KR20160148446A

KR20160148446A - 필름 반송 장치 및 필름 반송 방법 및 수지 몰드 장치

Info

Publication number: KR20160148446A
Application number: KR1020160057172A
Authority: KR
Inventors: 마사히코 후지사와; 마사키 가와구치
Original assignee: 아피쿠 야마다 가부시키가이샤
Priority date: 2015-06-16
Filing date: 2016-05-10
Publication date: 2016-12-26
Also published as: CN106256528B; KR102384135B1; JP6456254B2; CN106256528A; JP2017007095A; TW201700381A; TWI657030B

Abstract

(과제) 적당한 장력을 부여하여 매엽 필름을 반송하고 주름을 발생시키는 일 없이 캐비티 오목부에 추종시켜 전달할 수 있는 필름 반송 장치를 제공한다.
(해결 수단) 필름 척(13c)에 의해 매엽 필름(F)의 외주연부를 파지한 채로 지지점 프레임체(13b)에 대하여 오프셋시켜 매엽 필름(F)에 소정의 텐션을 가한 상태에서 지지점 프레임체(13)와 함께 매엽 필름(F)이 몰드 금형으로 반송된다.

Description

필름 반송 장치 및 필름 반송 방법 및 수지 몰드 장치{FILM TRANSPORTING DEVICE, FILM TRANSPORTING METHOD AND RESIN MOLDING DEVICE}

본 발명은, 매엽 필름을 몰드 수지와 함께 몰드 금형으로 반송하는 필름 반송 장치 및 필름 반송 방법 및 수지 몰드 장치에 관한 것이다.

또한, 매엽 필름이란, 미리 소정의 사이즈로 형성된 개별의 필름 외에 기다란 형상 또는 대형 사이즈의 필름으로부터 소정 사이즈로 재단되어 형성되는 필름을 포함하는 것으로 한다.

현재의 반도체 제조 공장에 있어서 이용되는 수지 몰드 장치로서는, 워크로서 WLP(Wafer Level Package)나 PLP(Panel Level Package)의 성형에 있어서, 예를 들면 φ 8인치 또는 φ 12인치 사이즈의 반도체 웨이퍼를 이용하여 수지 몰드하거나, □ 300㎜∼□ 600㎜ 사이즈(각 변이 300㎜∼600㎜ 사이즈)의 직사각형 패널(기판, 캐리어 등)을 이용하여 수지 몰드하거나 하는 일이 행해지고 있다.

이때, 상형(上型)에 캐비티 오목부를 설치한 몰드 금형의 경우, 점도가 높은 수지를 워크 상의 중심 위치로 일괄하여 공급하고 성형하는 것이 일반적으로 행해지고 있다. 이 경우, 워크 상에 공급된 수지를 캐비티 내에 충전하기 위해서는 몰드 수지를 크게 유동시킬 필요가 있기 때문에, 몰드 수지의 미(未)충전 에어리어가 발생해 버리는 일도 있다. 이에 대하여, 하형(下型)에 캐비티 오목부를 설치하고, 당해 하형 캐비티 오목부를 포함하는 하형 클램프면을 필름으로 덮어 균등한 두께로 몰드 수지를 공급하고, 상형으로 유지한 워크를 용융한 몰드 수지에 침지시켜 수지 몰드하는 일도 행해지고 있다.

이와 같이 필름을 이용하여 수지 몰드할 때에, 캐비티 오목부에 대한 추종성을 향상시켜 주름의 발생을 막아 성형품의 품질을 향상시키기 위해, 본건 출원인은, 필름 로더에 있어서 그 외주연부를 흡착 유지한 필름을 인도함으로써 하형 캐비티 오목부에 대하여 필름을 흡착 유지시키는 수지 몰드 장치 및 방법을 제안했다(특허문헌 1 참조).

일본국 공개특허 특개2014-231185호

이와 같이, 금형 메인터넌스를 경감하거나 수지 누출을 막거나 하기 위해 필름을 이용하여 수지 몰드가 행해지고 있지만, 한 쌍의 롤 사이에 감긴 필름을 몰드 금형으로 연속하여 공급하고 수지 몰드를 행하는 경우, 금형 클램프면으로부터 필름 반송 방향 상류측 및 하류측의 필름이 몰드 금형으로부터 복사열을 받아 변형되기 때문에, 1회의 수지 몰드 동작에 있어서 필름 사용량이 증가하고, 러닝 코스트가 커진다는 과제가 있다. 이 때문에, 필름 사용량을 줄이기 위해, 기다란 형상으로 연속되는 필름 대신에 매엽(枚葉) 필름(미리 소정 사이즈 및 소정 형상으로 형성된 필름)을 이용하는 것이 생각된다.

그러나, 특히, 대형 사이즈로 직사각형 형상의 워크, 예를 들면 각 변이 600㎜의 직사각형 워크를 몰드하기 위해, 그것보다도 큰 사이즈의 필름을 적절하게 취급하고, 하형 캐비티 오목부에 대하여 주름이 발생하는 일 없이 추종시켜 흡착시키려면, 필름 전체에 대하여 적당한 장력을 부여할 필요가 있다. 또한, 매엽 필름 상에 몰드 수지를 올린 상태에서 하형으로 반입하는 경우, 매엽 필름이 휘어지면 대량의 몰드 수지가 필름 상에서 치우친 상태인 채로 반입될 우려가 있다.

나아가서는, 실질적으로 워크의 외형 사이즈보다 큰 필름을 이용하는 것이 되기 때문에, 필름 반송 기구도 대형화되고, 장치의 설치 면적도 대형화되어 클린룸에 있어서의 풋 프린트가 증가하거나, 장치 비용이 증가하거나 하는 경향이 있다.

본 발명의 목적은 상기 종래 기술의 과제를 해결하고, 적당한 장력을 부여하여 매엽 필름을 반송하고 주름을 발생시키는 일 없이 캐비티 오목부에 추종시켜 전달할 수 있는 필름 반송 장치를 제공하는 것에 있다.

또한, 상기 필름 반송 장치를 구비하여 필름 사용량을 줄여 러닝 코스트의 저감을 도모하고, 대형 사이즈의 성형품의 성형 품질을 향상시키고 또한 설치 면적을 억제하는 것이 가능한 수지 몰드 장치를 제공하는 것에 있다.

나아가서는, 매엽 필름 상에 몰드 수지를 올려도 수지의 치우침이 발생하지 않게 반송할 수 있는 필름 반송 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 다음 구성을 구비한다.

몰드 성형에 이용하는 매엽 필름에 장력을 부여한 채로 몰드 금형으로 반송하는 필름 반송 장치로서, 캐비티 오목부를 둘러싸는 금형 클램프면에 대응한 소정형상의 프레임체에, 상기 프레임체 개구부를 덮어 유지되는 상기 매엽 필름에 장력을 부여하는 지지점부가 되는 지지점 프레임체와, 상기 지지점 프레임체의 외측에 있어서 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지하는 필름 파지부와, 상기 필름 파지부를 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향으로 오프셋시키는 오프셋 기구를 구비하고, 상기 필름 파지부에 의해 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 상기 지지점부에 대하여 오프셋시켜 상기 매엽 필름에 요구되는 장력을 부여한 상태에서 상기 지지점 프레임체와 함께 상기 매엽 필름이 상기 몰드 금형으로 반송되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의하면, 필름 파지부에 의해 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 지지점부에 대하여 오프셋시켜 매엽 필름의 전체 둘레에 걸쳐서 요구되는 장력을 부여한 상태에서 지지점 프레임체와 함께 매엽 필름이 몰드 금형으로 반송되기 때문에, 매엽 필름에 주름이 발생하는 일 없이 몰드 금형으로 반송하여 전달할 수 있다. 따라서, 이에 따라 매엽 필름을 몰드 금형의 캐비티 오목부가 형성된 금형 클램프면에 추종시켜 흡착 유지시킬 수 있다.

요구되는 장력을 부여한 매엽 필름 상에, 몰드 성형용의 몰드 수지가 탑재되어 지지점 프레임체와 함께 반송되도록 해도 된다.

이에 따라, 매엽 필름 상에 몰드 수지를 올려 반입해도 매엽 필름이 휘어지는 일이 없이, 수지 누출이나 수지의 치우침이 발생하지 않고, 몰드 수지에 에어가 말려 들어오는 일도 발생하지 않는다.

필름 파지부는, 직사각형 형상의 매엽 필름의 각 변을 각각 파지하는 것이 바람직하다.

이에 따라, 직사각형 형상의 매엽 필름의 대향하는 변에 설치된 필름 파지부에 의해 각각 양측을 향하여 장력을 부여할 수 있고, 주름의 발생을 효과적으로 막을 수 있다.

필름 파지부는, 매엽 필름의 각 변에 있어서 복수의 파지부로 분할되어 설치되어 있어도 된다.

이에 따라, 분할된 필름 파지부의 지지점부로부터의 오프셋량을 바꿈으로써, 매엽 필름에 발생한 주름의 방향이나 주름의 크기에 따라서 매엽 필름을 트위스트하도록 장력을 가함으로써 필름 고유의 주름의 발생을 해소할 수 있다.

필름 파지부는, 매엽 필름의 변마다 오프셋량을 조정 가능하게 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이에 따라, 매엽 필름의 변마다 필름 파지부의 오프셋량을 조절함으로써 빈틈없이 주름의 발생을 억제할 수 있다.

