KR101180736B1 - 스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제1웨이퍼를 프린트하는 프린팅 유닛과, 상기 프린팅 유닛의 일측에 배치되며 상기 제1웨이퍼의 프린트 진행 중 제2웨이퍼의 위치 조정을 위해 상기 제2웨이퍼를 촬영하는 촬영 유닛과, 상기 제1 및 제2웨이퍼의 프린트 및 촬영시 상기 제1 및 제2웨이퍼를 지지하는 프린팅 테이블, 및 위치 조정이 완료된 상기 제2웨이퍼를 프린트함과 동시에 상기 제1웨이퍼의 배출 및 제3웨이퍼의 촬영이 진행될 수 있도록 상기 프린팅 테이블을 선회 구동시켜 상기 제1 및 제2웨이퍼의 위치를 스위칭시키는 구동 유닛을 포함하는 스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼를 보다 효율적으로 핸들링함과 아울러 복수의 웨이퍼를 인쇄함에 있어 전체 공정 시간을 단축시키기 위한 것이다.

Description

스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법{SCREEN PRINTING SYSTEM AND SCREEN PRINTING METHOD USING THE SAME}

본 발명은　웨이퍼의 프린트 위치 조정 후 프린터 공정을 수행하도록 구성되는 스크린 프린팅 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 스크린 프린팅이라 함은 잉크를 스크린에 통과시켜 피인쇄물에 원하는 패턴을 전사하는 공정을 말하며, 이는 기판의 회로 배선 형성, 디스플레이 패널의 전극 형성, 태양전지의 전극 형성 등 다양한 분야에 활용되고 있다.

스크린 프린팅을 위해서는 프린트 공정 전에 웨이퍼의 파손을 검사하거나 프린트 위치를 조정하는 등의 공정이 필요하며, 스크린 프린팅 공정의 이후에도 웨이퍼에 프린트된 패턴을 검사하는 공정이 추가적으로 필요하다.

최근에는 스크린 프린팅 공정 자체를 수행하는 스크린 프린터와, 이에 추가적으로 필요한 각종 장치들이 공정 순서에 따라 적절하게 배열된 형태의 시스템이 사용되고 있으며, 이러한 시스템은 '스크린 프린팅 시스템'으로 지칭될 수 있다.

이와 같은 스크린 프린팅 시스템에 있어서 이를 이루는 각 장치들의 다양한 배치가 가능하며, 이와 관련하여 웨이퍼를 보다 효율적으로 핸들링함과 아울러 공정 시간을 단축하기 위한 다양한 시도가 이루어지고 있다.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 웨이퍼를 보다 효율적으로 핸들링함과 아울러 복수의 웨이퍼를 인쇄함에 있어 전체 공정 시간을 단축할 수 있는 스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법을 제공하기 위한 것이다.

상기한 과제를 실현하기 위해 본 발명은 제1웨이퍼를 프린트하는 프린팅 유닛과, 상기 프린팅 유닛의 일측에 배치되며 상기 제1웨이퍼의 프린트 진행 중 제2웨이퍼의 위치 조정을 위해 상기 제2웨이퍼를 촬영하는 촬영 유닛과, 상기 제1 및 제2웨이퍼의 프린트 및 촬영시 상기 제1 및 제2웨이퍼를 지지하는 프린팅 테이블, 및 위치 조정이 완료된 상기 제2웨이퍼를 프린트함과 동시에 상기 제1웨이퍼의 배출 및 제3웨이퍼의 촬영이 진행될 수 있도록 상기 프린팅 테이블을 선회 구동시켜 상기 제1 및 제2웨이퍼의 위치를 스위칭시키는 구동 유닛을 포함하는 스크린 프린팅 시스템을 개시한다.

상기 프린팅 유닛은 스크린이 장착되는 프레임과, 상기 프레임 상에 이동 가능하게 설치되며, 상기 스크린을 가압하면서 이동하여 상기 스크린의 잉크를 상기 제1 및 제2웨이퍼에 전사시키는 프린트 헤드를 포함할 수 있다.

상기 프린팅 테이블은 상기 제1 및 제2웨이퍼를 각각 지지하는 제1 및 제2테이블부와, 상기 제1 및 제2테이블부를 지지하며 상기 구동 유닛과 연결되는 테이블 지지부를 포함할 수 있다.

