TWI750127B - 模製模具及樹脂模製裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之目的在於提供一種模製模具，其能防止保持在夾模面的工件之位置偏移或脫落，且能大幅地確保樹脂封裝部的尺寸。

在解決手段方面，於模製模具中的上模夾模面具備工件保持部，該工件保持部係沿工件的外形於複數個部位對向配置，且分別對工件之外周面進行壓抵而予保持。

Description

模製模具及樹脂模製裝置

本發明係關於一種模製模具及具備此模製模具之樹脂模製裝置，該模製模具係可將工件在夾模面不脫落地保持且可擴大樹脂模製區。

再者，於以下的說明中所謂的單片薄膜，是指除了預先被形成為既定尺寸之個別薄膜外，還包含自長條狀或大張尺寸的薄膜裁切成為既定尺寸之薄膜。

以現今半導體製造工廠中所使用之樹脂模製裝置而言，係於作為工件之WLP(Wafer Level Package；晶圓級封裝)或PLP(Panel Level Package；面板級封裝)的成形中，使用例如φ8英吋或φ12英吋的半導體晶圓進行樹脂模製，或使用口300mm~口600mm尺寸(各邊為300mm~600mm尺寸)的矩形面板(基板、承載器等)進行樹脂模製。

此時，於上模設置有模穴凹部的模製模具之情況，一般會於工件上朝中心位置一次性集中供給黏度高的樹脂而進行成形。此時，為了將供給於工件上的樹脂填充於模穴內，需要使模製樹脂大程度地流動，因此也有可能產生未填充模製樹脂的區域。對此，於下模設置模穴凹部，且以薄膜覆蓋包含該下模模穴凹部的下模 夾模面並以均等之厚度供給模製樹脂，使保持於上模的工件浸漬於熔融的模製樹脂中而進行樹脂模製。

於將工件搬送至上模時，使上模夾模面與工件裝載機對位，對藉由工件裝載機搬送的工件進行吸附保持，或藉由設於上模嵌件的下面之夾持爪保持工件的外周緣部(專利文獻1；參照第23圖)。

先前技術文獻 專利文獻1

專利文獻1 日本特開2015-13371號公報

將在上模吸附保持有工件(半導體晶圓、矩形基板等)的模製模具閉模後，且為了對閉模之模具空間進行脫氣而在減壓環境下進行樹脂模製。然而，當將模具空間減壓時，則於將工件吸附保持於上模夾模面之情況下有差壓變小而造成工件脫落之虞。

此外，於以夾持爪將工件保持在上模夾模面之情況，在對向的下模需要有供夾持爪逃逸用的空間，從而存在有下模模穴凹部的大小、即樹脂封裝部之尺寸變小，進而造成生產效率或良率降低之問題。

本發明之目的在於提供一種模製模具，該模製模具係解決上述先前技術的問題，且能防止保持在夾模面的工件之位置偏移或脫落，並能大幅地確保樹脂封裝部的尺寸。

此外，提供一種樹脂模製裝置，其具備上述模製模具且儘可能地增大樹脂封裝部的尺寸，而能提高生產效率及良率，能提高大張尺寸的成形品的成形品質。

為了達成上述目的，本發明具備以下構成。

一種模製模具，係將工件保持於一對模具中的一模具之夾模面且與另一模具進行夾模而進行樹脂模製，其特徵在於：於上述一夾模面具備工件保持部，該工件保持部係沿上述工件的外形於複數個部位對向配置，且分別對上述工件之外周面進行壓抵而予保持。

若採用上述模製模具，由於在一夾模面將分別對工件的外周面壓抵而進行保持之工件保持部沿著工件的外形於複數個部位對向配置，故可防止工件的掉落或位置偏移，且可對工件定心而保持於夾模面。

較佳為，上述工件保持部具備被上述工件的外周面壓抵而彈性變形之彈性構件。

藉此，當工件保持部在與工件外周面對向的位置被壓抵，則彈性構件彈性變形而將工件夾入並予保持，因此能確實地防止工件的掉落或位置偏移。

亦可設為當使上述工件密接於上述一夾模面時，上述工件外周面藉由對向配置的上述工件保持部而分別被壓抵。

藉此，能以工件保持部之簡單構成將工件定位及保持。

亦可於上述一夾模面設置有吸附保持上述工件的工件吸附機構。

藉此，不僅是藉由工件保持部的朝工件外周面之壓抵之工件保持，而且藉由於一夾模面吸附保持工件，能確實地防止工件的位置偏移或脫落。

當於上模夾模面設有上述工件保持部時，可防止保持於上模夾模面的工件之掉落，提高裝置的可靠性。

當於上述一對模具間具備形成減壓空間的減壓機構時，即使於閉模之模製模具形成有減壓空間，仍可藉由工件保持部保持工件外周面，因此可消除工件因差壓所致從夾模面脫落之情況。

