JP2592404B2 - レジスト乾燥装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレジスト乾燥装置に関す
る。すなわち、プリント配線基板の製造工程で用いら
れ、プリント配線基板の外表面に塗布された液状の感光
性レジストを、乾燥，硬化させるレジスト乾燥装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、技術的背景について述べる。プリ
ント配線基板は、最近ますます極薄化や高密度化が進み
つつある。例えば、その肉厚は１．０mmから０．８mm更
には０．４mm程度と、紙と同程度まで極薄化しつつあ
り、又、回路の高密度化の進展も著しい。勿論、このよ
うなプリント配線基板の極薄化や高密度化は、安価で経
済性にも優れて実現されることを要し、コスト面への配
慮も重要である。

【０００３】さてプリント配線基板は、例えば、材料切
断，穴あけ加工，研磨，スルホールメッキ，研磨，エッ
チングレジストの塗布や乾燥，又ははり付け，露光，現
像，エッチング，回路部分のレジスト剥離，等々の工程
を辿って製造される。そして更に、このような製造工程
の一環をなす後処理工程として、形成された回路部分の
保護被膜を形成すべく、ソルダーレジストの塗布や乾
燥，又ははり付け，露光，現像，部品装着部分のレジス
ト除去，等々の各工程が施される。さて、このようなプ
リント配線基板の製造工程において、回路形成用のエッ
チングレジストや回路形成後のソルダーレジストの塗布
や乾燥，又ははり付け工程は、従来次のように行われて
いた。すなわち、まず第１に、いわゆる印刷法・ウェッ
ト方式では、プリント配線基板の外表面に、液状の感光
性レジストをスクリーン印刷にて塗布した後、その乾燥
が実施されており、第２に、いわゆるドライ方式では、
プリント配線基板の外表面にドライフィルム状の感光性
レジストを、ロールにて加圧しつつはり付けていた。

【０００４】しかしながら、このような従来例では、前
述したプリント配線基板の極薄化，高密度化，コスト面
等の時代的要請に十分に対応できない、という難点が指
摘されつつある。すなわち、上述した第１の印刷法・ウ
ェット方式では、塗布された感光性レジストについて、
周知のごとく膜厚が厚いと共にその均一性にも難点があ
り、例えば、事後に行われる露光の際の露光解像力に悪
影響を及ぼすと共に、ピンホールの発生も指摘される
等、プリント配線基板の回路の高密度化という時代的要
請に対応困難となりつつある。又、上述した第２のドラ
イ方式では、ドライフィルム状の感光性レジストを使用
する為、非常に割高となり、コスト面からプリント配線
基板の時代的要請に対応困難とされていた。

【０００５】そこで最近、第３の方式として、いわゆる
ロールコーター法が開発されるに至っている。すなわ
ち、この第３のロールコーター法は、プリント配線基板
の回路形成用のエッチングレジストや回路形成後のソル
ダーレジストの塗布工程において、プリント配線基板を
上下のロールコーター間に通すことにより、その外表面
に液状の感光性レジストを転写，塗布した後、これを乾
燥する方式よりなる。このロールコーター法によると、
前述した第１の印刷法・ウェット方式に比し、膜厚をよ
り薄くすることができると共に膜厚の均一性にも優れ、
前述した第２のドライ方式と同程度の露光解像力が得ら
れ、ピンホール発生も解消される等、プリント配線基板
の回路の高密度化に十分対応可能となる。これと共にこ
のロールコーター法は、前述した第２のドライ方式に比
し、ドライフィルム状の感光性レジストを使用せず液状
の感光性レジストを使用するので、前述した第１の印刷
法・ウェット方式と同程度の経済性で済み、割高とはな
らず、プリント配線基板のコスト面の要請にも十分対応
可能である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このロール
コーター法にあっては、次の問題が指摘されていた。ま
ず第１に、ロールコーターにてプリント配線基板の外表
面に転写，塗布した液状の感光性レジストは、事後直ち
に、レジスト乾燥装置にて乾燥される。その際、プリン
ト配線基板の肉厚が厚い場合には、従来よりの水平搬送
タイプのレジスト乾燥装置を用い、水平コンベヤ上に
て、プリント配線基板を水平状態で搬送しつつ乾燥炉中
を通過させることにより、液状の感光性レジストを問題
なく乾燥させることができる。しかしながら、前述した
ごとく昨今のプリント配線基板は非常に極薄化が進んで
いるので、従来よりの水平搬送タイプのレジスト乾燥装
置を用い、水平コンベヤ上で水平状態で搬送しようとす
ると、プリント配線基板がわん曲，カール，腰折れ状態
となってしまう、という問題があった。

【０００７】すなわち、感光性レジストが転写，塗布さ
れてロールコーター間から水平状態で搬出されるプリン
ト配線基板は、極薄化が進み極めてフレキシブルである
と共に、ロールコーター間における圧接により上方や下
方への方向性が付与されやすい。もって、ロールコータ
ー間から搬出されると、順次直ちにわん曲，カール，腰
折れ状態となりやすく、水平コンベヤ上でそのまま水平
状態を維持することは困難となっていた。そして結局、
十分な乾燥が実施できず、事後の露光，現像工程等にも
支障を生じることが多く、製造されたプリント配線基板
の品質に重大な欠陥が生じることにもなる。このよう
に、従来のレジスト乾燥装置では、ロールコーター法や
プリント配線基板の極薄化に対応できない、という問題
が指摘されていた。

【０００８】第２に、ロールコーターにて感光性レジス
トが転写，塗布されたプリント配線基板は、端部のつか
み代部分を除き、無接触の状態を維持しつつ乾燥するこ
とを要し、少しでも回路部分が他の部材や自体間で接触
して、傷等を生じてしまうと、回路のショート，断線，
その他不良の原因となり、前述したプリント配線基板の
回路の高密度化に対応できなくなる。しかしながら、従
来の水平搬送タイプのレジスト乾燥装置にあっては、プ
リント配線基板を水平コンベヤ上に載せて水平状態で搬
送することや、上述した第１のプリント配線基板のわん
曲，カール，腰折れ状態等に起因して、このような接
触，傷等の発生が指摘され、回路の高密度化に十分対応
できないという問題が指摘されていた。特に、プリント
配線基板の外表面の一面だけではなく表裏両面に対し、
感光性レジストが転写，塗布されることが多い昨今の状
況に鑑み、このような接触，傷等が多発し問題となって
いた。