상기 프린팅 테이블에는 상기 촬영 유닛의 데이터를 근거로 상기 제1 및 제2웨이퍼의 위치를 조정하는 얼라인 기구가 구비될 수 있다.

상기 프린팅 테이블의 일측에는 이송 유닛을 통해 이송된 웨이퍼를 상기 프린팅 테이블에 로딩시키는 로딩 유닛이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 로딩 유닛은, 상기 이송 유닛과 프린팅 테이블의 사이에 배치되는 암 지지부와, 상기 암 지지부에 회전 가능하게 설치되며 상기 웨이퍼의 흡착을 위한 진공 패드를 구비한 로터리 암, 및 상기 로터리 암을 선회 구동시키는 암 구동부를 포함할 수 있다.

상기 촬영 유닛, 프린팅 유닛, 프린팅 테이블, 및 구동 유닛은 상기 암 지지부를 기준으로 서로 대칭인 위치에 한 쌍으로 구비되고, 상기 암 구동부는 상기 한 쌍의 프린팅 테이블에 복수의 웨이퍼가 번갈아 로딩되도록 상기 로터리 암을 구동시킬 수 있다. 이러한 경우, 상기 로터리 암은 상기 암 지지부의 위치에서 일 방향으로 연장되는 제1암과, 상기 제1암과 다른 방향으로 연장되며, 상기 제1암이 웨이퍼를 로딩할 때 다른 웨이퍼를 픽업하는 제2암을 포함할 수 있다.

상기 스크린 프린팅 시스템은 상기 프린팅 테이블 유닛의 웨이퍼를 외부로 배출시키는 배출 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 배출 유닛의 위치에는 상기 웨이퍼에 프린트된 패턴을 검사하는 패턴 검사 유닛이 설치될 수 있다.

한편, 본 발명은 제1 및 제2테이블부를 구비한 프린팅 테이블을 구비한 스크린 프린팅 시스템을 이용한 프린팅 방법에 있어서, 상기 제1테이블부에 로딩된 제1웨이퍼를 프린트함과 동시에 제2테이블부에 제2웨이퍼를 로딩한 후 상기 제2웨이퍼를 촬영한 후 촬영 결과를 근거로 제2웨이퍼의 위치를 조정하는 단계와, 상기 프린팅 테이블을 회전 구동시켜 상기 제1 및 제2테이블부의 위치를 스위칭하는 단계와, 상기 제2웨이퍼를 프린트함과 동시에 상기 제1웨이퍼를 배출시키고 상기 제1테이블부에 제3웨이퍼를 로딩 후 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템을 이용한 프린팅 방법을 개시한다.

상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 복수의 웨이퍼를 프린트함에 있어 웨이퍼의 프린트와 다른 웨이퍼의 촬영 및 위치조정을 동시에 진행할 수 있도록 회전 구동되는 프린팅 테이블 구조를 제공함으로써, 프린트 공정시 웨이퍼를 보다 효율적으로 핸들림함과 아울러 전체 공정 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 생산 효율을 보다 향상시킬 수 있도록 촬영 유닛, 프린팅 유닛, 프린팅 테이블, 및 구동 유닛을 한 쌍으로 설치한 듀얼 프린팅 시스템을 제공하며, 이러한 경우 웨이퍼의 픽업 및 로딩이 동시에 이루어지게 하는 로딩 유닛의 구조를 통해 공정 시간을 보다 더 단축시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린팅 시스템 보인 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 스크린 프린팅 시스템의 평면도.
도 3은 도 1에 도시된 스크린 프린팅 시스템의 측면도.
도 4 내지 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린팅 시스템을 이용한 스크린 프린팅 방법을 나타내는 작동 상태도들.

이하, 본 발명과 관련된　스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린팅 시스템 보인 사시도이며, 도 2 및 3는 도 1에 도시된 스크린 프린팅 시스템의 평면도 및 측면도이다.

도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 스크린 프린팅 시스템은 프린팅 유닛(110), 촬영 유닛(미도시), 프린팅 테이블(120), 및 구동 유닛(130)을 포함한다.

프린팅 유닛(110)은 웨이퍼(200)를 스크린 프린팅하여 웨이퍼(200)에 패턴을 형성하는 기능을 한다. 본 실시예에 따르면, 프린팅 유닛(110)은 스크린이 장착되는 프레임(111)과, 프레임(111)에 이동 가능하게 장착되는 프린터 헤드(112)를 포함한다. 프레임(111)은 지면에 지지된 베이스(101)에 설치 될 수 있다. 웨이퍼(200)는 스크린의 하부에 안착되며, 프린터 헤드(112)가 스크린을 가압하면서 이동함에 따라 스크린의 잉크가 웨이퍼(200)로 전사되게 되어 패턴이 형성되게 된다.

