JP5052304B2 - オゾン発生装置用放電セル - Google Patents
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Description
またペースト状態での粘度は200〜300Pa・sが好ましい。なぜなら、この範囲の粘度がスクリーン印刷等の塗布に適するからである。
11 シール部
12 リブ
13 封止剤
14 機能膜
20 放電空隙
30 電極
40 電源
Claims (5)
- 一対の電極間にオゾン発生用の放電空隙を形成するために、少なくとも一方の電極に接して誘電体が配置されたオゾン発生装置において、
オゾン濃度の低下を阻止するための機能物質が、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示す焼付け固定剤との混合物からなる機能膜として前記誘電体表面に固定されており、
前記誘電体は純度80%以上のアルミナ焼結板であり、
前記機能物質はTi、W、Sb、Mn、Fe、Co、Ni、V又はZnの各金属、若しくはこれら金属の酸化物(MxOy)を単独又は混合状態で使用したものであり、
且つ前記機能物質は、当該機能物質と前記焼付け固定剤との混合物からなる機能膜中に40〜60重量%含有されているオゾン発生装置用放電セル。 - 前記機能物質はW、Fe又はVの各金属であるか、或いはTi、Sb、Mn、Co、Ni又はZnの各金属、若しくはこれら金属の酸化物(MxOy)であり、且つこれらを単独又は混合状態で使用したものである請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記焼付け固定剤は、誘電体表面への付着が可能なペースト状となり、且つ焼成により硬く硬化して機能物質を誘電体表面に固定すると共に、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示すガラスである請求項1又は2に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記ガラスは、樹脂を溶剤で溶解させたビヒクルと混合されることでペースト状とされ、該ペーストが前記誘電体表面にスクリーン印刷されることで所望の厚みに塗布された後に焼成されることによって溶融すると共に前記ビヒクルが消失して、前記誘電体表面に固定されている請求項3に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記ガラスはSiO2 −Al2 O3 −B2 O3 系であり、SiO2 :60〜70重量%、Al2 O3 :1〜10重量%、B2 O3 :10〜20重量%を満足する請求項3又は4に記載のオゾン発生装置用放電セル。
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