【０００９】第３に、このような第１のわん曲，カー
ル，腰折れ状態や、第２の接触，傷等の発生を防止すべ
く、従来のレジスト乾燥装置にあっても各種の試みがな
されていたが、マニュアル的作業に頼ったり、工程が中
断されたり、ロールコーターとの連けいが不十分であっ
たり、構造が複雑化したり、プリント配線基板のコスト
面にも問題が生じる、等々の難点が指摘されていた。

【００１０】本発明は、このような実情に鑑み上記従来
例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果
なされたものであって、コンベヤに対し水平の軸で回動
可能に取付けられ、所定の横姿勢，回動変位姿勢，縦姿
勢等に姿勢を順次変化可能なチャッキング手段を採用し
たことにより、第１に、プリント配線基板のわん曲，カ
ール，腰折れ状態が防止されると共に、第２に、プリン
ト配線基板の接触による傷等も防止され、第３に、しか
もこれらが簡単な構成により容易かつ自動的・連続的に
実現される、レジスト乾燥装置を提案することを目的と
する。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１
については次のとおり。すなわち、この請求項１のレジ
スト乾燥装置は、プリント配線基板の製造工程で用いら
れ、ロールコーターにて該プリント配線基板の外表面に
転写，塗布された液状の感光性レジストを、乾燥，硬化
させるものである。そして、熱風が吹き出されて循環さ
れる乾燥炉と、該乾燥炉内等で該プリント配線基板をチ
ャッキング手段にて保持しつつ順次搬送するコンベヤ
と、該コンベヤに少なくとも該乾燥炉への搬入段階では
水平の軸で回動可能に取付けられ、開閉可能な構造の該
チャッキング手段と、を有してなる。そして該チャッキ
ング手段は、前記ロールコーター間から水平状態で搬出
される該プリント配線基板の端部に対向位置し、開閉に
よりこれを保持可能な横姿勢と、前記ロールコーター間
から完全に搬出された該プリント配線基板の端部を保持
しつつ徐々に下に変位し、これを下へ９０度回動させる
縦の回動変位姿勢と、そのまま該プリント配線基板の上
端部を保持し、これを該コンベヤの搬送方向に対し直角
かつ縦に吊り下げた状態で該乾燥炉内を搬送せしめる縦
姿勢とに、姿勢を順次変化可能となっている。

【００１２】次に、請求項２については次のとおり。す
なわち、この請求項２のレジスト乾燥装置は、プリント
配線基板の製造工程で用いられ、ロールコーターにて該
プリント配線基板の外表面に転写，塗布された液状の感
光性レジストを、乾燥，硬化させるものである。そし
て、内部に多数の照射ランプ群が並んで配設された乾燥
炉と、該乾燥炉内等で該プリント配線基板をチャッキン
グ手段にて保持しつつ該照射ランプ群に沿って順次搬送
するコンベヤと、該コンベヤに少なくとも該乾燥炉への
搬入段階では水平の軸で回動可能に取付けられ、開閉可
能な構造の該チャッキング手段と、を有してなる。そし
て該チャッキング手段は、前記ロールコーター間から水
平状態で搬出される該プリント配線基板の端部に対向位
置し、開閉によりこれを保持可能な横姿勢と、前記ロー
ルコーター間から完全に搬出された該プリント配線基板
の端部を保持しつつ徐々に下に変位し、これを下へ９０
度回動させる縦の回動変位姿勢と、該プリント配線基板
の上端部を保持し縦に吊り下げた状態のまま徐々に左右
に変位し、これを該コンベヤの搬送方向に対し直角から
平行状態へと垂直の軸で９０度回動させる横の回動変位
姿勢と、そのまま該プリント配線基板の上端部を保持
し、これを該コンベヤの搬送方向に対し平行かつ縦に吊
り下げた状態で該乾燥炉内を搬送せしめる縦姿勢とに、
姿勢を順次変化可能となっている。

【００１３】又、請求項３については次のとおり。すな
わち、この請求項３のレジスト乾燥装置は、請求項１又
は請求項２記載のレジスト乾燥装置において、該プリン
ト配線基板は外表面の両面に、前記ロールコーターにて
前記感光性レジストが転写，塗布されている。

【００１４】請求項４については次のとおり。すなわ
ち、この請求項４のレジスト乾燥装置は、請求項１又は
請求項２記載のレジスト乾燥装置において、該チャッキ
ング手段は磁力により開閉可能な構造よりなり、もって
該プリント配線基板の端部を保持可能となっている。

【００１５】又、請求項５については次のとおり。すな
わち、この請求項５のレジスト乾燥装置は、請求項１又
は請求項２記載のレジスト乾燥装置において、該コンベ
ヤは、該乾燥炉内への搬入用で下位に位置する第１コン
ベヤと、該乾燥炉内専用で上位に位置する第２コンベヤ
とを備えてなる。そして、該プリント配線基板を保持す
る該チャッキング手段は、該第１コンベヤに対し水平の
軸で回動可能に取付けられると共に、該第２コンベヤに
対し磁力にて取付けられるようになっている。

【００１６】

【作用】本発明は、このような手段よりなるので、次の
ように作用する。このレジスト乾燥装置は、開閉可能な
構造よりなりコンベヤに水平の軸で回動可能に取付けら
れた、チャッキング手段を有してなる。そして請求項
１，２では、ロールコーターによりプリント配線基板
の外表面に感光性レジストが転写，塗布された後、プ
リント配線基板がロールコーター間から水平状態で搬出
される。そして、プリント配線基板の先端部が、開で
横姿勢のチャッキング手段に挿入された後、閉とされ
たチャッキング手段にて保持される。それから、プリ
ント配線基板は更に搬出され、対応してチャッキング手
段もコンベヤにて若干搬送され、プリント配線基板が
ロールコーター間から完全に搬出されると、チャッキン
グ手段は、横姿勢から縦姿勢へ向け縦の回動変位姿勢を
取るので、上端部をチャッキング手段にて保持された
プリント配線基板は、水平状態から下へ９０度回動さ
れ、コンベヤの搬送方向に対し直角かつ縦に吊り下げら
れた状態となる。

