JP2002255512A - オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 - Google Patents
オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管Info
- Publication number
- JP2002255512A JP2002255512A JP2001054842A JP2001054842A JP2002255512A JP 2002255512 A JP2002255512 A JP 2002255512A JP 2001054842 A JP2001054842 A JP 2001054842A JP 2001054842 A JP2001054842 A JP 2001054842A JP 2002255512 A JP2002255512 A JP 2002255512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone generator
- glass electrode
- glass
- layer
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾン生成の際の放電現象により発生する物
理エネルギーのうち、可視光に変換されるエネルギーを
増加させることにより、放電光を増強するとともに、熱
に変換されるエネルギーを減少させるオゾン発生器用ガ
ラス電極およびオゾン発生器用放電管を提供する。 【解決手段】 オゾン発生器用放電管１２は、オゾン発
生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１と
を備えている。オゾン発生器用ガラス電極１０は、誘電
体ガラスから成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘
電層の一方の面に設けられた蛍光体から成る蛍光体層２
と、ガラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電
極導電層３とを有している。物理エネルギーの一部は蛍
光体により励起光として可視光に変換されるので、放電
光が増強されるとともに、熱に変換される物理エネルギ
ーを減少させることができる。
理エネルギーのうち、可視光に変換されるエネルギーを
増加させることにより、放電光を増強するとともに、熱
に変換されるエネルギーを減少させるオゾン発生器用ガ
ラス電極およびオゾン発生器用放電管を提供する。 【解決手段】 オゾン発生器用放電管１２は、オゾン発
生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１と
を備えている。オゾン発生器用ガラス電極１０は、誘電
体ガラスから成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘
電層の一方の面に設けられた蛍光体から成る蛍光体層２
と、ガラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電
極導電層３とを有している。物理エネルギーの一部は蛍
光体により励起光として可視光に変換されるので、放電
光が増強されるとともに、熱に変換される物理エネルギ
ーを減少させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体ガラスを有
するオゾン発生器用ガラス電極、およびこのオゾン発生
器用ガラス電極とオゾン発生器用金属電極とを備えたオ
ゾン発生器用放電管に関する。
するオゾン発生器用ガラス電極、およびこのオゾン発生
器用ガラス電極とオゾン発生器用金属電極とを備えたオ
ゾン発生器用放電管に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７（ａ）は従来のオゾン発生器用放電
管を示す構成図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−
Ａ部分の断面図であり、図８（ａ）はオゾン発生器用放
電管を備えたオゾン発生器を示す側面図であり、図８
（ｂ）はオゾン発生器用放電管を備えたオゾン発生器を
示す正面図である。
管を示す構成図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−
Ａ部分の断面図であり、図８（ａ）はオゾン発生器用放
電管を備えたオゾン発生器を示す側面図であり、図８
（ｂ）はオゾン発生器用放電管を備えたオゾン発生器を
示す正面図である。
【０００３】図７（ａ）（ｂ）に示すように、オゾン発
生器用放電管１２は、オゾン発生器用ガラス電極１０
と、オゾン発生器用ガラス電極１０の対向位置に設けら
れたオゾン発生器用金属電極１１とを備えており、オゾ
ン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１
１とは同軸円筒状に配置されている。オゾン発生器用ガ
ラス電極１０は、円筒状に設けられた誘電体ガラスの一
つであるほう珪酸ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の一方の面に被覆されたステン
レスから成るガラス電極導電層３とから構成されてい
る。
生器用放電管１２は、オゾン発生器用ガラス電極１０
と、オゾン発生器用ガラス電極１０の対向位置に設けら
れたオゾン発生器用金属電極１１とを備えており、オゾ
ン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１
１とは同軸円筒状に配置されている。オゾン発生器用ガ
ラス電極１０は、円筒状に設けられた誘電体ガラスの一
つであるほう珪酸ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の一方の面に被覆されたステン
レスから成るガラス電極導電層３とから構成されてい
る。
【０００４】図７に示すオゾン発生器用放電管１２にお
いて、以下のようにしてオゾンが生成される。
いて、以下のようにしてオゾンが生成される。
【０００５】すなわち、オゾン発生器用ガラス電極１０
とオゾン発生器用金属電極１１との間に、酸素原子を含
む原料ガス２０を流すとともに、両電極１０、１１間に
電源２２から高周波、高電圧を印可する。電源２２から
高周波、高電圧が印可されると、オゾン発生器用ガラス
電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との間で無声放
電が生じ、この無声放電により、原料ガス２０中の酸素
原子は電子エネルギーが付与されて励起し、その結果と
して、オゾンが生成される。
とオゾン発生器用金属電極１１との間に、酸素原子を含
む原料ガス２０を流すとともに、両電極１０、１１間に
電源２２から高周波、高電圧を印可する。電源２２から
高周波、高電圧が印可されると、オゾン発生器用ガラス
電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との間で無声放
電が生じ、この無声放電により、原料ガス２０中の酸素
原子は電子エネルギーが付与されて励起し、その結果と
して、オゾンが生成される。
【０００６】また、上述の無声放電が行われる際には、
窒素原子が励起して発光する。このように放電時の発光
である放電光が発生する際には、放電現象で生じた物理
エネルギーの一部が費やされる。しかしながら、放電現
象で生じた物理エネルギーのうち可視光である放電光に
変換されるのはごく一部であり、オゾン生成に寄与する
物理エネルギーを除いた大部分は、最終的には熱に変換
される。
窒素原子が励起して発光する。このように放電時の発光
である放電光が発生する際には、放電現象で生じた物理
エネルギーの一部が費やされる。しかしながら、放電現
象で生じた物理エネルギーのうち可視光である放電光に
変換されるのはごく一部であり、オゾン生成に寄与する
物理エネルギーを除いた大部分は、最終的には熱に変換
