JP2008294123A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008294123A JP2008294123A JP2007136460A JP2007136460A JP2008294123A JP 2008294123 A JP2008294123 A JP 2008294123A JP 2007136460 A JP2007136460 A JP 2007136460A JP 2007136460 A JP2007136460 A JP 2007136460A JP 2008294123 A JP2008294123 A JP 2008294123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor device
- insulating film
- wiring layer
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53214—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being aluminium
- H01L23/53223—Additional layers associated with aluminium layers, e.g. adhesion, barrier, cladding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/5329—Insulating materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/5329—Insulating materials
- H01L23/53295—Stacked insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
【解決手段】主面が絶縁性である基板上に設けられた配線層と、前記配線層を被覆する様に設けられた第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜を被覆するように設けられた第2絶縁膜と、前記配線層、前記第1絶縁膜、及び前記第2絶縁膜の設けられた基板の主面側に、塗布法によって形成された平坦化膜と、を具備し、前記第1絶縁膜は、酸化膜であり、前記第2絶縁膜は、酸窒化膜又は窒化膜であること。
【選択図】図6
Description
図8Aに示されるように、シリコン基板1を用意し、シリコン基板1上に絶縁膜2を介して配線層3を形成させる。
続いて、図8Bに示されるように、配線層3を被覆するように、第1絶縁膜4を形成する。具体的には、プラズマCVD法により、シリコン酸化膜を、第1絶縁膜4として堆積させる。第1絶縁膜4の厚みは、50nm程度である。
続いて、図8Cに示されるように、第1絶縁膜4を被覆するように、第2絶縁膜5を形成する。具体的には、プラズマCVD法により、シリコン酸窒化膜を、第2絶縁膜5として堆積させる。第2絶縁膜5の厚みは、100nm程度である。
続いて、図8Dに示されるように、平坦化膜形成用の溶液を第2絶縁膜5上に塗布する。塗布後、N2雰囲気で熱処理や、UV照射処理などによって、塗布された溶液の溶媒を除去する。これにより平坦化膜6が形成される。その際、配線層3による第2絶縁膜5上の段差が埋めこまれ、基板表面は平坦となる。本実施形態では、平坦化膜6として、HSQ膜を用いるものとする。
更に、平坦化膜6上に、第3絶縁膜7を形成し、図6で示したような半導体装置が得られる。具体的には、プラズマCVD法により、酸窒化膜を200〜300nm程度成長させる。酸窒化膜は、防水性が高く、配線層3を水分から保護するのに有効である。
2 絶縁膜
3 配線層
4 第1絶縁膜
5 第2絶縁膜
6 平坦化膜
7 第3絶縁膜
Claims (14)
- 主面が絶縁性である基板上に設けられた配線層と、
前記配線層を被覆する様に設けられた第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜を被覆するように設けられた第2絶縁膜と、
前記配線層、前記第1絶縁膜、及び前記第2絶縁膜の設けられた基板の主面側に、塗布法によって形成された平坦化膜と、
を具備し、
前記第1絶縁膜は、酸化膜であり、
前記第2絶縁膜は、酸窒化膜又は窒化膜である
半導体装置。 - 請求項1に記載された半導体装置であって、
前記配線層は、
配線部と、
前記配線部と前記第1絶縁膜との界面に配置され、前記配線部を構成する成分の拡散を防止するバリアメタル層と、を含んでいる
半導体装置。 - 請求項2に記載された半導体装置であって、
前記バリアメタル層は、Tiを含む膜である
半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載された半導体装置であって、
前記配線層は、配線間隔をaとし、配線の高さをbとした時に、「b/a」で表されるアスペクト比が1.4以上である部分を含んでいる
半導体装置。 - 請求項4に記載された半導体装置であって、
前記第1絶縁膜の厚みは、0nmから50nmの範囲である
半導体装置。 - 請求項4又は5に記載された半導体装置であって、
前記第2絶縁膜の厚みは、0nmから100nmの範囲である
半導体装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載された半導体装置であって、
前記平坦化膜は、HSQ(hydrogen silsequioxane)膜である
半導体装置。 - 表面が絶縁性である基板上に、配線層を形成する配線層形成工程と、
前記配線層を被覆する様に、第1絶縁膜を形成する第1絶縁膜形成工程と、
前記第1絶縁膜を被覆するように、第2絶縁膜を形成する第2絶縁膜形成工程と、
前記第2絶縁膜上に、塗布法によって、平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、
を具備し、
前記第1絶縁膜は、酸化膜であり、
前記第2絶縁膜は、酸窒化膜又は窒化膜である
半導体装置の製造方法。 - 請求項8に記載された半導体装置の製造方法であって、
前記配線層形成工程は、
配線部を形成する工程と、
前記配線部を構成する成分の拡散を防止するバリアメタル層を形成する工程と、を含んでいる
半導体装置の製造方法 - 請求項9に記載された半導体装置の製造方法であって、
前記バリアメタル層は、Tiを含む膜である
半導体装置の製造方法。 - 請求項8乃至10のいずれかに記載された半導体装置の製造方法であって、
前記配線層形成工程において、前記配線層は、配線間隔をaとし、配線の高さをbとした時に、「b/a」で表されるアスペクト比が1.4以上である部分を含むように形成される、
半導体装置の製造方法。 - 請求項11に記載された半導体装置の製造方法であって、
前記第1絶縁膜形成工程において、前記第1絶縁膜は、0nmから50nmの範囲の厚みに形成される半導体装置の製造方法。 - 請求項11又は12に記載された半導体装置の製造方法であって、
前期第2絶縁膜形成工程において、前記第2絶縁膜は、0nmから100nmの範囲の厚みに形成される
半導体装置。 - 請求項8乃至13のいずれかに記載された半導体装置の製造方法であって、
前記平坦化膜は、HSQ(hydrogen silsequioxane)膜である
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007136460A JP2008294123A (ja) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US12/081,930 US20080290523A1 (en) | 2007-05-23 | 2008-04-23 | Semiconductor device including barrier metal and coating film and method for manufacturing same |
KR1020080038783A KR101038530B1 (ko) | 2007-05-23 | 2008-04-25 | 장벽금속 및 피복막을 포함하는 반도체 장치 및 이를제조하기 위한 방법 |
TW097116948A TWI414020B (zh) | 2007-05-23 | 2008-05-08 | 包含阻障金屬及包覆膜之半導體裝置及其製造方法 |