【００１７】請求項１では、それから、チャッキング
手段が縦姿勢のままコンベヤにて乾燥炉内を搬送される
ので、プリント配線基板は、熱風が吹き出されて循環
される乾燥炉内を搬送され、その感光性レジストが乾
燥，硬化される。他方、請求項２では、として、更に
チャッキング手段は、垂直の軸で横の回動変位姿勢を取
り、プリント配線基板も、このようなチャッキング手段
にて上端部を保持されつつ、コンベヤの搬送方向に対し
直角から平行状態へと９０度回動される。しかる後、チ
ャッキング手段は、そのまま縦姿勢を取ってコンベヤに
て乾燥炉内を搬送される。もってとして、プリント配
線基板は、多数の照射ランプ群が並んで配設された乾燥
炉内を搬送され、その感光性レジストが乾燥，硬化され
る。

【００１８】なお請求項３では、プリント配線基板の外
表面の両面に感光性レジストが転写，塗布されて、乾
燥，硬化される。請求項４では、チャッキング手段が磁
力により開閉され、プリント配線基板の端部を保持す
る。請求項５では、コンベヤが第１コンベヤと第２コン
ベヤとからなり、プリント配線基板を保持するチャッキ
ング手段は、第１コンベヤに水平の軸で取付けられて乾
燥炉内に搬入された後、上位の第２コンベヤに磁力にて
取付けられて乾燥炉内を搬送される。

【００１９】さてそこで、これらのレジスト乾燥装置に
あっては、第１に、ロールコーター間から水平状態で搬
出されるプリント配線基板は、極薄化が進み極めてフレ
キシブルであり、上方や下方への方向性が付与されやす
い。そこでプリント配線基板の先端部を、ロールコータ
ーからの搬出後、直ちにチャッキング手段にて保持し、
それからプリント配線基板は、水平状態から縦に吊り下
げられた状態となって搬送，乾燥されるので、そのわん
曲，カール，腰折れ状態の発生が防止される。第２に、
同様の理由により、プリント配線基板が他の部材やそれ
自体間で接触して、傷等を生じることも防止される。第
３に、しかもこれらは、簡単な構成により自動的，連続
的，かつ容易に実現される。

【００２０】

【実施例】以下本発明を、図面に示すその実施例に基づ
いて、詳細に説明する。図１は、本発明の実施例の正面
説明図であり、図２は、同実施例の要部の平面説明図で
ある。図３は、本発明の他の実施例の正面説明図であ
り、図４は、同実施例の平面説明図である。図６は、こ
れらの各実施例におけるコンベヤの１例を示す正面説明
図である。図７は、これらの各実施例におけるチャッキ
ング手段の正面説明図であり、（１）図はその１例を、
（２）図は他の例を示す。なお図５は、本発明の実施例
には属さない、単なる参考例の要部の正面説明図であ
る。

【００２１】まず、プリント配線基板Ｐについて述べ
る。プリント配線基板Ｐは、ＯＡ用の両面基板，コンピ
ュータ用の多層基板，計算機用のフレキシブル基板等
々、用途により多種多様であり、その製造工程も多種多
様である。そしてプリント配線基板Ｐは、近年ますます
小型軽量化，極薄化，多層化，回路部分の高密度化，微
細化、等々が進みつつある。又、このようなプリント配
線基板Ｐは、例えば次のように製造される。すなわちプ
リント配線基板Ｐは、材料切断，穴あけ加工，研磨，ス
ルホールメッキ，研磨，エッチングレジストの塗布や乾
燥，又ははり付け，露光，現像，エッチング，回路部分
のレジスト剥離、等々の工程を辿って製造される。

【００２２】これらについて詳述すると、まず、材料つ
まり絶縁材の両面に銅箔が張り合わされた両面銅箔張り
積層板が、ワークサイズの短尺に切断され、次に、スル
ホール用の穴あけ加工が施された後、洗浄および両面研
磨処理が行われてから、スルホールメッキが実施され
る。つまり、表面の電気回路と裏面の電気回路を導通す
べく、スルホールの内壁にメッキが施される。しかる
後、再び洗浄，両面研磨処理，洗浄，乾燥等が行われて
から、エッチングレジストたる感光性レジストＢを、膜
状に塗布して乾燥したりはり付けたりする処理が行わ
れ、それから、回路部分のネガフィルムである回路写真
をあてて露光し、事後、感光性レジストＢは露光され硬
化した回路部分を残し、他の部分は現像液の噴射により
溶解除去される。しかる後、洗浄，乾燥が行われてか
ら、エッチングマシンにて、このように感光性レジスト
Ｂが硬化した回路部分の銅箔を残し、上述により感光性
レジストＢが溶解除去された部分の銅箔が、腐食液の噴
射により溶解除去される。それから、残っていた上述の
硬化した回路部分の感光性レジストＢが、剥離液の噴射
により溶解除去された後、洗浄，乾燥され、もって、所
定の回路部分が形成されたプリント配線基板Ｐが得られ
る。プリント配線基板Ｐは、例えば、縦横が５５０mm×
５５０mmや、５００mm×３００mm程度の寸法よりなり、
中央の回路部分の周縁端部が、１０mm程度の幅でつかみ
代部分となっている。

【００２３】そして、このような工程を辿って製造され
たプリント配線基板Ｐについては、その製造工程の一環
をなす後処理工程として、形成された回路部分の保護被
膜が形成される。すなわち、回路部分が形成されたプリ
ント配線基板Ｐの表面全体に、ソルダーレジストたる感
光性レジストＢを、塗布，乾燥したりはり付けたりする
処理が行われた後、ネガフィルムをあてて露光，現像が
実施され、スルホール部分，ラウンド部分等の部品装着
部分つまり事後ハンダが行われる部分の感光性レジスト
Ｂを、溶解除去して露出させる。このようにして、プリ
ント配線基板Ｐに感光性レジストＢによる保護被膜が形
成され、回路部分が被覆保護され、もって事後、部品装
着部分に対し実施されるハンダの付着等から、プリント
配線基板Ｐの回路部分が保護される。