される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のように放電現象
を利用してオゾンを生成する際には、図８に示すオゾン
発生器１３に設けた覗き窓２１から、オゾン発生器１３
の内部に設けられたオゾン発生器用放電管１２内の放電
光を目視にて観察し、オゾン発生器用放電管１２にて生
じる放電現象を監視する。
を利用してオゾンを生成する際には、図８に示すオゾン
発生器１３に設けた覗き窓２１から、オゾン発生器１３
の内部に設けられたオゾン発生器用放電管１２内の放電
光を目視にて観察し、オゾン発生器用放電管１２にて生
じる放電現象を監視する。
【０００８】しかしながら、上述のように、放電現象に
より生じる物理エネルギーのうち可視光に変換されるエ
ネルギーはごく一部である。従って、この放電現象を目
視により捕らえることは難しい。
より生じる物理エネルギーのうち可視光に変換されるエ
ネルギーはごく一部である。従って、この放電現象を目
視により捕らえることは難しい。
【０００９】他方、放電現象により発生する物理エネル
ギーのうち大部分は熱に変換される。従って、この熱に
よりオゾン発生器１３等の周辺機器の温度が上昇するの
で、この熱を冷却する必要がある。
ギーのうち大部分は熱に変換される。従って、この熱に
よりオゾン発生器１３等の周辺機器の温度が上昇するの
で、この熱を冷却する必要がある。
【００１０】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、オゾン生成の際の放電現象により発生する
物理エネルギーのうち、可視光に変換されるエネルギー
を増加させて、熱に変換されるエネルギーを減少させる
オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管
を提供することを目的とする。
ものであり、オゾン生成の際の放電現象により発生する
物理エネルギーのうち、可視光に変換されるエネルギー
を増加させて、熱に変換されるエネルギーを減少させる
オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、誘電体ガラス
から成るガラス電極誘電層と、ガラス電極誘電層の一方
の面に設けられた蛍光体から成る蛍光体層と、ガラス電
極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導電層と、
を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラス電極で
ある。
から成るガラス電極誘電層と、ガラス電極誘電層の一方
の面に設けられた蛍光体から成る蛍光体層と、ガラス電
極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導電層と、
を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラス電極で
ある。
【００１２】本発明によれば、放電現象により発生する
物理エネルギーの一部が費やされて、蛍光体により励起
光として可視光に変換される。これにより、放電現象の
際の放電光を増強し、熱に変換される物理エネルギーを
減少させることができる。
物理エネルギーの一部が費やされて、蛍光体により励起
光として可視光に変換される。これにより、放電現象の
際の放電光を増強し、熱に変換される物理エネルギーを
減少させることができる。
【００１３】また、本発明は、誘電体ガラスから成るガ
ラス電極誘電層と、ガラス電極誘電層の一方の面に設け
られたエネルギー変換素子および発光ダイオードと、ガ
ラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導電
層と、を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラス
電極である。
ラス電極誘電層と、ガラス電極誘電層の一方の面に設け
られたエネルギー変換素子および発光ダイオードと、ガ
ラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導電
層と、を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラス
電極である。
【００１４】本発明によれば、放電現象により発生する
物理エネルギーの一部が費やされて、エネルギー変換素
子中の伝導電子が運動し、この伝導電子と発光ダイオー
ドとの非弾性衝突により発光ダイオードの発光中心が励
起したりイオン化されて発光する。これにより、放電現
象の際の放電光を増強し、熱に変換される物理エネルギ
ーを減少させることができる。
物理エネルギーの一部が費やされて、エネルギー変換素
子中の伝導電子が運動し、この伝導電子と発光ダイオー
ドとの非弾性衝突により発光ダイオードの発光中心が励
起したりイオン化されて発光する。これにより、放電現
象の際の放電光を増強し、熱に変換される物理エネルギ
ーを減少させることができる。
【００１５】また、本発明は、上述したオゾン発生器用
ガラス電極と、オゾン発生器用ガラス電極の対向位置に
設けられたオゾン発生器用金属電極と、を備え、オゾン
発生器用ガラス電極とオゾン発生器用金属電極との間に
電圧を印加して、オゾン発生器用ガラス電極とオゾン発
生器用金属電極との間を流れる原料ガスに含まれる酸素
原子を励起してオゾンを生成することを特徴とするオゾ
ン発生器用放電管である。
ガラス電極と、オゾン発生器用ガラス電極の対向位置に
設けられたオゾン発生器用金属電極と、を備え、オゾン
発生器用ガラス電極とオゾン発生器用金属電極との間に
電圧を印加して、オゾン発生器用ガラス電極とオゾン発
生器用金属電極との間を流れる原料ガスに含まれる酸素
原子を励起してオゾンを生成することを特徴とするオゾ
ン発生器用放電管である。
【００１６】
【発明の実施の形態】第１の実施の形態 以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明
する。
する。
【００１７】図１は本発明の第１の実施の形態を示す図
である。ここで図１（ａ）はオゾン発生器用放電管を示
す構成図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ部分
の断面図である。
である。ここで図１（ａ）はオゾン発生器用放電管を示
す構成図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ部分
の断面図である。
【００１８】図１（ａ）（ｂ）において、オゾン発生器
用放電管１２は、オゾン発生器用ガラス電極１０と、オ
ゾン発生器用ガラス電極１０の外周側の対向位置に配置
されたオゾン発生器用金属電極１１とを備え、このオゾ
ン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１
１とは同軸円筒状に配置されている。
用放電管１２は、オゾン発生器用ガラス電極１０と、オ
ゾン発生器用ガラス電極１０の外周側の対向位置に配置
されたオゾン発生器用金属電極１１とを備え、このオゾ
ン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１
１とは同軸円筒状に配置されている。
【００１９】オゾン発生器用ガラス電極１０は、円筒状
に設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には誘電体ガラスから
成る誘電ガラス被覆層（被覆防護材）７ａが円筒状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と誘電ガラス被覆
層７ａとの間には、蛍光体から成る蛍光体層２が円筒状
に設けられている。
に設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には誘電体ガラスから
成る誘電ガラス被覆層（被覆防護材）７ａが円筒状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と誘電ガラス被覆