CNA2008101091426A CN101312163A (zh) | 2007-05-23 | 2008-05-23 | 包括阻挡金属和涂布膜的半导体器件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007136460A JP2008294123A (ja) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008294123A true JP2008294123A (ja) | 2008-12-04 |
Family
ID=40071651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007136460A Pending JP2008294123A (ja) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080290523A1 (ja) |
JP (1) | JP2008294123A (ja) |
KR (1) | KR101038530B1 (ja) |
CN (1) | CN101312163A (ja) |
TW (1) | TWI414020B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102175040B1 (ko) | 2013-12-20 | 2020-11-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05234991A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置 |
JPH0629410A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH07312367A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH0817923A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JPH08167650A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Sony Corp | 絶縁膜構造およびその製造方法 |
JPH10335458A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH1187498A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2001257205A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002500445A (ja) * | 1997-12-31 | 2002-01-08 | インテル・コーポレーション | 新規なパッシベーション構造とその製造方法 |
JP2005085929A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法および半導体集積回路装置 |
JP2005268740A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Samsung Sdi Co Ltd | 積層基板及び半導体装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0555199A (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-05 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2751820B2 (ja) * | 1994-02-28 | 1998-05-18 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5889330A (en) * | 1995-03-10 | 1999-03-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device whose flattening resin film component has a controlled carbon atom content |
US6069069A (en) * | 1996-12-16 | 2000-05-30 | Chartered Semiconductor Manufacturing, Ltd. | Method for planarizing a low dielectric constant spin-on polymer using nitride etch stop |
JPH10209128A (ja) | 1997-01-23 | 1998-08-07 | Sony Corp | 平坦化終点検出方法 |
KR100243739B1 (ko) * | 1997-06-28 | 2000-03-02 | 김영환 | 반도체 소자의 비아홀 형성방법(Method of forming via hole for semiconductor device) |
JP3226021B2 (ja) * | 1997-09-02 | 2001-11-05 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3362662B2 (ja) * | 1998-03-11 | 2003-01-07 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3175691B2 (ja) * | 1998-05-08 | 2001-06-11 | 日本電気株式会社 | 多層配線半導体装置の製造方法 |
US6124640A (en) * | 1998-08-31 | 2000-09-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Scalable and reliable integrated circuit inter-level dielectric |
TW410430B (en) * | 1999-05-26 | 2000-11-01 | Taiwan Semiconductor Mfg | Planarization of inter metal dielectric layer |
US6410458B1 (en) * | 1999-11-29 | 2002-06-25 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system for eliminating voids in a semiconductor device |
US20020013044A1 (en) * | 2000-07-27 | 2002-01-31 | Mena Rafael A. | HDP liner layer prior to HSQ/SOG deposition to reduce the amount of HSQ/SOG over the metal lead |
US6303525B1 (en) * | 2000-08-18 | 2001-10-16 | Philips Electronics No. America Corp. | Method and structure for adhering MSQ material to liner oxide |
US6774489B2 (en) * | 2000-08-29 | 2004-08-10 | Texas Instruments Incorporated | Dielectric layer liner for an integrated circuit structure |
JP2003203970A (ja) | 2002-01-04 | 2003-07-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US7042095B2 (en) * | 2002-03-29 | 2006-05-09 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device including an interconnect having copper as a main component |
