle auf die erste Transportlinie angeordnet ist und dass die zweite Substratauflage dann entweder an einer Übergabestelle auf die zweite Transportlinie bzw. im Bereich der Bearbeitungseinheit angeordnet ist.
In Weiterbildung der Erfindung sind die erste Lineartransporteinheit und die zweite Lineartransporteinheit jeweils mit zwei Substratauflagen in konstantem Abstand zueinander versehen, wobei der Abstand der Substratauflagen zueinander jeweils so bemessen ist, dass eine der Substratauflagen an einer Übergabestelle und die andere Substratauflage dann im Bereich der jeweiligen Bearbeitungseinheit angeordnet ist.
Durch diese Maßnahmen lässt sich mit beiden Lineartransporteinheiten ein Pendelbetrieb realisieren, so dass beide Bearbeitungseinheiten abwechselnd von der ersten Transportlinie und der zweiten Transportlinie mit unbedruckten Solarzellenwafern bestückt werden und gleichzeitig mit dem Bedrucken die bereits bedruckten Solarzellenwafer auf der jeweils anderen Substratauflage wieder an der jeweiligen Übergabestelle angeordnet sind und abtransportiert werden können.
In Weiterbildung der Erfindung weist die zweite Transportlinie zwischen der ersten Übergabestelle und der zweiten Übergabestelle einen Linearförderer auf, der ausgebildet ist, zeitweise einen Bewegungsbereich der Substratauflagen der ersten Lineartransporteinheit und der zweiten Lineartransporteinheit freizugeben.
Speziell bei der Bearbeitung von Solarzellenwafern ist es vorteilhaft, die Solarzellenwafer aufgrund der immer vorhandenen Bruchgefahr nicht mit Greifern oder dergleichen anzufassen und zu bewegen, sondern die Solarzellenwafer mittels Förderbändern oder dergleichen von den Transportlinien auf die Substratauflagen, speziell die Drucknester, zu übergeben und auch wieder mittels Förderbändern von den Drucknestern auf die Transportlinien zu übernehmen. Gerade beim Bedrucken von Solarzellenwafern ist die aufgedruckte Schicht unmittelbar nach dem Aufdrucken noch nicht getrocknet und auch mechanisch noch nicht belastbar. Beim Angreifen der Solarzellenwafer mit Handlingvorrichtungen besteht daher die Gefahr, dass die aufgedruckten Schichten beschädigt werden. Eine Übergabe mittels Förderbändern oder Einrichtungen, die lediglich an einer nicht frisch bedruckten Unterseite der Solarzellenwafer angreifen, ist daher äußerst vorteilhaft. Werden solche Förderbänder oder vergleichbare Einrichtungen benutzt, ist aber ein sehr geringer Spalt zwischen den Transportlinien und den Drucknestern, allgemein den Substratauflagen, erforderlich. Die Substratauflagen können dadurch aber nur dann an die jeweilige Übergabestelle gefahren werden, wenn die Transportlinie zuvor abschnittsweise bewegt wird, um den Bewegungsbereich der Substratauflage freizugeben. Zwischen der ersten Übergabestelle und der zweiten Übergabestelle auf der zweiten Transportlinie lässt sich dies in sehr vorteilhafter Weise mittels eines Linearförderers erreichen, der abschnittsweise bewegbar ausgebildet ist, beispielsweise als sogenanntes Pendelband, das in und entgegen der Transportrichtung bewegbar ist.
In Weiterbildung der Erfindung weist der Linearförderer Hubbänder, Klappbänder, Schwenkbänder und/oder Teleskopbänder auf.
Mittels solcher Einrichtungen lässt sich die Übergabe von Solarzellenwafern sicher, schnell und dabei auch positionsgenau bewirken.
In Weiterbildung der Erfindung ist der Linearförderer kürzer als ein Abstand zwischen der ersten und der zweiten Übergabestelle und der Linearförderer ist in und entgegen einer Transportrichtung auf der zweiten Transportlinie bewegbar.
Der Linearförderer kann somit durch eine einfache Linearbewegung aus dem Bewegungsbereich der jeweiligen Substratauflage herausgefahren werden. Im Betrieb der erfindungsgemäßen Bearbeitungsstation pendelt der Linearförderer somit von einer Position angrenzend an die erste Übergabestelle zu einer Position angrenzend an die zweite Übergabestelle und gibt dadurch im Wechsel jeweils die Bewegungsbahn der Substratauflage an der ersten Übergabestelle bzw. an der zweiten Übergabestelle frei. Der Linearförderer kann auch so weit verschoben werden, dass er abwechselnd die erste bzw. zweite Übergabestelle überbrückt, wenn sich die jeweilige Substratauflage gerade in der Bearbeitungseinheit befindet, um Substrate unmittelbar von der Transportlinie zu übernehmen oder auf diese zu übergeben. Vorteilhafterweise ist der Linearförderer auf einem in einer Linearführung geführten Schlitten einer Linearachse angeordnet. Mittels einer solchen Linearachse lässt sich die Verschiebung des Linearförderers schnell und präzise bewirken.
In Weiterbildung der Erfindung ist der Linearförderer sowohl anhebbar und absenkbar als auch in und entgegen einer Transportrichtung auf der zweiten Transportlinie bewegbar.