層７ａとの間には、蛍光体から成る蛍光体層２が円筒状
に設けられている。
【００２０】なお、ガラス電極誘電層１の蛍光体層２側
の面は一方の面となり、ガラス電極誘電層１のガラス電
極導電層３側の面は他方の面となる。また、誘電ガラス
被覆層７ａは必ずしも設ける必要はない。
の面は一方の面となり、ガラス電極誘電層１のガラス電
極導電層３側の面は他方の面となる。また、誘電ガラス
被覆層７ａは必ずしも設ける必要はない。
【００２１】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００２２】図１に示すオゾン発生器用放電管１２にお
いて、以下のようにしてオゾンが生成される。
いて、以下のようにしてオゾンが生成される。
【００２３】すなわち、オゾン発生器用ガラス電極１０
とオゾン発生器用金属電極１１との間には、酸素原子を
含む原料ガス２０が流されるとともに、両電極１０、１
１間に電源２２から高周波、高電圧が印可される。これ
により、オゾン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器
用金属電極１１との間で無声放電が生じる。この無声放
電により、原料ガス２０中の酸素原子は電子エネルギー
が付与されて、励起し、その結果として、オゾンが生成
される。
とオゾン発生器用金属電極１１との間には、酸素原子を
含む原料ガス２０が流されるとともに、両電極１０、１
１間に電源２２から高周波、高電圧が印可される。これ
により、オゾン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器
用金属電極１１との間で無声放電が生じる。この無声放
電により、原料ガス２０中の酸素原子は電子エネルギー
が付与されて、励起し、その結果として、オゾンが生成
される。
【００２４】このように、放電現象を利用してオゾンを
生成する場合には、放電時に生じる紫外線が共鳴放射さ
れて、蛍光体により、物理エネルギーの一部が励起光と
して可視光に変換される。
生成する場合には、放電時に生じる紫外線が共鳴放射さ
れて、蛍光体により、物理エネルギーの一部が励起光と
して可視光に変換される。
【００２５】すなわち、オゾン発生器用ガラス電極１０
とオゾン発生器用金属電極１１との間に電源２２から高
周波、高電圧が印可されると、両電極１０、１１間では
無声放電という放電現象が生じる。この放電現象時に
は、オゾン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金
属電極１１との間での原料ガス２０中のガス分子−電子
の衝突、あるいは生成したオゾンが分解する際に、紫外
線が生じる。この放電現象により生じた紫外線は共鳴放
射され、蛍光体層２内の蛍光体は、この紫外線の共鳴放
射により励起して、発光する。
とオゾン発生器用金属電極１１との間に電源２２から高
周波、高電圧が印可されると、両電極１０、１１間では
無声放電という放電現象が生じる。この放電現象時に
は、オゾン発生器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金
属電極１１との間での原料ガス２０中のガス分子−電子
の衝突、あるいは生成したオゾンが分解する際に、紫外
線が生じる。この放電現象により生じた紫外線は共鳴放
射され、蛍光体層２内の蛍光体は、この紫外線の共鳴放
射により励起して、発光する。
【００２６】このような放電現象時の蛍光体の発光現象
により、蛍光体層２を光源として活用して、放電光を増
強することができる。
により、蛍光体層２を光源として活用して、放電光を増
強することができる。
【００２７】また、一般に、放電現象により発生する物
理エネルギーのうち可視光に変換されないエネルギー
は、ガス分子やオゾン発生器用放電管１２の壁面等に吸
収されて、熱に変換される。
理エネルギーのうち可視光に変換されないエネルギー
は、ガス分子やオゾン発生器用放電管１２の壁面等に吸
収されて、熱に変換される。
【００２８】これに対して、本発明によれば、上述のよ
うに、放電現象により発生する物理エネルギーの一部
が、蛍光体により励起光として可視光に変換されて費や
される。従って、放電現象により生じる物理エネルギー
のうち、蛍光体により励起光として可視光に変換する際
に費やされるエネルギーを、熱に変換することなく可視
光として取り出すことができるので、放電現象による発
熱を抑制することができる。
うに、放電現象により発生する物理エネルギーの一部
が、蛍光体により励起光として可視光に変換されて費や
される。従って、放電現象により生じる物理エネルギー
のうち、蛍光体により励起光として可視光に変換する際
に費やされるエネルギーを、熱に変換することなく可視
光として取り出すことができるので、放電現象による発
熱を抑制することができる。
【００２９】なお、蛍光体により励起光として可視光に
変換する際のエネルギー量は、以下のようにして推定さ
れる。
変換する際のエネルギー量は、以下のようにして推定さ
れる。
【００３０】すなわち、放電が行われるオゾン発生器用
ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との間の
電界をＥ（Ｔｄ）、電界Ｅ（Ｔｄ）におけるガス中の電
子エネルギー分布関数をｆ（ｅ）、原料ガス２０が紫外
線を発生する衝突断面積をＱ１（ｅ）、オゾン分子が電
子や他分子と衝突分解する衝突断面積をＱ２（ｅ）とす
る。
ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との間の
電界をＥ（Ｔｄ）、電界Ｅ（Ｔｄ）におけるガス中の電
子エネルギー分布関数をｆ（ｅ）、原料ガス２０が紫外
線を発生する衝突断面積をＱ１（ｅ）、オゾン分子が電
子や他分子と衝突分解する衝突断面積をＱ２（ｅ）とす
る。
【００３１】このとき、衝突断面積Ｑ１（ｅ）、Ｑ２
（ｅ）の和（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２（ｅ））に対して、ｅ・
ｆ（ｅ）・（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２（ｅ））で表されるエネ
ルギー式を積分して得られるエネルギー量が、紫外線を
生成するのに費やされる。このように表されるエネルギ
ー量を有する紫外線が蛍光体により可視光に変換される
と仮定し、また、紫外線から可視光への変換効率をａと
すると、ａ・∫ｅ・（ｅ）・（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２
（ｅ））ｄｅで表されるエネルギー量を、蛍光体により
励起光として可視光に変換する際のエネルギー量として
推定することができる。
（ｅ）の和（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２（ｅ））に対して、ｅ・
ｆ（ｅ）・（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２（ｅ））で表されるエネ
ルギー式を積分して得られるエネルギー量が、紫外線を
生成するのに費やされる。このように表されるエネルギ
ー量を有する紫外線が蛍光体により可視光に変換される
と仮定し、また、紫外線から可視光への変換効率をａと
すると、ａ・∫ｅ・（ｅ）・（Ｑ１（ｅ）＋Ｑ２
（ｅ））ｄｅで表されるエネルギー量を、蛍光体により
励起光として可視光に変換する際のエネルギー量として
推定することができる。
【００３２】ところで、ガラス電極誘電層１の外周側の
面である放電面に蛍光体層２を設けただけの場合には、
蛍光体層２は、オゾン生成の際の放電、あるいは生成さ
れたオゾンにより、ガラス電極誘電層１の放電面から剥
離することも考えられる。
面である放電面に蛍光体層２を設けただけの場合には、
蛍光体層２は、オゾン生成の際の放電、あるいは生成さ
れたオゾンにより、ガラス電極誘電層１の放電面から剥
離することも考えられる。
【００３３】これに対して、蛍光体から成る蛍光体層２