於具備上述任一模製模具的樹脂模製裝置中，能儘可能地增大樹脂封裝部的大小，且可提高生產率及良率，俾達成提高大張尺寸的成形品之成形品質。

若採用上述模製模具，可防止保持於夾模面的工件之位置偏移或脫落，且能大幅地確保樹脂封裝部的尺寸。

此外，在具備上述模製模具的樹脂模製裝置中，能儘可能地增大樹脂封裝部的尺寸，提高生產率及良率，且能提高大張尺寸的成形品之成形品質。

Ud‧‧‧分配器

Up‧‧‧加壓單元

Uw‧‧‧工件處理單元

W‧‧‧工件

1‧‧‧工件供給部

2‧‧‧成形品收納部

M‧‧‧成形品

3‧‧‧烘烤爐

4‧‧‧機器人搬送裝置

4a‧‧‧機械手

5‧‧‧加壓部

6‧‧‧模製模具

6A‧‧‧上模

6B‧‧‧下模

6C‧‧‧下模模穴凹部

6a‧‧‧上模夾模面

6b,10b,10c‧‧‧通氣孔

6c,6g1,6g2,6q‧‧‧通氣路徑

6d,6k,60‧‧‧工件保持銷

6e‧‧‧下模塊

6f‧‧‧下模模仁

6g‧‧‧下模可動夾模器

6h‧‧‧螺旋彈簧

6i‧‧‧密封環

6j‧‧‧推桿

6k1‧‧‧銷本體

6k2,13e,40a‧‧‧旋轉軸

6k3,60a‧‧‧一端部

6k4,60b‧‧‧另一端部

6k5,40c,61‧‧‧彈性構件

6k6,62‧‧‧螺旋彈簧

6m‧‧‧下模腔塊

6n‧‧‧密封材

6p‧‧‧上模腔塊

6r‧‧‧上模吸排氣機構

6s‧‧‧下模吸排氣機構

8‧‧‧薄膜供給部

8a‧‧‧薄膜捲

F‧‧‧單片薄膜

9‧‧‧分配器

10‧‧‧面板裝載機

10a‧‧‧逃逸用凹部

11‧‧‧薄膜裝載機

12‧‧‧薄膜回收部

13,19‧‧‧支點框體

13a‧‧‧矩形框體

13b‧‧‧支點桿

13c,19a‧‧‧薄膜夾頭

13d‧‧‧旋轉槓桿

13f‧‧‧棘輪機構

13g‧‧‧導引構件

13h‧‧‧可動構件

13i‧‧‧支撐構件

13j‧‧‧收容部

13k:薄膜按壓部

13m:按壓彈簧

14:導軌

15:頂銷

16:流槽

17:工作台

18:切割機

19b:夾頭保持部

19c:滑塊

19d:框體部

19e:凸緣部

19f:支點部

20:薄膜下垂檢測部

30:反轉部

40:夾頭

40b:夾頭本體

40d:旋轉用偏置構件

40e:止銷

40f:升降用孔

40g:升降用彈性體

40h:收容凹部

第1圖為顯示樹脂模製裝置的概略構成之平面佈局圖。

第2A~2F圖為顯示單片薄膜的搬送準備與模製樹脂供給步驟之說明圖。

第3圖為薄膜搬送裝置之俯視圖。

第4圖為顯示模製模具的構成之剖視圖。

第5圖為顯示第4圖的上模之工件保持部的構成例之說明圖。

第6A、6B圖為顯示針對其他例子的上模之工件保持部的構成之說明圖。

第7A~7D圖為顯示工件保持部的佈局構成例之俯視說明圖。

第8A~8C圖為顯示針對上模的工件供給步驟之說明圖。

第9A~9D圖為樹脂模製步驟之說明圖。

第10A、10B圖為顯示其他例子的工件保持部之構成例之剖視說明圖。

第11圖為第5圖所示的上模的變形例之要部放大圖。

第12圖為顯示其他例子的工件保持部之構成例之剖視說明圖。

以下，針對本發明之薄膜搬送裝置及具備此薄膜搬送裝置之樹脂模製裝置的較佳實施形態，連同所附圖式一起進行詳述。以下的說明中，使用樹脂模製裝 置進行說明，該樹脂模製裝置係對使用例如各邊為600mm的矩形狀工件作為工件，且使用此工件以上的大小之單片薄膜作為薄膜而進行樹脂模製。再者，以下的說明中，作為樹脂模製裝置的一例，係將下模設為可動模且將上模設為固定模。此外，樹脂模製裝置係具備模開閉機構，但省略圖示，且以模製模具的構成為重點進行說明。

首先，參照第1圖，針對樹脂模製裝置的概略構成進行說明。於此樹脂模製裝置中，控制部(未圖示)係控制後述的各部分而進行各種動作。本實施例之模製裝置，係與工件處理單元Uw、2台加壓單元Up、分配單元Ud連結所構成，且自動地對裝置內的工件W進行樹脂模製。

工件處理單元Uw，例如具備工件供給部1、成形品收納部2、烘烤爐3、及機器人搬送裝置4。於工件供給部1收納有例如作為工件W且各邊為600mm左右大小之矩形面板(基板、承載器等)。於成形品收納部2收納有在後述的加壓部5中經樹脂模製後之成形品M。烘烤爐3係藉由將利用後述的加壓部5進行了樹脂模製之成形品M分別收納於設置在爐內的多層櫃架內進行後烘烤而使樹脂封裝部加熱硬化。機器人搬送裝置4係於圍繞其而配置的各部分之間進行工件W及成形品M的交接及搬送。此機器人搬送裝置4，例如自工件供給部1取出工件W並予供給，將成形品M朝烘烤爐3搬送，且自烘烤爐3依序朝成形品收納部2搬送並予收納。機器 人搬送裝置4，例如可使用垂直多關節型、水平多關節型、或將其等複合而成的多關節型之機器人，且藉由在機械手4a吸附或把持工件W或成形品M而予以保持並搬送。此外，於工件處理單元Uw中，也可將冷卻成形品M之冷卻部、進行成形品的外觀檢查等之檢查部、讀取鏈結在各個工件W上的成形條件之資料讀取部、及使工件W或成形品M之表背反轉的反轉部30，配置於機器人搬送裝置4的周圍。例如，反轉部30係於工件供給部1中使在工件W進行樹脂模製成形的面(成形面)向上被供給時，使成形面朝向下面。此外，反轉部30，係在將完成樹脂模製成形的成形品M收納於收納部2之前以成形面向上之方式進行反轉。

加壓單元Up的加壓部5，具備壓縮成形用之模製模具6(上模6A及下模6B)，該模製模具6係於使台板相對於設置在四個角落的導柱5a升降的公知之模開閉機構進行開閉。本實施例中，加壓單元Up係設置於2處，但也可設置於1處或3處以上。

薄膜機械手13(薄膜搬送裝置)，係於自分配器9朝在分配單元Ud中被自薄膜供給部8供給的單片薄膜F供給模製樹脂(例如，顆粒樹脂或粉末樹脂)的狀態下，被搬送至加壓部5之模製模具6內。於薄膜供給部8設有長條狀的薄膜被捲繞成捲筒狀的薄膜捲8a。於自此薄膜捲8a抽出薄膜端的狀態下，切斷(裁切)為任意尺寸的矩形形狀而作為單片薄膜F備於工作台17上。

在對後述之薄膜機械手13施加所需張力(tension)以支撐單片薄膜F的狀態下，分配器9朝單片薄膜F上供給1次樹脂模製所需的模製樹脂R(顆粒樹脂)。再者，也可採用粉末樹脂、液狀樹脂或片狀樹脂、或將此等組合使用，以取代顆粒樹脂。

單片薄膜F係具有耐熱性者，且容易自模具面剝離，及具有柔軟性、延展性者，例如，可適宜使用以PTFE、ETFE、PET、FEP薄膜、含浸氟素玻璃纖維、聚丙烯薄膜、聚偏二氯乙烯等作為主成分之單層膜或多層膜。