촬영 유닛은 웨이퍼(200)의 인쇄 공정이 수행되기 전에 웨이퍼(200)의 위치 조정을 위하여 웨이퍼(200)를 촬영한다. 촬영 유닛은 복수의 카메라(예를 들어, CCD 카메라)로서 구현 가능하며, 촬영 유닛은 웨이퍼(200)의 엣지(edge) 또는 얼라인 마크(align mark) 등을 측정하여 이를 프린팅 테이블(120)로 전송한다.

프린팅 테이블(120)은 두 개의 웨이퍼(200)를 지지할 수 있도록 구성된다. 이는 두 개의 웨이퍼(200) 중 하나에는 프린팅 유닛(110)을 이용한 프린트 공정을 수행하고, 다른 하나에는 촬영 유닛을 이용한 촬영을 수행하기 위함이다. 이에 따라 프린트 공정 및 촬영은 동시에 진행될 수 있다.

프린팅 테이블(120)은 어느 하나의 웨이퍼(200)를 지지하는 제1테이블부(121)와, 다른 하나의 웨이퍼(200)를 지지하는 제2테이블부(122), 및 제1 및 제2테이블부(121,122)를 지지하는 테이블 지지부(123)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2테이블부(121,122)는 서로 나란히 배치된다. 제1테이블부(121)가 촬영 유닛의 위치에 배치되는 경우, 제2테이블부(122)는 프린팅 유닛(110)의 위치에 배치될 수 있으며, 프린팅 테이블(120)의 회전시 그 반대의 경우도 가능하다. 본 도면에 의하면, 제1 및 제2테이블부(121,122)는 각각 촬영 유닛과 프린팅 유닛(110)의 하측에 배치된다.

프린팅 테이블(120)에는 웨이퍼(200)의 진공 흡착을 위한 진공 테이블이 마련되며, 그 아래에는 웨이퍼(200)의 위치 조정을 위한 얼라인 기구가 구비된다. 얼라인 기구는 촬영 유닛에서 전송된 데이터를 근거로 웨이퍼(200)의 위치(가로 방향, 세로 방향, 각도)를 조정한다. 이러한 진공 테이블 및 얼라인 기구는 제1 및 제2테이블부(121,122)에 각각 구비된다.

구동 유닛(130)은 프린팅 테이블(120)을 회전 구동시키는 기능을 한다. 구동 유닛(130)은 전기적 신호에 의해 회전 구동 가능한 모터의 형태로 구현 가능하다. 구동 유닛(130)은 테이블 지지부(123)의 하측에 연결되며, 베이스(101)의 지지구조(미도시)에 의해 지지되어 있다. 구동 유닛(130)의 동작에 따라 제1 및 제2테이블부(121,122)는 구동 유닛(130)을 중심으로 회전 구동되게 된다.

이상에서 설명한 프린팅 유닛(110), 촬영 유닛(미도시), 프린팅 테이블(120), 및 구동 유닛(130)은 제어부(컨트롤러)에 연결되어 제어부의 제어에 의해 구동되게 된다.

한편, 본 실시예는 앞서 설명한 프린팅 유닛(110), 촬영 유닛, 프린팅 유닛(110), 및 구동 유닛(130)이 한 쌍으로 구비된 것을 예시하고 있다. 이는 두 개의 프린팅 프로세스를 동시에 진행시켜 생산 효율을 향상시키기 위함이며, 이러한 스크린 프린팅 시스템은 소위 '듀얼 스크린 프린팅 시스템'으로 지칭될 수 있다. 이러한 경우, 각각의 스크린 프린팅 시스템들은 개별 제어되게 된다.

다만, 본 발명은 이러한 듀얼 스크린 프린팅 시스템에 한정되는 것은 아니며, 프린팅 유닛(110), 촬영 유닛, 프린팅 유닛(110), 및 구동 유닛(130)을 단일의 개수로 설치하는 것도 가능하다.

스크린 프린팅 시스템은 외부로부터 웨이퍼(200)를 이송하기 위한 이송 유닛(140)과 프린트 공정이 완료된 웨이퍼(200)를 외부로 배출하기 위한 배출 유닛(150)을 추가로 구비할 수 있으며, 이들은 각각 컨베이어 벨트의 형태로 구현 가능하다.