상기 오프셋 기구는, 상기 필름 파지부를 상기 프레임체에 설치된 회전축을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 필름 파지부를 상기 지지점부로부터 이간시키도록 해도 된다.

이에 따라, 필름 파지부를 회전축을 중심으로 회전시켜 필름 파지부를 지지점부로부터 이간시킴으로써, 매엽 필름의 지지점부 주위의 감김량이 변화하여 장력을 조정할 수 있다. 특히, 필름 파지부의 회전축을 중심으로 한 회전에 의해 장력을 조정할 수 있기 때문에, 필름 반송 장치를 소형화할 수 있다.

상기 필름 파지부를 유지하는 회전 부재를, 상기 회전축을 중심으로 하여 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향만 회전을 허용하는 래칫 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 필름 파지부를 회전시킨 위치에서 고정함으로써, 매엽 필름에 가한 장력을 유지한 상태에서 반송할 수 있다.

수지 몰드 장치에 있어서는, 전술한 어느 필름 반송 장치와, 필름 반송 장치를 몰드 금형으로 반송하는 필름 로더를 구비한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 매엽 필름을 반송하는 필름 반송 장치를 이용함으로써 필름 사용량을 줄여 러닝 코스트 저감을 도모하고, 대형 사이즈의 성형품의 성형 품질의 향상을 도모하고 또한 설치 면적을 억제하는 것이 가능한 수지 몰드 장치를 제공할 수 있다.

매엽 필름이 지지점 프레임체와 함께 몰드 금형으로 반입될 때에, 필름 파지부의 오프셋량을 증가시켜 오프셋 기구에 의한 매엽 필름으로의 장력을 더욱 강화시키는 장력 부가 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이에 따라, 매엽 필름을 몰드 금형으로 반입할 때에 복사열에 의해 매엽 필름이 늘어나 버릴 우려가 있지만, 장력 부가 기구에 의해 재차 매엽 필름의 장력을 강화시킴으로써 몰드 금형으로 세트할 때에 매엽 필름에 주름의 발생을 막을 수 있다.

또한, 몰드 성형에 이용하는 매엽 필름에 장력을 부여한 채로 몰드 금형으로 반송하는 필름 반송 방법에 있어서는, 캐비티 오목부를 둘러싸는 금형 클램프면에 대응한 소정 형상의 프레임체에, 상기 프레임체 개구부를 덮어 유지되는 상기 매엽 필름에 지지점부가 되는 지지점 프레임체의 외측에 있어서 상기 매엽 필름의 외주연부를 필름 파지부로 파지하고, 상기 필름 파지부에 의해 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향으로 오프셋시켜 상기 매엽 필름에 요구되는 장력을 부여한 상태에서 상기 지지점 프레임체와 함께 상기 매엽 필름을 상기 몰드 금형으로 반송하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 필름 파지부에 의해 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 지지점부에 대하여 오프셋시켜 매엽 필름의 전체 둘레에 걸쳐서 요구되는 장력을 부여한 상태에서 매엽 필름이 몰드 금형으로 반송되기 때문에, 매엽 필름에 주름이 발생하는 일 없이 몰드 금형으로 반송되어 전달할 수 있다. 따라서, 매엽 필름 상에 몰드 수지를 올려도 수지의 치우침이 발생하지 않게 반송할 수 있고, 매엽 필름을 몰드 금형의 캐비티 오목부가 형성된 금형 클램프면에 추종시켜 흡착 유지시킬 수 있다.

전술한 필름 반송 장치를 이용하면, 매엽 필름에 주름이 발생하는 일 없이 반송되어 캐비티 오목부가 형성된 금형 클램프면에 추종시켜 전달하고, 매엽 필름 상에 몰드 수지를 올려도 수지의 치우침이 발생하지 않게 반송할 수 있다.

또한, 상기 필름 반송 장치를 구비한 수지 몰드 장치에 있어서는, 필름 사용량을 줄여 러닝 코스트 저감을 도모하고, 대형 사이즈의 성형품의 성형 품질을 향상시키고 또한 설치 면적을 억제할 수 있다.

도 1은, 수지 몰드 장치의 개략 구성을 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 2는, 매엽 필름의 반송 준비와 몰드 수지 공급 공정을 나타내는 설명도이다.
도 3은, 필름 반송 장치의 평면도이다.
도 4는, 몰드 금형의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 5는, 도 4의 하형에 대한 매엽 필름 및 몰드 수지의 공급 공정을 나타내는 설명도이다.
도 6은, 도 5에 이어지는 매엽 필름 및 몰드 수지의 공급 공정을 나타내는 설명도이다.
도 7은, 도 6에 이어지는 수지 몰드 공정의 설명도이다.
도 8은, 다른 예에 따른 필름 반송 장치의 매엽 필름과 몰드 수지 공급 공정을 나타내는 설명도이다.
도 9는, 도 8의 필름 반송 장치의 평면도이다.
도 10은, 다른 예에 따른 필름 반송 장치의 부분 단면도이다.

이하, 본 발명에 따른 필름 반송 장치 및 이것을 구비한 수지 몰드 장치의 적절한 실시 형태에 대해서 첨부 도면과 함께 상술한다. 이하에서는, 워크로서 예를 들면 각 변이 600㎜ 정도의 직사각형 형상 워크를 이용하는 것으로 하고, 필름으로서는 그것 이상의 크기의 매엽 필름을 이용하여 수지 몰드하는 수지 몰드 장치를 이용하여 설명한다. 물론, 워크로서, 전술한 바와 같은 대형인 것뿐만아니라, 300㎜×100㎜ 정도의 비교적 작은 직사각형 형상의 워크라도 된다. 또한, 수지 몰드 장치는 일 예로서 하형을 가동형, 상형을 고정형으로 하여 설명하는 것으로 한다. 또한, 수지 몰드 장치는, 형개폐 기구를 구비하고 있지만 도시를 생략하는 것으로 하고 몰드 금형의 구성을 중심으로 설명한다.

우선, 수지 몰드 장치의 개략 구성에 대해서 도 1을 참조하여 설명한다. 이 수지 몰드 장치에서는, 제어부(도시하지 않음)가 후술하는 각 부를 제어하여 각 종의 동작을 행한다. 본 실시예에 있어서의 몰드 장치는, 워크 처리 유닛(Uw), 2대의 프레스 유닛(Up), 디스펜스 유닛(Ud)(공급 유닛)이 연결되어 있으며, 장치 내에 있어서의 워크(W)에 대한 수지 몰드를 자동적으로 행하는 구성이다.

워크 처리 유닛(Uw)은, 예를 들면, 워크 공급부(1), 성형품 수납부(2), 큐어로(3) 및 로봇 반송 장치(4)를 구비하고 있다. 워크 공급부(1)에는, 예를 들면 워크(W)로서 각 변이 600㎜ 정도의 크기의 직사각형 패널(기판, 캐리어 등)이 수납되어 있다. 성형품 수납부(2)에는, 후술하는 프레스부(5)에 있어서 수지 몰드된 성형품(M)이 수납된다. 큐어로(3)는, 후술하는 프레스부(5)에서 수지 몰드된 성형품(M)을 로 내에 설치한 다단의 선반에 각각 별도로 수납하여 애프터 큐어함으로써 수지 패키지부를 가열 경화시킨다. 로봇 반송 장치(4)는, 이것을 둘러싸서 배치된 각 부의 사이에 있어서 워크(W) 및 성형품(M)의 전달이나 반송을 행한다. 이 로봇 반송 장치(4)는, 예를 들면, 워크 공급부(1)로부터 워크(W)를 취출하여 공급하고, 성형품(M)을 큐어로(3)로 반송하고, 큐어로(3)로부터 성형품 수납부(2)로 순차 반송하여 수납한다. 로봇 반송 장치(4)는, 예를 들면 수직 다관절형, 수평 다관절형, 또는 이들을 복합한 다관절형의 로봇이 이용되고, 로봇 핸드(4a)에 워크(W)나 성형품(M)을 흡착이나 파지에 의해 유지하여 반송한다. 또한, 워크 처리 유닛(Uw)에 있어서, 성형품(M)을 냉각하는 냉각부나, 성형품의 외관 검사 등을 행하는 검사부나, 개개의 워크(W)에 연결된 성형 조건을 판독하는 데이터 판독부나, 워크(W) 또는 성형품(M)의 표리를 반전하는 반전부(30)를 로봇 반송 장치(4)의 주위에 배치해도 된다. 예를 들면, 반전부(30)는, 워크 공급부(1)에 있어서 워크(W)에 있어서 수지 몰드 성형하는 면(성형면)이 위쪽을 향하게 공급되었을 때에, 성형면을 하면으로 향하게 한다. 또한, 반전부(30)는, 수지 몰드 성형이 완료된 성형품(M)을 성형품 수납부(2)에 수납할 때까지 성형면이 위쪽을 향하도록 반전한다.

프레스 유닛(Up)에 있어서의 프레스부(5)는, 네 모퉁이에 설치한 포스트(5a)에 대하여 플래튼을 승강시키는 공지의 형개폐 기구에 개폐하는 압축 성형용의 몰드 금형(6)(상형(6A) 및 하형(6B))을 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 프레스 유닛(Up)은 2군데에 설치되어 있지만, 1군데라도 되고, 3군데 이상 형성해도 된다.

