JP2008156218A - オゾン発生装置用放電セル - Google Patents
オゾン発生装置用放電セル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008156218A JP2008156218A JP2007307408A JP2007307408A JP2008156218A JP 2008156218 A JP2008156218 A JP 2008156218A JP 2007307408 A JP2007307408 A JP 2007307408A JP 2007307408 A JP2007307408 A JP 2007307408A JP 2008156218 A JP2008156218 A JP 2008156218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- ozone
- functional
- discharge
- functional substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/12—Plate-type dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/34—Composition of the dielectrics
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
【解決手段】 誘電体10としてのアルミナ基板の表面に、オゾン濃度の低下を阻止するための触媒物質を、焼付け固定剤により固定する。焼付け固定剤は、触媒物質の粉末混練及び誘電体表面への付着が可能なペースト状となり焼成により硬化して触媒物質を誘電体表面に固定すると共に放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示すガラスであり、触媒物質を多量に含み且つ安定的な機能膜14を誘電体10の表面に形成する。
【選択図】 図1
Description
またペースト状態での粘度は200〜300Pa・sが好ましい。なぜなら、この範囲の粘度がスクリーン印刷等の塗布に適するからである。
11 シール部
12 リブ
13 封止剤
14 機能膜
20 放電空隙
30 電極
40 電源
Claims (5)
- 一対の電極間にオゾン発生用の放電空隙を形成するために、少なくとも一方の電極に接して誘電体が配置されたオゾン発生装置において、
オゾン濃度の低下を阻止するための機能物質が、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示す焼付け固定剤により、前記誘電体表面に固定されているオゾン発生装置用放電セル。 - 前記機能物質はTi、W、Sb、Mn、Fe、Co、Ni、V又はZn、若しくはこれら金属の酸化物(MxOy)である請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記焼付け固定剤は、機能物質の粉末混練及び誘電体表面への付着が可能なペースト状となり、且つ焼成により硬く硬化して機能物質を誘電体表面に固定すると共に、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示すガラスである請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記ガラスはSiO2 −Al2 O3 −B2 O3 系であり、SiO2 :60〜70重量%、Al2 O3 :1〜10重量%、B2 O3 :10〜20重量%を満足する請求項3に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 誘電体は純度80%以上のアルミナ焼結板である請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307408A JP5052304B2 (ja) | 2006-11-30 | 2007-11-28 | オゾン発生装置用放電セル |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006324109 | 2006-11-30 | ||
JP2006324109 | 2006-11-30 | ||
JP2007307408A JP5052304B2 (ja) | 2006-11-30 | 2007-11-28 | オゾン発生装置用放電セル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008156218A true JP2008156218A (ja) | 2008-07-10 |
JP5052304B2 JP5052304B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=39474450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007307408A Active JP5052304B2 (ja) | 2006-11-30 | 2007-11-28 | オゾン発生装置用放電セル |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080128269A1 (ja) |
JP (1) | JP5052304B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209013A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2010150098A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP2010265121A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2011068530A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
WO2011039971A1 (ja) | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
JP2012051776A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Metawater Co Ltd | オゾン発生装置の運転方法 |
JP5438818B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2014-03-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
JP2015006992A (ja) * | 2014-08-29 | 2015-01-15 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置 |
KR20200105211A (ko) * | 2019-02-28 | 2020-09-07 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 히터 일체형 하이브리드 플라즈마 방전소자의 제조방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6714018B2 (ja) | 2015-12-08 | 2020-06-24 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾン発生方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52144015A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-01 | Tokyo Shibaura Electric Co | Composite of dielectric glass for ozone generating apparatus |
JPS61168502A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン発生装置 |
JPH0341964U (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-22 | ||
JPH07277707A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-10-24 | Meidensha Corp | オゾン発生装置 |
JPH1121110A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-26 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JPH11278809A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2002255512A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toshiba Corp | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 |