面板裝載機10，係所謂之工件裝載機，其自機器人搬送裝置4之機械手4a接取工件W並搬入加壓部5之模製模具6(上模6A)。此外，面板裝載機10係自模製模具6a接取成形品M並移交至機器人搬送裝置4之機械手4a。面板裝載機10，在自模製模具6取出成形品M時，使用完畢的單片薄膜F也被吸附保持並取出，取出之單片薄膜F被回收至薄膜回收部12。

薄膜裝載機11，係接取對薄膜機械手13施加所需張力並保持的單片薄膜F及供給於該薄膜F上的模製樹脂R(顆粒樹脂)且朝模製模具6(下模6B)搬送。面板裝載機10及薄膜裝載機11，係被設置成沿著裝置的長邊方向鋪設之複數個導軌14往返移動。此外，未圖示之裝載機手，係被構成為自導軌14上的位置以正交的方式朝各部分(例如，加壓部5)移動。

在此，參照第2A~F圖及第3圖，針對薄膜機械手13之構成進行說明。

如第2B圖所示，薄膜機械手13具備既定形狀之框體(例如矩形框體13a)，該既定形狀之框體，係與圍繞後述的下模模穴凹部6C之下模夾模面對應。

此外，於薄膜機械手13中作為支點部對單片薄膜F施加張力的支點框體13b，係沿矩形框體13a設置成矩形形狀(參照第3圖)。在支點部方面，也可使用矩形框體13a的外側角部，以取代設置支點框體13b而。

此外，於薄膜機械手13之外側設置有將單片薄膜F的外周緣部遍及全周予以把持之複數個薄膜夾頭13c(薄膜把持部)。具體言之，如第2B圖所示，為了把持矩形狀的單片薄膜F進行搬送，於對向的邊設置有一對薄膜夾頭13c(薄膜把持部)。一對薄膜夾頭13c，係使用開閉式的夾頭，其於各邊夾入矩形狀的單片薄膜F之外周緣部而予保持。一對薄膜夾頭13c的長邊方向兩端，係藉由一對旋轉槓桿13d(旋轉構件)而被分別支撐。一對旋轉槓桿13d，係被設置為能以於矩形框體13a中被形成於較薄膜夾頭13c靠內側的旋轉軸13e為中心進行旋轉。因此，一對薄膜夾頭13c，係於旋轉槓桿13d上被設置在旋轉軸13e的相反側。旋轉槓桿13d係設置有僅朝相對於支點框體13b偏移的方向旋轉之偏移機構。

具體而言，如第3圖所示，於薄膜夾頭13c的旋轉軸13e設置有棘齒與棘爪嚙合之棘輪機構13f。棘 輪機構13f容許薄膜夾頭13c以旋轉軸13e為中心僅朝自支點框體13b分離的方向(第2C圖之箭頭方向)旋轉既定的角度。藉此，藉由使薄膜夾頭13c在朝一方向旋轉的既定旋轉位置停留，可於維持施加在單片薄膜F的張力之狀態下進行搬送。再者，也可取代棘輪機構13f，而設為藉由伺服馬達或力矩馬達等之驅動機構，朝單片薄膜F施加任意的張力，且維持此施加的張力之構成。此時，薄膜機械手13雖變得較設置棘輪機構13f的構成更容易大型化，但反過來在能隨時調整施加在單片薄膜F的張力上則較佳。

如第2C圖所示，於藉由一對薄膜夾頭13c把持單片薄膜F的外周緣部(4邊)之狀態下，藉由頂銷15向上推動旋轉槓桿13d，該頂銷15係藉由未圖示的升降驅動機構(汽缸驅動、電磁驅動、馬達驅動等)進行升降。此時，旋轉槓桿13d係以旋轉軸13e為中心進行旋轉而使薄膜夾頭13c朝相對於支點框體13b分離的方向(箭頭方向)偏移。藉此，覆蓋薄膜機械手13之框體開口部的單片薄膜F的端部彼此，係於增加經由支點框體13b被拉伸的量而增加所要的張力之狀態下被一體保持。再者，於旋轉槓桿13d返回原來的位置之情況下，只要再次藉由頂銷15將旋轉槓桿13d上推至既定的角度，就可解除棘輪機構13f(參照第3圖)的嚙合，從而能使旋轉槓桿13d返回原來的位置。

如第2C圖所示，藉由使薄膜夾頭13c以旋轉軸13e為中心旋轉而使薄膜夾頭13c自支點框體13b分 離，可增加單片薄膜F的端部彼此經由支點框體13b而被拉伸的量，從而能加強張力。尤其是，藉由配置於四邊之薄膜夾頭13c的以旋轉軸13e為中心之各自之旋轉，能於薄膜的每邊對單片薄膜F之張力進行調整，因此，可將能對單片薄膜F施加適宜的張力之薄膜機械手13作成小型且簡單的構成。

在施加有所要的張力之單片薄膜F上，自分配器9(參照第1圖)例如通過流槽16(參照第2D圖)供給1次樹脂模製所需量的模製樹脂R(顆粒樹脂)，可不偏重而均勻地供給於單片薄膜F上(參照第2E圖)。再者，於矩形框體13a之上部開口形成有俯視為矩形形狀的越朝開口端部則口徑越大的傾斜部13g。藉由朝此傾斜部13g的內側供給模製樹脂R，可將模製樹脂R以任意的形狀供給於單片薄膜F上。

此時，藉由傾斜部13g，以防止供給於單片薄膜F上的模製樹脂R越過矩形框體13a的上面。再者，藉由包含傾斜部13g在內將矩形框體13a的內側設為圓形，可於單片薄膜F上將模製樹脂R供給於圓形區域內。藉此，與外形圓形或外形矩形之模穴的形狀無關，僅僅只要變更部分的構造，即可利用同樣的單片薄膜F之搬送構造。

此外，如第2F圖所示，於將模製樹脂R供給於單片薄膜F的狀態下，薄膜機械手13(矩形框體13a)藉由薄膜裝載機11夾持，被朝模製模具6搬送。

在此，於單片薄膜F藉由薄膜裝載機11被自工作台17抬起時，若張力不充分，則會因模製樹脂R的重量，單片薄膜F有可能在中央等處下垂。因此，也可於靠近工作台17的位置設置薄膜下垂檢測部20(參照第2E圖)。作為薄膜下垂檢測部20，例如可使用具備發光部及受光部且檢測其等間的遮蔽狀態或遮蔽位置的雷射感測器。此時，較佳為，發光部與受光部係設置於隔著薄膜機械手13的位置。此外，作為薄膜下垂檢測部20，藉由檢測工作台17上之空間內的遮蔽物，可於抬起薄膜機械手13時單片薄膜F自適宜的位置下垂時進行檢測。薄膜下垂檢測部20，可僅設置一組以檢測在1方向的下垂，也可如第3圖所示設置2組以在交叉的2個方向進行檢測。再者，作為薄膜下垂檢測部20，只要能檢測單片薄膜F的下垂，即可為任意的構成。例如，也可設為接觸感測器(開關)，也可設為檢測於將薄膜機械手13抬起至既定的高度時下垂的薄膜所接觸的情況。