【００２４】さて、このようなプリント配線基板Ｐの製
造工程において、回路部分形成のためのエッチングレジ
ストたる感光性レジストＢや、回路部分の保護被膜形成
のためのソルダーレジストたる感光性レジストＢとして
は、ドライフィルムを用いるドライ方式に代え、液状の
ものを用いるウェット方式が、最近急速に普及しつつあ
る。すなわち、このウェット方式は、感光性レジストＢ
が液状であることの特性を生かし、プリント配線基板Ｐ
の高密度で微細化が進む回路部分に対する密着性，埋込
み度，被覆性，耐酸性等々に優れ、更に、ドライフィル
ムの約１／３程度のコストで済みコスト面・経済性にも
優れており、ドライフィルムを用いるドライ方式に代わ
り、広く採用されつつある。このような液状の感光性レ
ジストＢとしては、例えば、希アルカリ現像型のフォト
ソルダーレジスト、エポキシ系液状レジスト、その他の
感光性の樹脂を用いたレジスト、等々が使用される。

【００２５】更に、このような液状の感光性レジストＢ
を用いるウェット方式についても、従来より一般的な印
刷法に代え、最近はロールコーター法が開発され普及し
つつある。すなわち、プリント配線基板Ｐの外表面に対
し、印刷によって感光性レジストＢを塗布する印刷法・
ウェット方式は、塗布された感光性レジストＢによる膜
厚が厚いと共に膜厚の均一性にも難があり、事後に行わ
れる露光の際の露光解像力に悪影響を及ぼすと共に、ピ
ンホールの発生も懸念される。そこで、感光性レジスト
Ｂによる膜厚を薄くできると共に膜厚の均一性にも優
れ、もって露光解像力が高くピンホール発生も解消され
る、ウェット方式の１つであるロールコーター法が、最
近広く普及しつつある。

【００２６】さて、図１，図２や図３，図４に示した各
実施例のレジスト乾燥装置Ａは、このようなプリント配
線基板Ｐの製造工程で用いられ、ロールコーター１にて
プリント配線基板Ｐの外表面に転写，塗布された液状の
感光性レジストＢを、乾燥，硬化させるものである。

【００２７】そして、この図１，図２や図３，図４に示
した各実施例のレジスト乾燥装置Ａは、図１，図２の実
施例では熱風が吹き出されて循環される乾燥炉２と、乾
燥炉２内等でプリント配線基板Ｐをチャッキング手段３
にて保持しつつ順次搬送するコンベヤ４と、コンベヤ４
に少なくとも乾燥炉２への搬入段階では水平の軸で回動
可能に取付けられ、開閉可能な構造のチャッキング手段
３と、を有してなる。他方、図３，図４の実施例では、
内部に照射ランプ群５が並んで配設された乾燥炉２が用
いられ、コンベヤ４は、このような乾燥炉２内におい
て、照射ランプ群５に沿ってプリント配線基板Ｐを搬送
する。

【００２８】このような図１，図２や図３，図４の各実
施例に示したレジスト乾燥装置Ａについて、更に詳述す
る。まず、図示のロールコーター１は、上下に対向設さ
れた塗布ローラー６と、上下にそれぞれ配された感光性
レジストＢのトレー７と、塗布ローラー６とトレー７間
に介在する介装ローラー８と、を備えてなる。そして、
上下の塗布ローラー６が回転されることにより、両者間
を圧接されつつプリント配線基板Ｐが通過し、その際、
トレー７そして介装ローラー８を経由した感光性レジス
トＢが、塗布ローラー６からプリント配線基板Ｐの外表
面に転写，塗布される。なお、プリント配線基板Ｐは、
予めその外表面を活性化させる前処理が施されており、
転写，塗布される感光性レジストＢの膜厚は、塗布ロー
ラー６間の間隔を調整することにより、自在に設定可能
である。又、図示例では、プリント配線基板Ｐの表裏両
面に対し、感光性レジストＢが転写，塗布されるように
なっているが、外表面のいずれか一方のみ、つまり表裏
両面のいずれか一面にのみ、感光性レジストＢを転写，
塗布することも可能である。

【００２９】レジスト乾燥装置Ａは、このようなロール
コーター１の次工程に配されている。そして、まず図
１，図２の実施例において、レジスト乾燥装置Ａの乾燥
炉２は、熱風が吹き出されて循環される熱風循環式より
なり、多数の熱風吹出口，熱風吸込口が設けられ、内部
に熱風ゾーンが形成されると共に、ヒーター，ファン等
の熱風発生源や送風ダクトが付設されている。他方、図
３，図４の実施例において、レジスト乾燥装置Ａの乾燥
炉２は、内部に照射ランプ群５が並んで配設された照射
式よりなり、図示例では、コンベヤ４を挟みその左右両
側に照射ランプ群５として、遠赤外線ランプがそれぞれ
列設され、コンベヤ４にて搬送されるプリント配線基板
Ｐの両面を、直接照射するようになっている。

【００３０】次に、レジスト乾燥装置Ａのコンベヤ４
は、乾燥炉２の内外にわたり、つまり、前述したロール
コーター１の出口付近から、乾燥炉２の入口，内部，出
口にかけて、直線的に配設されている。このコンベヤ４
は、チャッキング手段３にてプリント配線基板Ｐを保持
しつつ順次搬送するようになっており、搬送ベルト，レ
ール，ローラー，その他公知の各種方式のコンベヤの採
用が考えられる。いずれにしても、例えば図２にも示し
たように、このコンベヤ４は、少なくとも搬入段階つま
りロールコーター１の出口付近から乾燥炉２の入口付近
間においては、プリント配線基板Ｐ分の間隔を存しつ
つ、その左右両側に対向しつつ直線的に配設され、走行
される。そして図１，図２の実施例のコンベヤ４は、同
様な構成のまま乾燥炉２内に延伸されているが、図３，
図４の実施例のコンベヤ４にあっては、これとは異な
り、乾燥炉２内では１本で直線的なものが用いられてい
る。

【００３１】次に、レジスト乾燥装置Ａのチャッキング
手段３について、詳述する。チャッキング手段３はコン
ベヤ４に対し、少なくとも乾燥炉２への搬入段階では、
水平の軸で回動可能に取付けられている。図２に示した
例では、チャッキング手段３の基端軸棒９が、左右のコ
ンベヤ４にそれぞれ形成され上面が開放された取付溝１
０間に掛け渡されており、基端軸棒９の両端部が、左右
の取付溝１０に保持されている。もって、チャッキング
手段３全体が、その基端軸棒９やコンベヤ４側の取付溝
１０を介し、コンベヤ４に対し左右に水平の軸で回動可
能に、略ハンガー状に取付けられている。左右のコンベ
ヤ４上には、このような左右１対の取付溝１０が、搬送
方向に適宜間隔を存しつつ多数形成されている。