を、誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａで被覆
することにより、放電や生成したオゾンから保護するこ
とができる。
を、誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａで被覆
することにより、放電や生成したオゾンから保護するこ
とができる。
【００３４】次に、上記第１の実施の形態の一変形例に
ついて説明する。図２は本実施の形態の一変形例を示す
図であり、オゾン発生器用放電管を示す構成図である。
ついて説明する。図２は本実施の形態の一変形例を示す
図であり、オゾン発生器用放電管を示す構成図である。
【００３５】図２に示すように、オゾン発生器用ガラス
電極１０と、オゾン発生器用金属電極１１と、を平行平
板状に配置してもよい。すなわち、オゾン発生器用ガラ
ス電極１０は、平行平板状に設けられた誘電体ガラスか
ら成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘電層１の内
周側の表面に被覆されたステンレスから成るガラス電極
導電層３とを有する。また、ガラス電極誘電層１の外周
側には誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａが平
行平板状に設けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と誘
電ガラス被覆層７ａとの間には、蛍光体から成る蛍光体
層２が平行平板状に設けられている。
電極１０と、オゾン発生器用金属電極１１と、を平行平
板状に配置してもよい。すなわち、オゾン発生器用ガラ
ス電極１０は、平行平板状に設けられた誘電体ガラスか
ら成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘電層１の内
周側の表面に被覆されたステンレスから成るガラス電極
導電層３とを有する。また、ガラス電極誘電層１の外周
側には誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａが平
行平板状に設けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と誘
電ガラス被覆層７ａとの間には、蛍光体から成る蛍光体
層２が平行平板状に設けられている。
【００３６】本変形例においても、物理エネルギーの一
部が、蛍光体により励起光として可視光に変換されるの
で、蛍光体から成る蛍光体層２を光源として活用して、
放電光を増強することができる。また、この物理エネル
ギーの一部は蛍光体により可視光として取り出されるの
で、放電時の発熱を抑制することができる。また、蛍光
体層２は誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａと
いう被覆防護材により被覆されているので、放電や生成
したオゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘電層１から
剥離することもない。
部が、蛍光体により励起光として可視光に変換されるの
で、蛍光体から成る蛍光体層２を光源として活用して、
放電光を増強することができる。また、この物理エネル
ギーの一部は蛍光体により可視光として取り出されるの
で、放電時の発熱を抑制することができる。また、蛍光
体層２は誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａと
いう被覆防護材により被覆されているので、放電や生成
したオゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘電層１から
剥離することもない。
【００３７】更に他の変形例について説明する。図３は
本実施の形態の他の変形例を示す図であり、オゾン発生
器用放電管を示す構成図である。
本実施の形態の他の変形例を示す図であり、オゾン発生
器用放電管を示す構成図である。
【００３８】図３に示すように、被覆防護材として酸化
マグネシウムから成る酸化マグネシウム被覆層７ｂを有
するオゾン発生器用ガラス電極１０と、オゾン発生器用
金属電極１１と、を平行平板状に配置してもよい。すな
わち、オゾン発生器用ガラス電極１０は、平行平板状に
設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には酸化マグネシウム
から成る酸化マグネシウム被覆層７ｂが平行平板状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と酸化マグネシウ
ム被覆層７ｂとの間には、蛍光体から成る蛍光体層２が
設けられている。
マグネシウムから成る酸化マグネシウム被覆層７ｂを有
するオゾン発生器用ガラス電極１０と、オゾン発生器用
金属電極１１と、を平行平板状に配置してもよい。すな
わち、オゾン発生器用ガラス電極１０は、平行平板状に
設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には酸化マグネシウム
から成る酸化マグネシウム被覆層７ｂが平行平板状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と酸化マグネシウ
ム被覆層７ｂとの間には、蛍光体から成る蛍光体層２が
設けられている。
【００３９】本変形例においても、物理エネルギーの一
部が、蛍光体により励起光として可視光に変換されるの
で、蛍光体から成る蛍光体層２を光源として活用して、
放電光を増強することができる。また、この物理エネル
ギーの一部は蛍光体により可視光として取り出されるの
で、放電時の発熱を抑制することができる。また、蛍光
体層２は酸化マグネシウムから成る酸化マグネシウム被
覆層７ｂという被覆防護材により被覆されているので、
放電や生成したオゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘
電層１から剥離することもない。
部が、蛍光体により励起光として可視光に変換されるの
で、蛍光体から成る蛍光体層２を光源として活用して、
放電光を増強することができる。また、この物理エネル
ギーの一部は蛍光体により可視光として取り出されるの
で、放電時の発熱を抑制することができる。また、蛍光
体層２は酸化マグネシウムから成る酸化マグネシウム被
覆層７ｂという被覆防護材により被覆されているので、
放電や生成したオゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘
電層１から剥離することもない。
【００４０】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、物理エネルギーの一部が蛍光体により励起光として
可視光に変換されるので、蛍光体から成る蛍光体層２を
光源として活用し、放電光を増強することができる。ま
た、この物理エネルギーの一部は蛍光体により可視光と
して取り出されるので、放電時の発熱を抑制することが
できる。また、蛍光体層２は、誘電体ガラスから成る誘
電ガラス被覆層７ａ、あるいは酸化マグネシウムから成
る酸化マグネシウム被覆層７ｂという被覆防護材により
被覆されているので、オゾン生成の際の放電や生成した
オゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘電層１から剥離
することもない。
ば、物理エネルギーの一部が蛍光体により励起光として
可視光に変換されるので、蛍光体から成る蛍光体層２を
光源として活用し、放電光を増強することができる。ま
た、この物理エネルギーの一部は蛍光体により可視光と
して取り出されるので、放電時の発熱を抑制することが
できる。また、蛍光体層２は、誘電体ガラスから成る誘
電ガラス被覆層７ａ、あるいは酸化マグネシウムから成
る酸化マグネシウム被覆層７ｂという被覆防護材により
被覆されているので、オゾン生成の際の放電や生成した
オゾンにより蛍光体層２がガラス電極誘電層１から剥離
することもない。