필름 핸드(13)(필름 반송 장치)는, 디스펜스 유닛(Ud)에 있어서 필름 공급부(8)로부터 공급된 매엽 필름(F)에, 디스펜서(9)로부터 몰드 수지(예를 들면 과립 수지나 분말 수지)가 공급된 상태에서 프레스부(5)의 몰드 금형(6) 내로 반송된다. 필름 공급부(8)에는, 기다란 형상의 필름이 롤 형상으로 감긴 필름 롤(8a)이 설치되어 있다. 이 필름 롤(8a)로부터 필름 끝이 인출된 상태에서, 임의의 사이즈의 직사각형 형상으로 절단(재단)하여 매엽 필름(F)으로서 스테이지(17) 상에 준비한다.

매엽 필름(F)을 후술하는 필름 핸드(13)에 요구되는 장력(텐션)을 부여하여 지지한 상태에서, 디스펜서(9)는 매엽 필름(F) 상에 1회의 수지 몰드에 필요한 몰드 수지(R)(과립 수지)를 공급한다. 또한, 과립 수지 대신에 분말 수지, 액상 수지또는 시트 수지, 또는 이들을 조합하여 이용해도 된다.

매엽 필름(F)은, 내열성을 갖는 것으로, 금형면으로부터 용이하게 박리하는 것으로, 유연성, 신전성(伸展性)을 갖는 것, 예를 들면, PTFE, ETFE, PET, FEP 필름, 불소 함침 유리 크로스, 폴리프로필렌 필름, 폴리염화 비닐리딘 등을 주성분으로 한 단층막 또는 복층막이 적합하게 이용된다.

패널 로더(10)는, 로봇 반송 장치(4)의 로봇 핸드(4a)로부터 워크(W)를 수취하여 프레스부(5)의 몰드 금형(6)(상형(6A))으로 반입한다. 또한, 패널 로더(10)는, 몰드 금형(6a)으로부터 성형품(M)을 수취하여 로봇 반송 장치(4)의 로봇 핸드(4a)로 전달한다. 패널 로더(10)는, 성형품(M)을 몰드 금형(6)으로부터 취출할 때에, 사용이 끝난 매엽 필름(F)도 흡착 유지하여 취출하고, 취출된 매엽 필름(F)은 필름 회수부(12)로 회수된다.

필름 로더(11)는, 필름 핸드(13)에 요구되는 장력이 부여되고 유지된 매엽 필름(F) 및 당해 필름(F) 상에 공급된 몰드 수지(R)(과립 수지)를 수취하여 몰드 금형(6)(하형(6B))으로 반송한다. 패널 로더(10) 및 필름 로더(11)는, 장치의 길이 방향을 따라 부설된 복수의 가이드 레일(14)을 따라 왕복 이동하도록 설치되어 있다. 또한, 가이드 레일(14) 상의 위치로부터 직교하도록 각 부(예를 들면 프레스부(5))로 도시하지 않는 로더 핸드가 이동하도록 되어 있다.

여기에서, 필름 핸드(13)의 구성에 대해서 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.

도 2(B)에 나타내는 바와 같이, 필름 핸드(13)는, 후술하는 하형 캐비티 오목부(6C)를 둘러싸는 하형 클램프면에 대응한 소정 형상의 프레임체(예를 들면 직사각형 프레임체(13a))를 구비하고 있다.

또한, 필름 핸드(13)에 있어서 지지점부가 되어 매엽 필름(F)에 장력을 부여하는 지지점 프레임체(13b)가 직사각형 프레임체(13a)를 따라 직사각형 형상으로 설치되어 있다(도 3 참조). 지지점부로서는, 지지점 프레임체(13b)를 설치하는 대신에, 직사각형 프레임체(13a)의 외측 모서리부를 이용해도 된다.

또한, 필름 핸드(13)의 외측에 있어서 매엽 필름(F)의 외주연부를 전체 둘레에 걸쳐서 파지하는 복수의 필름 척(13c)(필름 파지부)이 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 2(B)에 나타내는 바와 같이, 직사각형 형상의 매엽 필름(F)을 파지하여 반송하기 위해, 대향하는 변에 있어서 한 쌍의 필름 척(13c)(필름 파지부)이 설치된다. 한 쌍의 필름 척(13c)은, 개폐식의 척이 이용되고, 직사각형 형상의 매엽 필름(F)의 외주연부를 각 변에 있어서 끼워 넣어 유지한다. 한 쌍의 필름 척(13c)의 길이 방향 양단은 한 쌍의 회전 레버(13d)(회전 부재)에 의해 각각 지지되어 있다. 한 쌍의 회전 레버(13d)는, 직사각형 프레임체(13a)에 있어서 필름 척(13c)보다도 내측에 형성된 회전축(13e)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 때문에, 한 쌍의 필름 척(13c)은, 회전 레버(13d)에 있어서 회전축(13e)과는 반대측에 설치되는 것이 된다. 회전 레버(13d)는, 지지점 프레임체(13b)에 대하여 오프셋시키는 방향으로만 회전시키는 오프셋 기구가 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 필름 척(13c)의 회전축(13e)에는 래칫 톱니와 래칫 클로우가 맞물리는 래칫 기구(13f)가 설치되어 있다. 래칫 기구(13f)는, 필름 척(13c)이 회전축(13e)을 중심으로 소정의 각도만큼 지지점 프레임체(13b)로부터 이간하는 방향(도 2(C)의 화살표 방향)만으로 회전하는 것을 허용한다. 이에 따라, 필름 척(13c)을 한 방향으로 회전시킨 소정 회전 위치에서 고정함으로써, 매엽 필름(F)에 가한 장력을 유지한 상태에서 반송할 수 있다. 또한, 래칫 기구(13f) 대신에, 서브 모터나 토크 모터와 같은 구동 기구에 의해 매엽 필름(F)에 임의의 장력을 가하고, 그 가한 장력을 유지하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우에는, 래칫 기구(13f)를 설치하는 구성보다도 필름 핸드(13)가 대형화되기 쉬운 반면, 매엽 필름(F)에 가하는 장력을 수시 조정할 수 있는 점에서 바람직하다.

도 2(C)에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 필름 척(13c)에 의해 매엽 필름(F)의 외주연부(4변)를 파지한 채로, 도시하지 않는 승강 구동 기구(실린더 구동, 솔레노이드 구동, 모터 구동 등)에 의해 승강하는 밀어 올림 핀(15)에 의해 회전 레버(13d)를 밀어 올린다. 이때 회전 레버(13d)는 회전축(13e)을 중심으로 회전하여 필름 척(13c)을 지지점 프레임체(13b)에 대하여 이간하는 방향(화살표 방향)으로 오프셋시킨다. 이에 따라, 필름 핸드(13)의 프레임체 개구부를 덮는 매엽 필름(F)의 단부끼리가 지지점 프레임체(13b)를 통하여 떨어뜨려지는 양을 늘려 요구되는 장력을 가한 상태에서 일체로 유지된다. 또한, 회전 레버(13d)도 원래의 위치로 되돌리는 경우에는, 재차 밀어 올림 핀(15)에 의해 회전 레버(13d)를 소정의 각도까지 밀어 올리면 래칫 기구(13f)(도 3 참조)의 맞물림이 해제되어 회전 레버(13d)를 원래의 위치로 되돌릴 수 있다.

동(同) 도면에 나타내는 바와 같이, 필름 척(13c)을 회전축(13e)을 중심으로 회전시켜 필름 척(13c)을 지지점 프레임체(13b)로부터 이간시킴으로써, 매엽 필름(F)의 단부끼리가 지지점 프레임체(13b)를 통하여 떨어뜨려지는 양이 증가하여 장력을 강화시킬 수 있다. 특히, 4변에 배치한 필름 척(13c)의 회전축(13e)을 중심으로 한 각각의 회전에 의해 매엽 필름(F)의 장력이 필름의 변마다 조정할 수 있기 때문에, 매엽 필름(F)에 대하여 적절한 장력을 가하는 것이 가능한 필름 핸드(13)를 소형 또한 간이한 구성으로 할 수 있다.

이 요구되는 장력을 부여한 매엽 필름(F) 상에, 디스펜서(9)(도 1 참조)로부터 1회분의 수지 몰드에 필요한 몰드 수지(R)(과립 수지)가 예를 들면 트로프(16)(도 2(D) 참조)를 통과하여 공급되고, 매엽 필름(F) 상에 치우치는 일 없이 일률적으로 공급된다(도 2(E) 참조). 또한, 직사각형 프레임체(13a)의 상부 개구에는, 평면에서 보아 직사각형의 개구 단부만큼 구경이 넓어지는 경사부(13g)가 형성되어 있다. 이 경사부(13g)의 내측에 몰드 수지(R)를 공급함으로써, 몰드 수지(R)를 임의의 형상으로 매엽 필름(F) 상에 공급할 수 있다.

이 경우, 경사부(13g)에 의해, 매엽 필름(F) 상에 공급되는 몰드 수지(R)가 직사각형 프레임체(13a)의 위에 올라 타버리는 것을 방지한다. 또한, 경사부(13g)를 포함하여 직사각형 프레임체(13a)의 내측을 원 형상으로 함으로써, 매엽 필름(F) 상에 있어서 원형 영역 내에 몰드 수지(R)를 공급할 수도 있다. 이에 따르면, 부분적인 구조를 변경하는 것만으로, 외형 원형 또는 외형 직사각형이라는 캐비티의 형상에 관계없이, 동일한 매엽 필름(F)의 반송 구조를 이용할 수 있다.