再者，分別把持第3圖所示的矩形之單片薄膜F的各邊之薄膜夾頭13c，也可將在各邊上推的量設為均勻或者也可設為不同。此時，藉由均勻地設定例如設置於單片薄膜F的頂銷15之上推量，可施加與以旋轉軸13e為中心的旋轉量對應的張力。此外，也可使對向的邊上之每組之一對薄膜夾頭13c的上推量不同。此時，根據單片薄膜F的各邊之長度、因自薄膜捲8a抽出的方向等而引起的薄膜之伸長容易度等，藉由使每組薄膜夾頭13c的上推量不同，也能均勻地設定施加於單片 薄膜F的各邊之張力。例如，若為如第3圖所示橫邊長的薄膜，只要使朝長邊方向(該圖的左右方向)拉伸的2邊(右邊及左邊)之一對薄膜夾頭13c的上推量，與朝短邊方向(該圖的上下方向)拉伸的2邊(上邊及下邊)的一對薄膜夾頭13c的上推量不同即可。亦即，只要將長邊方向的薄膜夾頭13c的上推量設為較短邊方向的薄膜夾頭13c的上推量大即可。換言之，藉由相對於長的邊更多量地拉伸，則與邊的長度無關，能設為均勻地拉伸的狀態。藉此，可於長邊方向及短邊方向的方向上均勻地設定施加於單片薄膜F的張力。

此外，不限於如第3圖所示在每邊一體地夾持單片薄膜F之情況，薄膜夾頭13c也可在一條邊上分割設置複數個。此時，根據產生於單片薄膜F的皺褶的狀態(位置)，藉由改變在邊的位置上之薄膜夾頭13c的旋轉量而以將單片薄膜F扭轉的方式施加張力，可於使皺褶伸長的狀態下予以保持。例如，若張力局部升高則會於此位置以外產生皺褶。因此可為以下之構成，首先，於均勻地上推薄膜夾頭13c而施加張力之後，當產生皺褶時，則減弱該部分的張力，或提高該部分以外的張力。並且，薄膜夾頭13c不僅可為為了以與邊的延伸方向交叉的方式拉伸而在單片薄膜F之邊上以既定的長度進行把持的構成，而且也可為在單片薄膜F的角部，為了朝自中心分離的方向拉伸而把持單片薄膜F的角部之構成。

藉此，藉由改變被分割的薄膜夾頭13c之來自支點框體13b的偏移量，且根據在單片薄膜F上產生的皺褶的方向及皺褶的大小以將單片薄膜F扭轉的方式施加張力，從而能消除薄膜固有的皺褶之發生。

其次，參照第4圖，對加壓部5具備的模製模具6之構成進行說明。本實施例例示了壓縮成形用的模製模具6。此模製模具6，藉由於任意的位置設置加熱器(未圖示)，使模製樹脂R加熱硬化，對工件W進行樹脂模製，而製造成形品M。為了於上模6A的上模夾模面6a上吸附保持工件W，形成有通氣孔6b及與其連通的通氣路徑6c。此外，於矩形工件W的外緣部且於複數個部位及對向位置設置有工件保持銷6d。工件保持銷6d係按壓保持工件W之外周面。較佳為，工件保持銷6d可為圓柱狀的銷，也可為方柱狀的銷，且經由彈性體壓抵在工件W上的構成。此外，工件保持銷6d，也可於吸附保持工件W時作為對工件W進行定心的導引。根據此種構成，例如，與以L字的爪狀鉤保持工件W的外周之構成比較，能增大模穴的面積。

下模6B係於下模塊6e一體支撐有形成下模模穴底部的下模模仁6f。於下模模仁6f的周圍且於下模塊6e上，經由螺旋彈簧6h浮動支撐有形成下模模穴側部的下模可動夾模器6g。下模模穴凹部6C係藉由下模模仁6f及下模可動夾模器6g形成。下模可動夾模器6g與下模模仁6f之間隙，係設置有密封環6i(O形環)而被密封。此外，於下模可動夾模器6g分別設置有用以將單 片薄膜F吸附保持於包含下模模穴凹部6C的下模面的通氣路徑6g1,6g2。通氣路徑6g1係自下模模仁6f與下模可動夾模器6g之間隙吸附薄膜內周側，通氣路徑6g2係構成為在下模可動夾模器6g的夾模面吸附薄膜外周側。藉此，單片薄膜F被以模仿下模模穴凹部6C的凹形狀的方式吸附。再者，也可於上模6A與下模6B之間設置上下一對夾模塊(未圖示)，該一對夾模塊，係當開始夾模動作時用以在模具內形成減壓空間。

此外，在下模6B的下模可動夾模器6g之外側設置有推桿6j(張力施加機構)。此推桿6j係為了進一步加強朝單片薄膜F的張力而被設置。例如，藉由薄膜裝載機11，使單片薄膜F連同薄膜機械手13一起被搬入下模6B時，因來自下模6B的輻射熱而會於單片薄膜F上產生伸展進而招致張力降低。此時，若單片薄膜F的張力降低而產生鬆弛，則會因單片薄膜F的自重、或供給之模製樹脂R的重量，造成單片薄膜F之中央部下垂。此時，於將單片薄膜F載置於下模6B上時，單片薄膜F的鬆弛有可能成為皺褶。此外，若單片薄膜F之中央部的下垂變大，則模製樹脂R會朝中央集中，致使在模穴內均勻地供給模製樹脂R變得困難。因此，推桿6j係設置在與下模6B的旋轉槓桿13d對應之位置，例如藉由升降驅動機構(例如汽缸驅動、電磁驅動、馬達驅動等的驅動機構)而升降，從而被構成為能使旋轉槓桿13d旋轉。此推桿6j係被設置為用以增加一對薄膜夾頭13c的偏移量以進一步加強朝單片薄膜F的張力。此外，此推桿6j也能使用於棘輪機構13f的解除。