JP2005132944A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Toshio Irie | 光触媒粒子固定用塗布剤、光触媒粒子固定方法及び光触媒担持部材。 |
WO2005080263A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW497986B (en) * | 2001-12-20 | 2002-08-11 | Ind Tech Res Inst | Dielectric barrier discharge apparatus and module for perfluorocompounds abatement |
US20070154365A1 (en) * | 2005-11-29 | 2007-07-05 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Discharge cell for ozonizer |
-
2007
- 2007-11-28 US US11/946,417 patent/US20080128269A1/en not_active Abandoned
- 2007-11-28 JP JP2007307408A patent/JP5052304B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52144015A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-01 | Tokyo Shibaura Electric Co | Composite of dielectric glass for ozone generating apparatus |
JPS61168502A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン発生装置 |
JPH0341964U (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-22 | ||
JPH07277707A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-10-24 | Meidensha Corp | オゾン発生装置 |
JPH1121110A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-26 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JPH11278809A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2002255512A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toshiba Corp | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 |
JP2005132944A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Toshio Irie | 光触媒粒子固定用塗布剤、光触媒粒子固定方法及び光触媒担持部材。 |
WO2005080263A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209013A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2010150098A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP2010265121A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
JP2011068530A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
WO2011039971A1 (ja) | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
US9193591B2 (en) | 2009-10-02 | 2015-11-24 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Ozone gas generator and method for manufacturing the same |
JP5438818B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2014-03-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
JP2012051776A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Metawater Co Ltd | オゾン発生装置の運転方法 |
JP2015006992A (ja) * | 2014-08-29 | 2015-01-15 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置 |
KR20200105211A (ko) * | 2019-02-28 | 2020-09-07 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 히터 일체형 하이브리드 플라즈마 방전소자의 제조방법 |
KR102196676B1 (ko) | 2019-02-28 | 2020-12-30 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 히터 일체형 하이브리드 플라즈마 방전소자의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080128269A1 (en) | 2008-06-05 |
JP5052304B2 (ja) | 2012-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5052304B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP2005320223A (ja) | オゾン発生装置 | |
JP5283400B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP5078792B2 (ja) | 誘電性構造体、誘電性構造体を用いた放電装置、流体改質装置、および反応システム | |
JPWO2014033891A1 (ja) | 熱電変換デバイス | |
JP5787902B2 (ja) | 絶縁層付きセラミック構造体、金属体付きセラミック構造体、荷電粒子線出射装置、および絶縁層付きセラミック構造体の製造方法 | |
US8911675B2 (en) | Discharge cell for ozonizer | |
JP5562578B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
JP2008186660A (ja) | 電極構造体およびこれを用いたプラズマ生成装置 | |
JP2010150098A (ja) | オゾン発生装置 | |
WO2011108410A1 (ja) | 無声放電プラズマ装置および無声放電プラズマ発生方法 | |
US9193591B2 (en) | Ozone gas generator and method for manufacturing the same | |
JPH0414784A (ja) | 放電素子、その製造方法および応用装置 | |
JP5629443B2 (ja) | オゾンガス発生装置の製造方法 | |
JP5603581B2 (ja) | オゾンガス発生装置及びその製造方法 | |
JP5517816B2 (ja) | 導電層付きセラミック体、およびセラミックスと金属との接合体 | |
JP5720127B2 (ja) | 高周波透過材料 | |
JP3995665B2 (ja) | オゾン発生装置用誘電体 | |
JP5272575B2 (ja) | 燃料電池用セパレータの製造方法 | |
JP5833721B2 (ja) | オゾンガス発生装置 | |
JP4196993B2 (ja) | 電子部品の周波数調整装置及びそれを用いた電子部品の周波数調整方法 | |
JP2011103224A (ja) | 過電圧保護部品 | |
JP2004175604A (ja) | オゾン生成素子 | |
JP5047205B2 (ja) | プラズマ発生体およびプラズマ発生装置 | |
JP2011246318A (ja) | セラミックス体、金属層付きセラミックス部材、およびセラミックス体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120723 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5052304 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |