CN106256528B - 膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置 - Google Patents

膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种膜输送装置。该膜输送装置能够以施加适度的张力的方式输送单片膜并使单片膜在不产生褶皱的情况下追随模腔凹部而交接单片膜。在利用膜把持部(13c)把持着单片膜(F)的外周缘部的状态下使单片膜(F)的外周缘部相对于支点框体(13b)偏移，从而对单片膜(F)施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将单片膜(F)与支点框体(13b)一起输送到模制模具。

Description

膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置
技术领域
本发明涉及用于将单片膜与模制树脂一起向模制模具输送的膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置。
另外，单片膜除了指预先形成为规定尺寸的单独的膜之外，还包含从纵长状或者大尺寸的膜裁切为规定尺寸而形成的膜。
背景技术
作为现在的半导体制造工厂中使用的树脂模制装置，在WLP(Wafer LevelPackage：晶圆级封装)、PLP(Panel Level Package：面板级封装)的成形过程中以如下方式进行：使用例如尺寸为Φ8英寸或Φ12英寸的半导体晶圆作为工件进行树脂模制，或者使用□300mm～□600mm尺寸(各边为300mm～600mm的尺寸)的矩形面板(基板、载体等)作为工件进行树脂模制。
此时，在为上模设有模腔凹部的模制模具的情况下，通常向工件上的中心位置一并供给粘度较高的树脂并进行成形。在该情况下，为了将供给到工件上的树脂填充到模腔内，需要使模制树脂大幅度流动，因此，还有时产生未填充有模制树脂的区域。对此，还进行如下操作：在下模设置模腔凹部，利用膜来覆盖包括该下模模腔凹部的下模夹持面并以均等的厚度供给模制树脂，使已保持于上模的工件浸渍于熔融了的模制树脂中而进行树脂模制。
在上述这样使用膜来进行树脂模制时，为了提高相对于模腔凹部的追随性来防止产生褶皱以提升成形品的品质，本申请人提出了一种通过在膜装载机中交接其外周缘部被吸附保持着的膜来使膜被吸附保持于下模模腔凹部的树脂模制装置和方法(参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开2014-231185号公报
发明内容
发明要解决的问题
如上所述，为了减少模具维护、防止树脂泄漏，使用膜进行树脂模制，但是，在将卷绕于一对辊之间的膜连续地供给到模制模具并进行树脂模制的情况下，比模具夹持面靠膜输送方向上游侧的膜和比模具夹持面靠膜输送方向下游侧的膜会受到来自模制模具的辐射热而发生变形，因此，在1次树脂模制动作中膜使用量增加，存在运行成本升高这样的问题。因此，为了减少膜使用量，考虑替代纵长状连续的膜而使用单片膜(预先形成为规定尺寸和规定形状的膜)。
然而，尤其是为了对大尺寸的、矩形形状的工件进行模制，例如对各边为600mm的矩形工件进行模制，在适当地处理比该工件大的尺寸的膜而使该膜不产生褶皱地追随并吸附于下模模腔凹部时，需要对整个膜施加适度的张力。另外，在将模制树脂以载置在单片膜上的状态运送到下模的情况下，若单片膜挠曲，则存在大量的模制树脂以在膜上产生偏倚的状态被运送的隐患。
并且，由于实质上使用比工件的外形尺寸大的膜，因此，膜输送机构也大型化，从而存在如下倾向：装置的设置面积也大型化，洁净室中的占地面积增加，装置成本增加。
本发明的目的在于，提供一种能够解决所述以往技术的问题的、以施加适度的张力的方式输送单片膜并使单片膜不产生褶皱地追随模腔凹部而交接单片膜的膜输送装置。
另外，本发明的目的还在于，提供一种包括所述膜输送装置的、能够减少膜使用量而谋求降低运行成本并能够提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积的树脂模制装置。
并且，本发明的目的还在于，提供一种即使将模制树脂载置在单片膜上也能够不产生树脂的偏倚地输送单片膜的膜输送方法。
用于解决问题的方案
本发明为了实现所述目的而具有如下结构。
提供一种膜输送装置，其用于在对模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将该单片膜输送到模制模具，该膜输送装置的特征在于，该膜输送装置包括：支点框体，该支点框体成为对所述单片膜施加张力的支点部，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状；膜把持部，其在所述支点框体的外侧对所述单片膜的外周缘部进行把持；以及偏移机构，其用于使所述膜把持部向远离所述支点部的方向偏移，在利用所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部相对于所述支点部偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜与所述支点框体一起输送到所述模制模具。
采用上述结构，在利用膜把持部把持着单片膜的外周缘部的状态下使单片膜的外周缘部相对于支点部偏移，从而对单片膜在整周上施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将单片膜与支点框体一起输送到模制模具，因此，能够在单片膜上不产生褶皱地将单片膜输送并交接到模制模具。因而，由此能够使单片膜追随模制模具的形成有模腔凹部的模具夹持面而使单片膜被吸附保持于模具夹持面。
也可以是，在被施加有所需张力的所述单片膜上搭载模制成形用的模制树脂，并将该单片膜与所述支点框体一起输送。