Auf diese Weise lassen sich besonders kurze Taktzeiten erzielen, da die Bewegung des Linearförderers teilweise gleichzeitig zu einer Bearbeitung in den Bearbeitungseinheiten erfolgen kann. Bei einem sowohl anhebbaren als auch verschiebbaren Linearförderer, im Sinne eines anhebbaren und absenkbaren Pendelbandes, muss immer lnur ein Substrat übernommen bzw. abgegeben werden. An der ersten Übergabestelle wird entweder ein bereits bedrucktes Substrat auf den Linearförderer übernommen oder dann, wenn sich keine Substratauflage an der ersten Übergabestelle befindet, wird ein unbedruckter Solarzellenwafer unmittelbar von der Transportlinie auf den Linearförderer übergeben. An der zweiten Übergabestelle wird entweder von dem Linearförderer ein unbearbeiteter Solarzellenwafer auf eine Substratauflage übergeben oder dann, wenn sich an der zweiten Übergabestelle keine Substratauflage befindet, wird ein bedruckter Solarzellenwafer direkt auf die Transportlinie übergeben. Der Linearförderer wird dabei angehoben oder abgesenkt, um möglichst schnell den Bewegungspfad einer Substratauflage freizugeben und er wird in oder entgegen der Transportrichtung verfahren, um über einen Verschiebevorgang seine neue Zielposition einzunehmen.
In Weiterbildung der Erfindung sind im Bereich der ersten Übergabestelle, der zweiten Übergabestelle und der gemeinsamen Übergabestelle jeweils Überprüfungs- und Messeinrichtungen für die bearbeiteten und unbearbeiteten Substrate vorgesehen. Die Überprüfungs- und Messeinrichtungen können jeweils mit wenigstens einer Kamera versehen sein.
Eine Überprüfung der Solarzellenwafer im Bereich der Übergabestellen ist äußerst vorteilhaft. Bevor unbedruckte Solarzellenwafer bedruckt werden, können sie auf Beschädigungen hin untersucht werden, auch deshalb, um ein Brechen der Solarzellenwafer in der Siebdruckstation und eine dadurch möglicherweise bewirkte Beschädigung oder Verschmutzung des Drucksiebes zu verhindern. Nach dem Bedrucken kann an den Übergabestellen die Positioniergenauigkeit und/oder das Druckbild sowie die Schichtdicke und gegebenenfalls weitere Parameter der aufgedruckten Leiterbahnen überprüft werden.
In Weiterbildung der Erfindung ist jede der Bearbeitungseinheiten als Siebdruckwerk und jede der Substratauflagen als Drucknest ausgebildet, wobei die Substratauflagen mit einem über die Auflagefläche führenden Band versehen sind.
Mittels eines Bandes können zu bedruckende Solarzellenwafer gleichzeitig von der Transportlinie auf die Substratauflage, beispielsweise das Drucknest, übernommen werden und ein bereits bedruckter Solarzellenwafer kann auf die Fortführung der Transportlinie übergeben werden.
In Weiterbildung der Erfindung ist das Band durchleuchtbar und/oder durchsaugbar ausgebildet.
Bei Verwendung eines durchleuchtbaren Bandes können Solarzellenwafer im Durchlicht betrachtet werden. Beispielsweise sind unterhalb des Bandes im Drucknest Lichtquellen oder allgemein elektromagnetische Strahlungsquellen angeordnet und eine Überprüfungskamera ist oberhalb des Drucknestes angeordnet. Ein durchsaugbares Band ermöglicht es, die zu bearbeitenden Substrate, beispielsweise Solarzellenwafer, während der Bearbeitung, beispielsweise dem Bedrucken, unverrückbar auf dem Drucknest festzuhalten. Auch nach der Übernahme und Positionierung eines Solarzellenwafers auf dem Drucknest kann der Solarzellenwafer mittels Unterdruck auf dem Band und damit auf dem Drucknest festgehalten werden, so dass er während einem Bewegen des Drucknests mittels der Lineartransporteinheit nicht relativ zum Drucknest verruscht.
In Weiterbildung der Erfindung ist die erste Transportlinie im Bereich der gemeinsamen Übergabestelle abschnittsweise aus einer Bewegungsbahn der Substratauflagen heraus bewegbar.
Gerade bei Solarzellenwafern ist die Übergabe von der Transportlinie auf das Drucknest und vom Drucknest wieder auf die Fortführung der Transportlinie dann besonders problemlos und ohne Gefahr hinsichtlich einer Beschädigung der bedruckten Solarzellen zu realisieren, wenn ein Übergabespalt sehr gering ist. In diesem Fall kann die Übergabe mittels Bändern oder anderer Einrichtungen erfolgen, die lediglich an einer Unterseite des Solarzellenwafers angreifen. Ein solcher sehr kleiner Übergabespalt lässt sich dann, wenn die Bewegungsbahn der Substratauflage nicht genau senkrecht auf die Transportlinie trifft aber nur dann realisieren, wenn die erste Transportlinie abschnittsweise aus einer Bewegungsbahn der Substratauflagen heraus bewegbar ist.
In Weiterbildung der Erfindung weist die erste Transportlinie im Bereich der gemeinsamen Übergabestelle Hubbänder, Klappbänder, Schwenkbänder und/oder Teleskopbänder auf.
Das der Erfindung zugrundeliegende Problem wird auch durch ein Verfahren zum Bearbeiten von flächigen Substraten mit einer erfindungsgemäßen Bearbeitungsstation gelöst, bei der das Bewegen von unbearbeiteten Substraten mittels einer der Lineartransporteinheiten von einer der Übergabestellen zu einer der Bearbeitungseinheiten und der Rücktransport des bearbeiteten Substrats von der Bearbeitungseinheit zu derselben Übergabestelle mittels derselben Lineartransporteinheit vorgesehen ist.