【００４１】第２の実施の形態 次に図４により本発明の第２の実施の形態について説明
する。
する。
【００４２】図４は本発明の第２の実施の形態を示す図
である。ここで図４（ａ）はオゾン発生器用放電管を示
す構成図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部分
の断面図である。
である。ここで図４（ａ）はオゾン発生器用放電管を示
す構成図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部分
の断面図である。
【００４３】図４（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生器用放
電管１２は、蛍光体から成る蛍光体層２の代わりに、エ
ネルギー変換素子である圧電素子４ａと発光ダイオード
５とから成る発光層６が、ガラス電極誘電層１と誘電ガ
ラス被覆層７ａとの間に設けられている点が異なるのみ
であり、他の構成は図１に示す第１の実施の形態と略同
一である。図１に示す第１の実施の形態と同一部分には
同一符号を付して詳細な説明は省略する。
電管１２は、蛍光体から成る蛍光体層２の代わりに、エ
ネルギー変換素子である圧電素子４ａと発光ダイオード
５とから成る発光層６が、ガラス電極誘電層１と誘電ガ
ラス被覆層７ａとの間に設けられている点が異なるのみ
であり、他の構成は図１に示す第１の実施の形態と略同
一である。図１に示す第１の実施の形態と同一部分には
同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４４】図４に示すオゾン発生器用放電管１２によ
りオゾンを生成する際には、放電時のガス分子がオゾン
発生器用ガラス電極１０またはオゾン発生器用金属電極
１１に衝突し、このときの衝突エネルギーが利用されて
圧電素子４ａ中の伝導電子が運動し、この伝導電子によ
り発光ダイオード５の発光中心が励起したりイオン化さ
れて発光する。
りオゾンを生成する際には、放電時のガス分子がオゾン
発生器用ガラス電極１０またはオゾン発生器用金属電極
１１に衝突し、このときの衝突エネルギーが利用されて
圧電素子４ａ中の伝導電子が運動し、この伝導電子によ
り発光ダイオード５の発光中心が励起したりイオン化さ
れて発光する。
【００４５】すなわち、オゾン発生器用ガラス電極１０
とオゾン発生器用金属電極１１との間に電源２２から高
周波、高電圧が印可されると無声放電が生じる。このと
き放電空間であるオゾン発生器用ガラス電極１０とオゾ
ン発生器用金属電極１１との間では、電子やイオンが加
速される。この加速された電子やイオンは、オゾン発生
器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との
間に流された原料ガス２０のガス分子と衝突を繰り返
す。このことにより、放電現象により生じた物理エネル
ギーの一部が、励起種としての内部エネルギーや運動エ
ネルギーとしてガス分子に注入される。
とオゾン発生器用金属電極１１との間に電源２２から高
周波、高電圧が印可されると無声放電が生じる。このと
き放電空間であるオゾン発生器用ガラス電極１０とオゾ
ン発生器用金属電極１１との間では、電子やイオンが加
速される。この加速された電子やイオンは、オゾン発生
器用ガラス電極１０とオゾン発生器用金属電極１１との
間に流された原料ガス２０のガス分子と衝突を繰り返
す。このことにより、放電現象により生じた物理エネル
ギーの一部が、励起種としての内部エネルギーや運動エ
ネルギーとしてガス分子に注入される。
【００４６】一般に、内部エネルギーや運動エネルギー
が注入されたガス分子は、オゾン発生器用放電管１２の
電極１０、１１に衝突するため、電極１０、１１に熱エ
ネルギーが伝導し、周辺機器の温度が上昇することも考
えられる。
が注入されたガス分子は、オゾン発生器用放電管１２の
電極１０、１１に衝突するため、電極１０、１１に熱エ
ネルギーが伝導し、周辺機器の温度が上昇することも考
えられる。
【００４７】これに対して、本発明によれば、放電時の
ガス分子の電極１０、１１への衝突エネルギーは、オゾ
ン発生器用ガラス電極１０の圧電素子４ａ中の伝導電子
の運動に変換される。このとき伝導電子が発光ダイオー
ド５の発光中心に非弾性衝突することにより、発光中心
が励起したりイオン化されて発光する。
ガス分子の電極１０、１１への衝突エネルギーは、オゾ
ン発生器用ガラス電極１０の圧電素子４ａ中の伝導電子
の運動に変換される。このとき伝導電子が発光ダイオー
ド５の発光中心に非弾性衝突することにより、発光中心
が励起したりイオン化されて発光する。
【００４８】このようにして、放電時のガス分子の電極
１０、１１への衝突エネルギーを、圧電素子４ａおよび
発光ダイオード５から成る発光層６を介して可視光に変
換することができる。
１０、１１への衝突エネルギーを、圧電素子４ａおよび
発光ダイオード５から成る発光層６を介して可視光に変
換することができる。
【００４９】このため圧電素子４ａおよび発光ダイオー
ド５から成る発光層６の発光現象を利用し、発光層６を
光源として活用して放電光を増強することができる。
ド５から成る発光層６の発光現象を利用し、発光層６を
光源として活用して放電光を増強することができる。
【００５０】このように、放電現象により発生する物理
エネルギーの一部を、熱に変換することなく、発光層６
を介して可視光である放電光へ変換することができるの
で、放電現象による発熱を抑制することができる。
エネルギーの一部を、熱に変換することなく、発光層６
を介して可視光である放電光へ変換することができるの
で、放電現象による発熱を抑制することができる。
【００５１】ところで、ガラス電極誘電層１の外周側の
面の放電面に発光層６を設けただけの場合には、発光層
６を構成する発光ダイオード５が、オゾン生成の際の放
電や、生成されたオゾンにより、ガラス電極誘電層１の
放電面から剥離することも考えられる。
面の放電面に発光層６を設けただけの場合には、発光層
６を構成する発光ダイオード５が、オゾン生成の際の放
電や、生成されたオゾンにより、ガラス電極誘電層１の
放電面から剥離することも考えられる。
【００５２】これに対して、圧電素子４ａおよび発光ダ
イオード５から成る発光層６を、誘電体ガラスから成る
誘電ガラス被覆層７ａで被覆することにより、放電や生
成したオゾンから保護することができる。
イオード５から成る発光層６を、誘電体ガラスから成る
誘電ガラス被覆層７ａで被覆することにより、放電や生
成したオゾンから保護することができる。
【００５３】次に、上記第２の実施の形態の一変形例に
ついて説明する。図５は本実施の形態の一変形例を示す
図であり、オゾン発生器用放電管を示す構成図である。
ついて説明する。図５は本実施の形態の一変形例を示す
図であり、オゾン発生器用放電管を示す構成図である。
【００５４】図５に示すように、オゾン発生器用ガラス
電極１０と、オゾン発生器用金属電極１１と、は平行平
板状に配置されてもよい。すなわち、オゾン発生器用ガ
ラス電極１０は、平行平板状に設けられた誘電体ガラス
から成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘電層１の
内周側の表面に被覆されたステンレスから成るガラス電
極導電層３とを有する。また、ガラス電極誘電層１の外
周側には誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａが
平行平板状に設けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と
誘電ガラス被覆層７ａとの間には、圧電素子４ａおよび
発光ダイオード５から成る発光層６が設けられている。
電極１０と、オゾン発生器用金属電極１１と、は平行平
板状に配置されてもよい。すなわち、オゾン発生器用ガ
ラス電極１０は、平行平板状に設けられた誘電体ガラス
から成るガラス電極誘電層１と、ガラス電極誘電層１の
内周側の表面に被覆されたステンレスから成るガラス電
