JP2005268740A - 積層基板及び半導体装置 - Google Patents
積層基板及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005268740A JP2005268740A JP2004202661A JP2004202661A JP2005268740A JP 2005268740 A JP2005268740 A JP 2005268740A JP 2004202661 A JP2004202661 A JP 2004202661A JP 2004202661 A JP2004202661 A JP 2004202661A JP 2005268740 A JP2005268740 A JP 2005268740A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- molybdenum
- conductive film
- semiconductor device
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/26—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 有機電界発光表示装置は,絶縁基板と,絶縁基板上に位置し,引張応力を有するモリブデン膜又はモリブデン合金膜からなる導電膜パターンと,導電膜パターン上に位置するシリコン窒化膜又はシリコン酸窒化膜とを含む。導電膜パターンの引張応力は,300MPa以下であり,その膜厚さは,3000〜7000Åであることが好ましい。
【選択図】 図2
Description
21 半導体層
37 ゲートライン
57 データライン
59 電源供給ライン
60 パッシベーション絶縁膜
Claims (20)
- 絶縁基板と,
前記絶縁基板上に位置し,引張応力を有するモリブデン膜又はモリブデン合金膜からなる導電膜パターンと,
前記導電膜パターン上に位置するシリコン窒化膜又はシリコン酸窒化膜と,
を含むことを特徴とする,積層基板。 - 前記導電膜パターンは,少なくともソース電極,ドレイン電極,及び配線を構成することを特徴とする,請求項1に記載の積層基板。
- 前記導電膜パターンの引張応力は,300MPa以下であることを特徴とする,請求項1または2に記載の積層基板。
- 前記導電膜パターンは,3000〜7000Åの厚さを有することを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の積層基板。
- 前記モリブデン合金は,モリブデン−タングステン合金であることを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載の積層基板。
- 前記モリブデン−タングステン合金は,5〜25重量%のタングステンを含有することを特徴とする,請求項5に記載の積層基板。
- 前記シリコン窒化膜又は前記シリコン酸窒化膜は,20原子%以下の水素を含有することを特徴とする,請求項1〜6のいずれかに記載の積層基板。
- 前記シリコン窒化膜又は前記シリコン酸窒化膜は,10〜20原子%の水素を含有することを特徴とする,請求項7に記載の積層基板。
- 前記絶縁基板は,熱処理されたガラス基板であることを特徴とする,請求項1〜8のいずれかに記載の積層基板。
- 絶縁基板と,
前記絶縁基板上の所定領域に位置する半導体層と,
引張応力を有するモリブデン膜又はモリブデン合金膜からなり,前記半導体層の両端部にそれぞれ接するソース電極及びドレイン電極を構成する導電膜パターンと,
前記導電膜パターンを覆い,シリコン窒化膜又はシリコン酸窒化膜からなるパッシベーション絶縁膜と,
前記パッシベーション絶縁膜上に位置し,前記ソース電極及びドレイン電極のいずれかに接する画素電極と,
を含むことを特徴とする,半導体装置。 - 前記半導体層は,多結晶シリコンからなることを特徴とする,請求項10に記載の半導体装置。
- 前記画素電極は,ITO(Indium Tin Oxide)又はIZO(Indium Zinc Oxide)からなることを特徴とする,請求項10または11に記載の半導体装置。
- 前記導電膜パターンの引張応力は,300MPa以下であることを特徴とする,請求項10〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記導電膜パターンは,3000〜7000Åの厚さを有することを特徴とする,請求項10〜13のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記モリブデン合金は,モリブデン−タングステン合金であることを特徴とする,請求項10〜14のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記モリブデン−タングステン合金は,5〜25重量%のタングステンを含有することを特徴とする,請求項15に記載の半導体装置。
- 前記導電膜パターンは,配線を構成することを特徴とする,請求項10〜16のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記シリコン窒化膜又は前記シリコン酸窒化膜は,20原子%以下の水素を含有することを特徴とする,請求項10〜17のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記シリコン窒化膜又は前記シリコン酸窒化膜は,10〜20原子%の水素を含有することを特徴とする,請求項10〜18のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記絶縁基板は,熱処理されたガラス基板であることを特徴とする,請求項10〜19のいずれかに記載の半導体装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040019005A KR100699988B1 (ko) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 평판표시장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005268740A true JP2005268740A (ja) | 2005-09-29 |
Family
ID=34836831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004202661A Pending JP2005268740A (ja) | 2004-03-19 | 2004-07-09 | 積層基板及び半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7557501B2 (ja) |
EP (1) | EP1577963A3 (ja) |
JP (1) | JP2005268740A (ja) |
KR (1) | KR100699988B1 (ja) |
CN (1) | CN100463207C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008294123A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013162120A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Samsung Display Co Ltd | 半導体装置およびそれを備える平板表示装置 |
WO2017159613A1 (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100669778B1 (ko) * | 2004-11-20 | 2007-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 기판 및 박막 트랜지스터를 구비한 기판 |
US7851989B2 (en) * | 2005-03-25 | 2010-12-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
KR100708734B1 (ko) * | 2005-11-30 | 2007-04-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
KR100807562B1 (ko) * | 2007-01-10 | 2008-02-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 포함하는 평판표시장치 |
JP5241173B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2013-07-17 | キヤノン株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
KR102013893B1 (ko) | 2012-08-20 | 2019-08-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판표시장치 및 그의 제조방법 |
CN103219228B (zh) * | 2013-03-11 | 2016-05-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 多晶硅层的制作方法和多晶硅薄膜晶体管及其制造方法 |
KR102083987B1 (ko) * | 2013-06-20 | 2020-03-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판표시장치용 백플레인 및 그의 제조방법 |
CN109671719A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-04-23 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示装置 |
CN110211969A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-09-06 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 阵列基板及其制备方法、柔性显示面板 |
KR20210118284A (ko) * | 2020-03-19 | 2021-09-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR20220108885A (ko) | 2021-01-27 | 2022-08-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000196100A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Toshiba Corp | 薄膜トランジスタおよび液晶表示装置 |