由此，即使将模制树脂载置在单片膜上地进行运送，单片膜也不会挠曲，不会产生树脂泄漏、树脂的偏倚，也不会发生将空气卷入模制树脂的情况。
优选的是，膜把持部分别对矩形形状的单片膜的各边进行把持。
由此，能够利用在矩形形状的单片膜的相对的边设置的膜把持部来分别朝向两侧地对单片膜施加张力，从而能够有效地防止产生褶皱。
也可以是，膜把持部以在单片膜的各边被分割成多个把持部的方式设置。
由此，通过改变分割后的膜把持部的自支点部偏移的偏移量，根据在单片膜上产生的褶皱的方向、褶皱的大小以扭曲单片膜的方式对单片膜施加张力，由此能够消除膜固有的褶皱。
优选的是，膜把持部以能够针对单片膜的每个边来调整偏移量的方式设置。
由此，通过针对单片膜的每个边来调节膜把持部的偏移量，能够确切地抑制的褶皱的产生。
也可以是，所述偏移机构通过使所述膜把持部以设于所述框体的旋转轴为中心进行旋转来使所述膜把持部远离所述支点部。
由此，通过使膜把持部以旋转轴为中心进行旋转而使膜把持部远离支点部，能够使单片膜的绕支点部卷绕的卷绕量变化而调整张力。尤其是，由于能够通过膜把持部的以旋转轴为中心进行的旋转来调整张力，因此能够使膜输送装置小型化。
优选的是，该膜输送装置包括棘轮机构，该棘轮机构容许对所述膜把持部进行保持的旋转构件以所述旋转轴为中心仅向远离所述支点部的方向旋转。
由此，通过使膜把持部在旋转后的位置停止，能够在维持施加于单片膜的张力的状态下输送单片膜。
提供一种树脂模制装置，其特征在于，该树脂模制装置包括以上任一膜输送装置和用于将膜输送装置输送到模制模具的膜装载机。
由此，能够提供一种树脂模制装置，该树脂模制装置能够通过使用输送单片膜的膜输送装置来减少膜使用量而谋求降低运行成本，并能够谋求提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积。
优选的是，该树脂模制装置包括张力追加机构，在将单片膜与支点框体一起运送到模制模具时，该张力追加机构使膜把持部的偏移量增大而进一步加强利用偏移机构对单片膜施加的张力。
由此，虽然在将单片膜运送到模制模具时有可能因辐射热而导致单片膜伸长，但通过利用张力追加机构来再次加强单片膜的张力，能够防止在向模制模具放置单片膜时在单片膜上产生褶皱。
另外，提供一种膜输送方法，其用于在对模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将单片膜输送到模制模具，该膜输送方法的特征在于，在成为支点部的支点框体的外侧，利用膜把持部对所述单片膜的外周缘部进行把持，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状，在利用所述膜把持部来把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部向远离所述支点部的方向偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜与所述支点框体一起输送到所述模制模具。
由此，在利用膜把持部把持着单片膜的外周缘部的状态下使单片膜的外周缘部相对于支点部偏移，从而对单片膜在整周上施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将单片膜输送到模制模具，因此，能够在单片膜上不产生褶皱地将单片膜输送并交接到模制模具。因而，即使将模制树脂载置在单片膜上，也能够不产生树脂的偏倚地输送单片膜，能够使单片膜追随模制模具的形成有模腔凹部的模具夹持面地被吸附保持于模具夹持面。
发明的效果
采用所述膜输送装置，能够使单片膜不产生褶皱地输送单片膜并使单片膜追随形成有模腔凹部的模具夹持面而交接单片膜，即使将模制树脂载置在单片膜上，也能够不产生树脂的偏倚地输送单片膜。
另外，在包括所述膜输送装置的树脂模制装置中，能够减少膜使用量而谋求降低运行成本，并能够提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积。
附图说明
图1是表示树脂模制装置的概略结构的平面布局图。
图2是表示单片膜的输送准备和模制树脂供给工序的说明图。
图3是膜输送装置的俯视图。
图4是表示模制模具的结构的剖面图。
图5是表示针对图4的下模供给单片膜和模制树脂的供给工序的说明图。
图6是接着图5的、表示单片膜和模制树脂的供给工序的说明图。
图7是接着图6的、树脂模制工序的说明图。
图8是表示另一个例子的膜输送装置的单片膜和模制树脂的供给工序的说明图。
图9是图8的膜输送装置的俯视图。
图10是又一个例子的膜输送装置的局部剖视图。
具体实施方式
下面，结合附图来详细叙述本发明的膜输送装置和包括该膜输送装置的树脂模制装置的优选实施方式。下面，对使用例如各边为600mm左右的矩形形状的工件作为工件、使用为该工件大小以上的大小的单片膜作为膜而进行树脂模制的树脂模制装置进行说明。当然，作为工件，不仅可以为上述那样的尺寸较大的工件，也可以为300mm×100mm左右的较小的长条状的工件。另外，对于树脂模制装置，作为一个例子，将下模作为可动模具、将上模作为固定模具来进行说明。另外，树脂模制装置包括开合模机构，但省略开合模机构的图示，以模制模具的结构为中心进行说明。
首先，参照图1说明树脂模制装置的概略结构。在该树脂模制装置中，控制部(未图示)控制后述的各部而进行各种动作。本实施例中的模制装置为如下结构：工件处理单元Uw、两台冲压单元Up和分配单元Ud(供给单元)相连结，对装置内的工件W自动地进行树脂模制。