In Weiterbildung der Erfindung sind folgende, im Wesentlichen gleichzeitige Transportbewegungen vorgesehen:

– Übernehmen eines unbearbeiteten Substrats auf die Substratauflage und
– Abfördern eines bearbeiteten Substrats von der Substratauflage mittels eines über die Substratauflage führenden Transportbandes.

In Weiterbildung der Erfindung ist das Bewegen eines bearbeiteten Substrates auf einer Substratauflage der ersten Lineartransporteinheit von der zweiten Bearbeitungseinheit zu der gemeinsamen Übergabestelle und Übergeben des bearbeiteten Substrates auf die erste Transportlinie vorgesehen.
In Weiterbildung der Erfindung ist ein Pendelbetrieb der ersten und zweiten Lineartransporteinheit vorgesehen, so dass abwechselnd eine Substratauflage der ersten Lineartransporteinheit und eine Substratauflage der zweiten Lineartransporteinheit in den Bereich der gemeinsamen Übergabestelle bewegt werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung im Zusammenhang mit den Zeichnungen. In den Zeichnungen zeigen:
1 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Bearbeitungsstation, die als Siebdruckstation für Solarzellenwafer ausgebildet ist,
2 eine schematische Draufsicht auf eine weitere erfindungsgemäße Bearbeitungsstation,
3 eine schematische Draufsicht auf eine weitere erfindungsgemäße Bearbeitungsstation und
4 eine schematische Seitenansicht einer Substratauflage der Bearbeitungsstation der 1, die als Drucknest ausgebildet ist.
Die Darstellung der 1 zeigt eine Bearbeitungsstation 10 für flächige Substrate, im dargestellten Fall eine Siebdruckstation zum Bedrucken von Solarzellenwafern. Die Bearbeitungsstation 10 weist zwei Bearbeitungseinheiten 12, 14 in Form von Druckwerken zum Siebdrucken auf. Zwei parallel zueinander angeordnete Transportlinien 16, 18 transportieren unbearbeitete Substrate 20, nämlich unbedruckte Solarzellenwafer, zu einer gemeinsamen Übergabestelle 24 in der ersten Transportlinie 16 und zu einer ersten Übergabestelle 26 und einer zweiten Übergabestelle 28 in der zweiten Transportlinie 18. Von den Übergabestellen 24, 26, 28 werden bedruckte Solarzellenwafer 22 dann wieder abtransportiert. In der Darstellung der 1 erfolgt eine Transportrichtung auf den beiden Transportlinien 16, 18 immer von links nach rechts, wie mit den Pfeilen 30 dargestellt ist. Auf den bedruckten Solarzellenwafern 22 ist in der Darstellung der 1 lediglich schematisch eine Struktur aus Leiterbahnen angedeutet, die mittels der Bearbeitungseinheiten 12, 14 mittels Siebdruck aufgebracht wird.
Die Bearbeitungsstation 10 weist eine erste Lineartransporteinheit 32 und eine zweite Lineartransporteinheit 34 auf. Die erste Lineartransporteinheit 32 ist mit zwei Substratauflagen 36, 38 versehen, die auf der Lineartransporteinheit 32 im Abstand voneinander angeordnet sind. Die Lineartransporteinheit 32 ist als Linearführung mit darauf angeordneten Schlitten ausgebildet und mit einem beispielsweise elektromotorischen, hydraulischen oder pneumatischen Antrieb versehen. In der Darstellung der 1 befindet sich die erste Substratauflage 36 der Lineartransporteinheit 32 an der Übergabestelle 26 in der zweiten Transportlinie 18. Die zweite Substratauflage 38 der Lineartransporteinheit 32 befindet sich unterhalb der Bearbeitungseinheit 12, also der Siebdruckstation.
Die Lineartransporteinheit 34 ist ebenfalls mit zwei im Abstand voneinander angeordneten Substratauflagen 40, 42 versehen. In der Darstellung der 1 ist die erste Substratauflage 40 in der Bearbeitungsstation 14 angeordnet. Die zweite Substratauflage 42 der zweiten Lineartransporteinheit 34 ist an der gemeinsamen Übergabestelle 24 angeordnet.
In der Darstellung der 1 ist die Übergabestelle 28 in der zweiten Transportlinie 18 leer. Gestrichelt angedeutet sind die Umrisse der ersten Substratauflage 40, die mittels der Lineartransporteinheit 34 von ihrer in 1 dargestellten Position in der Bearbeitungseinheit 14 an die Position der Übergabestelle 28 verschoben werden kann. Ein Abstand zwischen den Substratauflagen 36, 38 bzw. 40, 42 ist konstant. Sobald sich die Substratauflage 40 daher an der Übergabestelle 28 befindet, ist die Substratauflage 42 in der Bearbeitungseinheit 14 angeordnet. Wenn die Substratauflage 38 auf die Position der gemeinsamen Übergabestelle 24 verschoben ist, ist die Substratauflage 36 in der Bearbeitungseinheit 12 angeordnet.
