JP2010150098A - オゾン発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも一対の電極と、そのうちの少なくとも一方の電極に接して放電空隙を形成する誘電体を備え、上記放電空隙に原料ガスを供給して放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置であって、上記誘電体の体積抵抗率は1014Ω・cm以上であり、かつ、上記誘電体の放電空隙側の表面に粉状の金属又はその酸化物と無機系固定材からなる体積抵抗率が106〜1013Ω・cmの低抵抗コーティング層を有することを特徴とするオゾン発生装置。
【選択図】図3
Description
11 シール部
12 リブ
13 封止剤
14 低抵抗コーティング層
14a 粉状の金属又はその酸化物
14b 無機系固定材
20 放電空隙
30 電極
40 電源
Claims (6)
- 少なくとも一対の電極と、そのうちの少なくとも一方の電極に接して放電空隙を形成する誘電体を備え、上記放電空隙に原料ガスを供給して放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置であって、上記誘電体の体積抵抗率は1014Ω・cm以上であり、かつ、上記誘電体の放電空隙側の表面に粉状の金属又はその酸化物と無機系固定材からなる体積抵抗率が106〜1013Ω・cmの低抵抗コーティング層を有することを特徴とするオゾン発生装置。
- 低抵抗コーティング層中に粉状の金属又はその酸化物を0.5〜90質量%含有することを特徴とする、請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 粉状の金属又はその酸化物は、Ti、W、Sb、Mn、Fe、Co、Ni、V及びZn並びにこれらの元素の酸化物から選択される1種を単独で又は2種以上を混合して用いることを特徴とする、請求項1又は2に記載のオゾン発生装置。
- 無機系固定材は、耐オゾン性と耐スパッタリング性に優れたガラスであることを特徴とする、請求項1から3までのいずれかに記載のオゾン発生装置。
- 無機系固定材は、質量%で、SiO2:60〜70%、Al2O3:1〜10%、B2O3:10〜20%からなる組成を有するガラスであることを特徴とする、請求項4に記載のオゾン発生装置。
- 誘電体は、純度80%以上のアルミナ焼結基板であることを特徴とする、請求項1から5までのいずれかに記載のオゾン発生装置。
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