若藉由薄膜裝載機11而與薄膜機械手13一同將單片薄膜F載置於下模6B(下模可動夾模器6g)，則配置於旋轉槓桿13d之正下方的推桿6j動作而使旋轉槓桿13d朝增加薄膜夾頭13c的偏移量的方向旋轉。藉此，可防止單片薄膜F的張力在夾模前下降。當然，單片薄膜F靠近下模6B時，也可朝增加薄膜夾頭13c的偏移量之方向旋轉。

在此，參照第5圖，對設置於上模6A的工件保持銷6d之具體構成例進行說明。工件保持銷6d，係沿被吸附保持於上模夾模面6a的工件W之外形以既定間隔被配置在複數個部位(參照第7A~D圖)。再者，較佳為，工件保持銷6d係被配置於使對工件W施加的力被抵銷而不會產生位置偏移的對向位置。工件保持銷6d，係被設定為例如被形成為L字狀的一端部6d1能以旋轉軸6d2為中心擺動地被收容於上模6A內，另一端部6d3係自上模6A的上模夾模面6a突設。因此，另一端部6d3係於上模6A的上模夾模面6a能朝水平方向(第5圖的左右方向)前後移動。具體而言，另一端部6d3係於靠近工件W的外周面的方向且朝工件W之中央側的方向(第5圖中的右方向)、及自工件W之外周面分離的方向(第5圖中的左方向)擺動。

自上模夾模面6a突設之另一端部6d3，係由彈性構件(橡膠覆蓋體)6d4所覆蓋。此外，工件保持銷6d係藉由設置於上模6A內的螺旋彈簧6d5以旋轉軸6d2為中心朝自上模夾模面6a站起的方向(第5圖之逆時針方向)始終對另一端部6d3偏置。

藉此，工件保持銷6d的另一端部6d3變得被壓抵於工件W的側面(外周面)。因此，即使因工件W的自重、或以未圖示的減壓機構使工件W之下方成為負壓，而對工件W施加掉落的方向的力，也能防止工件W的掉落。此外，可於上模夾模面6a一面對工件W定心一面保持。此外，藉由按壓工件W的外周面之彈性構件6d4彈性變形，能確實地防止工件W的掉落。例如，於工件W為晶圓時，在其外周面的截面形狀成為上下的角部被大幅地倒有圓角的形狀。換言之，工件W的厚度方向之中心位置變凸。此時，若將彈性構件6d4壓抵在工件W的側面，厚度方向之中心位置會成為咬入彈性構件6d4的狀態。因此，於工件W為晶圓時，能更有效地發揮彈性構件6d4的防止工件W掉落之功能。

此外，藉由合併使用工件保持銷6d的朝工件W之外周面的壓抵、及工件W的來自空氣吸附孔6b的吸附保持，能確實地防止工件W的相對於上模夾模面6a的位置偏移或脫落。

再者，如第11圖所示，第5圖所示的工件保持銷6d，可設置為藉由驅動源而能任意開閉的構成。第11圖為第5圖所示的上模6A之變形例的要部放大圖，對與第5圖相同的構成，賦予相同的符號並省略說明。於第11圖所示的上模6A中，壓銷6d6始終壓抵在工件保持銷6d的一端部6d1側。例如藉由汽缸或伺服馬達等驅動源(未圖示)而於任意的定時使壓銷6d6下降，可使工件保持銷6d以旋轉軸6d2為中心進行擺動。例如，於將工件W設定於上模夾模面6a之前，使另一端部6d3朝自工件W分離的方向(該圖左方向)移動。藉此，使另一端部6d3自載置有工件W的區域退避，與另一端部6d3不干涉而可將工件W設定於上模夾模面6a。此外，於以工件保持銷6d保持被設定於上模夾模面6a的工件W之情況下，藉由使壓銷6d6上升，藉由螺旋彈簧6d5的偏置力使工件保持銷6d擺動，以使另一端部6d3朝靠近工件W的外周面之方向(該圖右方向)移動。藉此，可將另一端部6d(彈性構件6d4)壓抵於被設定在上模夾模面6a的工件W之側面而予保持。

第6A、B圖顯示工件保持銷6d的變形例。工件保持銷6k係被形成為ㄈ字狀，且銷本體6k1能以旋轉軸6k2為中心擺動地被收容於上模6A內。銷本體6k1之一端部6k3，係被設置為可自相當於工件吸附面的上模夾模面6a朝下方出沒。此外，銷本體6k2之另一端部6k4，係自上模夾模面6a被始終突設在下方。抵接於工件W之另一端部6k4，係由彈性構件6k5所覆蓋。

此外，銷本體6k1之一端部6k3側，係藉由螺旋彈簧6k6以自上模夾模面6a朝下方突出的方式而始終被偏置。因此，銷本體6k1之另一端部6k4，係處於彈性構件6k5朝自工件W的外周面分離的方向(第6A圖的順時針方向)傾斜的狀態。

若藉由面板裝載機10(參照第1圖)，使工件W與上模夾模面6a位置對齊而重疊，如第6B圖所示，工件保持銷6k對抗螺旋彈簧6k6的偏置而將一端部6k3壓入上模6A內，銷本體6k1以旋轉軸6k2為中心朝逆時針方向旋轉既定量。藉此，另一端部6k4經由彈性構件6k5被壓抵於工件W的外周面。此外，工件W係藉由通氣孔6b被空氣吸附保持於上模夾模面6a。如此，也可設為藉由將工件W壓抵於上模夾模面6a，且使工件保持銷6k旋轉，而將彈性構件6k5壓抵於工件W的外周面之構成。

參照第7A~D圖，對工件保持銷6d(6k)的形態及佈局例進行說明。第7圖中圖示工件保持銷6d進行說明。

第7A、B圖係假定工件W為半導體晶圓或承載器盤等圓形者。工件保持銷6d(6k)，係沿外形且以既定間隔被配置在工件W，而且設置於徑向對向的位置。此外，於圓形的工件W中，較佳為，工件保持銷6d(6k)，係藉由使工件保持銷6k朝工件W的中心點轉動，而壓抵(壓接)於工件W。再者，工件保持銷6d(6k)，也可不設置於徑向對向的位置。例如，於工件為圓形的情況，也可沿工件W外形被配置在等間隔(5等分、7等分等)位置，或者也可配置於使工件保持銷6d(6k)的壓抵力抵銷的位置。