이송 유닛(140)의 위치에는 프린팅 테이블(120)로 투입되기 전 웨이퍼(200)의 파손 유무를 검사하기 위한 파손 검사 유닛이 설치되며, 배출 유닛(150)의 위치에는 웨이퍼(200)에 프린트된 패턴을 검사하기 위한 패턴 검사 유닛이 설치될 수 있다. 파손 검사 유닛과 패턴 검사 유닛은 각각 이송 유닛(140)과 배출 유닛(150)의 상측에 설치될 수 있다.

프린팅 테이블(120)의 제1 및 제2테이블부(121,122)에는 웨이퍼(200)를 배출 유닛(150)으로 전달하기 위한 페이퍼 롤(paper roll)이 구비된다. 본 실시예와 같이 프린팅 테이블(120)이 한 쌍으로 구비된 경우, 배출 유닛(150)과 프린팅 테이블(120)의 사이에 추가로 한 쌍의 컨베이어들(미도시)이 구비되며, 이들 컨베이어들은 배출 유닛(150)으로 합류되게 된다. 이러한 경우, 페이퍼 롤의 웨이퍼(200)는 컨베이어를 거쳐 배출 유닛(150)으로 배출된다.

프린팅 테이블(120)과 이송 유닛(140)의 사이에는 이송 유닛(140)의 웨이퍼(200)를 프린팅 테이블(120)에 로딩시키는 로딩 유닛(160)이 설치될 수 있다.

로딩 유닛(160)은 이송 유닛(140)과 프린팅 테이블(120)의 사이에 배치되는 암 지지부(161)와, 암 지지부(161)에 회전 가능하게 설치되는 로터리 암(162)과, 로터리 암(162)을 선회 구동시키는 암 구동부(163)를 포함할 수 있다.

로터리 암(162)의 단부에는 웨이퍼(200)의 진공 흡착을 위한 진공패드(164)가 장착되며, 로터리 암(162)은 이송 유닛(140)의 웨이퍼(200)를 픽업하여 프린팅 테이블(120)에 로딩시킨다.

암 구동부(163)는 모터 등의 형태로 구현 가능하며, 암 구동부(163)에는 로터리 암(162)을 상하로 이동 시키기 위한 리니어 구동부가 추가로 설치될 수 있다.

본 실시예와 같이, 촬영 유닛, 프린팅 유닛(110), 프린팅 테이블(120), 및 구동 유닛(130)이 한 쌍으로 설치된 경우, 이들은 암 지지부(161)를 기준으로 서로 대칭인 위치에 구비될 수 있다. 이러한 경우, 암 구동부(163)는 복수의 웨이퍼가 한 쌍의 프린팅 테이블(120)에 번갈아 로딩되도록 로터리 암(162)을 구동시킨다.

이 때 로터리 암(162)은 웨이퍼(200)의 픽업과 웨이퍼(200)의 로딩을 동시에 수행할 수 있는 구조를 가질 수 있다. 이러한 구조의 일 예로서, 로터리 암(162)은 제1 암(162a) 및 제2암(162b)을 포함하는 구조를 가질 수 있다.

제1암(162a)은 암 지지부(161)의 위치에서 일 방향으로 연장되며, 제2암(162b)은 제1암(162a)과 다른 방향으로 연장되게 형성된다. 제1암(162a)과 제2암(162b)은 서로 동일한 길이를 가지며, 암 지지부(161)를 기준으로 웨이퍼(200)의 픽업 위치와 로딩 위치 사이의 각도만큼 이격되게 형성된다.

제1암(162a)은 한 쪽 프린팅 테이블(120)로의 웨이퍼(200) 로딩을 수행하며, 제2암(162b)은 다른 쪽 프린팅 테이블(120)로의 웨이퍼(200) 로딩을 수행하게 된다. 제1암(162a)이 웨이퍼(200)를 로딩할 때 제2암(162b)은 웨이퍼(200)를 픽업하며, 제1암(162a)이 웨이퍼(200)를 픽업할 때 제2암(162b)은 웨이퍼(200)를 로딩하게 된다. 암 구동부(163)는 로터리 암(162)의 회전 방향을 반복적으로 변경함으로써 두 개의 프린팅 테이블로의 웨이퍼 로딩이 번갈아 진행되도록 한다.