極導電層３とを有する。また、ガラス電極誘電層１の外
周側には誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆層７ａが
平行平板状に設けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と
誘電ガラス被覆層７ａとの間には、圧電素子４ａおよび
発光ダイオード５から成る発光層６が設けられている。
【００５５】本変形例においても、放電時のガス分子の
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する圧電素子４ａ中の伝導電子の運動に変換される。こ
のとき伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性
衝突して、発光中心が励起したりイオン化されて発光す
る。従って、圧電素子４ａおよび発光ダイオード５から
成る発光層６を光源として活用し、放電光を増強するこ
とができる。また、放電時のガス分子の電極１０、１１
への衝突エネルギーを可視光である放電光として取り出
すことにより、放電時の発熱を抑制することができる。
また、発光層６は誘電体ガラスという被覆防護材により
被覆されているので、放電や生成したオゾンにより発光
層６がガラス電極誘電層１から剥離することもない。
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する圧電素子４ａ中の伝導電子の運動に変換される。こ
のとき伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性
衝突して、発光中心が励起したりイオン化されて発光す
る。従って、圧電素子４ａおよび発光ダイオード５から
成る発光層６を光源として活用し、放電光を増強するこ
とができる。また、放電時のガス分子の電極１０、１１
への衝突エネルギーを可視光である放電光として取り出
すことにより、放電時の発熱を抑制することができる。
また、発光層６は誘電体ガラスという被覆防護材により
被覆されているので、放電や生成したオゾンにより発光
層６がガラス電極誘電層１から剥離することもない。
【００５６】更に他の変形例について説明する。図６は
本実施の形態の他の変形例を示す図であり、オゾン発生
器用放電管を示す構成図である。
本実施の形態の他の変形例を示す図であり、オゾン発生
器用放電管を示す構成図である。
【００５７】図６に示すように、被覆防護材として酸化
マグネシウムから成る酸化マグネシウム被覆層７ｂを有
するオゾン発生器用ガラス電極１０と、オゾン発生器用
金属電極１１と、が平行平板状に配置されてもよい。す
なわち、オゾン発生器用ガラス電極１０は、平行平板状
に設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には酸化マグネシウム
から成る酸化マグネシウム被覆層７ｂが平行平板状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と酸化マグネシウ
ム被覆層７ｂとの間には、圧電素子４ａおよび発光ダイ
オード５から成る発光層６が設けられている。
マグネシウムから成る酸化マグネシウム被覆層７ｂを有
するオゾン発生器用ガラス電極１０と、オゾン発生器用
金属電極１１と、が平行平板状に配置されてもよい。す
なわち、オゾン発生器用ガラス電極１０は、平行平板状
に設けられた誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層１
と、ガラス電極誘電層１の内周側の表面に被覆されたス
テンレスから成るガラス電極導電層３とを有する。ま
た、ガラス電極誘電層１の外周側には酸化マグネシウム
から成る酸化マグネシウム被覆層７ｂが平行平板状に設
けられ、さらに、ガラス電極誘電層１と酸化マグネシウ
ム被覆層７ｂとの間には、圧電素子４ａおよび発光ダイ
オード５から成る発光層６が設けられている。
【００５８】本変形例においても、放電時のガス分子の
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する圧電素子４ａ中の伝導電子の運動に変換され、この
伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性衝突す
ることにより、発光中心が励起したりイオン化されて発
光する。従って、圧電素子４ａおよび発光ダイオード５
から成る発光層６を光源として活用し、放電光を増強す
ることができる。また、圧電素子４ａおよび発光ダイオ
ード５により可視光に変換されるガス分子の電極１０、
１１への衝突エネルギーを、可視光である放電光として
取り出すことにより、放電時の発熱を抑制することがで
きる。また、発光層６は酸化マグネシウムから成る酸化
マグネシウム被覆層７ｂという被覆防護材により被覆さ
れているので、放電や生成したオゾンにより発光層６が
ガラス電極誘電層１から剥離することもない。
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する圧電素子４ａ中の伝導電子の運動に変換され、この
伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性衝突す
ることにより、発光中心が励起したりイオン化されて発
光する。従って、圧電素子４ａおよび発光ダイオード５
から成る発光層６を光源として活用し、放電光を増強す
ることができる。また、圧電素子４ａおよび発光ダイオ
ード５により可視光に変換されるガス分子の電極１０、
１１への衝突エネルギーを、可視光である放電光として
取り出すことにより、放電時の発熱を抑制することがで
きる。また、発光層６は酸化マグネシウムから成る酸化
マグネシウム被覆層７ｂという被覆防護材により被覆さ
れているので、放電や生成したオゾンにより発光層６が
ガラス電極誘電層１から剥離することもない。
【００５９】なお、圧電素子４ａの代わりに熱伝対素子
４ｂを用いてもよい。この場合も、放電時のガス分子の
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する熱伝対素子４ｂ中の伝導電子の運動に変換され、こ
の伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性衝突
して、発光中心が励起したりイオン化されて発光する。
４ｂを用いてもよい。この場合も、放電時のガス分子の
電極１０、１１への衝突エネルギーが、発光層６を構成
する熱伝対素子４ｂ中の伝導電子の運動に変換され、こ
の伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非弾性衝突
して、発光中心が励起したりイオン化されて発光する。
【００６０】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、放電時のガス分子の衝突エネルギーが、圧電素子４
ａ、あるいは熱伝対素子４ｂ中の伝導電子の運動に変換
され、この伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非
弾性衝突することにより、発光ダイオード５は発光す
る。従って、圧電素子４ａあるいは熱伝対素子４ｂと、
発光ダイオード５とから成る発光層６を光源として活用
して、放電光を増強することができる。また、可視光に
変換されたガス分子の衝突エネルギーを可視光として取
り出すので、放電時の発熱を抑制することができる。ま
た、発光層６は、誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆
層７ａ、あるいは酸化マグネシウムから成る酸化マグネ
シウム被覆層７ｂという被覆防護材により被覆されてい
るので、放電や生成したオゾンにより蛍光体層２がガラ
ス電極誘電層１から剥離することもない。
ば、放電時のガス分子の衝突エネルギーが、圧電素子４
ａ、あるいは熱伝対素子４ｂ中の伝導電子の運動に変換
され、この伝導電子が発光ダイオード５の発光中心に非