US6953608B2 (en) * | 2003-04-23 | 2005-10-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Solution for FSG induced metal corrosion & metal peeling defects with extra bias liner and smooth RF bias ramp up |
US7470584B2 (en) * | 2005-01-21 | 2008-12-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | TEOS deposition method |
US20060292774A1 (en) * | 2005-06-27 | 2006-12-28 | Macronix International Co., Ltd. | Method for preventing metal line bridging in a semiconductor device |
-
2007
- 2007-05-23 JP JP2007136460A patent/JP2008294123A/ja active Pending
-
2008
- 2008-04-23 US US12/081,930 patent/US20080290523A1/en not_active Abandoned
- 2008-04-25 KR KR1020080038783A patent/KR101038530B1/ko active IP Right Grant
- 2008-05-08 TW TW097116948A patent/TWI414020B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-05-23 CN CNA2008101091426A patent/CN101312163A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05234991A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置 |
JPH0629410A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH07312367A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH0817923A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JPH08167650A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Sony Corp | 絶縁膜構造およびその製造方法 |
JPH10335458A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH1187498A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002500445A (ja) * | 1997-12-31 | 2002-01-08 | インテル・コーポレーション | 新規なパッシベーション構造とその製造方法 |
JP2001257205A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005085929A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法および半導体集積回路装置 |
JP2005268740A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Samsung Sdi Co Ltd | 積層基板及び半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080290523A1 (en) | 2008-11-27 |
KR101038530B1 (ko) | 2011-06-02 |
KR20080103412A (ko) | 2008-11-27 |
TWI414020B (zh) | 2013-11-01 |
TW200913068A (en) | 2009-03-16 |
CN101312163A (zh) | 2008-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9355955B2 (en) | Semiconductor device | |
JP5263482B2 (ja) | 多層配線構造および多層配線の製造方法 | |
KR101674057B1 (ko) | 강화된 복합 절연막을 포함하는 반도체 칩 구조 및 그 제조 방법 | |
US6495448B1 (en) | Dual damascene process | |
JP2006156952A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008282903A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TWI236094B (en) | Method for forming multi-layer metal line of semiconductor device | |
US6559033B1 (en) | Processing for forming integrated circuit structure with low dielectric constant material between closely spaced apart metal lines | |
TWI229918B (en) | Method of forming an inter-metal dielectric layer in an interconnect structure | |
JP2008294123A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US20080246155A1 (en) | Semiconductor device and method of fabricating the same | |
US7622331B2 (en) | Method for forming contacts of semiconductor device | |
US7642655B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacture thereof | |
JP2006148021A (ja) | 半導体回路装置及びその製造方法 | |
TW413917B (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2011134771A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008010824A (ja) | 半導体メモリ素子の製造方法 | |
KR100443148B1 (ko) | 반도체소자의 제조방법 | |
KR100565758B1 (ko) | 반도체 소자의 층간 절연막 형성방법 | |
JP2810649B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR100850137B1 (ko) | 반도체 소자의 층간 절연막 제조방법 | |
WO2008029956A1 (en) | Semiconductor integrated circuit device, and wire forming method | |
KR20070105827A (ko) | 리페어 퓨즈를 구비한 반도체 소자의 제조 방법 | |
KR100875031B1 (ko) | 반도체 소자의 절연막 형성 방법 | |
KR100763675B1 (ko) | 반도체 소자의 층간 절연막 평탄화 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120927 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130125 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130903 |