Im Betrieb der Bearbeitungsstation 12 werden, wie erwähnt, unbedruckte Solarzellenwafer 20 von den beiden Transportlinien 16, 18 in Richtung des Pfeiles 30 angeliefert. An der gemeinsamen Übergabestelle 24 wird ein unbedruckter Solarzellenwafer 20 auf die Substratauflage 42 gefördert. Während sich die Substratauflage 42 an der gemeinsamen Übergabestelle befindet, wird in der Bearbeitungseinheit 14 ein Solarzellenwafer auf der Substratauflage 40 bedruckt. Sobald die Übergabe des unbedruckten Solarzellenwafers 20 auf die Substratauflage 42 und der Druckvorgang in der Bearbeitungseinheit 14 abgeschlossen ist, werden die beiden Substratauflagen 40, 42 entlang der Lineartransporteinheit 34 so verschoben, dass die Substratauflage 40 an der Übergabestelle 28 und die Substratauflage 42 in der Bearbeitungseinheit 14 angeordnet ist. Der bedruckte Solarzellenwafer auf der Substratauflage 40 kann dann in Richtung des Pfeiles 30 von der Substratauflage 40 wieder auf die Transportlinie 18 übergeben werden. Gleichzeitig mit dem Übergeben des bedruckten Solarzellenwafers 22 wird ein unbedruckter Solarzellenwafer 20 auf die Substratauflage 40 gefördert, wobei zuvor gegebenenfalls noch ein bereits bedruckter Solarzellenwafer 22 über die Substratauflage 40 hinweg transportiert wird. Während dieser Belade- und Entlade- bzw. Transportvorgänge wird der Solarzellenwafer auf der Substratauflage 42 bedruckt. Nachdem der Druckvorgang abgeschlossen ist und auf der Substratauflage 40 wieder ein unbedruckter Solarzellenwafer 20 platziert ist, werden die beiden Substratauflagen 40, 42 wieder entlang der Lineartransporteinheit 34 zurück verschoben, bis die Substratauflage 40 wieder in der Bearbeitungsstation 14 angeordnet ist und die Substratauflage 42 wieder an der gemeinsamen Übergabestelle 24. Dort wird der bedruckte Solarzellenwafer 22 von der Substratauflage 42 in Richtung des Pfeiles 30 wieder auf die erste Transportlinie 16 übergeben und ein unbedruckter Solarzellenwafer 20 wird in Richtung des Pfeiles 30 auf die Substratauflage 42 gefördert.
Die beiden Substratauflagen 40, 42 bewegen sich somit in einem Pendelbetrieb zwischen der zweiten Bearbeitungsstation 14 und der zweiten Übergabestelle 28 bzw. der gemeinsamen Übergabestelle 24.
In analoger Weise werden die Substratauflagen 36, 38 der ersten Lineartransporteinheit 32 abwechselnd mit unbedruckten Solarzellenwafern beladen, dann zu der ersten Bearbeitungsstation 12 verfahren, um dann wieder zu der gemeinsamen Übergabestelle 24 bzw. der ersten Übergabestelle 26 zurückbewegt zu werden. An den Übergabestellen 24, 26 werden die bedruckten Solarzellenwafer dann wieder auf die jeweilige Transportlinie 16, 18 übergeben und ein unbedruckter Solarzellenwafer wird auf die Substratauflagen 36, 38 gefördert.
Die Lineartransporteinheiten 32, 34 arbeiten im Pendelbetrieb. An der gemeinsamen Übergabestelle 24 wird abwechselnd die Substratauflage 42 der zweiten Lineartransporteinheit 34 und die Substratauflage 38 der ersten Lineartransporteinheit 32 beladen bzw. entladen.
In der Darstellung der 1, die eine Draufsicht auf die Bearbeitungsstation 10 darstellt, ist zu erkennen, dass die beiden Lineartransporteinheiten 32, 34 in einem rechten Winkel zueinander angeordnet sind. Die erste Lineartransporteinheit 32 erstreckt sich von der ersten Übergabestelle 26 über die erste Bearbeitungseinheit 12 zu der gemeinsamen Übergabestelle 24. Die zweite Lineartransporteinheit 34 erstreckt sich von der zweiten Übergabestelle 28 über die zweite Bearbeitungseinheit 14 zu der gemeinsamen Übergabestelle 24.
Mit der Bearbeitungsstation 10 können somit Solarzellenwafer 20, 22 auf zwei Transportlinien 16, 18 angeliefert werden, mittels zweier Siebdruckstationen 12, 14 bedruckt werden und dann auch wieder über die beiden Transportlinien 16, 18 abgefördert werden. Solarzellenwafer 20, die auf der ersten Transportlinie 16 zugefördert werden, werden im bedruckten Zustand auch wieder über die Transportlinie 16 abgefördert. In gleicher Weise werden unbedruckte Solarzellenwafer 20, die über die zweite Transportlinie 18 angefördert werden, nach dem Bedrucken auch wieder über die zweite Transportlinie 18 abgefördert.
Die erfindungsgemäße Bearbeitungsstation ermöglicht einen Betrieb mit beiden Transportlinien 16, 18, auch wenn lediglich eine der beiden Bearbeitungseinheiten 12, 14 in Betrieb ist. Wird beispielsweise die zweite Bearbeitungseinheit 14 gewartet, beispielsweise um einen Siebwechsel durchzuführen, wird die Substratauflage 40 an die Übergabestelle 28 bewegt und dient nur noch zum Weitertransport von bedruckten Solarzellenwafern 22. Unbedruckte Solarzellenwafer 20 werden weiterhin auf den beiden Transportlinien 16, 18 angeliefert und dann im Wechsel auf der Substratauflage 36 bzw. der Substratauflage 38 bedruckt. Auch bei Wartung einer der Bearbeitungseinheiten 12, 14 kann somit ein Betrieb auf beiden Transportlinien 16, 18 aufrechterhalten werden, wenn auch mit verringerter Kapazität. Dies ist von erheblichem Vorteil, wenn stromabwärts der beiden Bearbeitungseinheiten 12, 14 noch weitere Bearbeitungseinheiten folgen, die dann nicht abgeschaltet werden müssen.