工件处理单元Uw包括例如工件供给部1、成形品收纳部2、固化炉3以及机器人输送装置4。在工件供给部1收纳有作为工件W的例如各边为600mm左右的大小的矩形面板(基板、载体等)。在成形品收纳部2收纳有在后述的冲压部5中进了树脂模制后的成形品M。固化炉3通过将在后述的冲压部5处进行树脂模制后的成形品M分别收纳于被设置在炉内的多层的搁板并进行后固化而使树脂封装部加热固化。机器人输送装置4用于在以包围该机器人输送装置4的方式配置的各部之间进行工件W和成形品M的交接、输送。该机器人输送装置4例如自工件供给部1取出并供给工件W，将成形品M向固化炉3输送，且依次将成形品M自固化炉3向成形品收纳部2输送并收纳于成形品收纳部2。机器人输送装置4使用如下类型的机器人：例如垂直多关节型机器人、水平多关节型机器人或者由垂直多关节型和水平多关节型复合而成的多关节型机器人，并利用吸附、把持而将工件W、成形品M保持于机械手4a地进行输送。另外，在工件处理单元Uw中，也可以在机器人输送装置4的周围配置用于对成形品M进行冷却的冷却部、用于对成形品进行外观检查等的检查部、用于读取与各个工件W相关联的成形条件的数据读取部、用于使工件W或成形品M表背翻转的翻转部30。例如，在工件W的待树脂模制成形的面(成形面)以朝上的方式供给至工件供给部1时，翻转部30使成形面朝向下方。另外，在将树脂模制成形结束后的成形品M收纳于成形品收纳部2之前，翻转部30将成形品M的成形面翻转以使成形面朝上。
在冲压单元Up中的冲压部5具有用于压缩成形的模制模具6(上模6A和下模6B)，利用用于使压板相对于设于四角的柱部5a升降的公知的开合模机构进行开模和合模。在本实施例中，冲压单元Up设于两处，但既可以设于1处，也可以设于3处以上。
在分配单元Ud中自膜供给部8供给过来的单片膜F上由分配器9供给有模制树脂(例如颗粒树脂、粉末树脂)的状态下，膜输送器13(膜输送装置)将该单片膜F输送至冲压部5的模制模具6内。在膜供给部8设有将纵长状的膜卷成卷状而成的膜卷8a。在自该膜卷8a引出膜端的状态下，将其切断(裁切)成任意的尺寸的矩形形状，作为单片膜F备于载物台17上。
在单片膜F被施加所需张力地支承于后述的膜输送器13的状态下，分配器9向单片膜F上供给1次树脂模制所需的模制树脂R(颗粒树脂)。另外，也可以是，替代颗粒树脂而使用粉末树脂、液状树脂或片树脂，或者它们的组合。
作为单片膜F，优选使用具有耐热性、容易自模具面剥离且具有柔软性、伸展性的膜材料，例如以PTFE、ETFE、PET、FEP膜、含氟玻璃纤维布、聚丙烯膜、聚偏二氯乙烯等为主要成分的单层膜或多层膜。
面板装载机10用于自机器人输送装置4的机械手4a接收工件W并将该工件W运送到冲压部5的模制模具6(上模6A)。另外，面板装载机10自模制模具6接收成形品M并将向机器人输送装置4的机械手4a交接该成形品M。面板装载机10在自模制模具6取出成形品M时，使用完成后的单片膜F以被吸附保持的状态也被取出，取出后的单片膜F被回收至膜回收部12。
膜装载机11用于接收被施加所需张力地保持于膜输送器13的单片膜F和供给到该膜F上的模制树脂R(颗粒树脂)，并向模制模具6(下模6B)输送该单片膜F和模制树脂R。面板装载机10和膜装载机11设置为能沿着沿装置的长边方向敷设的多个导轨14上往复移动。另外，未图示的装载处理器(日文：ローダハンド)能自导轨14上的位置起以与导轨14正交的方式向各部(例如冲压部5)移动。
在此，参照图2和图3说明膜输送器13的结构。
如图2的(B)所示，膜输送器13具有与围绕后述的下模模腔凹部6C的下模夹持面相对应的规定形状的框体(例如矩形框体13a)。
另外，在膜输送器13中，成为支点部的、用于对单片膜F施加张力的支点框体13b沿着矩形框体13a设为矩形形状(参照图3)。作为支点部，也可以不设置支点框体13b，而使用矩形框体13a的外侧角部。
另外，在膜输送器13的外侧设有用于在整周上把持单片膜F的外周缘部的多个膜夹具13c(膜把持部)。具体而言，如图2的(B)所示，为了把持着矩形形状的单片膜F进行输送，在膜输送器13的相对的边上设有一对膜夹具13c(膜把持部)。作为一对膜夹具13c，使用开闭式的夹具，在膜输送器13的各边夹持并保持矩形形状的单片膜F的外周缘部。一对膜夹具13c的长边方向两端分别支承于一对旋转杆13d(旋转构件)。一对旋转杆13d能够以形成在比膜夹具13c靠内侧的旋转轴13e为中心进行旋转地设于矩形框体13a。因此，一对膜夹具13c设于旋转杆13d的与旋转轴13e所处一侧相反的那一侧。在旋转杆13d上设有用于使膜夹具13c仅向相对于支点框体13b偏移的方向旋转的偏移机构。具体而言，如图3所示，在膜夹具13c的旋转轴13e上设有棘轮和棘爪相啮合的棘轮机构13f。棘轮机构13f容许膜夹具13c以旋转轴13e为中心向远离支点框体13b的方向(图2的(C)的箭头方向)旋转规定的角度。由此，通过使膜夹具13c在向一个方向旋转后的规定旋转位置处停止，能够在维持施加于单片膜F的张力的状态下输送单片膜F。此外，也可以是，替代棘轮机构13f，采用伺服马达、扭矩马达那样的驱动机构对单片膜F施加任意的张力并维持该施加的张力的结构。在该情况下，与设置棘轮机构13f的结构相比，膜输送器13容易大型化，但在能够对施加于单片膜F的张力进行随时调整这点上较佳。
如图2的(C)所示，在利用一对膜夹具13c把持单片膜F的外周缘部(4边)的状态下，利用通过未图示的升降驱动机构(气缸驱动、螺线管驱动、马达驱动等)进行升降的上推销15来上推旋转杆13d。此时，旋转杆13d以旋转轴13e为中心进行旋转而使膜夹具13c向相对于支点框体13b离开的方向(箭头方向)偏移。由此，使覆盖膜输送器13的框体开口部的单片膜F的端部彼此经由支点框体13b被拉开的量增加，且单片膜F在被施加有所需张力的状态下整体地被保持。另外，在要使旋转杆13d返回到原来的位置的情况下，当再次利用上推销15将旋转杆13d上推规定的角度时，棘轮机构13f(参照图3)的啮合被解除而能够使旋转杆13d返回到原来的位置。
如该图所示，通过使膜夹具13c以旋转轴13e为中心进行旋转而使膜夹具13c远离支点框体13b，能够使单片膜F的端部彼此经由支点框体13b被拉开的量增加而增强张力。尤其是，通过以配置在四边的膜夹具13c的旋转轴13e为中心的各个旋转，能够针对膜的每个边来调整单片膜F的张力，因此可使能对单片膜F施加适当的张力的膜输送器13构成为小型且简单的结构。