藉此，藉由對向的工件保持銷6d之壓抵力，可朝徑向中心對工件W進行定心。第7A圖例示使用將銷形狀作成圓柱狀者的情況，第7B圖例示使用將形狀作成具有能沿工件W的圓弧狀更寬地按壓的面之塊形狀者之情況。

第7C、D圖係假定工件W為半導體基板或承載器盤等矩形者。工件保持銷6d(6k)，係以既定間隔配置於工件W的各邊，而且設置於隔著線對稱的中心線而對向的位置。藉此，藉由對向的工件保持銷6d之壓抵力，可將工件W朝對向邊的中心(中央)分別進行定心。第7C圖例示使用將銷形狀作成圓柱狀者的情況，第7D圖例示使用將形狀作成具有能沿工件W的直線狀邊更寬地按壓的面之矩形(塊狀)者的情況。

接著，參照第8A~C圖，針對面板裝載機10的朝模製模具6之工件供給動作進行說明。第8A~C圖僅圖示出上模6A進行說明。

第8A圖中，面板裝載機10，係使半導體晶片搭載面朝向下面側來吸附搬送工件W。亦即，於面板裝載機10的上面形成有用以收容半導體晶片等的逃逸用凹部10a，且於其周圍形成有能吸附保持工件W的通氣孔10b。此外，於逃逸用凹部10a形成有吐出空氣的通氣孔10c，該通氣孔10c係於將工件W移交於上模夾模面6a時容易遞交工件W，且用以防止因工件W的自重而引起之下垂。

如第8A圖所示，將工件W的半導體晶片搭載面朝向逃逸用凹部10a進行載置，且自通氣孔10b進行空氣吸引而將工件W吸附保持於裝載機上面，並自連通於逃逸用凹部10a的通氣孔10c吐出空氣，一面防止因工件W的自重所導致的下垂一面進行保持。在此，於通氣孔10b中吸附保持工件W，因此即使自通氣孔10c 吐出空氣，工件W仍不會自既定的位置移動。再者，自通氣孔10c吐出之空氣，也可作為加熱的空氣，對工件W進行預熱，藉由熱膨脹而使之預先任意伸展。此時，還可極力減輕工件W被壓抵於未圖示的加熱器加熱之上模夾模面6a後因熱膨脹率之差所引起之位置偏移。如此，保持著工件W的面板裝載機10進入已開模之模製模具6。

面板裝載機10，係對設置於上模6A的上模夾模面6a之工件保持銷6d與工件W的外形進行定位。此時，也可藉由未圖示的上模吸排氣機構，自上模6A的通氣孔6b及連通於此通氣孔6b之通氣路徑6c預先開始空氣吸引動作。

如第8B圖所示，使面板裝載機10上升，將工件W壓抵於上模夾模面6a。此時，自面板裝載機10之吸附工件W的空氣吸引孔10b吐出空氣且自連通於逃逸用凹部10a之通氣孔10c吐出空氣，從而可確實地將工件W移交至上模夾模面6a。再者，此時也可藉由增加自通氣孔10c吐出的空氣(提高壓力)，對工件W進行加壓，以成為中間高出的方式加以保持的狀態將工件W壓抵於上模夾模面6a。此時，不會於上模夾模面6a與工件W之間隙殘留空氣，從而可平坦地保持工件W。

於工件W被壓抵於上模夾模面6a時，使工件保持銷6d分別壓抵於外周面而進行定心。如此，可藉由工件保持銷6d對工件W進行定心，因此不需要另外的定心用之定位銷。於完成定位(定心)之後，藉由來自通氣孔6b的空氣吸引而被吸附保持於上模夾模面6a。

藉此，如第8C圖所示，當使面板裝載機10自上模夾模面6a退避時，工件W自面板裝載機10的上面被移交至對向之上模6A的上模夾模面6a。此時，藉由在工件W之周圍對向配置的工件保持銷6d按壓工件外周面，一面使彈性構件6d4(參照第5圖)彈性變形一面夾入工件W而予保持，因而可確實地防止工件W的掉落或位置偏移。

此外，根據本實施例所示的構成，即使壓抵於被加熱的上模夾模面6a之工件W被加熱而熱膨脹使得外徑變大，由於工件保持銷6d的另一端部6d3能前後移動，因此仍可維持以適當的力進行保持的狀態。此外，於設置有彈性構件6d4之情況下，可吸收因加熱所致工件W的外徑增大，從而能維持以適當的力保持的狀態。

接著，參照第9A~D圖，針對接續第8C圖的樹脂模製動作之一例進行說明。於第9A圖中，如前述，藉由薄膜裝載機11將單片薄膜F及顆粒樹脂R搬入下模6B。

於第9A圖中，藉由面板裝載機10(參照第1圖)，將例如各邊為600mm的大張尺寸之工件W(矩形面板、矩形基板等)搬入上模6A，且藉由設置於上模夾模面6a的通氣孔6b及通氣路徑6c進行吸附保持。此時，藉由在複數個部位且設置於對向位置的工件保持銷6d按壓保持工件W的外周面而移交至上模6A。此外，矩形形狀的工件W係工件W之外周面藉由工件保持銷6d均勻地按壓而藉由工件保持銷6d進行定心。再者，也可同時進 行單片薄膜F及顆粒樹脂R的搬入及工件W之搬入，或者也可於搬入工件W之後再搬入單片薄膜F及顆粒樹脂R。

接著，如第9B圖所示，將模製模具6閉模。例如，使下模6B上升且在與上模6A之間夾持工件W。再者，較佳為，於上模6A與下模6B夾持工件W之前，在上模6A與下模6B之間，藉由後述的上模腔塊6p與下模腔塊6m隔有密封材6n地進行夾持而將模具空間封閉以形成減壓空間，在減壓環境下進行模製成形(參照第10圖)。

接著，藉由將模製模具6進一步鎖緊，使螺旋彈簧6h被壓縮，下模可動夾模器6g以靠近下模塊6e的方式移動。因此，藉由使下模模穴凹部6C之模穴的高度(深度)降低(變淺)，使工件W浸漬於在下模模穴凹部6C內熔融的顆粒樹脂R中並藉由施加樹脂壓力而進行加熱加壓。第9C圖顯示完成模製模具6的鎖模動作，且使工件W浸漬於在下模模穴凹部6C內熔融的顆粒樹脂R中並進行加熱加壓使之硬化(壓縮成形)的狀態。