【００３２】又、チャッキング手段３は、例えば磁力に
て開閉可能な構造よりなり、もってプリント配線基板Ｐ
の端部を保持可能となっている。まず、例えば図７の
（１）図に示したチャッキング手段３は、上グリップ１
１と、下グリップ１２と、上グリップ１１上に付設され
た磁石１３と、磁石１３の上方に昇降動可能に配された
磁石１４と、上グリップ１１を下グリップ１２に向け付
勢するスプリング１５と、上グリップ１１の昇降の際の
ガイドシャフト１６と、を備えてなり、スプリング１５
は、上グリップ１１上と不動部との間でガイドシャフト
１６に外装されている。磁石１３としては例えば永久磁
石、磁石１４としては例えば電磁石が用いられるが、そ
れぞれ電磁石や永久磁石を用いることも可能である。そ
して、このチャッキング手段３は、常時は図示のよう
に、スプリング１５の付勢力により上グリップ１１と下
グリップ１２間は閉で、プリント配線基板Ｐの強力なグ
リップとして機能する。これに対し、磁石１４を若干下
降させると共に通電により磁石１３とは逆の磁性を生じ
させることにより、磁石１３そして上グリップ１１をス
プリング１５の付勢力に抗し磁力にて引き上げ、上グリ
ップ１１と下グリップ１２間を開とすることができる。
勿論、磁石１４の通電を解きその磁性そして磁力を解除
すると共に上昇させることにより、磁石１３そして上グ
リップ１１は、再びスプリング１５の付勢力により下降
し、上グリップ１１と下グリップ１２間は図示のように
閉となる。

【００３３】又、図７の（２）図に示したチャッキング
手段３は、上グリップ１１と、下グリップ１２と、上グ
リップ１１に付設された磁石１３と、下グリップ１２に
付設された磁石１４と、上グリップ１１の昇降の際のガ
イドシャフト１６と、を備えてなる。磁石１３としては
例えば永久磁石、磁石１４としては例えば電磁石が用い
られるが、逆に、磁石１３として電磁石、磁石１４とし
て永久磁石を用いることも可能である。そして、このチ
ャッキング手段３は、常時は図示のように、磁石１３と
磁石１４の磁性方向を逆に設定することにより、上グリ
ップ１１と下グリップ１２間は磁石１３と磁石１４間の
磁力により閉となり、このようなマグネット結合により
プリント配線基板Ｐの強力なグリップとして機能する。
これに対し、例えば磁石１４の磁性方向を逆に設定さ
せ、磁石１３の磁性方向と一致させることにより、磁石
１３と磁石１４間に反発力が生じ、上グリップ１１と下
グリップ１２間が開となる。勿論、磁石１４の磁性方向
を元に戻すことにより、磁石１３と磁石１４間の磁力に
よって、上グリップ１１と下グリップ１２間は、再び図
示のように閉となる。このような磁石１４の磁性方向の
設定変更は、通電の有無により行われる。

【００３４】そして、この図７の（１）図や図７の
（２）図に示した開閉可能なチャッキング手段３は、前
述したように、コンベヤ４に対し少なくとも乾燥炉２へ
の搬入段階では、水平の軸で回動可能に取付けられもっ
て、次の各姿勢に順次変化可能となっている。なおチャ
ッキング手段３は、勿論この図７の（１）図や図７の
（２）図に示したように、磁力にて開閉可能とした構造
のものに限定されず、その他公知の各種開閉構造の採用
が考えられ、例えば、上グリップ１１と下グリップ１２
間にスプリングを介裝しその付勢力にて開閉可能な構造
とし、もってプリント配線基板Ｐの端部を保持可能とし
てもよい。いずれにしてもチャッキング手段３は、次の
各姿勢に順次変化可能となっている。

【００３５】まず、図１，図２の実施例のチャッキング
手段３は、次の横姿勢Ｗと，縦の回動変位姿勢Ｘ
と，縦姿勢Ｚとに、姿勢を変化可能となっている。す
なわち、このチャッキング手段３は、ロールコーター
１の塗布ローラー６間から水平状態で搬出されるプリン
ト配線基板Ｐの先端部に、その出口付近で対向位置し、
開閉によりこれを保持可能な横姿勢Ｗと、ロールコー
ター１の塗布ローラー６間から完全に搬出されたプリン
ト配線基板Ｐの先端部つまり上端部を保持しつつ徐々に
下に変位し、これを下へ９０度回動させる縦の回動変位
姿勢Ｘと、そのままプリント配線基板Ｐの上端部を保
持し、これをコンベヤ４の搬送方向に対し直角かつ縦に
吊り下げた状態で、乾燥炉２内を搬送せしめる縦姿勢Ｚ
とに、姿勢を順次変化可能となっている。

【００３６】又、図３，図４の実施例のチャッキング手
段３は、次の横姿勢Ｗと，縦の回動変位姿勢Ｘと，
横の回動変位姿勢Ｙと，縦姿勢Ｚとに、変化可能と
なっている。すなわち、このチャッキング手段３は、
ロールコーター１の塗布ローラー６間から水平状態で搬
出されるプリント配線基板Ｐの先端部に対向位置し、開
閉によりこれを保持可能な横姿勢Ｗと、ロールコータ
ー１の塗布ローラー６間から完全に搬出されたプリント
配線基板Ｐの先端部つまり上端部を保持しつつ徐々に下
に変位し、これを下へ９０度回動させる縦の回動変位姿
勢Ｘと、プリント配線基板Ｐの上端部を保持し縦に吊
り下げた状態のまま徐々に左右に変位し、これをコンベ
ヤ４の搬送方向に対し、直角から平行状態へと垂直の軸
で９０度回動させる横の回動変位姿勢Ｙと、そのまま
プリント配線基板Ｐの上端部を保持し、これをコンベヤ
４の搬送方向に対し平行かつ縦に吊り下げた状態で、乾
燥炉２内を搬送せしめる縦姿勢Ｚとに、姿勢を順次変化
可能となっている。なお、上述したのチャッキング手
段３の横の回動変位姿勢Ｙは、コンベヤ４間上に配され
た回動機構（図示せず）にて、チャッキング手段３そし
てプリント配線基板Ｐを、垂直の軸で左右に揺動させる
ことにより実現される。レジスト乾燥装置Ａのチャッキ
ング手段３は、このようになっている。