그리고, 도 2(F)에 나타내는 바와 같이, 매엽 필름(F)에 몰드 수지(R)가 공급된 상태에서, 필름 로더(11)에 의해 필름 핸드(13)(직사각형 프레임체(13a))가 척되어 몰드 금형(6)으로 반송된다.

여기에서, 필름 로더(11)에 의해 매엽 필름(F)이 스테이지(17)로부터 들어 올려질 때에, 장력이 불충분하면 몰드 수지(R)의 중량에 의해 매엽 필름(F)이 중앙 등에서 아래로 늘어지는 경우가 있다. 그래서, 스테이지(17)에 근접한 위치에 필름 수하 검출부(20)를 설치할 수 있다. 필름 수하 검출부(20)로서는, 발광부와 수광부를 구비하여 이들 사이의 차폐 상태나 차폐 위치를 검출하는 레이저 센서를 구비한 구성으로 할 수 있다. 일 예로서, 필름 핸드(13)를 사이에 두는 위치에, 발광부와 수광부를 설치한 구성으로 할 수 있다. 또한, 필름 수하 검출부(20)로서는, 스테이지(17) 상의 공간에 있어서의 차폐물을 검출함으로써, 필름 핸드(13)를 들어 올렸을 때에 매엽 필름(F)이 적절한 위치로부터 늘어져 있을 때에 검출할 수 있다. 필름 수하 검출부(20)는, 1방향에 있어서의 늘어짐을 검출하도록 1세트만 설치해도 되고, 도 3에 나타내는 바와 같이 교차하는 2방향에 있어서 검출하도록 2세트 설치해도 된다. 또한, 필름 수하 검출부(20)로서는, 매엽 필름(F)의 늘어짐을 검출할 수 있으면 어떤 구성으로 해도 된다. 예를 들면, 접촉 센서(스위치)로 해도 되고, 필름 핸드(13)를 소정의 높이까지 들어 올렸을 때에 늘어진 필름이 접촉하고 있는 것을 검출하는 바와 같은 구성으로 할 수도 있다.

또한, 도 3에 나타내는 직사각형 형상의 매엽 필름(F)의 각 변을 각각 파지하는 필름 척(13c)은, 각 변에 있어서 밀어 올리는 양을 균일하게 할 수도 또는 상이하게 할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 매엽 필름(F)의 변마다 설치되는 밀어 올림 핀(15)에 의한 밀어 올림 양을 균일하게 함으로써, 회전축(13e)을 중심으로 한 회전량에 대응하는 장력을 가할 수 있다. 또한, 대향하는 변에 있어서의 한 쌍의 필름 척(13c)의 세트마다 밀어 올리는 양을 상이하게 할 수도 있다. 이 경우, 매엽 필름(F)의 각 변의 길이나, 필름 롤(8a)로부터 인출된 방향 등에 의한 필름의 늘어나기 쉬움 등에 따라서, 필름 척(13c)의 세트마다 밀어 올리는 양을 상이하게 함으로써, 매엽 필름(F)의 각 변에 가해지는 장력을 균일하게 할 수도 있다. 예를 들면, 도 3 에 나타나는 바와 같은 가로로 긴 필름이면, 길이 방향(동 도면의 좌우 방향)으로 잡아당기는 2변(우변 및 좌변)에 있어서의 한 쌍의 필름 척(13c)의 밀어 올림 양을, 폭 방향(동 도면의 상하 방향)으로 잡아당기는 2변(상변 및 하변)에 있어서의 한 쌍의 필름 척(13c)의 밀어 올림 양을 상이하게 하면 된다. 즉, 길이 방향의 필름 척(13c)의 밀어 올림 양을, 폭 방향의 필름 척(13c)의 밀어 올림 양보다도 크게 하면 된다. 환언하면, 긴 변에 대해서는 보다 많이 잡아당김으로써 변의 길이에 관계없이, 균일하게 잡아당겨진 상태로 할 수 있다. 이에 따르면, 길이 방향 및 폭 방향의 방향에 있어서 매엽 필름(F)에 가해지는 장력을 균등하게 할 수 있다.

또한, 동 도면에 나타나는 바와 같이 매엽 필름(F)을 1변마다 일체적으로 척하는 경우에 한정되지 않고, 필름 척(13c)이 1변에 있어서 복수로 분할되어 설치되어서 있어도 된다. 이 경우에는, 매엽 필름(F)에 발생하는 주름의 상태(위치)에 의해, 변의 위치에 있어서의 필름 척(13c)의 회전량을 바꾸어 매엽 필름(F)을 트위스트하도록 장력을 가함으로써 주름을 핀 상태로 유지할 수 있다. 예를 들면, 부분적으로 장력이 높아지면 그 위치 이외에 주름이 발생하게 된다. 이 때문에, 우선, 균일하게 필름 척(13c)을 밀어 올려 장력을 가한 후에, 주름이 발생했을 때에는, 그 부분의 장력을 약화시키거나, 그 부분 이외의 장력을 높이거나 하는 바와 같은 구성으로 할 수 있다. 또한, 필름 척(13c)은, 변의 연재 방향으로 교차하도록 잡아당기기 때문에 소정의 길이에서 매엽 필름(F)의 변에 있어서 파지하는 구성뿐만아니라, 매엽 필름(F)의 모서리부에 있어서, 중심으로부터 떨어뜨리는 방향으로 잡아 늘리도록 하기 위해 매엽 필름(F)의 모서리부를 파지하는 바와 같은 구성으로 해도 된다.

이에 따라, 분할된 필름 척(13c)의 지지점 프레임체(13b)로부터의 오프셋량을 바꿈으로써, 매엽 필름(F)에 발생한 주름의 방향이나 주름의 크기에 따라서 매엽 필름(F)을 트위스트하도록 장력을 가함으로써 필름 고유의 주름의 발생을 해소할 수 있다.

다음으로, 프레스부(5)에 구비한 몰드 금형(6)의 구성에 대해서 도 4를 참조하여 설명한다. 본 실시예는, 압축 성형용의 몰드 금형(6)을 예시하고 있다. 이 몰드 금형(6)은, 임의의 위치에 히터(도시하지 않음)가 설치됨으로써, 몰드 수지(R)를 가열 경화시켜 워크(W)를 수지 몰드하고, 성형품(M)을 제조한다. 상형(6A)의 상형 클램프면(6a)에는, 워크(W)를 흡착 유지하기 위해, 에어 흡착공(6b) 및 이것에 연통되는 에어 흡인로(6c)가 형성되어 있다. 또한, 직사각형 형상 워크(W)의 외연부에는 워크 유지 핀(6d)이 복수 개소에서 대향 위치에 설치되어 있다. 워크 유지 핀(6d)은, 워크(W)의 외주면을 가압 유지한다. 워크 유지 핀(6d)은 원주 형상의 핀이어도 각주 형상의 핀이어도 좋고, 탄성체를 개재하여 워크(W)에 누르는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 워크 유지 핀(6d)은, 워크(W)를 흡착 유지할 때에 워크(W)를 센터링하는 가이드로 해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 예를 들면, 워크(W)의 외주를 L자의 클로우 형상의 후크로 유지하는 구성과 비교하여, 캐비티의 면적을 넓게 할 수 있다.

하형(6B)은, 하형 블록(6e)에 하형 캐비티 바닥부를 형성하는 하형 캐비티 피스(6f)가 일체로 지지되어 있다. 하형 캐비티 피스(6f)의 주위에는 하형 캐비티측부를 형성하는 하형 가동 클램퍼(6g)가 하형 블록(6e) 상에 코일 스프링(6h)을 통하여 플로팅 지지되어 있다. 하형 캐비티 피스(6f) 및 하형 가동 클램퍼(6g)에 의해, 하형 캐비티 오목부(6C)가 형성된다. 하형 가동 클램퍼(6g)와 하형 캐비티 피스(6f)의 극간은, 시일링(6i)(O링)이 설치되어 시일되고 있다. 또한, 하형 가동 클램퍼(6g)에는, 매엽 필름(F)을 하형 캐비티 오목부(6C)를 포함하는 하형면에 흡착 유지하기 위한 에어 흡인로(6g1, 6g2)가 각각 설치되어 있다. 에어 흡인로 (6g1)는, 하형 캐비티 피스(6f)와 하형 가동 클램퍼(6g)의 극간으로부터 필름 내주측을 흡착하고, 에어 흡인로(6g2)는 하형 가동 클램퍼(6g)의 클램프면에 있어서 필름 외주측을 흡착하도록 되어 있다. 이에 따라, 매엽 필름(F)은 하형 캐비티 오목부(6C)의 오목 형상에 따르도록 흡착된다. 또한, 상형(6A)과 하형(6B)의 사이에는, 금형 클램프 동작을 개시하면, 금형 내에 감압 공간을 형성하기 위한 상하 한 쌍의 클램프 블록(도시하지 않음)이 설치되어 있어도 된다.