當模製模具6的加熱硬化一結束時，進行模製模具6的開模。在此，於維持著成形品M對上模6A的上模夾模面6之吸附保持、及單片薄膜F朝包含下模模穴凹部6C的下模夾模面的吸附保持之狀態下，進行開模。藉此，如第9D圖所示，於開模狀態下，成形品M成為被吸附保持於上模6A的上模夾模面6a之狀態，單片薄膜F成為被吸附保持在包含下模模穴凹部6C的下模 夾模面之狀態。如此，在藉由設為將成形品M與使用後的單片薄膜F保持於個別之模具的狀態，將其等自加壓部5取出且搬送至各自的收納．收容處的前提下，可簡化步驟。

接著，於第1圖中，面板裝載機10進入已開模之模製模具6，成形品M自上模6A被解除通氣孔6b的吸附且自通氣孔10b進行空氣吸引，而將工件W吸附保持於裝載機上面，並移交至面板裝載機10。此外，使用完畢的單片薄膜F自下模6B被移交至面板裝載機10的相反面(下面側)。此時，較佳為，為了將成形品M自上模夾模面6a移交至面板裝載機10，而自通氣孔6b噴出壓縮空氣，並且為了將單片薄膜F自下模面移交至面板裝載機10，而自通氣路徑6g1,6g2噴出壓縮空氣(參照第9D圖)。成形品M係自面板裝載機10被移交至機器人搬送裝置4之機械手4a。使用完畢的單片薄膜F，係自面板裝載機10被朝薄膜回收部12排出且被回收。機械手4a保持成形品M，且搬入既定的烘烤爐3。在烘烤爐3中進行成形品M的後烘烤。接著，機械手4a自烘烤爐3取出成形品M，完成針對工件W的所有步驟，進而完成成形品M的製造步驟。接著，成形品M被搬入成形品收納部2，以收納成形品M。

如此，根據本實施例，藉由使用搬送上述單片薄膜F的薄膜機械手13，以減少薄膜使用量，達成運轉成本降低，可提高大張尺寸的成形品之成形品質，且可抑制設置面積。

接著，參照第10A~B圖，針對模製模具6具備的工件保持部之其他例子進行說明。

其他例子的一大特徵在於，工件保持部即夾頭本體40b被構成為可於上模6A內出沒這點。如第10A圖所示，上模6A係於上模夾模面6a且沿工件W的外周對向的位置，具備複數個(例如6個、8個等)的夾頭40。夾頭40係於上模6A的下面，其前端能轉動地突出，藉由自外側按壓工件W的外周面，以夾入工件W的外周面之方式進行保持以防止掉落。作為一例，夾頭40具有相對於設置在上模6A的旋轉軸40a能旋轉地被軸支之夾頭本體40b、覆蓋夾頭本體40b的下端部而設置之彈性構件40c、及以旋轉軸40a為中心朝旋轉方向(第10A圖逆時針方向)始終按壓夾頭本體40b的旋轉用偏置構件40d。藉此，彈性構件40c藉由自工件W的側面按壓在外周面，而彈性變形，成為工件W咬入彈性構件40c的狀態。因此，若使用此種的夾頭40，藉由設置於夾頭本體40b的彈性構件40c，可將工件W保持於上模6A，防止位置偏移或掉落。此外，可將下模模穴6C的外周位置擴大至靠近工件W的外周位置，可增加取得個數，提高生產率。

此外，如第10A圖所示，夾頭40係藉由設置於上模6A的止銷40e而被限制夾頭本體40b之旋轉角度。因此，藉由複數個夾頭40的彈性構件40c之下端的模內周位置P所區劃之區域，係可設為較工件W的外周形狀大。換言之，夾頭本體40b的下端，也可設置為朝 裝置外側稍微開放。藉此，於對上模6A自下方設定工件W時，工件W與夾頭40干涉消失，從而能容易進行工件W朝上模6A之設定。

再者，於第10A圖中，於下模塊6e上，下模腔塊6m是以圍繞下模可動夾模器6h的外側之方式配置。此外，上模腔塊6p是以與下模腔塊6m對向並圍繞上模6A的方式配置。於下模腔塊6m的夾模面設置有密封材6n。此外，於上模腔塊6p形成有用以在模製模具6內形成減壓空間的通氣路徑6q。設置於上模6A側的通氣路徑6c,6q被連接於上模吸排氣機構6r，設置於下模6B側的通氣路徑6g1,6g2被連接於下模吸排氣機構6s。

如第10B圖所示，當夾持模製模具6時，上模腔塊6p與下模腔塊6m將密封材6n壓扁而於模製模具6內形成封閉空間，且藉由自通氣路徑6q進行空氣吸引，以形成減壓空間。即使於閉模的模製模具6形成有減壓空間，由於藉由夾頭40將工件外周面保持，所以不會有工件W因差壓而自上模夾模面6a脫落之虞。

此外，也可於上模6A能升降地設置夾頭40。此時，例如，於上模6A的上模夾模面6a設置有能供夾頭本體40b出沒的收容凹部40h。此外，於夾頭本體40b設置有供旋轉軸40a插入的長孔狀之升降用孔40f。於收容凹部40h的底部連結有升降用彈性體40g(例如螺旋彈簧等)的一端，且另一端連結於夾頭本體40b的上端部。升降用彈性體40係朝夾頭本體40b的下端部始終會自上模夾模面6a突出的方向偏置。

如第10B圖所示，當工件W被模製模具6夾持且藉由下模可動夾模器6g對抗升降用彈性體40g的偏置力使夾頭本體40b被頂推時，則升降用孔40f一面被旋轉軸40a導引，夾頭本體40b一面上升，升降用彈性體40g被壓縮，從而將夾頭本體40b收容於收容凹部40h內。此外，藉由旋轉用彈性體40d，以抵接於止銷40e的方式按壓夾頭本體40b，將彈性構件40b壓抵於工件W的外周面而進行夾持。

藉此，不需要在下模可動夾模器6g設置夾頭40的退避空間，從而能簡化模具構成。此外，能防止離型薄膜F的歪斜，確保朝下模6B的穩定貼附。再者，本實施形態的夾頭機構，不限於其他的實施形態，只要為於下模6B具備下模模穴6C的構成之壓縮成形模具，即可任意採用。

上述實施形態已針對將工件W藉由面板裝載機10搬送並移交至模製模具6之上模夾模面6a的情況進行了說明，但也可對下模夾模面移交工件W。

此外，已針對使用矩形的單片薄膜F對矩形狀之工件W進行樹脂模製之情況進行了說明，但也可將圓形的工件W(例如，半導體晶圓或環狀承載器等)連同矩形的單片薄膜F一同搬送。