弾性衝突することにより、発光ダイオード５は発光す
る。従って、圧電素子４ａあるいは熱伝対素子４ｂと、
発光ダイオード５とから成る発光層６を光源として活用
して、放電光を増強することができる。また、可視光に
変換されたガス分子の衝突エネルギーを可視光として取
り出すので、放電時の発熱を抑制することができる。ま
た、発光層６は、誘電体ガラスから成る誘電ガラス被覆
層７ａ、あるいは酸化マグネシウムから成る酸化マグネ
シウム被覆層７ｂという被覆防護材により被覆されてい
るので、放電や生成したオゾンにより蛍光体層２がガラ
ス電極誘電層１から剥離することもない。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
物理エネルギーの一部が励起光として蛍光体により可視
光に変換されるので、蛍光体から成る蛍光体層を光源と
して活用し、放電光を増強することができる。また、ガ
ス分子の衝突エネルギーが、エネルギー変換素子および
発光ダイオードにより可視光に変換されるので、エネル
ギー変換素子および発光ダイオードを光源として活用
し、放電光を増強することができる。これにより、放電
現象を利用してオゾンを生成する際のオゾン発生器用放
電管にて生じる放電現象を、例えば低負荷運転時におい
ても監視することが容易となり、オゾン生成の状態監視
を強化することができる。
物理エネルギーの一部が励起光として蛍光体により可視
光に変換されるので、蛍光体から成る蛍光体層を光源と
して活用し、放電光を増強することができる。また、ガ
ス分子の衝突エネルギーが、エネルギー変換素子および
発光ダイオードにより可視光に変換されるので、エネル
ギー変換素子および発光ダイオードを光源として活用
し、放電光を増強することができる。これにより、放電
現象を利用してオゾンを生成する際のオゾン発生器用放
電管にて生じる放電現象を、例えば低負荷運転時におい
ても監視することが容易となり、オゾン生成の状態監視
を強化することができる。
【００６２】また、蛍光体により励起光として可視光に
変換する際に費やされるエネルギー量、あるいはガス分
子の衝突エネルギーを可視光に変換する際に費やされる
エネルギー量が、可視光として取り出される。これによ
り、放電時の発熱を抑制することができ、オゾン発生器
の冷却水量の低減や冷却のための消費電力の抑制等とい
う冷却効率を向上することができる。
変換する際に費やされるエネルギー量、あるいはガス分
子の衝突エネルギーを可視光に変換する際に費やされる
エネルギー量が、可視光として取り出される。これによ
り、放電時の発熱を抑制することができ、オゾン発生器
の冷却水量の低減や冷却のための消費電力の抑制等とい
う冷却効率を向上することができる。
【００６３】さらに、蛍光体層、あるいはエネルギー変
換素子および発光ダイオードは、誘電体ガラスから成る
誘電ガラス被覆層、あるいは酸化マグネシウムから成る
酸化マグネシウム被覆層という被覆防護材により被覆さ
れている。これにより、蛍光体層あるいは発光ダイオー
ドは、オゾン生成の際の放電や生成したオゾンによりガ
ラス電極誘電層から剥離することもない。
換素子および発光ダイオードは、誘電体ガラスから成る
誘電ガラス被覆層、あるいは酸化マグネシウムから成る
酸化マグネシウム被覆層という被覆防護材により被覆さ
れている。これにより、蛍光体層あるいは発光ダイオー
ドは、オゾン生成の際の放電や生成したオゾンによりガ
ラス電極誘電層から剥離することもない。
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるオゾン発生
器用放電管を示す構成図。
器用放電管を示す構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の一変形例における
オゾン発生器用放電管を示す構成図。
オゾン発生器用放電管を示す構成図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の他の変形例におけ
るオゾン発生器用放電管を示す構成図。
るオゾン発生器用放電管を示す構成図。
【図４】本発明の第２の実施の形態におけるオゾン発生
器用放電管を示す構成図。
器用放電管を示す構成図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の一変形例における
オゾン発生器用放電管を示す構成図。
オゾン発生器用放電管を示す構成図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の他の変形例におけ
るオゾン発生器用放電管を示す構成図。
るオゾン発生器用放電管を示す構成図。
【図７】従来のオゾン発生器用放電管を示す構成図。
【図８】オゾン発生器用放電管を備えたオゾン発生器を
示す図。
示す図。
１ ガラス電極誘電層 ２ 蛍光体層 ３ ガラス電極導電層 ４ａ 圧電素子 ４ｂ 熱伝対素子 ５ 発光ダイオード ６ 発光層 ７ａ 誘電ガラス被覆層 ７ｂ 酸化マグネシウム被覆層 １０ オゾン発生器用ガラス電極 １１ オゾン発生器用金属電極 １２ オゾン発生器用放電管 １３ オゾン発生器 ２０ 原料ガス ２１ 覗き窓 ２２ 電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志 村 尚 彦 神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番地 株式会社東芝京浜事業所内 Ｆターム(参考） 4G042 CA01 CC05 CC16 CC19 CC21
Claims (11)
- 【請求項１】誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層
と、 ガラス電極誘電層の一方の面に設けられた蛍光体から成
る蛍光体層と、 ガラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導
電層と、を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラ
ス電極。 - 【請求項２】誘電体ガラスから成るガラス電極誘電層
と、 ガラス電極誘電層の一方の面に設けられたエネルギー変
換素子および発光ダイオードと、 ガラス電極誘電層の他方の面に設けられたガラス電極導
電層と、を備えたことを特徴とするオゾン発生器用ガラ
ス電極。 - 【請求項３】蛍光体層は、被覆防護材により被覆されて
いることを特徴とする請求項１記載のオゾン発生器用ガ
ラス電極。 - 【請求項４】エネルギー変換素子および発光ダイオード
は、被覆防護材により被覆されていることを特徴とする
請求項２記載のオゾン発生器用ガラス電極。 - 【請求項５】被覆防護材は、誘電体ガラスから成ること
を特徴とする請求項３または４のいずれかに記載のオゾ
ン発生器用ガラス電極。 - 【請求項６】被覆防護材は、酸化マグネシウムから成る
ことを特徴とする請求項３または４のいずれかに記載の
オゾン発生器用ガラス電極。 - 【請求項７】ガラス電極誘電層と、蛍光体層と、ガラス
電極導電層とは、同軸円筒状に配置されたことを特徴と
する請求項１、３、５または６のいずれかに記載のオゾ
ン発生器用ガラス電極。 - 【請求項８】ガラス電極誘電層と、蛍光体層と、ガラス
電極導電層とは、平行平板状に配置されたことを特徴と
する請求項１、３、５または６のいずれかに記載のオゾ
ン発生器用ガラス電極。 - 【請求項９】ガラス電極誘電層と、エネルギー変換素子
および発光ダイオードと、ガラス電極導電層とは、同軸
円筒状に配置されたことを特徴とする請求項２または４
乃至６のいずれかに記載のオゾン発生器用ガラス電極。 - 【請求項１０】ガラス電極誘電層と、エネルギー変換素
子および発光ダイオードと、ガラス電極導電層とは、平
行平板状に配置されたことを特徴とする請求項２または
４乃至６のいずれかに記載のオゾン発生器用ガラス電
極。 - 【請求項１１】請求項１乃至１０のいずれかに記載のオ
ゾン発生器用ガラス電極と、オゾン発生器用ガラス電極
の対向位置に設けられたオゾン発生器用金属電極と、を