JP2001255831A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | アレイ基板の製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5444302A (en) * | 1992-12-25 | 1995-08-22 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device including multi-layer conductive thin film of polycrystalline material |
US6445004B1 (en) * | 1998-02-26 | 2002-09-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Composition for a wiring, a wiring using the composition, manufacturing method thereof, a display using the wiring and a manufacturing method thereof |
JPH11111466A (ja) | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Tdk Corp | 有機el素子の電極 |
US6380558B1 (en) | 1998-12-29 | 2002-04-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of fabricating the same |
JP2001060691A (ja) | 1999-08-23 | 2001-03-06 | Tdk Corp | 半導体装置 |
JP2001324725A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2002055360A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-02-20 | Nec Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR20020034321A (ko) * | 2000-10-31 | 2002-05-09 | 박종섭 | 반도체소자의 제조 방법 |
JP2002343580A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-29 | Pioneer Electronic Corp | 発光ディスプレイ装置及びその製造方法 |
JP4166455B2 (ja) * | 2001-10-01 | 2008-10-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 偏光フィルム及び発光装置 |
JP4182467B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2008-11-19 | セイコーエプソン株式会社 | 回路基板、電気光学装置及び電子機器 |
KR100840325B1 (ko) * | 2002-05-06 | 2008-06-20 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 기판 |
JP3948365B2 (ja) | 2002-07-30 | 2007-07-25 | 株式会社島津製作所 | 保護膜製造方法および有機el素子 |
JP2006253032A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Hitachi Ltd | 画像表示装置 |
-
2004
- 2004-03-19 KR KR1020040019005A patent/KR100699988B1/ko active IP Right Grant
- 2004-07-09 JP JP2004202661A patent/JP2005268740A/ja active Pending
-
2005
- 2005-02-23 EP EP05075445A patent/EP1577963A3/en not_active Withdrawn
- 2005-02-25 CN CNB2005100521141A patent/CN100463207C/zh active Active
- 2005-03-14 US US11/078,381 patent/US7557501B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000196100A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Toshiba Corp | 薄膜トランジスタおよび液晶表示装置 |
JP2001255831A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | アレイ基板の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008294123A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013162120A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Samsung Display Co Ltd | 半導体装置およびそれを備える平板表示装置 |
WO2017159613A1 (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7557501B2 (en) | 2009-07-07 |
KR100699988B1 (ko) | 2007-03-26 |
CN100463207C (zh) | 2009-02-18 |
EP1577963A2 (en) | 2005-09-21 |
KR20050093527A (ko) | 2005-09-23 |
EP1577963A3 (en) | 2006-05-10 |
CN1691348A (zh) | 2005-11-02 |
US20050206304A1 (en) | 2005-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7557501B2 (en) | Flat panel display device having molybdenum conductive layer | |
JP3641342B2 (ja) | 半導体装置及び有機elディスプレイ装置 | |
KR102180037B1 (ko) | 가요성 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP5362670B2 (ja) | 有機発光表示装置およびその製造方法 | |
US20200161572A1 (en) | Flexible display substrate with stress control layer | |
TWI570493B (zh) | 顯示裝置和製造其之方法 | |
KR100667082B1 (ko) | 유기전계발광소자 및 그 제조방법 | |
US8044426B2 (en) | Light emitting device capable of removing height difference between contact region and pixel region and method for fabricating the same | |
KR101855259B1 (ko) | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 | |
US9553158B2 (en) | Thin film transistor array substrate and a thin film transistor which comprise a conductive structure comprising a blocking layer and a diffusion prevention layer | |
JP2007157916A (ja) | Tft基板及びtft基板の製造方法 | |
US20110227085A1 (en) | Substrate for use in display panel, and display panel including same | |
US11215891B2 (en) | Active matrix substrate and manufacturing method thereof | |
US20060283833A1 (en) | Wiring for display device and thin film transistor array panel with the same, and manufacturing method thereof | |
WO2021022594A1 (zh) | 阵列基板、显示面板及阵列基板的制作方法 | |
KR20110113040A (ko) | 어레이 기판 | |
KR101046928B1 (ko) | 박막 트랜지스터 표시판과 그 제조방법 | |
US20120270392A1 (en) | Fabricating method of active device array substrate | |
JP4403354B2 (ja) | 薄膜回路基板 | |
WO2014172957A1 (zh) | 电路板、其制作方法以及显示装置 | |
US20060258033A1 (en) | Active matrix substrate and method for fabricating the same | |
JP3895667B2 (ja) | 有機elディスプレイ装置 | |
JP5964967B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2011148728A1 (ja) | 表示装置およびその製造方法 | |
US11817459B2 (en) | Active matrix substrate and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071211 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080311 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080507 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081201 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090105 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090319 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20090410 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110714 |