【００３７】なお図５は、本発明の実施例には属さない
単なる参考例を示す。そして、この図５のレジスト乾燥
装置Ａは、前述した図１，図２や図３，図４のレジスト
乾燥装置Ａがロールコーター１と組み合わせて用いられ
ていたのに対し、印刷機１７と組み合わせて用いられて
いる。すなわち、ロールコーター１に代え印刷機１７に
て、プリント配線基板Ｐの外表面の一面に、液状の感光
性レジストＢが、印刷，塗布されている。もって、この
レジスト乾燥装置Ａのチャッキング手段３は、印刷機
１７から水平状態で搬出されるプリント配線基板Ｐの先
端部に、介装コンベヤ１８を介し対向位置する横姿勢Ｗ
と、印刷機１７から完全に搬出されたプリント配線基
板Ｐの先端部つまり上端部を保持しつつ回動させる縦の
回動変位姿勢Ｘと、必要に応じ前述した横の回動変位
姿勢Ｙと、前述した縦姿勢Ｚとに、姿勢を順次変化可
能となっている。

【００３８】なお、図６は前述した各実施例におけるコ
ンベヤ４の１例を示す。そして、この図６のレジスト乾
燥装置Ａのコンベヤ４は、ロールコーター１から乾燥炉
２内への搬入用で下位に位置する第１コンベヤ４Ｍと、
乾燥炉２内専用で上位に位置する第２コンベヤ４Ｎとを
備えてなる。そして、プリント配線基板Ｐを保持するチ
ャッキング手段３は、まず第１コンベヤ４Ｍに対して
は、図１，図２や図３，図４等において既に説明したよ
うに、例えば基端軸棒９や取付溝１０を介し水平の軸で
回動可能に取付けられている。次にチャッキング手段３
は、第２コンベヤ４Ｎに対しては、磁力にて取付けられ
るようになっており、例えば、チャッキング手段３の基
端軸棒９に磁性を帯びさせると共に、無端状の第２コン
ベヤ４Ｎ側に、長手方向に適宜間隔を置いて多数の磁性
を帯びたマグネット部材１９が、左右方向に横設されて
いる。そこで、このマグネット部材１９下に、第１コン
ベヤ４Ｍにて搬入され上位に押し上げられたチャッキン
グ手段３の基端軸棒９が、磁力により脱着つまりマグネ
ット結合可能とされ、もって、第２コンベヤ４Ｎ下にチ
ャッキング手段３そしてプリント配線基板Ｐが取付けら
れて、搬送，乾燥されるようになっている。なお乾燥
後、マグネット部材１９と基端軸棒９とのマグネット結
合は解除され、チャッキング手段３やプリント配線基板
Ｐは、下位に戻される。

【００３９】本発明は、以上説明したように構成されて
いる。そこで以下のようになる。このレジスト乾燥装置
Ａは、開閉可能な構造よりなると共にコンベヤ４に水平
の軸で回動可能に取付けられた、チャッキング手段３を
採用してなる。そして図１，図２や図３，図４の実施例
では、まず、ロールコーター１の回転する上下の塗布
ローラー６により、プリント配線基板Ｐの外表面に対
し、液状の感光性レジストＢが転写，塗布される。それ
から、このように感光性レジストＢが転写，塗布され
たプリント配線基板Ｐが、ロールコーター１の塗布ロー
ラー６間から、先端部側より順次押し出され、水平状態
で搬出される。そして、このように水平状態で搬出さ
れるプリント配線基板Ｐの先端部が、出口付近にて開の
横姿勢Ｗで対向位置していたチャッキング手段３内に挿
入され、次に、チャッキング手段３が横姿勢Ｗのまま
開から閉とされることにより、プリント配線基板Ｐの先
端部がチャッキング手段３にて保持される。

【００４０】それから、プリント配線基板Ｐは、ロー
ルコーター１間から更に搬出され続け、これに対応して
チャッキング手段３は、このように水平状態で搬出され
るプリント配線基板Ｐの先端部を保持したまま、コンベ
ヤ４にて反ロールコーター１方向に若干搬送される。も
って、プリント配線基板Ｐがロールコーター１間から
完全に搬出され離脱すると、チャッキング手段３は、コ
ンベヤ４上を水平の軸としてそれまでの横姿勢Ｗから縦
姿勢Ｚへ向け、縦の回動変位姿勢Ｘを取って下へ徐々に
変位して９０度回動する。そこで、先端部つまり上端
部をこのようなチャッキング手段３にて保持されたプリ
ント配線基板Ｐは、それまでの水平状態から後端部を自
由端としつつ下へ９０度回動され、コンベヤ４の搬送方
向に対し直角状態で、縦に吊り下げられた状態となる。

【００４１】図１，図２の実施例のレジスト乾燥装置Ａ
では、それから、チャッキング手段３は縦姿勢Ｚのま
ま、コンベヤ４にて乾燥炉２内を搬送され、もって、
プリント配線基板Ｐは、このようなチャッキング手段３
にて上端部を保持されつつ、コンベヤ４の搬送方向に対
し直角かつ縦に吊り下げられた状態で、熱風が吹き出さ
れて循環される乾燥炉２内を搬送される。そして、プリ
ント配線基板Ｐの外表面に転写，塗布されていた感光性
レジストＢが、熱風により乾燥，硬化されるに至る。