Die Transportlinie 16 weist stromaufwärts der gemeinsamen Übergabestelle 24 ein Hubband 46 auf, und stromabwärts der gemeinsame Übergabestelle 24 ist ein weiteres Hubband 48 angeordnet. Wie in 1 zu erkennen ist, ist ein Spalt zwischen dem Hubband 46 und der Substratauflage 42 sehr schmal gewählt, so dass ein Solarzellenwafer 20 lediglich diesen schmalen Spalt überbrücken muss, um von dem Hubband 46 auf die Substratauflage 42 transportiert zu werden. Dies ermöglicht es, den Solarzellenwafer 20 ohne zusätzliche Handlingvorrichtungen, nur mit dem Hubband 46 und einem über die Substratauflage 42 laufenden Transportband auf die Substratauflage 42 oder die Substratauflage 38 zu übergeben. Wird die Substratauflage 38 aber dann mittels der ersten Lineartransporteinheit 32 in Richtung auf die erste Bearbeitungseinheit 12 verfahren, muss zunächst das Hubband 46 aus der Bewegungsbahn der Substratauflage 38 herausbewegt werden, um diese Bewegung der Substratauflage 38 zu ermöglichen.
In gleicher Weise ist ein Spalt zwischen der Substratauflage 42 und dem Hubband 48 sehr schmal gewählt, um bedruckte Solarzellenwafer problemlos übergeben zu können. Wird nun die Substratauflage 42 mit der zweiten Lineartransporteinheit 34 in Richtung auf die zweite Bearbeitungsstation 14 bewegt, so muss zunächst das Hubband 48 aus dem Bewegungsbereich der Substratauflage 42 herausbewegt werden. Dies geschieht durch Anheben oder Absenken des Hubbandes 48 aus dem Bewegungsbereich der Substratauflage 42.
Bei der zweiten Transportlinie 18 sind zur Lösung eines ganz ähnlichen Problems keine Hubbänder, sondern ein in und entgegen der Transportrichtung 30 verschiebbarer Linearförderer 50 vorgesehen, der auch als Pendelband bezeichnet werden kann. Der Linearförderer 50 ist beispielsweise als Förderband ausgebildet und auf einer sogenannten Linearachse montiert, so dass er, ausgehend von der in 1 durchgezogen dargestellten Position, in die gestrichelt dargestellte Position bewegt werden kann. Der Linearförderer 50 ist hierzu auf einem Schlitten montiert, der wiederum in einer Linearführung bewegbar ist und mit einem nicht dargestellten Antrieb, beispielsweise einem elektromotorischen, hydraulischen oder pneumatischen Antrieb, versehen ist.
In der in 1 durchgezogen dargestellten Position grenzt der Linearförderer 50 mit seiner in 1 rechten Kante an die Übergabestelle 28 an. Wird die Substratauflage 40 von der zweiten Bearbeitungseinheit 14 zu der zweiten Übergabestelle 28 bewegt, muss zunächst der Linearförderer 50 in die gestrichelt dargestellte Position, in der Darstellung der 1 also nach links, bewegt werden. In dieser, gestrichelt dargestellten Position grenzt er mit seiner linken Kante an die erste Übergabestelle 26 an und kann dadurch bedruckte Solarzellenwafer von der Substratauflage 36 übernehmen. Auch der Linearförderer 50 wird somit in einem Pendelbetrieb betrieben, in dem er zwischen der in 1 durchgezogen dargestellten Position und der in 1 gestrichelt dargestellten Position in und entgegen der Transportrichtung 30 bewegt wird.
Die Darstellung der 2 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Bearbeitungsstation 100 in einer schematischen Draufsicht. Mit Ausnahme eines Linearförderers 102, der anstelle des Linearförderers 50 der Bearbeitungsstation 10 der 1 eingesetzt wird, ist die Bearbeitungsstation 100 aber identisch ausgebildet zur Bearbeitungsstation 10, so dass die einzelnen Bestandteile nicht erneut erläutert werden.
Der Linearförderer 102 ist als Transportband ausgebildet, das sowohl in und entgegen der Transportrichtung 30 auf der zweiten Transportlinie 18 verschoben werden kann als auch senkrecht zur Transportrichtung 30, in der Darstellung der 2, also senkrecht zur Zeichenebene, angehoben bzw. abgesenkt werden kann. Der Linearförderer 102 kann somit auch als anhebbares bzw. absenkbares Pendelband bezeichnet werden.
Der Linearförderer 102 ist dabei in der 2 in einer Position dargestellt, in der er die zweite Übergabestelle 28 überbrückt und dadurch einen in der ersten Bearbeitungseinheit 12 bedruckten Solarzellenwafer, der zuvor von der Substratauflage 36 übernommen wurde, unmittelbar auf den in der 2 rechts dargestellten Abschnitt der zweiten Transportlinie 18 übergeben kann. Dies ist deshalb möglich, da sich die Substratauflage 40 gerade in der zweiten Bearbeitungseinheit 14 befindet.