自分配器9(参照图1)经由例如槽16(参照图2的(D))向上述的被施加有所需张力的单片膜F上供给1次树脂模制所需的模制树脂R(颗粒树脂)，并将模制树脂R在单片膜F上不产生偏倚的情况下均匀地供给到单片膜F上(参照图2的(E))。另外，在矩形框体13a的上部开口形成有倾斜部13g，越靠近俯视矩形形状的开口端部，该倾斜部13g的开口直径越大。通过向该倾斜部13g的内侧供给模制树脂R，从而将模制树脂R以任意的形状供给到单片膜F上。
在该情况下，利用倾斜部13g来防止供给到单片膜F上的模制树脂R上升到矩形框体13a之上。此外，也可以是，包括倾斜部13g在内使矩形框体13a的内侧为圆形形状，从而向单片膜F上且是圆形区域内供给模制树脂R。由此，不管模腔的形状如何，是外形为圆形或是外形为矩形，仅靠改变局部构造，就能够利用相同的用于输送单片膜F的输送构造。
并且，如图2的(F)所示，在单片膜F上供给有模制树脂的状态下，利用膜装载机11夹住膜输送器13(矩形框体13a)并将其向模制模具6输送。
在此，在利用膜装载机11将单片膜F自载物台17抬起时，若张力不充分，则有时单片膜F在模制树脂R的重量的作用下在中央等处下垂。因此，可在接近载物台17的位置设置膜下垂检测部20。膜下垂检测部20能够构成为包括发光部和光接收部以及用于对发光部与光接收部之间的遮蔽状态、遮蔽位置进行检测的激光传感器。作为一个例子，能够构成为在隔着膜输送器13的位置设有发光部和光接收部。另外，作为膜下垂检测部20，通过对载物台17上的空间中的遮蔽物进行检测，能够在抬起了膜输送器13时单片膜F自适当的位置下垂时检测到遮蔽物。膜下垂检测部20既可以以在一个方向上对下垂进行检测的方式而仅设有1组，也可以如图3所示那样以在交叉的两个方向上进行检测的方式而设有两组。此外，作为膜下垂检测部20，只要能够对单片膜F的下垂进行检测，则可以为任意的结构。例如，膜下垂检测部20也可以为接触传感器(开关)，能够成为可检测到在将膜输送器13抬起到规定的高度时下垂了的膜与其接触的情况的结构。
另外，也可以使分别对图3所示的矩形形状的单片膜F的各边进行把持的膜夹具13c在各边上推量均等或不同。在该情况下，例如，使利用设于单片膜F的每个边的上推销15的上推量均等，由此能够施加与以旋转轴13e为中心进行旋转的旋转量相对应的张力。另外，在位于相对的边的一对膜夹具13c构成一组时，也可以使膜夹具13c各组的上推量不同。在该情况下，通过根据单片膜F的各边的长度、膜在自膜卷8a引出的方向等上的伸长难易度等而使膜夹具13c各组的上推量不同，也能够使施加于单片膜F的各边的张力均等。例如，若为图3所示那样的横向较长的膜，则只要使位于沿长边方向(该图的左右方向)拉伸的两个边(右边和左边)上的一对膜夹具13c的上推量与位于沿短边方向(该图的上下方向)拉伸的两个边(上边和下边)上的一对膜夹具13c的上推量不同即可。即，只要使长边方向上的膜夹具13c的上推量大于短边方向上的膜夹具13c的上推量即可。换言之，通过针对较长的边更多地进行拉伸，无论边的长度如何均能够成为被均匀地拉伸后的状态。由此，能够使在长边方向和短边方向这两个方向施加于单片膜F的张力均等。
另外，并不限于图3所示那样将单片膜F按照每个边整体夹住的情况，也可以将膜夹具13c以在一边上分割成多个的方式设置。在该情况下，根据在单片膜F上产生的褶皱的状态(位置)来改变边的位置上的膜夹具13c的旋转量，以使单片膜F扭曲的方式对单片膜F施加张力，由此能够以将褶皱展开了的状态保持单片膜F。例如，当单片膜F的张力局部变高时，会在该张力局部变高的位置以外的位置产生褶皱。因此，能够构成为：首先，均匀地上推膜夹具13c而对单片膜F施加张力，之后，在产生褶皱时，减弱张力局部变高的部分的张力或提高张力局部变高的部分以外的部分的张力。并且，膜夹具13c不仅可以构成为，为了以与边的延伸方向交叉的方式对单片膜F进行拉伸而以规定的长度在单片膜F的边把持单片膜F，也可以构成为，为了在单片膜F的角部向远离中心的方向将单片膜F拉长而对单片膜F的角部进行把持。
由此，通过改变分割了的膜夹具13c的自支点框体13b偏移的偏移量，根据在单片膜F上产生的褶皱的方向、褶皱的大小以使单片膜F扭曲的方式对单片膜F施加张力，能够消除膜固有的褶皱。
接下来，参照图4说明设于冲压部5的模制模具6的结构。本实施例例示了压缩成形用的模制模具6。通过在该模制模具6的任意的位置设置加热器(未图示)，由此使模制树脂R加热固化而对工件W进行树脂模制，从而制造成形品M。在上模6A的上模夹持面6a，为了吸附保持工件W而形成有空气吸附孔6b和与空气吸附孔6b相连通的空气吸引路径6c。另外，在多处与矩形形状的工件W的外缘部相对的位置上设有工件保持销6d。工件保持销6d用于对工件W的外周面进行推压和保持。工件保持销6d可以是圆柱状的销，也可以是方柱状的销，优选为隔着弹性体推压工件W的结构。另外，工件保持销6d也可以作为在吸附保持工件W时用于对工件W进行定心的引导件。采用这样的结构，与例如利用字母L形的爪状的钩来保持工件W的外周的结构相比，能够增大模腔的面积。
在下模6B中，形成下模模腔底部的下模模腔挡块6f与下模块6e一体地支承于该下模块6e。在下模模腔挡块6f的周围形成下模模腔侧部的下模可动夹紧件6g借助螺旋弹簧6h浮动支承在下模块6e上。由下模模腔挡块6f和下模可动夹紧件6g形成下模模腔凹部6C。对下模可动夹紧件6g与下模模腔挡块6f之间的间隙设置密封环6i(O形密封圈)而将该间隙密封。另外，在下模可动夹紧件6g分别设有空气吸引路径6g1、6g2，该空气吸引路径6g1、6g2用于将单片膜F吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模面。空气吸引路径6g1自下模模腔挡块6f与下模可动夹紧件6g之间的间隙对膜内周侧进行吸附，空气吸引路径6g2在下模可动夹紧件6g的夹持面对膜外周侧进行吸附。由此，将单片膜F沿着下模模腔凹部6C的凹形状吸附。另外，也可以在上模6A与下模6B之间设置上下一对夹持块(未图示)，该一对夹持块用于在开始模具夹持动作时使模具内形成减压空间。