備え、 オゾン発生器用ガラス電極とオゾン発生器用金属電極と
の間に電圧を印加して、オゾン発生器用ガラス電極とオ
ゾン発生器用金属電極との間を流れる原料ガスに含まれ
る酸素原子を励起してオゾンを生成することを特徴とす
るオゾン発生器用放電管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001054842A JP4237420B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001054842A JP4237420B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002255512A true JP2002255512A (ja) | 2002-09-11 |
| JP4237420B2 JP4237420B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=18915111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001054842A Expired - Fee Related JP4237420B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4237420B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005080264A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
| JP2008156218A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-07-10 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
-
2001
- 2001-02-28 JP JP2001054842A patent/JP4237420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005080264A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | オゾン発生装置およびオゾン発生方法 |
| US7382087B2 (en) | 2004-02-25 | 2008-06-03 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Ozone generator system and ozone generating method |
| JP2008156218A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-07-10 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4237420B2 (ja) | 2009-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Rauf et al. | Dynamics of a coplanar-electrode plasma display panel. II. Cell optimization | |
| US8946993B2 (en) | Fluorescent excimer lamps | |
| CN101567297A (zh) | 高通量无极真空紫外光源 | |
| Frame et al. | Continuous-wave emission in the ultraviolet from diatomic excimers in a microdischarge | |
| US8587227B2 (en) | Electrostatic ion accelerator arrangement | |
| EP2273534B1 (en) | Ultraviolet generation device and lighting device using same | |
| Salvermoser et al. | Efficient, stable, corona discharge 172 nm xenon excimer light source | |
| Salvermoser et al. | High-efficiency, high-power, stable 172 nm xenon excimer light source | |
| JP2002255512A (ja) | オゾン発生器用ガラス電極およびオゾン発生器用放電管 | |
| US6747419B2 (en) | Method and apparatus for heat pipe cooling of an excimer lamp | |
| JP2010020981A (ja) | 発光装置 | |
| JP2005216647A (ja) | 高放射輝度閃光放電ランプ | |
| JP4618145B2 (ja) | 放電プラズマ装置 | |
| JP2004200057A (ja) | フラットパネルディスプレイ | |
| Gondal et al. | Emission spectra of calcium dimer. The A 1∑ u+− X 1∑ g+ system | |
| Pitchford et al. | Calculated characteristics of radio-frequency plasma display panel cells including the influence of xenon metastables | |
| JPH0778593A (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプ | |
| JP4876779B2 (ja) | 放電装置 | |
| Matsunaga et al. | Evaluation of improved efficiency with a diamond coating for a plasma display panel electrode | |
| JP2007087937A (ja) | 放電プラズマ生成補助装置 | |
| Timofeev et al. | Glow discharge in the mixture of a rare gas and water vapour: Properties and application to light sources | |
| RU2324255C2 (ru) | Универсальный дуговой источник вуф-фотонов и химически активных частиц | |
| JP2616658B2 (ja) | Ｘ線放電励起ガスレーザ用電極及びガスレーザ装置 | |
| JP2781098B2 (ja) | 光放射電子管 | |
| JP4924868B2 (ja) | 放電管および放電管装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060823 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080911 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081113 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081212 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081218 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131226 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |