JP5833721B2 - オゾンガス発生装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明を適用したオゾン発生機1(オゾンガス発生装置)を示す。このオゾン発生機1は、半導体分野向けの機種であり、高純度なオゾンガスを安定して生成できるように構成されている。オゾン発生機1には、原料ガス供給部2(原料ガス供給経路)やオゾンガス生成部3、オゾンガス取出部4(オゾンガス取出経路)のほか、図示はしないがこれらを駆動制御する駆動制御部や操作部などが備えられている。
オゾン発生機1の主要部である放電セル11については、例えば、次のような金属膜形成工程と、接合工程とを含む製造方法を用いることで容易に製造することができる。
2 原料ガス供給部(原料ガス供給経路)
3 オゾンガス生成部
4 オゾンガス取出部(オゾンガス取出経路)
11 放電セル
12 高周波高圧電源
13 誘電体
13a 対向面
14 電極
15 区画壁
16 接合層(溶融部材)
17 機能膜
20 放電空隙
Claims (2)
- 原料ガスに99.9%以上の高純度酸素ガスが用いられるオゾンガス発生装置であって、
向い合せに配置された一対のアルミナからなる誘電体と、
前記一対の誘電体間に形成された放電空隙と、
前記放電空隙に放電を発生させる少なくとも一対の電極と、
前記放電空隙に原料ガスを供給する原料ガス供給経路と、
前記放電空隙からオゾンガスを取り出すオゾンガス取出経路と、
前記一対の誘電体のうち、少なくともいずれか一方に設けられて前記放電空隙に面する機能膜と、
を備え、
前記誘電体の厚さは0.05〜1mmであるとともに、前記機能膜の厚さは0.1〜10μmであり、
前記機能膜が、ニオブ及びタンタルのうち、少なくともいずれか1種の金属の金属酸化物(Ba(Zn1/3Nb2/3)O3、Sr(Cd1/3Nb2/3)O3、Ba(Sc1/2Nb1/2)O3、Pb(Yb1/2Ta1/2)O3、及びPb(Sb1/2Nb1/2)O3を除く)を含むオゾンガス発生装置。 - 請求項1に記載のオゾンガス発生装置であって、
前記機能膜の全体が前記金属酸化物で形成されているオゾンガス発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014175546A JP5833721B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | オゾンガス発生装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009205009A Division JP5629443B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | オゾンガス発生装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015006992A JP2015006992A (ja) | 2015-01-15 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5833721B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52117295A (en) * | 1976-03-29 | 1977-10-01 | Okubo Masao | Ozonizer |
JPH05290743A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Noritake Co Ltd | 放電装置 |
JPH0733405A (ja) * | 1993-07-15 | 1995-02-03 | Fuji Electric Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP3943701B2 (ja) * | 1998-04-06 | 2007-07-11 | 株式会社東芝 | オゾン発生装置 |
JP4093902B2 (ja) * | 2003-04-14 | 2008-06-04 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生器 |
JP4181559B2 (ja) * | 2005-04-25 | 2008-11-19 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生装置用放電セル |
US20080128269A1 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Discharge cell for ozonizer |
JP5629443B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2014-11-19 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-08-29 JP JP2014175546A patent/JP5833721B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2015006992A (ja) | 2015-01-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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