另外，在下模6B的下模可动夹紧件6g的外侧设有推杆6j(张力追加机构)。该推杆6j是为了进一步加强作用于单片膜F的张力而设置的。例如，在利用膜装载机11将单片膜F与膜输送器13一起运送到下模6B时，在来自下模6B的辐射热的作用下，单片膜F伸长而导致张力降低。在该情况下，当单片膜F的张力降低而产生松弛时，在单片膜F的自重或所供给的模制树脂R的重量的作用下，会使单片膜F的中央部下垂。在该情况下，在将单片膜F载置于下模6B时，单片膜F的松弛有时成为褶皱。另外，能够想到，当单片膜F的中央部的下垂变大时，模制树脂R会集中于中央，从而难以向模腔内均匀地供给模制树脂R。因此，将推杆6j设于下模6B的与旋转杆13d相对应的位置，利用例如升降驱动机构(例如气缸驱动、螺线管驱动、马达驱动等驱动机构)使推杆6j升降，从而能够使旋转杆13d旋转。该推杆6j是为了增加一对膜夹具13c的偏移量以进一步加强作用于单片膜F的张力而设置的。另外，该推杆6j也能够用于解除棘轮机构13f的啮合。
在利用膜装载机11将单片膜F与膜输送器13一起载置于下模6B(下模可动夹紧件6g)之后，使配置于旋转杆13d的正下方的推杆6j工作而使旋转杆13d向增加膜夹具13c的偏移量的方向旋转。由此，能够防止单片膜F的张力在模具夹持前降低。当然，也可以是，在单片膜F接近下模6B时使旋转杆13d向增加膜夹具13c的偏移量的方向旋转。
接下来，参照图2说明利用膜输送器13对模制模具6输送单片膜F的输送准备动作的一个例子。
在图2的(A)中，对在膜供给部8(参照图1)中自膜卷8a将膜端引出到载物台17上的纵长状的膜F，利用裁切器18切断为规定尺寸。在本实施例中，将纵长状的膜F切断为比下模可动夹紧件6g的外形大的尺寸。
接着，在图2的(B)中，使膜输送器13叠合于切下来的单片膜F并利用膜夹具13c来夹持单片膜F的各边外周缘部。
接下来，在图2的(C)中，使未图示的驱动源工作而将上推销15上推，从而使旋转杆13d以旋转轴13e为中心旋转。旋转方向是使膜夹具13c自支点框体13b偏移(远离支点框体13b)的方向。由此，利用膜夹具13c自两侧拉伸单片膜F，因此，使单片膜F的端部经由支点框体13b被拉开的量增加，即使单片膜F被卷起的角度增加，从而使支点框体13b之间的膜张力增加。另外，此时，图3所示的棘轮机构13f工作而使旋转杆13d保持在旋转后的位置，因此能够维持将矩形框体13a的框体开口部覆盖的膜的张力得到加强后的状态。
这样，通过设成使膜夹具13c相对于支点框体13b(支点部)沿上下方向移动来拉紧单片膜F那样的结构，与例如在沿横向拉伸膜夹具13c而施加张力的结构相比，能够对单片膜F有效地施加张力。另外，能够使对单片膜F施加张力的装置结构在俯视视角小型化。即，为了施加同等的张力，单片膜F越大尺寸化，拉伸量变得越大，在沿横向拉伸膜夹具13c的情况下，不得不在装置内确保与该拉伸量相对应的面积，从而无法避免装置的大型化。与此相对，采用所述本实施例中的结构，即使为了提高作用于单片膜F的张力而增大了拉伸量，也能够不使装置面积变大，从而能够有效地抑制装置的大型化。此外，由于能够使膜夹具13c以旋转轴13e为中心进行旋转，并利用上推销15将旋转杆13d的靠膜夹具13c的一侧上推而使旋转杆13d旋转，因此能够利用较小的力对单片膜F施加张力。
在图2的(D)中，自分配器9(参照图1)经由槽16向将矩形框体13a的开口封闭的单片膜F上均匀地供给颗粒树脂R。所供给的颗粒树脂R为1次树脂模制动作所需的量。将颗粒树脂R供给到了单片膜F上的状态表示在图2的(E)中。
接着，使膜装载机11移动到膜输送器13的上部，如图2的(F)所示，膜装载机11夹住矩形框体13a而抬起已供给有颗粒树脂R的膜输送器13。此时，在例如所供给的模制树脂R的重量过大而无法靠施加于单片膜F的张力来适当地输送模制树脂R时，有时单片膜F在中央等处下垂。因此，在将膜输送器13抬起到任意的检测位置的状态下使动作停止，能够利用膜下垂检测部20对载物台17上的空间中的遮蔽状态进行检测。即，在单片膜F的张力不充分而导致单片膜F在中央等处下垂时，使膜输送器13下降并以再次对单片膜F施加张力的方式使上推销15工作。
根据需要适当重复这样的动作，能够在对单片膜F施加适当的张力的基础上输送单片膜F。
此外，根据工件W上的芯片的搭载状态等的不同，能够想到将模制树脂R偏倚地供给到单片膜F上的情况。在该情况下，能够想到单片膜F上的非中央的部分(偏倚后的位置)下垂的情形。因此，如图3所示，交叉的两个方向上设置了两组膜下垂检测部20，此时，即使单片膜F上的非中央的部分下垂，也能够检测出单片膜F在该位置下垂了的状态。由此，能够适当地检测出单片膜F的下垂了的状态，从而能够在对单片膜F施加适当的张力之后输送单片膜F。
接着，膜装载机11领取膜输送器13并沿着图1的导轨14输送膜输送器13，将膜输送器13运送到规定的冲压部5的模制模具6(下模6B)。在此，将膜输送器13经由冲压部5中的柱部5a的间隙供给到模制模具6内。在该情况下，在膜输送器13中，没有沿横向拉伸膜夹具13c，使膜夹具13c相对于支点框体13b(支点部)沿上下方向移动而对单片膜F施加张力，膜输送器13能够构成为小型，因此能够将膜输送器13经由柱部5a的有限的间隙运送到模制模具6。此外，即使为不使用柱部5a的、在冲压部5利用框板来对压板的侧面进行保持那样的冲压构造，也能够发挥相同的效果。
通过使用所述膜输送器13，能够一边保持规定张力一边进行输送，因此能够在单片膜F上不产生褶皱的情况下将单片膜F交接到模制模具6。