또한, 하형(6B)의 하형 가동 클램퍼(6g)의 외측에는, 푸셔(6j)가 설치되어 있다(장력 부가 기구). 이 푸셔(6j)는, 매엽 필름(F)으로의 장력을 더욱 강화하기 위해 설치되어 있다. 예를 들면, 필름 로더(11)에 의해, 매엽 필름(F)이 필름 핸드(13)와 함께 하형(6B)으로 반입될 때에, 하형(6B)으로부터의 복사열에 의해 매엽 필름(F)에 늘어남이 발생하여 장력이 저하되어 버린다. 이 경우, 매엽 필름(F)의 장력이 저하되어 느슨함이 발생하면, 매엽 필름(F)의 자중, 또는, 공급된 몰드 수지(R)의 중량에 의해, 매엽 필름(F)의 중앙부가 늘어지게 된다. 이 경우, 매엽 필름(F)이 하형(6B)에 탑재되었을 때에, 매엽 필름(F)의 느슨함이 주름이 되어버리는 경우가 있다. 또한, 매엽 필름(F)의 중앙부의 늘어짐이 커지면, 몰드 수지(R)가 중앙에 모여버려, 캐비티 내에 있어서 균일하게 몰드 수지(R)를 공급하는 것이 곤란해지는 것이 상정된다. 이 때문에, 푸셔(6j)는, 하형(6B)의 회전 레버(13d)에 대응하는 위치에 설치되고, 예를 들면 승강 구동 기구(예를 들면 실린더 구동, 솔레노이드 구동, 모터 구동 등의 구동 기구)에 의해 승강시킴으로써, 회전 레버(13d)를 회전 가능하게 구성된다. 이 푸셔(6j)는, 한 쌍의 필름 척(13c)의 오프셋량을 증가시켜 매엽 필름(F)으로의 장력을 더욱 강화시키기 위해 설치되어 있다. 또한, 이 푸셔(6j)는, 래칫 기구(13f)의 해제에도 이용할 수 있다.

필름 로더(11)에 의해, 필름 핸드(13)와 함께 매엽 필름(F)이 하형(6B)(하형 가동 클램퍼(6g))에 탑재되면, 회전 레버(13d)의 바로 아래에 배치된 푸셔(6j)가 작동하여 회전 레버(13d)를 필름 척(13c)의 오프셋량을 증가시키는 방향으로 회전시킨다. 이에 따라, 금형 클램프 전에 매엽 필름(F)의 장력이 저하되는 것을 방지 가능하게 되어 있다. 물론, 매엽 필름(F)이 하형(6B)에 접근했을 때에 필름 척(13c)의 오프셋량을 증가시키는 방향으로 회전시키는 것도 가능하다.

다음으로 몰드 금형(6)에 대한 필름 핸드(13)에 의한 매엽 필름(F)의 반송 준비 동작의 일 예에 대해서 도 2를 참조하여 설명한다.

도 2(A)에 있어서, 필름 공급부(8)(도 1 참조)에 있어서 필름 롤(8a)로부터 필름 끝을 스테이지(17) 상에 인출된 기다란 형상의 필름(F)에 대하여, 커터(18)로 소정의 사이즈로 절단한다. 본 실시예에서는, 하형 가동 클램퍼(6g)의 외형보다도 커지도록 절단한다.

이어서, 도 2(B)에 있어서, 절단된 매엽 필름(F)에 필름 핸드(13)를 서로 겹침과 함께, 필름 척(13c)에 의해, 매엽 필름(F)의 각 변 외주연부를 끼워 넣는다.

다음으로, 도 2(C)에 있어서, 도시하지 않는 구동원을 작동시켜 밀어 올림 핀(15)을 밀어 올리고, 회전 레버(13d)를 회전축(13e)을 중심으로 회전시킨다. 회전 방향은, 필름 척(13c)이 지지점 프레임체(13b)로부터 오프셋(이간하는)시키는 방향이다. 이에 따라, 필름 척(13c)에 의해 매엽 필름(F)이 양측으로부터 잡아당겨지기 때문에, 매엽 필름(F)의 단부가 지지점 프레임체(13b)를 개재하여 떨어뜨려지는 양, 즉 매엽 필름(F)이 권취되는 각도가 증가하고, 지지점 프레임체(13b) 사이에서 필름 장력이 증가한다. 또한, 이때, 도 3에 나타내는 래칫 기구(13f)가 작동하여, 회전 레버(13d)는 회전한 위치에서 유지되기 때문에, 직사각형 프레임체(13a)의 프레임체 개구부를 덮는 필름 장력을 강화한 상태에서 유지된다.

이와 같이, 필름 척(13c)을 지지점 프레임체(13b)(지지점부)에 대하여 상하 방향으로 이동시켜, 매엽 필름(F)을 쥐어짜는 것과 같은 구성으로 함으로써, 예를 들면, 필름 척(13c)을 가로 방향으로 잡아당겨 장력을 가하는 구성과 비교하여, 매엽 필름(F)에 대하여 효과적으로 장력을 가할 수 있다. 또한, 매엽 필름(F)에 대하여 장력을 가하는 장치 구성을 평면에서 보아 소형화할 수 있다. 즉, 매엽 필름(F)이 대형화되면 될수록, 동등의 장력을 가하기 위해서는, 잡아당기는 양은 커지지만, 필름 척(13c)을 가로 방향으로 잡아당기는 경우에는, 그 잡아당기는 양에 따른 면적을 장치 내에 확보하지 않으면 안되고, 장치의 대형화는 피할 수 없다. 이에 대하여, 전술한 본 실시예에 있어서의 구성에 의하면, 매엽 필름(F)으로의 장력을 높이기 위해 잡아당기는 양을 크게 했다고 해도 장치 면적이 커지는 일은 없고, 장치의 대형화를 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 회전축(13e)을 중심으로 필름 척(13c)을 회전 가능하게 하고, 회전 레버(13d)의 필름 척(13c)측을 밀어 올림 핀(15)에 의해 밀어 올려서 회전시켜고 있기 때문에, 작은 힘으로 매엽 필름(F)으로 장력을 가할 수 있다.

도 2(D)에 있어서, 디스펜서(9)(도 1 참조)로부터 과립 수지(R)를 직사각형체(13a)의 개구를 폐지하는 매엽 필름(F) 상에 트로프(16)을 통하여 일률적으로 공급한다. 과립 수지(R)는 1회분의 수지 몰드 동작에 필요한 양이 공급된다. 과립 수지(R)를 매엽 필름(F)에 공급한 상태를 도 2(E)에 나타낸다.

이어서, 필름 로더(11)를, 필름 핸드(13)의 상부로 이동시켜, 도 2(F)에 나타내는 바와 같이, 과립 수지(R)가 공급된 필름 핸드(13)를, 필름 로더(11)가 직사각형 프레임체(13a)를 척하여 들어 올린다. 이때에, 예를 들면 공급된 몰드 수지(R)의 중량이 과대하고 매엽 필름(F)에 가한 장력으로는 적절하게 몰드 수지(R)를 반송할 수 없을 때에는 매엽 필름(F)이 중앙 등에서 늘어지게 된다. 이 때문에, 필름 핸드(13)를 임의의 검출 위치까지 들어 올린 상태에서 동작을 정지시키고, 필름 수하 검출부(20)에 의해 스테이지(17) 상의 공간에 있어서의 차폐 상태를 검출할 수 있다. 즉, 매엽 필름(F)의 장력이 충분하지 않고 매엽 필름(F)이 중앙 등에서 늘어져 있을 때에는, 필름 핸드(13)를 내려 재차 장력을 가하도록 밀어 올림 핀(15)을 동작시킨다.

이러한 동작을 필요에 따라서 적절하게 반복함으로써, 적절한 장력을 가한 후에 매엽 필름(F)을 반송할 수 있다.

또한, 워크(W)에 있어서의 칩의 탑재 상태 등에 따라서는, 매엽 필름(F) 상에 있어서 몰드 수지(R)를 치우치게 공급하는 것이 상정된다. 이 경우, 매엽 필름(F)에 있어서 중앙이 아닌 부분(치우친 위치)이 늘어지는 것이 상정된다. 그래서, 도 3에 나타내는 바와 같이 교차하는 2방향에 있어서 필름 수하 검출부(20)를 2세트 설치했을 때에는, 매엽 필름(F)에 있어서 중앙이 아닌 부분이 늘어졌을 때라도, 그 위치에 있어서의 매엽 필름(F)의 늘어진 상태를 검출할 수 있다. 이에 따라, 적절하게 매엽 필름(F)의 늘어진 상태를 검출하여, 적절한 장력을 가하고 나서 매엽 필름(F)을 반송할 수 있다.

계속해서, 필름 로더(11)가 필름 핸드(13)를 인수하고, 도 1의 가이드 레일(14)을 따라 반송하고, 소정의 프레스부(5)의 몰드 금형(6)(하형(6B))으로 반입한다. 여기에서, 프레스부(5)에 있어서의 포스트(5a)의 극간을 통하여, 필름 핸드(13)를 몰드 금형(6) 내에 공급하게 된다. 이 경우, 필름 핸드(13)에서는, 필름 척(13c)을 가로 방향으로 잡아당기지 않고, 필름 척(13c)을 지지점 프레임체(13b) (지지점부)에 대하여 상하 방향으로 이동시켜 장력을 가하는 구성으로 되어 있으며 소형으로 구성할 수 있기 때문에, 한정된 포스트(5a)의 극간을 통과하여 필름 핸드(13)를 몰드 금형(6)으로 반입할 수 있다. 또한, 포스트(5a)를 이용하지 않고 프레스부(5)에 있어서 플래튼의 측면을 프레임판에 의해 유지하는 바와 같은 프레스 구조라도 동일한 효과를 가져올 수 있다.