Anschließend an die Position der 2 wird der Linearförderer 102 in der 2 nach links in eine Zwischenposition verfahren, die gestrichelt dargestellt ist. Gleichzeitig oder ggf. zeitverzögert wird der Linearförderer 102 auch angehoben oder abgesenkt, um aus dem Bewegungsbereich der Substratauflage 36 herauszufahren, die entlang der Lineartransporteinheit 32 in Richtung auf die erste Übergabestelle 26 bewegt wird. Befindet sich der Linearförderer 102 dann in der in 2 gestrichelt dargestellten Position, kann er von der Substratauflage 36 einen in der ersten Bearbeitungseinheit 12 bedruckten Solarzellenwafer übernehmen. Im Wesentlichen gleichzeitig kann ein unbedruckter Solarzellenwafer von der Transportlinie 18 auf die Substratauflage 36 übergeben werden. In analoger Weise kann der Linearförderer 102 auch angehoben oder abgesenkt werden, um aus den Bewegungsbereich der Substratauflage 40 herauszufahren, die entlang der Lineartransporteinheit 34 in Richtung auf die zweite Übergabestelle 28 bewegt wird. Dadurch kann gleichzeitig ein bedruckter Solarzellenwafer auf der Substratauflage 40 auf die Transportlinie 18 übergeben werden und ein unbedruckter Solarzellenwafer vom Linearförderer 102 auf die Substratauflage 40 übergeben werden.
Nach Anheben oder Absenken des Linearförderer 102 kann die Substratauflage 36 wieder in Richtung auf die erste Bearbeitungseinheit 12 bewegt werden. Sobald die Substratauflage 36 die erste Übergabestelle 26 freigegeben hat, wird der Linearförderer 102 entgegen der Transportrichtung 30 nach links bewegt, bis er die erste Übergabestelle 26 überdeckt. Diese Position ist in der 2 strichpunktiert dargestellt, wobei der strichpunktierte Umriß des Linearförderers 102 lediglich die Position in Transportrichtung 30 anzeigen soll. Der Übersichtlichkeit halber wurde der Linearförderer 102 in der strichpunktierten Darstellung unterhalb seiner eigentlichen Position dargestellt. Der Linearförderer 102 ist aber lediglich in Verlängerung der Transportlinie 18 in und entgegen der Transportrichtung 30 bewegbar sowie anhebbar und absenkbar. In dieser Position kann der Linearförderer 102 dann von der Transportlinie 18 einen unbedruckten Solarzellenwafer übernehmen, der dann letztendlich auf die Substratauflage 40 übergeben werden soll.
Der kombinierte Hubbetrieb und Pendelbetrieb des Linearförderers 102 erlaubt kürzere Taktzeiten als der reine Pendelbetrieb des Linearförderers 50 der Bearbeitungsstation 10 der 1, da die Verschiebebewegung teilweise parallel zu der Bearbeitung, also dem Bedrucken der Solarzellenwafer in den Bearbeitungseinheiten 12, 14, erfolgen kann.
Die Darstellung der 3 zeigt eine Bearbeitungsstation 110 gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Die Bearbeitungsstation 110 unterscheidet sich lediglich dadurch von der Bearbeitungsstation 10 der 1, dass anstelle des Linearförderers 50 ein Linearförderer 112 vorgesehen ist. Die übrigen Bauteile der Bearbeitungsstation 110 sind identisch zur Bearbeitungsstation 10 der 1 und werden daher nicht erneut erläutert.
Der Linearförderer 112 ist als Hubband ausgebildet, kann also lediglich senkrecht zur Zeichenebene der 3 angehoben bzw. abgesenkt werden, um aus dem Bewegungsbereich der Substratauflagen 36 bzw. 40 herausbewegt zu werden.
In der in 3 dargestellten Position fluchtet das Transportband des Linearförderers 112 mit der Substratauflage 36 und dem Transportband der Transportlinie 18. Von der Substratauflage 36 kann daher ein bedruckter Solarzellenwafer 22 übernommen werden. Weiterhin wird ein unbedruckter Solarzellenwafer 20 über die Substratauflage 36 hinweg auf den Linearförderer 112 transportiert und ein weiterer unbedruckter Solarzellenwafer 20 wird von dem in 3 links dargestellten Abschnitt der Transportlinie auf die Substratauflage 36 transportiert, um dort zu verbleiben und dann auf der Substratauflage 36 in der ersten Bearbeitungseinheit 12 bedruckt zu werden.
Anschließend an die Übernahme der beiden Solarzellenwafer 20, 22, also eines bedruckten Solarzellenwafers 22 und eines unbedruckten Solarzellenwafers 20, wird der Linearförderer 112 angehoben oder abgesenkt, um die Bewegungsbahn der Substratauflage 36 freizugeben, so dass diese entlang der Lineartransporteinheit 32 in Richtung auf die erste Bearbeitungseinheit 12 bewegt werden kann.
Der Linearförderer 112 kann im angehobenen oder abgesenkten Zustand verbleiben, wobei die beiden Solarzellenwafer 20, 22 entlang der Transportrichtung 30 weitertransportiert werden können, bis sich die Substratauflage 40 an der zweiten Übergabestelle 28 befindet. Sobald dies der Fall ist, kann der Linearförderer 112 wieder abgesenkt oder angehoben werden. Ein in der zweiten Bearbeitungseinheit 14 bedruckter Solarzellenwafer wird dann von der Substratauflage 40 in der Transportrichtung 30 wieder auf die zweite Transportlinie 18 bewegt und der in der ersten Bearbeitungseinheit 12 bedruckte Solarzellenwafer 22 wird über die Substratauflage 40 hinweg transportiert und ebenfalls auf den in 3 rechten Abschnitt der zweiten Transportlinie 18 weiterbewegt. Der unbedruckte Solarzellenwafer 20 auf dem Linearförderer 112 wird dann auf die Substratauflage 40 bewegt, verbleibt dort und wird nach erneutem Anheben oder Absenken des Linearförderers 112 dann in Richtung auf die zweite Bearbeitungsstation 14 bewegt.