接下来，参照图5和图6说明利用膜输送器13向模制模具6供给单片膜F和模制树脂R的动作。在图5和图6中仅图示下模6B并进行说明。
在图5的(A)中，保持着膜输送器13的膜装载机11进入到开模后的模制模具6的下模6B的上方并进行对位。进行对位而使单片膜F的颗粒树脂R的搭载面与下模模腔挡块6f的上表面重合且使矩形框体13a与下模可动夹紧件6g重合。
接下来，如图5的(B)所示，使膜装载机11下降，直到下降至使矩形框体13a抵接于下模可动夹紧件6g为止。此时，设于下模6的推杆6j配置于与旋转杆13d相对应的位置。
当单片膜F接近下模6B时，在来自下模6B的辐射热的作用下，单片膜F伸长而有可能如所述那样产生膜的下垂这样的问题。因此，如图5的(C)所示，使未图示的驱动源工作而将推杆6j上推，从而使旋转杆13d以旋转轴13e为中心旋转。旋转方向是使膜夹具13c自支点框体13b偏移(远离支点框体13b)的方向。由此，利用膜夹具13c将单片膜F自两侧进一步拉伸，因此，使膜F相对于支点框体13b卷取的角度进一步增加，换言之，通过使被膜夹具13c夹持的单片膜F的端部自支点框体13b(支点部)偏移(远离支点框体13b)，从而在支点框体13b的内侧将单片膜F拉伸，使支点框体13b之间的膜张力增加。另外，此时，图3所示的棘轮机构13f工作而使旋转杆13d保持在旋转后的位置，因此能够维持将矩形框体13a的开口封闭的膜的张力得到加强后的状态。
在图6的(D)中，自设于下模可动夹紧件6g的空气吸引路径6g1、6g2开始空气吸引动作，以单片膜F的内外周沿着下模模腔凹部6C的方式吸附保持单片膜F。由于单片膜F以膜张力得到加强后的状态被吸附保持，因此能够有效地防止产生褶皱。
接下来，在图6的(E)中，在使未图示的驱动源工作而将推杆6j暂时上推之后，使推杆6j向下方退避，从而解除棘轮机构13f的啮合(参照图3)，因此，旋转杆13d向靠近支点框体13b的方向(箭头方向)旋转。此时，膜夹具13c返回到与下模可动夹紧件6g的夹持面平行的水平姿势。在该状态下，将夹住单片膜F的外周缘部的膜夹具13c的夹持解除。由此，能够将单片膜F与颗粒树脂R一起以被吸附保持于下模6B的状态交接。此外，在进行所述动作时，单片膜F处于还被下模可动夹紧件6g吸附地被吸附保持于下模模腔凹部6C的状态，因此，即使解除夹持，也不会损害单片膜F的吸附保持状态。
接着，如图6的(F)所示，膜装载机11在夹着膜输送器13(矩形框体13a)的状态下向上方移动并自冲压部5退避。通过以上方式，完成了向下模6B供给单片膜F和颗粒树脂R的供给工序。
采用以上向模制模具6供给单片膜F的供给动作，能够将单片膜F在不产生褶皱的情况下供给到模制模具6。另外，在将单片膜F运送到模制模具6时在辐射热的作用下，单片膜F有可能伸长，但通过利用推杆6j(张力追加机构)来再次加强张力，也能够防止在将单片膜F向模制模具6放置时产生褶皱。
接下来，参照图7说明接着图5和图6的、树脂模制动作的一个例子。
在图7的(A)中，在下模6B上，如前文所述，通过膜装载机11运送了单片膜F和颗粒树脂R。
在图7的(A)中，在上模6A上，通过面板装载机10(参照图1)运送了例如各边为600mm的大尺寸的工件W(矩形面板、矩形基板等)，工件W被设于上模夹持面6a的空气吸附孔6b和空气吸引路径6c吸附保持。此时，通过利用在多处与矩形形状的工件W的外周面相对的位置上设置的工件保持销6d来对工件W的外周面进行推压保持，从而将工件W交接到上模6A。另外，通过利用工件保持销6d对工件W的外周面均等地进行推压，从而利用工件保持销6d将矩形形状的工件W定心。此外，既可以同时进行单片膜F和颗粒树脂R的运送和工件W的运送，也可以在运送工件W之后运送单片膜F和颗粒树脂R。
接着，如图7的(B)所示，使模制模具6合模。例如，使下模6B上升而在下模6B与上模6A之间夹持工件W。另外，优选的是，在上模6A和下模6B夹持工件W之前，将上模6A与下模6B之间的模具空间封闭而形成减压空间，在减压气氛下进行模制成形。
接着，通过将模制模具6进一步合模，从而将螺旋弹簧6h压缩，下模可动夹紧件6g移动而接近下模块6e。由此，使下模模腔凹部6C的模腔的高度(深度)变低(变浅)，而使工件W浸渍于在下模模腔凹部6C内熔融了的颗粒树脂R并施加树脂压力，从而进行加热加压。图7的(C)示出了如下状态：完成模制模具6的合模动作从而使工件W浸渍于在下模模腔凹部6C内熔融了的颗粒树脂R并进行加热加压，使颗粒树脂R固化了(压缩成形)的状态。
在模制模具6的加热固化结束后，将模制模具6开模。在此，在维持将成形品M吸附保持于上模6A的上模夹持面6a和将单片膜F吸附保持于包括下模模腔凹部6C的下模夹持面的状态下进行开模。由此，如图7的(D)所示，在开模后的状态下，成形品M成为被吸附保持于上模6A的上模夹持面6a的状态，单片膜F成为被吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模夹持面的状态。这样，通过设成将成形品M和使用后的单片膜F保持于彼此独立的模具的状态，能够在将所述成形品M和单片膜F自冲压部5取出并向各自的收纳目的地、容纳目的地输送时简化工序。
接着，在图1中，解除上模6A对成形品M的吸附并将该成形品M交接到面板装载机10(上表面侧)。另外，将使用过的单片膜F自下模6B交接到面板装载机10(下表面侧)。此时，为了将成形品M自上模夹持面6a交接到面板装载机10，优选自空气吸附孔6b喷出压缩空气，并且，为了将单片膜F自下模面交接到面板装载机10，优选自空气吸引路径6g1、6g2喷出压缩空气。将成形品M自面板装载机10交接到机器人输送装置4的机械手4a。将使用过的单片膜F自面板装载机10向膜回收部12排出而将其回收。机械手4a保持着成形品M将其运送到规定的固化炉3。在固化炉3中进行成形品M的后固化。接着，机械手4a自固化炉3取出成形品M，由此完成针对工件W进行的所有工序而完成成形品M的制造工序。接着，将成形品M运送到成形品收纳部2而将成形品M收纳起来。