【００４２】他方、図３，図４の実施例のレジスト乾燥
装置Ａでは、前述したからのステップを辿った後、
図１，図２の実施例の場合の前述したに代え、とし
て、チャッキング手段３は、プリント配線基板Ｐの上端
部を保持し縦に吊り下げた状態のまま、垂直の軸で横の
回動変位姿勢Ｙを取って、左右方向に徐々に変位して９
０度回動する。もってプリント配線基板Ｐも、このよう
なチャッキング手段３にて上端部を保持されつつ、コン
ベヤ４の搬送方向に対し直角から平行状態へと、９０度
回動される。しかる後、チャッキング手段３は、そのま
まの縦姿勢Ｚを取って、コンベヤ４にて乾燥炉２内を搬
送される。もって、この図３，図４の実施例では図１，
図２の実施例の場合の前述したに代え、として、プ
リント配線基板Ｐは、このようなチャッキング手段３に
て上端部を保持されつつ、コンベヤ４の搬送方向に対し
平行かつ縦に吊り下げられた状態で、多数の照射ランプ
群５が並んで配設された乾燥炉２内を搬送される。そし
て、プリント配線基板Ｐの外表面に転写，塗布されてい
た感光性レジストＢが、照射ランプ群５の照射により乾
燥，硬化されるに至る。

【００４３】なお、このように感光性レジストＢが乾
燥，硬化されたプリント配線基板Ｐは、その後、露光装
置にて、感光性レジストＢにネガフィルムをあてて露光
され、現像装置にて、現像液が噴射され現像処理が行わ
れる。それから、感光性レジストＢがエッチングレジス
トとして用いられた場合にはエッチングが実施され、
又、感光性レジストＢがソルダーレジストとして用いら
れた場合には、部品装着部分への部品装着等がハンダに
て行われる。ところで、上述した図１，図２や図３，図
４の実施例では、プリント配線基板Ｐの外表面の両面
に、感光性レジストＢが転写，塗布されており、レジス
ト乾燥装置Ａを用い前述した，，，，，，
，，の各ステップを辿ることにより、この両面の
感光性レジストＢが乾燥，硬化される。又、このような
レジスト乾燥装置Ａにて用いられるチャッキング手段３
は、例えば図７に示したように磁力により開閉される構
造よりなり、もってプリント配線基板Ｐの端部を保持す
るようになっている。

【００４４】なお、図５の参考例では、前述した図１，
図２や図３，図４の実施例におけるロールコーター１に
代え印刷機１７にて、感光性レジストＢがプリント配線
基板Ｐの外表面に印刷，塗布される。そして、この図５
の参考例のレジスト乾燥装置Ａは、前述した図１，図２
や図３，図４の実施例のものに準じるが、チャッキング
手段３は、まず横姿勢Ｗにおいて、印刷機１７から搬出
されるプリント配線基板Ｐの端部に対向位置し、次に縦
の回動変位姿勢Ｘにおいて、印刷機１７から完全に搬出
されたプリント配線基板Ｐの端部を保持しつつ回動され
る。又、図６は、前述した図１，図２や図３，図４等の
レジスト乾燥装置Ａにおける、コンベヤ４の１例を示
し、この図６のコンベヤ４は、第１コンベヤ４Ｍと第２
コンベヤ４Ｎとからなっている。そして、プリント配線
基板Ｐを保持するチャッキング手段３は、第１コンベヤ
４Ｍに水平の軸で取付けられて、乾燥炉２内に搬入され
た後、上位の第２コンベヤ４Ｎに磁力にて取付けられ
て、乾燥炉２内を搬送される。

【００４５】さてそこで、これらのレジスト乾燥装置
Ａ、つまり図１，図２や図３，図４等に示した各実施例
のレジスト乾燥装置Ａは、いずれも次の第１，第２，第
３のようになる。

【００４６】まず第１に、ロールコーター１間から水平
状態で搬出されるプリント配線基板Ｐは、昨今極薄化が
進み極めてフレキシブルであり、更に、ロールコーター
１間から搬出されるプリント配線基板Ｐは、ロールコー
ター１の塗布ローラー６間における圧接により、特に上
方や下方への方向性が付与されやすい。そこで、このレ
ジスト乾燥装置Ａでは、プリント配線基板Ｐの先端部
を、ロールコーター１からの搬出後直ちに、横姿勢Ｗの
チャッキング手段３にて保持するようになっている。そ
して更に、その後チャッキング手段３が、縦や横の回動
変位姿勢Ｘ，Ｙを経て縦姿勢Ｚを取ることにより、この
ようなチャッキング手段３にて上端部を保持されたプリ
ント配線基板Ｐは、水平状態から縦に吊り下げられた状
態となって、搬送，乾燥される。このようにプリント配
線基板Ｐは、自重にて直ちに縦に吊り下げられた状態で
搬送されるので、そのわん曲，カール，腰折れ状態の発
生は、確実に防止される。

【００４７】第２に、同様にプリント配線基板Ｐは、ロ
ールコーター１から完全に搬出された後、直ちに、水平
状態から縦に吊り下げられた状態となって、搬送，乾燥
される。従って、チャッキング手段３にて保持される端
部のつかみ代部分を除き、プリント配線基板Ｐの回路部
分が、コンベヤ４等の他の部材に接触して、傷等を生じ
ることは確実に防止される。更に、前述した第１のよう
に、そのわん曲，カール，腰折れ状態の発生が回避され
るので、プリント配線基板Ｐ自体間、つまりその回路部
分相互間が接触して、傷等を生じることも確実に防止さ
れる。

【００４８】第３に、しかもこれらは、開閉可能な構造
のチャッキング手段３を、水平の軸で回動可能にコンベ
ヤ４に取付け、横姿勢Ｗや，縦や横の回動変位姿勢Ｘ，
Ｙや，縦姿勢Ｚ等に、姿勢を可変としたことにより実現
される。つまり、上述した第１，第２の点は、簡単な構
成により、マニュアル的でなく工程も中断されず自動的
に、ロールコーター１等に連続して用いられることによ
り、容易に実現される。

【００４９】

【発明の効果】本発明に係るレジスト乾燥装置は、以上
説明したように、開閉可能な構造よりなると共にコンベ
ヤに水平の軸で回動可能に取付けられたチャッキング手
段を採用し、所定の横姿勢，回動変位姿勢，縦姿勢等に
姿勢を順次変化可能としたことにより、次の効果を発揮
する。

【００５０】第１に、プリント配線基板のわん曲，カー
ル，腰折れ状態は防止される。すなわち、極薄のプリン
ト配線基板であっても、わん曲，カール，腰折れ状態が
発生することなく搬送されるので、塗布された感光性レ
ジストが確実かつ十分に乾燥され、もって、事後の露
光，現像工程等に悪影響を及ぼすことがなく、製造され
たプリント配線基板の品質が向上する。このように、こ
のレジスト乾燥装置は、ロールコーターによる感光性レ
ジストの転写，塗布に確実に対応できると共に、昨今の
プリント配線基板の極薄化にも十分に対応可能である。