此外，模製模具6係使用壓縮成形用的模具進行了說明，但也可為轉印成形用的模具。

此外，如上述，分配單元Ud也可裝入樹脂模製裝置中作使用，但也可作為單體使用。此時，也可 於分配單元Ud中準備保持已被施加既定張力之單片薄膜F的薄膜機械手13，且按各薄膜機械手對另外設置的加壓單元Up進行供給。

此外，也可使用例如將工件W或成形品M的表背反轉之反轉部30(參照第1圖)，對工件W的兩面進行樹脂模製成形。此時，也可於工件W的一面進行樹脂模製成形之後返回工件處理單元Uw，且以反轉部30使成形品M反轉之後，對工件W(成形品M)的另一面進行樹脂模製成形。此外，也可取代反轉部30，將機械手4a設為能反轉的機器人搬送裝置4。

此外，也可取代能任意開閉第11圖所示的工件保持銷6d的構成，如第12圖所示，作成在不追加設置另外的驅動機構下，例如藉由作為裝置構成必需的面板裝載機10所進行的工件W朝上模夾模面6a的交接動作而可開閉工件保持銷6d的構成。例如，如第12圖所示，上模6A具有工件保持銷60、覆蓋工件保持銷60的前端部之彈性構件61、及始終朝閉合工件保持銷60的方向偏置之螺旋彈簧62。工件保持銷60，例如，如同一圖所示，被形成為ㄈ字狀，且位於偏離工件W的載置位置之位置的一端部60a、及位於較其還靠近工件W的位置之另一端部60b，係自上模夾模面6a朝下方突設。自上模夾模面6a突設的一端部60a，係於前端部設置有傾斜面。此外，於立設在面板裝載機10的上面之頂銷10d的前端部也形成有與一端部60a對向的傾斜面。藉由面板裝載機10的工件W對上模6A的交接動作、即 與面板裝載機10的升降動作連動而使頂銷10d與一端部60a的傾斜面彼此在被壓抵的狀態下滑動，能使工件保持銷60開閉。再者，只要其等傾斜面設置於至少任一側，則亦可獲得相同的功效。自上模夾模面6a突設的另一端部60b之前端部，係由具有與上述實施例的彈性構件相同功能之彈性構件61覆蓋。工件保持銷60藉由螺旋彈簧62而始終朝另一端部60b靠近工件W的載置位置之方向(壓抵於工件外周面的方向；第12圖的右方向)偏置。

針對上述工件保持銷60的開閉動作之一例進行說明。當使保持工件W的面板裝載機10朝上模夾模面6a上升且靠近時，則頂銷10d被壓抵於一端部60a的傾斜面。藉由此頂銷10d的上升動作，對抗螺旋彈簧62的偏置，工件保持銷60的一端部60a朝該圖左方向移動。因此，工件保持銷60的另一端部60b自工件W的載置區域退避。接著，直到將工件W設定於上模夾模面6a為止使面板裝載機10靠近而進行吸附保持之後，藉由使面板裝載機10下降，且因頂銷10d的下降動作，工件保持銷60的另一端部60b因螺旋彈簧62之偏置而朝靠近工件W的方向移動。藉此，另一端部60b的彈性構件61被壓抵於工件W的外周面而保持工件W。如此，如第12圖所示，藉由利用面板裝載機10的升降動作以使工件保持銷60進行開閉動作，能簡化工件保持銷60之驅動機構。

此外，上述實施例中，雖已針對在上模6A設置工件保持銷6d的構成進行了說明，但也可為於下模6B設置工件保持銷6d的構成。此時，也可防止工件W的位置偏移或浮起等，從而能在適宜的位置進行模製成形。

此外，工件保持銷6d也能為省略彈性構件6d4的構成。此時，例如藉由將彈性構件6d4的位置設為設置有任意凹凸之摩擦面，可作成在不組合其他的構件下可確實地防止掉落的構成。例如，也可取代彈性構件6d4，而於銷的前端之工件W的接觸部分設置經壓花加工(斜紋、直紋或滾紋)的面、梨面、波浪面或多階溝面，利用摩擦力來防止掉落。

此外，雖已針對工件保持銷6d壓抵於工件W的外周面之構成進行了說明，但也可將工件保持銷6d插入設置於工件W的穴部，使工件保持銷6d壓抵於此穴部的內周面以保持工件W。此時，例如，不僅朝工件W的中心/中央壓抵此工件保持銷6d，且亦可朝工件W的外周壓抵工件保持銷6d。此外，工件W也可為將貼附有模製成形的晶片之膠帶以外周予以保持的環形框架。

6A‧‧‧上模

6a‧‧‧上模夾模面

6b‧‧‧通氣孔

6c‧‧‧通氣路徑

6d‧‧‧工件保持銷

6d1‧‧‧一端部

6d2‧‧‧旋轉軸

6d3‧‧‧另一端部

6d4‧‧‧彈性構件

6d5‧‧‧螺旋彈簧

W‧‧‧工件

Claims (6)

1. 一種模製模具，係將工件保持於一對模具中的一模具之夾模面且與另一模具進行夾模而進行樹脂模製，其特徵在於具備：工件保持部，於上述一模具的夾模面，沿上述工件的外形於複數個部位對向配置，且始終對上述工件之外周面朝壓抵的方向偏置；及開閉機構，使驅動源作動以抵抗偏置力使前述工件保持部朝自前述工件的外周面分離的方向移動，使驅動源作動並使前述工件保持部自前述工件的外周面分離，沿著工件外形配置在對向位置的工件保持部係被壓抵於工件側面，一邊定心一邊保持工件。
2. 如請求項1之模製模具，其中上述工件保持部具備被壓抵於上述工件的外周面而彈性變形之彈性構件，當使上述工件密接於上述一夾模面時，使上述工件外周面藉由對向配置的上述工件保持部咬入上述彈性構件而分別被壓抵。
3. 如請求項1之模製模具，其中於上述一夾模面設置有吸附保持上述工件的工件吸附機構。
4. 如請求項1之模製模具，其中上述工件保持部係設置於上模夾模面。
5. 如請求項1之模製模具，其中於上述一對模具間具備形成減壓空間的減壓機構。
6. 一種樹脂模製裝置，其具備如請求項1至5中任一項之模製模具。

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