这样，采用本实施例，通过使用所述的用于输送单片膜F的膜输送器13，能够减少膜使用量而谋求降低运行成本并能够提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积。
接下来，参照图8和图9说明膜输送装置的另一个例子。
在上述实施方式中，说明了使用矩形形状的单片膜F对矩形形状的工件W进行树脂模制的情况，在本例中，对为了对圆形形状的工件W(例如半导体晶圆、圆状或环状载体等)进行树脂模制而将供给成圆形状的模制树脂R与矩形形状的单片膜F一起输送的情况进行说明。
在图9中，膜输送器19包括一对圆环状的膜夹具19a、用于保持该膜夹具19a的夹具保持部19b、与该夹具保持部19b组装成一体的滑动件19c以及框体开口部被矩形形状的单片膜F覆盖的环状的支点框体19d。
在支点框体19d的上端部形成有外形比单片膜F的外形大的凸缘部19e。支点框体19d的下端外侧角部成为外形为圆形形状的支点部19f，该支点部19f在对单片膜F施加张力时成为支点。在支点框体19d的上部开口形成有倾斜部19g，越靠近俯视为圆形形状的开口端部，该倾斜部19g的开口直径越大(参照图9)。另外，也可以是，在支点框体19d的下端部，替代支点部19f，而另行设置环状的支点框体。另外，滑动件19c贯穿凸缘部19e并以能够滑动的方式与凸缘部19e相连。在滑动件19c上设有棘轮机构。棘轮机构容许滑动件19c仅沿相对于凸缘部19e上推的方向移动到规定高度。由此，能够维持单片膜F的张力。该滑动件19c和夹具保持部19b设置在支点框体19d的周围的相对的位置，例如设置有4处。另外，滑动件19c和夹具保持部19b也可以设置在多于4处的位置。另外，滑动件19c也可以构成为，通过使以贯穿夹具保持部19b和凸缘部19e的方式铅垂地设置的丝杠旋转来使夹具保持部19b(换言之为膜夹具19)升降。
参照图8说明向膜输送器19上供给模制树脂R和单片膜F的供给动作的一个例子。
与图2的(A)同样地，对在膜供给部8(参照图1)中自膜卷8a将膜端引出到载物台17上的纵长状的膜F，利用裁切器18切断为规定尺寸(例如各边为800mm)，从而准备单片膜F。接着，设成使一对环状膜夹具19a自单片膜F的上下进行叠合而将单片膜F夹持的状态。在该情况下，例如，在载物台17的外侧准备好下侧的环状膜夹具19a的状态下，供给膜F并使上侧的环状膜夹具19a叠合。接着，如图8的(A)所示，使膜输送器19的支点框体19d叠合于切下来的单片膜F，并且，在径向上相对的位置处，利用夹具保持部19b使膜夹具19a在合计4处夹持单片膜F的外周缘部(参照图9)。
接下来，在图8的(B)中，使未图示的驱动源工作而将上推销15上推，从而使滑动件19c和夹具保持部19b相对于支点框体19d上升。由此，利用圆环状的膜夹具19a拉伸单片膜F的整周，单片膜F相对于圆形的支点部19f被拉开。换言之，圆环状的膜夹具19a相对于圆形的支点部19f偏移。由此，使形成于圆形的支点部19f的圆形的区域的膜张力增加。在该情况下，与上述实施例不同之处在于，在圆形的支点部19f的内侧对整周施加相同的张力。另外，此时，棘轮机构(未图示)在滑动件19c与凸缘部19e之间工作而将膜夹具19a保持在上升后的位置。因此，能够维持将支点框体19d的框体开口部覆盖的单片膜F被施加有所需的张力的状态。
在图8的(B)中，自分配器9(参照图1)经由槽16向将支点框体19d的框体开口部覆盖的单片膜F上均匀地供给模制树脂R(颗粒树脂)。在该情况下，例如，重复进行通过使自槽16投下模制树脂R的动作沿规定方向移动规定距离而呈带状供给模制树脂R的动作，由此使多个带状的树脂供给区域排列组合起来，从而形成覆盖圆形的区域那样的树脂供给区域。此外，如图9所示，由于在支点框体19d的上部开口形成有越靠近俯视为圆形形状的开口端部开口直径越大的倾斜部19g，因此能够将模制树脂R无间隙地供给到整个面。
对于在单片膜F上被供给有颗粒树脂R的膜输送器19，如图8的(C)所示，利用膜装载机11夹住支点框体19d并将膜输送器19向冲压部5的模制模具6输送。在该情况下，由于单片膜F以被施加有所需张力的状态保持在支点部19f之间，因此能够有效地防止单片膜F的挠曲。另外，由于为了对圆形形状的工件W进行树脂模制，而能够以供给成圆形形状的方式将模制树脂R供给到矩形形状的单片膜F上并进行输送，因此，即使在对圆形形状的工件W进行树脂模制的情况下，仅靠将膜以所需的尺寸切断成矩形形状，就能够简单地准备单片膜F。
接下来，参照图10说明膜输送器13的又一个例子。对于与图2的(B)相同的构件标注相同的附图标记并引用说明。对于该图所示的膜输送器13，通过将膜输送器13的构成引导构件13h1的内侧部分较轻地推压于单片膜F侧，能够防止模制树脂R进入膜输送器13与单片膜F之间的间隙。
具体而言，如图10所示，在矩形框体13a的内周面侧，以组合起来的方式组装有设于内侧的可动构件13h2和设于外侧的引导构件13h1。
在引导构件13h1上，以向径向内侧突出的方式设有支承构件13i。在可动构件13h2的与引导构件13h1重叠的重叠面上形成有被挖成中空而成的容纳部13j。支承构件13i容纳在容纳部13j内。在支承构件13i与设于可动构件13h2的下端部的膜推压部13k之间设有压紧弹簧13m。通过安装有该压紧弹簧13m，能够始终对可动构件13h2相对于引导构件13h1向下方突出的方向施力。
由此，在将颗粒树脂R载置在将矩形框体13a的框体开口部(下端开口)覆盖的单片膜F上时，即使施加于单片膜F的张力弱于树脂的重量而导致单片膜F下垂并在单片膜F上出现微小的间隙，由于可动构件13h2以相对于引导构件13h1突出的方式移动而发挥将单片膜F上的间隙填埋的作用，因此能够有效地防止例如颗粒状那样的模制树脂R进入间隙的情况。
