JP2009043794A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板11に、高動作電圧の第1トランジスタ群と、低動作電圧の第2トランジスタ群とを有し、第1トランジスタ群は、半導体基板11上に第1ゲート絶縁膜13、第1ゲート電極15、シリサイド層とが順に積層され、第2トランジスタ群は、半導体基板11上のダミーゲート18を除去してなるゲート形成溝42内に、第2ゲート絶縁膜と第2ゲート電極を有する半導体装置の製造方法において、第1ゲート電極15をダミーゲート電極16よりも低く形成してから上記シリサイド層を形成し、それらを被覆する層間絶縁膜を形成して表面を平坦化してから、ゲート形成溝を形成する。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 半導体基板に、第1トランジスタ群と、前記第1トランジスタ群の動作電圧よりも低い動作電圧の第2トランジスタ群とを有し、
前記第1トランジスタ群は、前記半導体基板上に第1ゲート絶縁膜を介して形成された第1ゲート電極と、該第1ゲート電極上に形成されたシリサイド層とを有し、
前記第2トランジスタ群は、前記半導体基板上に形成されたダミーゲート部を除去して形成したゲート形成溝内に、第2ゲート絶縁膜を介して形成された第2ゲート電極を有する半導体装置の製造方法において、
前記第1ゲート電極を前記ダミーゲート部に形成されたダミーゲート電極よりも低くなるように形成してから、前記第1トランジスタ群の前記第1ゲート電極の上部に前記シリサイド層を形成し、
前記シリサイド層を被覆する層間絶縁膜を形成して表面を平坦化してから、前記ダミーゲート部を除去して前記ゲート形成溝を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板上の前記第1トランジスタ群が形成される第1領域に、第1ゲート絶縁膜、第1ゲート電極、ハードマスクを順に積層したゲート部を形成すると同時に、前記第2トランジスタ群が形成される第2領域に、ダミーゲート絶縁膜、ダミーゲート電極、ハードマスクを順に積層した前記ダミーゲート部を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1領域に前記第1トランジスタ群の第1ソース/ドレイン領域と、前記半導体基板の前記第2領域に前記第2トランジスタ群の第2ソース/ドレイン領域とをそれぞれに形成する工程と、
前記第1領域の各ゲート部、ダミーゲート部を被覆するライナー絶縁膜を形成した後、前記各ゲート部上の前記ライナー絶縁膜と前記ハードマスクを除去して前記第1ゲート電極を露出させる工程と、
前記ダミーゲート電極よりも低くなるよう前記第1ゲート電極の上部を除去する工程と、
前記第1領域の第1ゲート電極の上面に前記シリサイド層を形成する工程と、
前記ライナー絶縁膜上に前記シリサイド層を被覆する前記層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2領域の前記ダミーゲート部を除去して前記ゲート形成溝を形成する工程と、
前記ゲート形成溝に前記第2ゲート絶縁膜を形成した後、前記ゲート形成溝内に導電材料を埋め込んで前記第2ゲート電極を形成する工程と
を順に行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板上に、前記第1ゲート絶縁膜、前記第1ゲート電極を形成するための電極形成膜を順に形成した後、前記第1領域における前記電極形成膜の上部を除去し、その後、ハードマスク層を形成する工程と、
前記第1トランジスタ群が形成される第1領域に、前記第1ゲート絶縁膜、前記電極形成膜からなる第1ゲート電極、前記ハードマスク層からなるハードマスクを順に積層したゲート部を形成すると同時に、前記第2トランジスタ群が形成される第2領域に、前記第1ゲート絶縁膜からなるダミーゲート絶縁膜、前記電極形成膜からなるダミーゲート電極、前記ハードマスク層からなるハードマスクを順に積層した前記ダミーゲート部を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1領域に前記第1トランジスタ群の第1ソース/ドレイン領域と、前記半導体基板の前記第2領域に前記第2トランジスタ群の第2ソース/ドレイン領域とをそれぞれに形成する工程と、
前記第1領域の各ゲート部、ダミーゲート部を被覆するライナー絶縁膜を形成した後、前記各ゲート部上の前記ライナー絶縁膜と前記ハードマスクを除去して前記第1ゲート電極を露出させる工程と、
前記第1領域の第1ゲート電極の上面に前記シリサイド層を形成する工程と、
前記ライナー絶縁膜上に前記シリサイド層を被覆する前記層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2領域の前記ダミーゲート部を除去して前記ゲート形成溝を形成する工程と、
前記ゲート形成溝に前記第2ゲート絶縁膜を形成した後、前記ゲート形成溝内に導電材料を埋め込んで前記第2ゲート電極を形成する工程と
を順に行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板上に、第1ゲート絶縁膜と第1ゲート電極を形成するための電極形成膜とを形成してから、前記第2領域の前記電極形成膜上に選択エピタキシャル成長により前記電極形成膜の高さを積み増した後、該電極形成膜上にハードマスク層を形成する工程と、
前記第1トランジスタ群が形成される第1領域に、前記第1ゲート絶縁膜、前記電極形成膜からなる第1ゲート電極、前記ハードマスク層からなるハードマスクを順に積層したゲート部を形成すると同時に、前記第2トランジスタ群が形成される第2領域に、前記第1ゲート絶縁膜からなるダミーゲート絶縁膜、前記選択エピタキシャル成長で積み増した電極形成膜からなるダミーゲート電極、前記ハードマスク層からなるハードマスクを順に積層した前記ダミーゲート部を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1領域に前記第1トランジスタ群の第1ソース/ドレイン領域と、前記半導体基板の前記第2領域に前記第2トランジスタ群の第2ソース/ドレイン領域とをそれぞれに形成する工程と、
前記第1領域の各ゲート部、ダミーゲート部を被覆するライナー絶縁膜を形成した後、前記各ゲート部上の前記ライナー絶縁膜と前記ハードマスクを除去して前記第1ゲート電極を露出させる工程と、
前記第1領域の第1ゲート電極の上面に前記シリサイド層を形成する工程と、
前記ライナー絶縁膜上に前記シリサイド層を被覆する前記層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2領域の前記ダミーゲート部を除去して前記ゲート形成溝を形成する工程と、
前記ゲート形成溝に前記第2ゲート絶縁膜を形成した後、前記ゲート形成溝内に導電材料を埋め込んで前記第2ゲート電極を形成する工程と
を順に行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ハードマスク層を形成した後で、前記ゲート部およびダミーゲート部を形成する前に、該ハードマスク層表面を化学的機械研磨法によって平坦化する
ことを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ハードマスク層を形成した後で、前記ゲート部およびダミーゲート部を形成する前に、該ハードマスク層表面を化学的機械研磨法によって平坦化する
ことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1ゲート電極および前記第2ゲート電極は、それぞれ、ポリシリコンおよび金属で構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2ゲート絶縁膜は、前記第1ゲート絶縁膜よりも比誘電率の高い絶縁膜を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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