JP2009209013A - オゾン発生装置用放電セル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 誘電体10としてのアルミナ基板の表面に、オゾン濃度の低下を阻止するための触媒物質粉末14aを、焼付け固定剤14bにより固定する。焼付け固定剤14bは、触媒物質の粉末混練及び誘電体表面への付着が可能なペースト状となり焼成により硬化して触媒物質を誘電体表面に固定すると共に放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示すガラスであり、触媒物質を多量に含み且つ安定的な機能膜14を誘電体10の表面に形成する。機能膜14中の触媒物質粉末14aは、機能膜14中の表層物に集中的に存在して、放電空隙30と接する機能物質層を形成する。
【選択図】 図1
Description
11 シール部
12 リブ
13 封止剤
14 機能膜
14a 機能物質粉末
14b 固定剤
20 放電空隙
30 電極
40 電源
Claims (5)
- 一対の電極間にオゾン発生用の放電空隙を形成するために、少なくとも一方の電極に接して誘電体が配置されたオゾン発生装置において、
オゾン濃度の低下を阻止するための機能物質が、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示す焼付け固定剤により前記誘電体の表面に固定されて機能層を形成すると共に、この機能層において、前記機能物質が、表層部分に層状に存在して、前記放電空隙と接する機能物質層を形成するオゾン発生装置用放電セル。 - 前記機能物質はTi、W、Sb、Mn、Fe、Co、Ni、V又はZn、若しくはこれら金属の酸化物(MxOy)である請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記焼付け固定剤は、誘電体表面への付着が可能なペースト状となり、且つ焼成により硬く硬化して機能物質を誘電体表面に固定すると共に、前記放電空隙でのオゾン生成下で耐オゾン性及び耐スパッタ性を示すガラスである請求項1又は2に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 前記ガラスはSiO2 −Al2 O3 −B2 O3 系であり、SiO2 :60〜70重量%、Al2 O3 :1〜10重量%、B2 O3 :10〜20重量%を満足する請求項3に記載のオゾン発生装置用放電セル。
- 誘電体は純度80%以上のアルミナ焼結板である請求項1に記載のオゾン発生装置用放電セル。
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