另外，在上述实施方式中，说明了输送单片膜F并将其交接到模制模具6的形成有下模模腔凹部6C的下模夹持面的情况，但也可以输送单片膜F并将其交接到形成有上模模腔凹部的上模夹持面。在该情况下，也能够削减单片膜F的使用量并降低运行成本。同样地，也可以仅输送单片膜F并将其交接到形成有下模模腔凹部的下模夹持面。并且，也可以向上模和下模这两者同样地供给单片膜F。
另外，说明了作为模制模具6而使用压缩成形用的模具，但模制模具6也可以为传递成形用的模具。
另外，上述膜输送器13、19能够适当地应用于对外形为圆形形状、外形为矩形形状那样任意形状的工件W进行树脂模制。例如，也可以是，为了使用膜输送器19的结构对外形为矩形形状的工件W进行树脂模制，通过使膜输送器19的所述结构中的、构成为圆形或环状的各部成为矩形形状，能够将模制树脂R供给成矩形形状，从而能够在矩形形状的模腔内对矩形形状的工件W进行模制成形。
另外，采用上述那样的膜输送器13、19，除了为以追加的方式对因模制模具6的辐射热而伸长了的单片膜F施加张力的结构之外，还能够为在向模制模具6供给单片膜F之前以追加的方式对单片膜F施加张力的结构。在该情况下，例如，即使在需要预先对有可能因输送时的空气的流动而使粉末状的树脂扬起并飞散的粉末树脂那样不易输送的树脂进行加热后进行输送时，若能够在供给模制树脂R并将模制树脂R预热之后对单片膜F施加张力，则也能够在消除该预热所引起的单片膜F的松弛之后进行输送。
另外，分配单元Ud能够如上所述那样安装于树脂模制装置并使用，但也能够作为独立装置而使用。在该情况下，能够想到，在分配单元Ud中准备对被施加有规定张力的单片膜F进行保持的膜输送器13，将单片膜F和膜输送器一起向另行设置的冲压单元Up供给的工序。即使在这样的情况下，也能够起到在使用了上述那样的分配单元Ud和膜输送器13的效果。
另外，例如，也可以是，使用用于使工件W或成形品M表背翻转的翻转部30，对工件W的两个面进行树脂模制成形。在该情况下，也可以是，在对工件W的一个面进行树脂模制成形之后使其返回到工件处理单元Uw，在利用翻转部30使成形品M翻转之后对工件W(成形品M)的另一个面进行树脂模制成形。另外，也可以是，替代翻转部30而设置能够使机械手4a翻转的机器人输送装置4。

Claims (7)

1.一种树脂模制装置，其具备：载物台，其上供给有用于模制成形的单片膜；膜输送装置，其在被施加有所需张力的所述单片膜上搭载有模制成形用的模制树脂的状态下将该单片膜输送到模制模具，该树脂模制装置的特征在于，
所述树脂模制装置包括：
框体，其具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状；
支点框体，其沿着所述框体设置，并成为对所述单片膜施加张力的支点部，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部；
膜把持部，其在所述框体的相对的边上在所述支点框体的外侧对所述单片膜的外周缘部分别进行把持；以及
偏移机构，其通过使所述膜把持部以设于所述框体的旋转轴为中心进行旋转并在规定旋转位置处停止来使所述膜把持部向远离所述支点框体的方向偏移，
在所述载物台上与所述单片膜叠合的所述膜输送装置的所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下，所述膜把持部利用升降驱动机构被向所述载物台上方上推从而使所述单片膜的外周缘部相对于所述支点框体向远离的方向偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜输送到所述模制模具。
2.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其中，
所述膜把持部分别对矩形形状的所述单片膜的各边进行把持。
3.根据权利要求2所述的树脂模制装置，其中，
所述膜把持部以在所述单片膜的各边被分割成多个把持部的方式设置。
4.根据权利要求2或3所述的树脂模制装置，其中，
所述膜把持部以能够针对所述单片膜的每个边来调整偏移量的方式设置。
5.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其中，
该树脂模制装置包括棘轮机构，该棘轮机构容许对所述膜把持部进行保持的旋转构件以所述旋转轴为中心仅向远离所述支点部的方向旋转。
6.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其中，
该树脂模制装置包括张力追加机构，在将所述单片膜与所述支点框体一起运送到所述模制模具时，该张力追加机构使所述膜把持部的偏移量增大而进一步加强利用所述偏移机构对所述单片膜施加的张力。
7.一种膜输送方法，其用于在对在模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将单片膜输送到模制模具，该膜输送方法的特征在于，具有以下工序：
准备供给于载物台上的单片膜；
设置成为对所述单片膜施加张力的支点部的支点框体，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状，在所述框体的相对的边上且在所述支点框体的外侧，利用膜把持部对所述单片膜的外周缘部分别进行把持；以及
通过利用升降驱动机构使所述膜把持部向所述载物台上方上推从而使所述膜把持部以设于所述框体的旋转轴为中心进行旋转并在规定旋转位置处停止，从而在利用所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部向远离所述支点框体的方向偏移，
对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜输送到所述模制模具。
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