상기 필름 핸드(13)를 이용함으로써, 소정의 장력을 유지하면서 반송할 수 있기 때문에, 매엽 필름(F)에 주름이 발생하는 일 없이 몰드 금형(6)으로 전달할 수 있다.

다음으로, 필름 핸드(13)에 의한 몰드 금형(6)으로의 매엽 필름(F) 및 몰드 수지(R)의 공급 동작에 대해서 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5 및 도 6은 하형(6B)만을 도시하여 설명한다.

도 5(A)에 있어서, 필름 핸드(13)를 유지한 필름 로더(11)가 형 개방한 몰드 금형(6)의 하형(6B)의 상방으로 진입하여 위치 맞춤을 행한다. 매엽 필름(F)의 과립 수지(R)의 탑재면이 하형 캐비티 피스(6f)의 상면과 겹쳐, 직사각형 프레임체(13a)가 하형 가동 클램퍼(6g)와 겹치도록 위치 맞춤을 행한다.

다음으로 도 5(B)에 나타내는 바와 같이, 필름 로더(11)를 하강시켜, 직사각형 프레임체(13a)가, 하형 가동 클램퍼(6g)에 맞닿을 때까지 하강한다. 이때, 하형(6)에 설치된 푸셔(6j)는, 회전 레버(13d)에 대응한 위치에 배치되어 있다.

매엽 필름(F)이 하형(6B)에 접근하면, 하형(6B)으로부터의 복사열에 의해 매엽 필름(F)이 늘어나고, 전술한 바와 같은 필름의 늘어짐이라는 문제가 발생할 우려가 있다. 이 때문에, 도 5(C)에 나타내는 바와 같이, 도시하지 않는 구동원을 작동시켜 푸셔(6j)를 밀어 올리고, 회전 레버(13d)를 회전축(13e)을 중심으로 더욱 회전시킨다. 회전 방향은, 필름 척(13c)이 지지점 프레임체(13b)로부터 오프셋(이간하는) 방향이다. 이에 따라, 필름 척(13c)에 의해 매엽 필름(F)이 양측으로부터 더욱 잡아당겨지기 때문에, 필름(F)의 지지점 프레임체(13b)에 대한 권취되는 각도가 더욱 증가하고, 환언하면, 필름 척(13c)에 협지된 매엽 필름(F)의 단부가 지지점 프레임체(13b)(지지점부)로부터 오프셋(떨어짐)함으로써, 지지점 프레임체(13b)의 내측에 있어서 매엽 필름(F)이 잡아당겨지고, 지지점 프레임체(13b) 사이에서 필름 장력이 증가한다. 또한, 이때, 도 3에 나타내는 래칫 기구(13f)가 작동하여, 회전 레버(13d)는 회전한 위치에서 유지되기 때문에, 직사각형 프레임체(13a)의 개구를 폐지하는 필름 장력을 강화한 상태에서 유지된다.

도 6(D)에 있어서, 하형 가동 클램퍼(6g)에 설치된 에어 흡인로(6g1, 6g2)로부터 에어 흡인 동작을 개시하고, 매엽 필름(F)의 내외주를 하형 캐비티 오목부(6C)를 따르게 하여 흡착 유지시킨다. 매엽 필름(F)은 필름 장력이 강화된 상태에서 흡착 유지되기 때문에 주름의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.

다음으로 도 6(E)에 있어서, 도시하지 않는 구동원을 작동시켜 푸셔(6j)를 일단 위로 밀어 올리고 나서 하방으로 퇴피시키면, 래칫 기구(13f)(도 3 참조)가 해제되기 때문에, 회전 레버(13d)가 지지점 프레임체(13b)에 가까워지는 방향(화살표 방향)으로 회전한다. 이때, 필름 척(13c)은 하형 가동 클램퍼(6g)의 클램프면과 평행이 되는 수평 자세까지 되돌아간다. 이 상태에서, 매엽 필름(F)의 외주연부를 척하는 필름 척(13c)의 척을 해제한다. 이에 따라, 매엽 필름(F)은 과립 수지(R)와 함께 하형(6B)으로 흡착 유지한 채로 전달할 수 있다. 또한, 이들 동작시에는, 매엽 필름(F)은 하형 가동 클램퍼(6g)에서의 흡착도 포함하여 하형 캐비티 오목부(6C)에 흡착 유지된 상태로 되어 있기 때문에, 척을 해제했다고 해도 매엽 필름(F)에 있어서의 흡착 유지 상태가 손상되는 일은 없다.

이어서, 도 6(F)에 나타내는 바와 같이, 필름 로더(11)가 필름 핸드(13)(직사각형 프레임체(13a))를 척한 채로 상방으로 이동하여 프레스부(5)로부터 퇴피한다. 이상으로부터, 매엽 필름(F)과 과립 수지(R)의 하형(6B)으로의 공급 공정은 완료된다.

이상의 몰드 금형(6)으로의 매엽 필름(F)의 공급 동작에 의하면, 매엽 필름(F)을 주름 없이 몰드 금형(6)으로 공급할 수 있다. 또한, 매엽 필름(F)을 몰드 금형(6)으로 반입할 때에 복사열에 의해 매엽 필름(F)이 늘어나 버릴 우려가 있지만, 푸셔(6j)(장력 부가 기구)에 의해 재차 장력을 강화함으로써 몰드 금형(6)으로 매엽 필름(F) 세트할 때의 주름의 발생을 막을 수도 있다.

다음으로, 도 5 및 도 6에 이어지는 수지 몰드 동작의 일 예에 대해서 도 7을 참조하여 설명한다.

도 7(A)에 있어서, 하형(6B)에는, 전술한 바와 같이, 필름 로더(11)에 의해 매엽 필름(F) 및 과립 수지(R)가 반입되어 있는 것으로 한다.

도 7(A)에 있어서, 상형(6A)에는, 패널 로더(10)(도 1 참조)에 의해, 예를 들면 각 변이 600㎜의 대형 사이즈의 워크(W)(직사각형 패널, 직사각형 기판 등)이 반입되고, 상형 클램프면(6a)에 설치된 에어 흡착공(6b) 및 에어 흡인로(6c)에 의해 흡착 유지된다. 이때, 직사각형 형상 워크(W)의 외주면이, 복수 개소에서 대향 위치에 설치되어 있는 워크 유지 핀(6d)에 의해 워크(W)의 외주면을 압압 유지함으로써 상형(6A)으로 전달된다. 또한, 직사각형 형상의 워크(W)는, 워크 유지 핀(6d)에 의해 워크(W)의 외주면이 균등하게 압압됨으로써, 워크 유지 핀(6d)에 의해 센터링된다. 또한, 매엽 필름(F) 및 과립 수지(R)의 반입 및 워크(W)의 반입은 동시에 행해도 되고, 워크(W)를 반입한 후에 매엽 필름(F) 및 과립 수지(R)를 반입해도 된다.

이어서, 도 7(B)에 나타내는 바와 같이, 몰드 금형(6)을 형 폐쇄한다. 예를 들면 하형(6B)을 상승시켜 상형(6A)과의 사이에서 워크(W)를 클램프한다. 또한, 상형(6A)과 하형(6B)이 워크(W)를 클램프하기 전에, 상형(6A)과 하형(6B)의 사이의 금형 공간이 폐지되어 감압 공간이 형성되고, 감압 분위기 하에서 몰드 성형하도록 되어 있는 것이 바람직하다.

계속해서, 몰드 금형(6)을 추가로 형 조임함으로써, 코일 스프링(6h)이 압축되고, 하형 가동 클램퍼(6g)가 하형 블록(6e)에 접근하도록 이동한다. 이에 따라, 하형 캐비티 오목부(6C)에 있어서의 캐비티의 높이(깊이)를 낮게(얕게) 하고, 하형 캐비티 오목부(6C) 내에서 용융한 과립 수지(R)에 워크(W)를 침지시킴과 함께 수지압을 가함으로써 가열 가압한다. 도 7(C)는, 몰드 금형(6)의 형 조임 동작이 완료되고, 하형 캐비티 오목부(6C) 내에서 용융한 과립 수지(R)에 워크(W)를 침지시켜 가열 가압하여 경화시키고 있는(압축 성형) 상태를 나타낸다.

몰드 금형(6)에 있어서의 가열 경화가 종료하면, 몰드 금형(6)의 형 개방을 행한다. 여기에서, 상형(6A)의 상형 클램프면(6a)에 대한 성형품(M)의 흡착 유지와, 매엽 필름(F)의 하형 캐비티 오목부(6C)를 포함하는 하형 클램프면으로의 흡착 유지를 유지한 채로, 형 개방이 행해진다. 이에 따라, 도 7(D)에 나타내는 바와 같이, 형 개방한 상태에 있어서, 성형품(M)은 상형(6A)의 상형 클램프면(6a)에 흡착 유지된 상태가 되고, 매엽 필름(F)은 하형 캐비티 오목부(6C)를 포함하는 하형 클램프면에 흡착 유지된 상태가 된다. 이와 같이, 성형품(M)과, 사용 후의 매엽 필름(F)을 별개의 금형으로 유지한 상태로 함으로써, 이들을 프레스부(5)로부터 취출하여 각각의 수납·수용처에 반송하는데 있어서 공정을 간소화할 수 있다.