Der Linearförderer 112 kann somit als reines Hubband ausgebildet sein.
Die Darstellung der 4 zeigt die Substratauflage 42 der 1, 2 und 3 in einer schematischen Seitenansicht. Die Substratauflage 42 ist als Drucknest ausgebildet und weist ein Band 52 auf, das über eine Auflagefläche der Substratauflage 42 geführt ist und auf dem ein Solarzellenwafer 20 angeordnet ist.
Die Substratauflage 42 ist, entsprechend der in 1, 2 und 3 dargestellten Position, zwischen den Hubbändern 46, 48 angeordnet. Wie bereits erläutert wurde, kann das Hubband 46 in den Richtungen des Doppelpfeiles 54 angehoben und abgesenkt werden. In gleicher Weise kann das Hubband 48 in den Richtungen des Doppelpfeiles 56 angehoben und abgesenkt werden, um aus dem Bewegungsbereich der Substratauflage 42 herausbewegt zu werden, wenn diese in Richtung auf die Bearbeitungseinheit 14 entlang der Lineartransporteinheit 34 bewegt wird. Ein Anheben oder Absenken des Hubbandes 46 ist erforderlich, wenn die Substratauflage 38, siehe 1, 2 und 3 von der ersten Bearbeitungseinheit 12 an die gemeinsame Übergabestelle 24 bewegt wird.
Die Substratauflage 42 ist, wie in 4 schematisch dargestellt ist, an einem Schlitten 58 befestigt. Der Schlitten 58 ist wiederum in einer Linearführung 60 geführt. Zusammen mit einem nicht dargestellten Antrieb sind der Schlitten 58 und die Linearführung 60 Bestandteil der zweiten Lineartransporteinheit 34. An dem Schlitten 58 ist in nicht dargestellter Weise auch noch die Substratauflage 40 im Abstand zu der Substratauflage 42 befestigt. Bei einer Bewegung des Schlittens 58 entlang der Linearführung 60 werden dadurch die beiden Substratauflagen 40, 42 gemeinsam bewegt, ohne dass sich ihr Abstand zueinander verändert.
Ein Solarzellenwafer 20, der auf dem Hubband 46 entlang der Transportrichtung 30 bewegt wird, wird dadurch auf die Substratauflage 42 übernommen, dass das Band 52 mit gleicher Geschwindigkeit wie das Hubband 36 bewegt wird. Der Solarzellenwafer 20 kann dadurch den schmalen Spalt zwischen dem Hubband 46 und dem Endlosband 52 problemlos überbrücken und wird auf die Substratauflage 42 gefördert. Gleichzeitig mit dem Zufördern eines unbedruckten Solarzellenwafers 20 auf die Substratauflage 42 kann mittels des Bandes 52 ein bereits bedruckter Solarzellenwafer in Richtung des Pfeiles 30 auf das Hubband 48 übergeben werden. Die Substratauflagen 42, 40, 38, 36, siehe 1, 2 und 3 sind jeweils identisch ausgebildet. Die Substratauflage 40 dient, wie erläutert wurde, auch dazu, bereits bedruckte Solarzellenwafer 22 weiter zu transportieren. Hierzu wird ebenfalls das Band 52 in Bewegung versetzt und der Solarzellenwafer kann dadurch einfach über die Substratauflage bewegt werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

WO 2011/000442 A1 [0002]
WO 2009/141319 A1 [0003]

Claims

Bearbeitungsstation für flächige Substrate, mit wenigstens zwei Bearbeitungseinheiten (12, 14) und wenigstens zwei parallel zueinander angeordneten Transportlinien (16, 18) für Substrate, wobei die beiden Bearbeitungseinheiten (12, 14) zwischen den beiden Transportlinien (16, 18) platziert sind, sowie Mitteln zum Bewegen der Substrate von den Transportlinien (16, 18) zu den Bearbeitungseinheiten (12, 14) und zurück, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Bewegen der Substrate wenigstens zwei Lineartransporteinheiten (32, 34) mit jeweils wenigstens einer Substratauflage (36, 38, 40, 42) aufweisen, wobei die erste Lineartransporteinheit (32) zwischen einer ersten Übergabestelle (26) im Bereich der zweiten Transportlinie (18), der ersten Bearbeitungseinheit (12) und einer gemeinsamen Übergabestelle (24) im Bereich der ersten Transportlinie (16) angeordnet ist und die zweite Lineartransporteinheit (34) zwischen einer zweiten Übergabestelle (28) im Bereich der zweiten Transportlinie (18), der zweiten Bearbeitungseinheit (14) und der gemeinsamen Übergabestelle (24) angeordnet ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Lineartransporteinheiten (32, 34) in einer Draufsicht auf die Bearbeitungsstation (10) in einem Winkel zwischen 80 Grad und 100 Grad, insbesondere 90 Grad, zueinander angeordnet sind.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der beiden Lineartransporteinheiten (32, 34) zwei Substratauflagen (36, 38, 40, 42) aufweist, wobei die Substratauflagen (36, 38, 40, 42) in einer Bewegungsrichtung der Lineartransporteinheit (32, 34) nebeneinander beabstandet angeordnet sind.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungseinheit (12, 14) mittig zwischen den beiden Transportlinien (16, 18) angeordnet ist und die beiden Substratauflagen (36, 38, 40, 42) in einem festen Abstand zueinander angeordnet sind, wobei der Abstand so bemessen ist, dass eine erste der Substratauflagen (38, 42) entweder im Bereich der Bearbeitungseinheit (12, 14) oder an der gemeinsamen Übergabestelle (24) auf die erste Transportlinie (16) angeordnet ist und die zweite Substratauflage (36, 30) dann entweder an einer Übergabestelle (26, 28) auf die zweite Transportlinie (18) beziehungsweise im Bereich der Bearbeitungseinheit (12, 14) angeordnet ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Lineartransporteinheit (32) und die zweite Lineartransporteinheit (34) jeweils mit zwei Substratauflagen (36, 38, 40, 42) in konstantem Abstand zueinander versehen sind, wobei der Abstand der Substratauflagen (36, 38, 40, 42) zueinander jeweils so bemessen ist, dass eine der Substratauflagen (36, 38, 40, 42) an einer Übergabestelle (24, 26, 28) und die andere Substratauflage (36, 38, 40, 42) dann im Bereich der jeweiligen Bearbeitungseinheit (12, 14) angeordnet ist.
Bearbeitungsstation nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Transportlinie (18) zwischen der ersten Übergabestelle (26) und der zweiten Übergabestelle (28) einen Linearförderer (50) aufweist, der ausgebildet ist, zeitweise einen Bewegungsbereich der Substratauflagen (36, 40) der ersten Lineartransporteinheit (32) und der zweiten Lineartransporteinheit (34) freizugeben.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Linearförderer Hubbänder, Klappbänder, Schwenkbänder und/oder Teleskopbänder aufweist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Linearförderer (50) kürzer ist als ein Abstand zwischen der ersten und der zweiten Übergabestelle (26, 28) und der Linearförderer (50) in und entgegen einer Transportrichtung auf der zweiten Transportlinie (18) bewegbar ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Linearförderer sowohl anhebbar und absenkbar als auch in und entgegen der Transportrichtung auf der zweiten Transportlinie (18) bewegbar ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Linearförderer (50) auf einem in einer Linearführung geführten Schlitten einer Linearachse angeordnet ist.
Bearbeitungsstation nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der ersten Übergabestelle (26), der zweiten Übergabestelle (28) und der gemeinsamen Übergabestelle (24) jeweils Überprüfungs- und Messeinrichtungen für die bearbeiteten und unbearbeiteten Substrate vorgesehen sind.
Bearbeitungsstation nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jede der Bearbeitungseinheiten (12, 14) als Siebdruckwerk und jede der Substratauflagen (36, 38, 40, 42) als Drucknest ausgebildet ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Substratauflagen (36, 38, 40, 42) mit einem über die Auflagefläche führenden Band (52) versehen sind.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Band (52) durchleuchtbar und/oder durchsaugbar ausgebildet ist.
Bearbeitungsstation nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Transportlinie (16) im Bereich der gemeinsamen Übergabestelle (24) abschnittsweise aus einer Bewegungsbahn der Substratauflagen (38, 42) heraus bewegbar ist.
Bearbeitungsstation nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Transportlinie (16) im Bereich der gemeinsamen Übergabestelle (24) Hubbänder (46, 48), Klappbänder, Schwenkbänder und/oder Teleskopbänder aufweist.
Verfahren zum Bearbeiten von flächigen Substraten mit einer Bearbeitungsstation nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Bewegen von unbearbeiteten Substraten mittels einer der Lineartransporteinheiten (32, 34) von einer der Übergabestellen (24, 26, 28) zu einer der Bearbeitungseinheiten (12, 14) und Rücktransport des bearbeiteten Substrats von der Bearbeitungseinheit (12, 14) zu derselben Übergabestelle (24, 26, 28) mittels derselben Lineartransporteinheit (32, 34).
Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch folgende, im wesentlichen gleichzeitige Transportbewegungen: Übernehmen eines unbearbeiteten Substrats auf die Substratauflage (36, 38, 40, 42) und Abfördern eines bearbeiteten Substrats von der Substratauflage mittels eines über die Substratauflage (36, 38, 40, 42) führenden Transportbandes (52).
Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, gekennzeichnet durch Bewegen eines bearbeiteten Substrats auf einer Substratauflage (38) der ersten Lineartransporteinheit (32) von der ersten Bearbeitungseinheit (12) an die gemeinsame Übergabestelle (24) und Übergeben des bearbeiteten Substrats auf die erste Transportlinie (16) und nachfolgend Bewegen eines bearbeiteten Substrats auf einer Substratauflage (42) der zweiten Lineartransporteinheit (34) von der zweiten Bearbeitungseinheit (14) zu der gemeinsamen Übergabestelle (24) und Übergeben des bearbeiteten Substrats auf die erste Transportlinie (16).
Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 15, 16 und 17, gekennzeichnet durch einen Pendelbetrieb der ersten und zweiten Lineartransporteinheit (32, 34), so dass abwechselnd eine Substratauflage (38) der ersten Lineartransporteinheit (32) und eine Substratauflage (42) der zweiten Lineartransporteinheit (34) in den Bereich der gemeinsamen Übergabestelle (24) bewegt werden.