JP5272575B2 - 燃料電池用セパレータの製造方法 - Google Patents
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Description
カーボン材をターゲット材として用いて、アークイオンプレーティング法により、チタン基板上に厚さ100nmのカーボン層を形成したものを比較例1とした。カーボン材をターゲット材として用いて、アークイオンプレーティング法により、チタン基板上に厚さ50nmのカーボン層を形成した後、スパッタリング法により、さらに厚さ50nmのカーボン層を形成したものを比較例2とした。カーボン材をターゲット材として用いて、スパッタリング法により、チタン基板上に厚さ50nmのカーボン層を形成した後、アークイオンプレーティング法により、さらに厚さ50nmのカーボン層を形成したものを比較例3とした。
所定寸法(2cm×2cm)に裁断した各実施例をそれぞれ2枚用意し、カーボン層を形成した面と面とを重ね、それらの両外側を銅板により挟持し、荷重1MPaを加え、一般的に用いられる交流4端子法(電流1A)を用いて、上記実施例及び比較例1〜3の接触抵抗を測定した。接触抵抗の測定は、電池環境模擬試験前後で行った。電池環境模擬試験とは、50ppmのフッ素を含有する酸性溶液(pH2)に実施例及び比較例1〜3を50時間浸漬させる試験である。
Claims (3)
- フィルターレスアークイオンプレーティング法を実施しながら、前記フィルターレスアークイオンプレーティング法と異なる物理蒸着法を実施して、金属基板上にカーボン層を形成することを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
- 請求項1記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、前記フィルターレスアークイオンプレーティング法を実施しながら、前記異なる物理蒸着法を実施して、前記金属基板上に前記カーボン層を形成すると共に、前記フィルターレスアークイオンプレーティング法により、前記カーボン層に導電部を形成することを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
- 請求項2記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、前記異なる物理蒸着法は、スパッタリング法であることを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
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