계속해서, 도 1에 있어서, 성형품(M)은 상형(6A)으로부터 흡착을 해제하여 패널 로더(10)(상면측)로 전달된다. 또한, 사용이 끝난 매엽 필름(F)은 하형(6B)으로부터, 패널 로더(10)(하면측)에 의해 전달된다. 이때, 성형품(M)을 상형 클램프면(6a)으로부터 패널 로더(10)로 전달하기 위해, 에어 흡착공(6b)으로부터 압축 공기를 분출시킴과 함께, 매엽 필름(F)을 하형면으로부터 패널 로더(10)로 전달하기 위해, 에어 흡인로(6g1, 6g2)로부터 압축 에어를 분출시키는 것이 바람직하다. 성형품(M)은 패널 로더(10)로부터 로봇 반송 장치(4)의 로봇 핸드(4a)로 전달된다. 사용이 끝난 매엽 필름(F)은, 패널 로더(10)로부터 필름 회수부(12)로 배출되어 회수된다. 로봇 핸드(4a)는, 성형품(M)을 유지하고, 소정의 큐어로(3)로 반입된다. 큐어로(3)에 있어서 성형품(M)의 애프터 큐어가 행해진다. 계속해서, 로봇 핸드(4a)는, 큐어로(3)로부터 성형품(M)을 취출함으로써, 워크(W)에 대한 모든 공정이 완료되고 성형품(M)의 제조 공정이 완료된다. 계속해서, 성형품(M)은, 성형품 수납부(2)로 반입되고, 성형품(M)이 수납된다.

이와 같이, 본 실시예에 의하면, 전술한 매엽 필름(F)을 반송하는 필름 핸드(13)를 이용함으로써, 필름 사용량을 줄이고 러닝 코스트 저감을 도모하여, 대형 사이즈의 성형품의 성형 품질을 향상시키고 또한 설치 면적을 억제할 수 있다.

다음으로 필름 반송 장치의 다른 예에 대해서 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다.

전술한 실시 형태는, 직사각형 형상 워크(W)를 직사각형 형상의 매엽 필름(F)을 이용하여 수지 몰드하는 경우에 대해서 설명했지만, 원 형상의 워크(W)(예를 들면 반도체 웨이퍼나 원 형상 또는 고리 형상 캐리어 등)를 수지 몰드하기 위해 원 형상으로 공급한 몰드 수지(R)를 직사각형 형상의 매엽 필름(F)과 함께 반송하는 경우에 대해서 설명한다.

도 9에 있어서, 필름 핸드(13)는, 한 쌍의 원고리 형상의 필름 척(19a)과 당해 필름 척(19a)을 유지하는 척 유지부(19b)와, 당해 척 유지부(19b)와 일체로 장착된 슬라이더(19c)와, 직사각형 형상의 매엽 필름(F)에 프레임체 개구부가 덮이는 고리 형상의 지지점 프레임체(19d)를 구비하고 있다.

지지점 프레임체(19d)에는, 그 상단부에 매엽 필름(F)보다 외형이 큰 플랜지부(19e)가 형성되어 있다. 지지점 프레임체(19d)에서는, 그 하단 외측 모서리부가 매엽 필름(F)에 대하여 장력을 가할 때의 지지점이 되는 외형 원 형상의 지지점부(19f)가 된다. 지지점 프레임체(19d)의 상부 개구에는, 평면에서 보아 원 형상의 개구 단부만큼 구경이 넓어지는 경사부(19g)가 형성되어 있다(도 9 참조). 또한, 지지점 프레임체(19d)의 하단부에 지지점부(19f) 대신에 고리 형상의 지지점 프레임체를 별도 설치해도 된다. 또한, 플랜지부(19e)에는 슬라이더(19c)가 관통하여 슬라이드 가능하게 연계되어 있다. 슬라이더(19c)에는 래칫 기구가 설치되어 있다. 래칫 기구는, 슬라이더(19c)가 플랜지부(19e)에 대하여 소정 높이까지 밀어 올리는 방향만의 이동을 허용한다. 이에 따라, 매엽 필름(F)에 대한 장력을 유지 가능하게 되어 있다. 이 슬라이더(19c) 및 척 유지부(19b)는, 지지점 프레임체(19d)의 주위에 예를 들면 4군데에서 대향하는 위치에 설치되어 있다. 또한, 슬라이더(19c) 및 척 유지부(19b)는, 4군데 보다 많이 설치해도 된다. 또한, 슬라이더(19c)로서는, 척 유지부(19b)와 플랜지부(19e)를 관통하도록 수직으로 설치한 나사축을 회전시킴으로써, 척 유지부(19b)(환언하면 필름 척(19))를 승강 가능하게 하는 구성으로 할 수도 있다.

필름 핸드(13)에 있어서의 몰드 수지(R)와 매엽 필름(F)의 공급 동작의 일 예에 대해서 도 8을 참조하여 설명한다.

도 2(A)와 동일하게, 필름 공급부(8)(도 1 참조)에 있어서 필름 롤(8a)로부터 필름 끝을 스테이지(17) 상에 인출된 기다란 형상의 필름(F)에 대하여, 커터(18)로 소정의 사이즈(예를 들면 각 변이 800㎜)로 절단하여, 매엽 필름(F)을 준비한다. 계속해서, 매엽 필름(F)의 상하로부터 한 쌍의 고리 형상 필름 척(19a)을 서로 겹쳐 클램프한 상태로 한다. 이 경우, 예를 들면 스테이지(17)의 외측에 하측의 고리 형상 필름 척(19a)을 준비한 상태에서, 필름(F)을 공급하여 상측의 고리 형상 필름 (19a)을 서로 겹친다. 계속해서, 도 8(A)에 나타내는 바와 같이, 절단된 매엽 필름(F)에 필름 핸드(13)의 지지점 프레임체(19d)를 서로 겹침과 함께, 필름 척(19a)을 매엽 필름(F)의 외주연부를 지름 방향으로 대향하는 위치에 있어서 척 유지부(19b)로 합계 4군데 끼워 넣는다(도 9 참조).

다음으로 도 8(B)에 있어서, 도시하지 않는 구동원을 작동시켜 밀어 올림 핀(15)을 밀어 올리고, 슬라이더(19c) 및 척 유지부(19b)를 지지점 프레임체(19d)에 대하여 상승시킨다. 이에 따라, 원 고리 형상의 필름 척(19a)에 의해 매엽 필름(F)의 전체 둘레가 잡아당겨져, 매엽 필름(F)의 원형의 지지점부(19f)에 대하여 떨어뜨려진다. 환언하면, 원고리 형상의 필름 척(19a)이 원형의 지지점부(19f)에 대하여 오프셋한다. 이에 따라, 원형의 지지점부(19f)에 형성된 원형의 영역에 있어서 필름 장력이 증가한다. 이 경우, 전술한 실시예와는 상이한 점으로서, 원형의 지지점부(19f)의 내측에 있어서 전체 둘레에 동일한 장력이 가해지게 된다. 또한, 이때, 슬라이더(19c)와 플랜지부(19e)의 사이에서 래칫 기구(도시하지 않음)가 작동하여, 필름 척(19a)은 상승한 위치에서 유지된다. 이 때문에, 지지점 프레임체(19d)의 프레임체 개구부를 덮는 매엽 필름(F)에 요구되는 장력을 부여한 상태에서 유지된다.

도 8(B)에 있어서, 디스펜서(9)(도 1 참조)로부터 몰드 수지(R)(과립 수지)를 지지점 프레임체(19d)의 프레임체 개구부를 덮는 매엽 필름(F) 상에 트로프(16)를 통하여 일률적으로 공급한다. 이 경우, 예를 들면 트로프(16)로부터 몰드 수지(R)를 투하하는 동작을 소정 방향으로 소정 거리만큼 이동시킴으로써 띠 형상으로 공급하는 동작을 반복하여 행함으로써, 복수의 띠 형상의 수지 공급 영역이 나열되어 조합됨으로써 원형의 영역으로 덮는 바와 같은 수지 공급 영역이 형성된다. 또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 지지점 프레임체(19d)의 상부 개구에는 평면에서 보아 원 형상의 개구 단부만큼 구경이 넓어지는 경사부(19g)가 형성됨으로써, 극간없이 전체 면에 몰드 수지(R)를 공급할 수 있다.

과립 수지(R)를 매엽 필름(F)에 공급된 필름 핸드(13)는, 도 8(C)에 나타내는 바와 같이 필름 로더(11)에 의해 지지점 프레임체(19d)가 척되어 프레스부(5)의 몰드 금형(6)으로 반송된다. 이 경우, 매엽 필름(F)은 지지점부(19f) 사이에서 요구되는 장력이 부여된 상태로 유지되어 있기 때문에, 매엽 필름(F)의 휘어짐을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 원 형상의 워크(W)를 수지 몰드하기 위해 직사각형 형상의 매엽 필름(F) 상에 원 형상으로 몰드 수지(R)를 공급하여 반송할 수 있기 때문에, 원 형상의 워크(W)를 수지 몰드하는 경우라도, 요구되는 사이즈로 직사각형 형상으로 필름을 절단하는 것만으로 매엽 필름(F)을 간이하게 준비할 수 있다.

다음으로, 필름 핸드(13)의 다른 예에 대해서 도 10을 참조하여 설명한다. 도 2(B)와 동일 부재에는 동일 번호를 붙여 설명을 원용하는 것으로 한다. 동 도면에 나타내는 필름 핸드(13)는, 가이드 부재(13h1)를 구성하는 필름 핸드(13)의 내측의 부분이 매엽 필름(F)측에 약하게 밀어 붙여짐으로써, 필름 핸드(13)와 매엽 필름(F)의 극간에 몰드 수지(R)가 인입되는 것을 방지하는 것이 가능해지고 있다.

구체적으로는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 직사각형 프레임체(13a)의 내주면측에는, 내측에 설치한 가동 부재(13h2)와 외측에 설치한 가이드 부재(13h1)를 조합하여 장착되어 있다.

가이드 부재(13h1)에는 지름 방향 내측에 지지 부재(13i)가 돌출 설치되어 있다. 가동 부재(13h2)의 가이드 부재(13h1)와의 겹침면은, 중공으로 도려내진 수용부(13j)가 형성되어 있다. 지지 부재(13i)는, 수용부(13j) 내에 수용되어 있다. 지지 부재(13i)와 가동 부재(13h2)의 하단부에 설치한 필름 가압부(13k)의 사이에는, 가압 스프링(13m)이 설치되어 있다. 이 가압 스프링(13m)이 탄장(彈裝)되어 있음으로써, 가동 부재(13h2)를 가이드 부재(13h1)에 대하여 하방으로 돌출되는 방향으로 상시 가압하고 있다.

이에 따라, 직사각형 프레임체(13a)의 프레임체 개구부(하단 개구)를 덮는 매엽 필름(F)에 과립 수지(R)를 올렸을 때에, 매엽 필름(F)에 가한 장력이 수지의 중량보다 작아 늘어지고, 미소한 극간이 매엽 필름(F) 상에 개방되었다고 해도, 가동 부재(13h2)가 가이드 부재(13h1)에 대하여 돌출하도록 이동하여 매엽 필름(F) 상에 있어서의 극간을 메우도록 작용하기 때문에, 예를 들면 과립상과 같은 몰드 수지(R)가 극간에 인입되어 버리는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 전술한 실시 형태는, 몰드 금형(6)의 하형 캐비티 오목부(6C)가 형성된 하형 클램프면에, 매엽 필름(F)을 반송하여 전달한 경우에 대해서 설명했지만, 상형 캐비티 오목부가 형성된 상형 클램프면에 대하여 매엽 필름(F)을 반송하여 전달하도록 해도 된다. 이 경우에도, 매엽 필름(F)의 사용량을 삭감하여 러닝 코스트를 저감할 수 있다. 마찬가지로, 하형 캐비티 오목부가 형성된 하형 클램프면에 대하여 매엽 필름(F)만을 반송하여 전달하도록 해도 된다. 또한, 상형과 하형의 양쪽에 동일하게 이용하여 매엽 필름(F)을 공급해도 된다.

또한, 몰드 금형(6)은 압축 성형용의 금형을 이용하여 설명했지만, 트랜스퍼 성형용의 금형이라도 된다.

또한, 전술한 필름 핸드(13, 19)는, 적절하게, 외형 원 형상이나 외형 직사각형 형상이라는 임의 형상의 워크(W)를 수지 몰드하기 위해 이용할 수 있다. 예를 들면, 필름 핸드(19)의 구성을 이용하여 외형 직사각형 형상의 워크(W)의 수지 몰드하기 위해, 전술한 구성에서는 원형 또는 고리 형상으로 구성된 각 부를 직사각형 형상으로 함으로써, 몰드 수지(R)를 직사각형 형상에 공급하고, 직사각형 형상의 캐비티에 있어서 직사각형 형상의 워크(W)에 대하여 몰드 성형할 수도 있다.

또한, 전술한 바와 같은 필름 핸드(13, 19)에 의하면, 몰드 금형(6)에 있어서의 복사열에 의해 늘어난 매엽 필름(F)에 장력을 추가로 가하는 구성 외에, 몰드 금형(6)에 공급하기 전에 추가로 가하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 반송시의 분위기의 유동에 의해 분말상의 수지가 뿌려 올려져 비산할 우려가 있는 분말 수지와 같은 반송이 곤란한 수지를 미리 예열하고 나서 반송할 필요가 있는 바와 같을 때라도, 몰드 수지(R)를 공급하여 예열했을 때에 매엽 필름(F)에 장력을 가할 수 있으면, 그 예열에 의한 매엽 필름(F) 느슨해짐을 해소하고 나서 반송할 수 있다.

또한, 디스펜스 유닛(Ud)은, 전술한 바와 같이 수지 몰드 장치에 포함하여 이용할 수도 있지만, 그 단체(單體)로서도 이용할 수 있다. 이 경우, 디스펜스 유닛(Ud)에 있어서 소정의 장력이 가해진 매엽 필름(F)을 유지하는 필름 핸드(13)를 준비하고, 별도 설치한 프레스 유닛(Up)에 대하여, 필름 핸드마다 공급되는 공정이 생각된다. 이러한 경우에 있어서도, 전술한 바와 같은 디스펜스 유닛(Ud)과 필름 핸드(13)를 이용한 효과를 가져올 수 있다.

또한, 예를 들면 워크(W) 또는 성형품(M)의 표리를 반전하는 반전부(30)를 이용하여, 워크(W)의 양면에 수지 몰드 성형해도 된다. 이 경우, 워크(W)의 한쪽의 면에 수지 몰드 성형을 한 후에 워크 처리 유닛(Uw)으로 되돌리고, 성형품(M)을 반전부(30)로 반전시키고 나서 워크(W)(성형품(M))의 다른 한쪽의 면에 수지 몰드 성형을 해도 된다. 또한 반전부(30) 대신에, 로봇 핸드(4a)를 반전 가능한 로봇 반송 장치(4)로 할 수도 있다.

Claims

몰드 성형에 이용되는 매엽 필름에 장력을 부여한 채로 몰드 금형으로 반송하는 필름 반송 장치로서,
캐비티 오목부를 둘러싸는 금형 클램프면에 대응한 소정 형상의 프레임체에, 상기 프레임체 개구부를 덮어 유지되는 상기 매엽 필름에 장력을 부여하는 지지점부가 되는 지지점 프레임체와,
상기 지지점 프레임체의 외측에 있어서 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지하는 필름 파지부와,
상기 필름 파지부를 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향으로 오프셋시키는 오프셋 기구를 구비하고,
상기 필름 파지부에 의해 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 상기 지지점부에 대하여 오프셋시켜 상기 매엽 필름에 요구되는 장력을 부여한 상태에서 상기 지지점 프레임체와 함께 상기 매엽 필름이 상기 몰드 금형으로 반송되는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.
제1항에 있어서,
요구되는 장력이 부여된 상기 매엽 필름 상에, 몰드 성형용의 몰드 수지가 탑재되어 상기 지지점 프레임체와 함께 반송되는 필름 반송 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 필름 파지부는, 직사각형 형상의 상기 매엽 필름의 각 변을 각각 파지하는 필름 반송 장치.
제3항에 있어서,
상기 필름 파지부는, 상기 매엽 필름의 각 변에 있어서 복수의 파지부에 분할되어 설치되어 있는 필름 반송 장치.
제3항에 있어서,
상기 필름 파지부는, 상기 매엽 필름의 변마다 오프셋량을 조정 가능하게 설치되어 있는 필름 반송 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 오프셋 기구는, 상기 필름 파지부를 상기 프레임체에 설치된 회전축을 중심으로 회전시킴으로써, 상기 필름 파지부를 상기 지지점부로부터 이간시키는 필름 반송 장치.
제6항에 있어서,
상기 필름 파지부를 유지하는 회전 부재를, 상기 회전축을 중심으로 하여 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향만 회전을 허용하는 래칫 기구를 구비하는 필름 반송 장치.
제1항 또는 제2항의 상기 필름 반송 장치와,
상기 필름 반송 장치를 상기 몰드 금형으로 반송하는 필름 로더를 구비한 것을 특징으로 하는 수지 몰드 장치.
제8항에 있어서,
상기 매엽 필름이 상기 지지점 프레임체와 함께 상기 몰드 금형으로 반입될 때에, 상기 필름 파지부의 오프셋량을 증가시켜 상기 오프셋 기구에 의한 상기 매엽 필름으로의 장력을 더 강화하는 장력 부가 기구를 구비한 수지 몰드 장치.
몰드 성형에 이용하는 매엽 필름에 장력을 부여한 채로 몰드 금형으로 반송하는 필름 반송 방법으로서,
캐비티 오목부를 둘러싸는 금형 클램프면에 대응한 소정 형상의 프레임체에, 상기 프레임체 개구부를 덮어 유지되는 상기 매엽 필름에 지지점부가 되는 지지점 프레임체의 외측에 있어서 상기 매엽 필름의 외주연부를 필름 파지부로 파지하고,
상기 필름 파지부에 의해 상기 매엽 필름의 외주연부를 파지한 채로 상기 지지점부로부터 이간시키는 방향으로 오프셋시켜 상기 매엽 필름에 요구되는 장력을 부여한 상태에서 상기 지지점 프레임체와 함께 상기 매엽 필름을 상기 몰드 금형으로 반송하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.