【００５１】第２に、プリント配線基板の接触による傷
等も防止される。すなわち、プリント配線基板は他と接
触したり自体間で接触することがなく、傷等の発生が防
止されるので、回路のショート，断線，その他の不良の
原因が解消される等、このレジスト乾燥装置は、昨今の
プリント配線基板の高密度化にも十分に対応可能であ
る。

【００５２】第３に、しかもこれらは簡単な構成によ
り、容易かつ自動的・連続的に実現される。すなわち、
このレジスト乾燥装置によると、上述した第１，第２の
点が、簡単な構成により、マニュアル的でなく工程も中
断されず自動的に、しかもロールコーターに連続して用
いられて実現され、経済性にも優れ、昨今のプリント配
線基板のコスト面での要請にも十分に対応可能である。
このように、この種従来例に存した問題点が一掃される
等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものが
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレジスト乾燥装置の実施例を示
す、正面説明図である。

【図２】同図１の実施例の要部の平面説明図である。

【図３】本発明に係るレジスト乾燥装置の他の実施例を
示す、正面説明図である。

【図４】同図３の実施例の平面説明図である。

【図５】本発明の実施例には属さない単なる参考例を示
す、要部の正面説明図である。

【図６】前述した各実施例におけるコンベヤの１例を示
す、正面説明図である。

【図７】前述した各実施例におけるチャッキング手段の
正面説明図であり、（１）図はその１例を、（２）図は
他の例を示す。

【符号の説明】

１ ロールコーター ２ 乾燥炉 ３ チャッキング手段 ４ コンベヤ ４Ｍ 第１コンベヤ ４Ｎ 第２コンベヤ ５ 照射ランプ群 ６ 塗布ローラー ７ トレー ８ 介装ローラー ９ 基端軸棒 １０ 取付溝 １１ 上グリップ １２ 下グリップ １３ 磁石 １４ 磁石 １５ スプリング １６ ガイドシャフト １７ 印刷機 １８ 介装コンベヤ １９ マグネット部材 Ａ レジスト乾燥装置 Ｂ 感光性レジスト Ｐ プリント配線基板 Ｗ 横姿勢 Ｘ 縦の回動変位姿勢 Ｙ 横の回動変位姿勢 Ｚ 縦姿勢

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｅ 3/28 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６６

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント配線基板の製造工程で用いら
   れ、ロールコーターにて該プリント配線基板の外表面に
   転写，塗布された液状の感光性レジストを、乾燥，硬化
   させるレジスト乾燥装置であって、 熱風が吹き出されて循環される乾燥炉と、該乾燥炉内等
   で該プリント配線基板をチャッキング手段にて保持しつ
   つ順次搬送するコンベヤと、該コンベヤに少なくとも該
   乾燥炉への搬入段階では水平の軸で回動可能に取付けら
   れ、開閉可能な構造の該チャッキング手段と、を有して
   なり、 該チャッキング手段は、前記ロールコーター間から水平
   状態で搬出される該プリント配線基板の端部に対向位置
   し、開閉によりこれを保持可能な横姿勢と、前記ロール
   コーター間から完全に搬出された該プリント配線基板の
   端部を保持しつつ徐々に下に変位し、これを下へ９０度
   回動させる縦の回動変位姿勢と、そのまま該プリント配
   線基板の上端部を保持し、これを該コンベヤの搬送方向
   に対し直角かつ縦に吊り下げた状態で該乾燥炉内を搬送
   せしめる縦姿勢とに、姿勢を順次変化可能となっている
   こと、を特徴とするレジスト乾燥装置。
2. 【請求項２】 プリント配線基板の製造工程で用いら
   れ、ロールコーターにて該プリント配線基板の外表面に
   転写，塗布された液状の感光性レジストを、乾燥，硬化
   させるレジスト乾燥装置であって、 内部に多数の照射ランプ群が並んで配設された乾燥炉
   と、該乾燥炉内等で該プリント配線基板をチャッキング
   手段にて保持しつつ該照射ランプ群に沿って順次搬送す
   るコンベヤと、該コンベヤに少なくとも該乾燥炉への搬
   入段階では水平の軸で回動可能に取付けられ、開閉可能
   な構造の該チャッキング手段と、を有してなり、 該チャッキング手段は、前記ロールコーター間から水平
   状態で搬出される該プリント配線基板の端部に対向位置
   し、開閉によりこれを保持可能な横姿勢と、前記ロール
   コーター間から完全に搬出された該プリント配線基板の
   端部を保持しつつ徐々に下に変位し、これを下へ９０度
   回動させる縦の回動変位姿勢と、該プリント配線基板の
   上端部を保持し縦に吊り下げた状態のまま徐々に左右に
   変位し、これを該コンベヤの搬送方向に対し直角から平
   行状態へと垂直の軸で９０度回動させる横の回動変位姿
   勢と、そのまま該プリント配線基板の上端部を保持し、
   これを該コンベヤの搬送方向に対し平行かつ縦に吊り下
   げた状態で該乾燥炉内を搬送せしめる縦姿勢とに、姿勢
   を順次変化可能となっていること、を特徴とするレジス
   ト乾燥装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のレジスト乾
   燥装置であって、該プリント配線基板は外表面の両面
   に、前記ロールコーターにて前記感光性レジストが転
   写，塗布されていること、を特徴とするレジスト乾燥装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２記載のレジスト乾
   燥装置であって、該チャッキング手段は磁力により開閉
   可能な構造よりなり、もって該プリント配線基板の端部
   を保持可能となっていること、を特徴とするレジスト乾
   燥装置。
5. 【請求項５】 請求項１又は請求項２記載のレジスト乾
   燥装置であって、該コンベヤは、該乾燥炉内への搬入用
   で下位に位置する第１コンベヤと、該乾燥炉内専用で上
   位に位置する第２コンベヤとを備え、 該プリント配線基板を保持する該チャッキング手段は、
   該第１コンベヤに対し水平の軸で回動可能に取付けられ
   ると共に、該第２コンベヤに対し磁力にて取付けられる
   こと、を特徴とするレジスト乾燥装置。