도 4 내지 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린팅 시스템을 이용한 스크린 프린팅 방법을 나타내는 작동 상태도들이다.

이하의 설명에서는 두 개의 프린팅 테이블(120) 중 어느 하나를 중심으로 설명하기로 하며, 이는 다른 프린팅 테이블(120)에도 동일하게 적용 가능하다. 아울러, 복수의 웨이퍼(200)들을 지칭함에 있어서 이들을 프린팅 테이블(120) 중 하나에 로딩되는 순서대로 제1웨이퍼(210), 제2웨이퍼(220), 및 제3웨이퍼(230)로 지칭하기로 한다.

도 4는 로터리 암(162)의 제1암(162a)을 이용하여 제1테이블부(121)에 제1웨이퍼(210)를 픽업하는 과정을 나타내고 있다. 프린팅 테이블(120)의 상태는 제1테이블부(121)의 상측에 촬영 유닛이 배치되고 제2테이블부(122)의 상측에 프린팅 유닛(110)이 배치된 상태이다.

제1웨이퍼(210)의 픽업 후, 도 5와 같이 로터리 암(162)을 일 방향(도면의 시계 방향)으로 회전시켜 제1암(162a)을 프린팅 테이블(120)로 이동시키고, 제1웨이퍼(210)를 제1테이블부(121)에 로딩시킨다. 제1암(162a)이 제1웨이퍼(210)의 로딩시킬 때 제2암(162b)은 다른 웨이퍼를 픽업하고 있다.

제1웨이퍼(210)의 로딩 후, 제1테이블부(121)의 상측에 위치한 촬영 유닛을 이용하여 제1웨이퍼(210)를 촬영한 후, 그 촬영 결과를 근거로 제1웨이퍼(210)의 위치 조정을 수행한다.

다음으로, 도 6과 같이 프린팅 테이블(120)을 회전 구동시켜 제1테이블부(121)의 위치와 제2테이블부(122)의 위치를 스위칭시킨다. 그에 따라, 프린팅 유닛(110)의 하측에 제1테이블부(121)가 배치되고, 촬영 유닛의 하측에 제2테이블부(122)가 배치된다.

프린팅 테이블(120)의 회전 구동시 로터리 암(162)은 반대 방향(반시계 방향)으로 회전 구동되며, 제1암(162a)은 제2웨이퍼(220)를 픽업하고, 제2암(162b)은 다른 쪽 프린팅 테이블(120)에 웨이퍼(200)를 로딩시킨다.

다음으로, 프린팅 유닛(110)을 이용하여 제1테이블부(121)에 놓인 제1웨이퍼(210)의 프린트 공정을 수행한다. 아울러, 제1웨이퍼(210)의 프린트 공정 수행시 로터리 암(162)을 시계 방향으로 회전 구동시켜 제2웨이퍼(220)를 제2테이블부(122)에 로딩시킨 후, 촬영 유닛을 이용하여 제2웨이퍼(220)를 촬영한다. 아울러, 그 촬영 결과를 근거로 제2웨이퍼(220)의 위치 조정을 수행한다. 즉, 제1웨이퍼(210)의 프린트 공정과 동시에 제2웨이퍼(220)의 로딩, 촬영, 위치 조정이 수행되게 된다.

이와 같은 공정들이 완료되면, 도 7과 같이 프린팅 테이블(120)을 다시 회전 구동시켜 제1테이블부(121)의 위치와 제2테이블부(122)의 위치를 스위칭시킨다. 그에 따라, 제1웨이퍼(210)와 제2웨이퍼(220)의 위치가 스위칭 되며, 프린팅 유닛(110)의 하측에 제2웨이퍼(220)가 배치되고, 촬영 유닛의 하측에 제1웨이퍼(210)가 배치된다. 프린팅 테이블(120)의 회전 구동시 로터리 암(162)은 반시계 방향으로 회전하여 제3웨이퍼(230)의 픽업 및 다른 웨이퍼의 로딩을 수행하게 된다.

프린팅 테이블(120)의 회전 구동이 완료되면, 프린팅 유닛(110)을 이용하여 제2웨이퍼(220)에 대한 프린트 공정을 수행한다. 아울러, 이와 동시에 제1웨이퍼(210)를 제1테이블부(121)로부터 배출시키면서 로터리 암(162)을 시계 방향으로 회전 구동시켜 제3웨이퍼(230)를 제1테이블부(121)에 로딩시킨다. 그리고, 촬영 유닛을 이용하여 제3웨이퍼(230)를 촬영하며, 촬영 결과를 근거로 제3웨이퍼(230)의 위치를 조정한다. 즉, 제2웨이퍼(220)의 프린트 공정과 동시에 제1웨이퍼(210)의 배출 및 제3웨이퍼(230)의 로딩, 촬영, 및 위치 조정이 수행되게 되는 것이다.

이와 같은 공정들이 계속적으로 반복되게 되며, 이송 유닛(140)의 웨이퍼들에 대해 순차적으로 프린트 공정이 수행되게 된다.

이상에서는 본 발명에 따른 스크린 프린팅 시스템 및 이를 이용한 스크린 프린팅 방법을 첨부한 도면들을 참조로 하여 설명하였으나, 본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.

Claims (12)

1. 제1웨이퍼를 프린트하는 프린팅 유닛;
   상기 프린팅 유닛의 일측에 배치되며, 상기 제1웨이퍼의 프린트 진행 중 제2웨이퍼의 위치 조정을 위해 상기 제2웨이퍼를 촬영하는 촬영 유닛;
   상기 제1 및 제2웨이퍼의 프린트 및 촬영시 상기 제1 및 제2웨이퍼를 지지하는 프린팅 테이블;
   위치 조정이 완료된 상기 제2웨이퍼를 프린트함과 동시에 상기 제1웨이퍼의 배출 및 제3웨이퍼의 촬영이 진행될 수 있도록 상기 프린팅 테이블을 선회 구동시켜 상기 제1 및 제2웨이퍼의 위치를 스위칭시키는 구동 유닛;
   외부로부터 웨이퍼를 상기 프린팅 테이블 쪽으로 이송하는 이송 유닛; 및
   상기 이송 유닛과 프린팅 테이블의 사이에 배치되는 암 지지부와, 상기 암 지지부에 회전 가능하게 설치되며 상기 이송 유닛의 웨이퍼를 상기 프린팅 테이블로 로딩하는 로터리 암과, 상기 로터리 암을 선회 구동시키는 암 구동부를 포함하는 로딩 유닛을 포함하고,
   상기 촬영 유닛, 프린팅 유닛, 프린팅 테이블, 및 구동 유닛은 상기 암 지지부를 기준으로 서로 대칭인 위치에 한 쌍으로 구비되며,
   상기 암 구동부는 상기 한 쌍의 프린팅 테이블에 복수의 웨이퍼가 번갈아 로딩되도록 상기 로터리 암을 구동시키는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 프린팅 유닛은,
   스크린이 장착되는 프레임; 및
   상기 프레임 상에 이동 가능하게 설치되며, 상기 스크린을 가압하면서 이동하여 상기 스크린의 잉크를 상기 제1 및 제2웨이퍼에 전사시키는 프린트 헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
3. 제1항에 있어서, 상기 프린팅 테이블은,
   상기 제1 및 제2웨이퍼를 각각 지지하는 제1 및 제2테이블부; 및
   상기 제1 및 제2테이블부를 지지하며, 상기 구동 유닛과 연결되는 테이블 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
4. 제1항에 있어서,
   상기 프린팅 테이블에는 상기 촬영 유닛의 데이터를 근거로 상기 제1 및 제2웨이퍼의 위치를 조정하는 얼라인 기구가 구비되는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 제1항에 있어서, 상기 로터리 암은,
   상기 암 지지부의 위치에서 일 방향으로 연장되는 제1암; 및
   상기 제1암과 다른 방향으로 연장되며, 상기 제1암이 웨이퍼를 로딩할 때 다른 웨이퍼를 픽업하는 제2암을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
9. 제8항에 있어서,
   상기 제1 및 제2암은 서로 동일한 길이를 가지고, 상기 암 지지부를 기준으로 웨이퍼의 픽업 위치와 로딩 위치 사이의 각도만큼 이격되게 형성되며,
   상기 암 구동부는 상기 제1 및 제2암의 회전 방향을 반복적으로 변경하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
10. 제1항에 있어서,
    상기 프린팅 테이블 유닛의 웨이퍼를 외부로 배출시키는 배출 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
11. 제10항에 있어서,
    상기 배출 유닛의 위치에는 상기 웨이퍼에 프린트된 패턴을 검사하는 패턴 검사 유닛이 설치되는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅 시스템.
12. 삭제

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