JP2008135648A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板11と、半導体基板11に形成されたトランジスタ40と、ランジスタ40上を覆うように形成された層間絶縁膜13と、層間絶縁膜13上に形成された下部電極21、下部電極21上に形成された強誘電体膜23、及び、強誘電体膜23上に形成された上部電極25を有し、下部電極21及び上部電極25が、それぞれ、トランジスタ40に接続され、下部電極21の下面と角度を有する下部電極21の側面の傾斜が、連なる強誘電体膜23及び上部電極25の側面の傾斜より緩い強誘電体キャパシタ101と、強誘電体キャパシタ101の側面を含む表面を覆う水素保護膜31とを備えている。
【選択図】図1
Description
11 半導体基板
13、33 層間絶縁膜
15、16 コンタクトプラグ
21 下部電極
21a 下部電極膜
23、23a 強誘電体膜
25 上部電極
25a 上部電極膜
27、67 マスク
29、69 溝
31 水素保護膜
40 トランジスタ
41 拡散層
42ゲート絶縁膜
43 ゲート電極
45 配線層
67a、67b、67c、67d、67e、67f、67g、67h、67i マスク膜
71、71a、71b、71c、71d、71e、71f、71g 側壁膜
101、102、103、104、105、106、107、111、112、113、114a、114b、115、116、117、118、119a、119b、119c 強誘電体キャパシタ
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたトランジスタと、
前記トランジスタ上を覆うように形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された下部電極、前記下部電極上に形成された強誘電体膜、及び、前記強誘電体膜上に形成された上部電極を有し、前記下部電極及び前記上部電極が、それぞれ、前記トランジスタに接続され、前記下部電極の下面と角度を有する前記下部電極の側面の傾斜が、連なる前記強誘電体膜及び前記上部電極の側面の傾斜より緩い強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタの側面を含む表面を覆う水素保護膜と、
を備えていること特徴とする半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された第1及び第2の拡散領域を有するトランジスタと、
前記トランジスタ上を覆うように形成された層間絶縁膜と
前記層間絶縁膜上に形成された下部電極、前記下部電極上に形成された強誘電体膜、及び、前記強誘電体膜上に形成された上部電極を有し、前記下部電極及び前記上部電極が、コンタクトプラグを介して、前記第1及び第2の拡散領域と、それぞれ、接続され、前記下部電極の下面と角度を有する前記下部電極の側面の傾斜が、連なる前記強誘電体膜及び前記上部電極の側面の傾斜より緩い強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタの側面を含む表面を覆う酸化膜を有する水素保護膜と、
を備えていること特徴とする半導体装置。 - 前記下部電極の側面は、前記下部電極の下面となす角の角度の異なる少なくとも2種類の傾斜を有して、前記下部電極の最も緩い傾斜は、連続する前記強誘電体膜側面の傾斜より緩いこと特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 半導体基板に拡散層を有するトランジスタを形成し、前記トランジスタを覆うように前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成し、前記拡散層と接続するコンタクトプラグを形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記コンタクトプラグと接続される下部電極膜、強誘電体膜、及び上部電極膜を順次堆積する工程と、
前記上部電極膜の上部電極形成領域上にエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクを用いて、前記上部電極膜を分離、または、前記上部電極膜と前記強誘電体膜とを分離するようにエッチングを行い、次に、側面の傾斜が前記強誘電体膜の側面の傾斜より緩くなるように前記下部電極膜を分離するエッチングを行い、下部電極、強誘電体膜、及び上部電極を有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタの側面を含む表面に、酸化膜を有する水素保護膜を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板に拡散層を有するトランジスタを形成し、前記トランジスタを覆うように前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成し、前記拡散層と接続するコンタクトプラグを形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記コンタクトプラグと接続される下部電極膜、強誘電体膜、及び上部電極膜を順次堆積する工程と、
前記上部電極膜の上部電極形成領域上にエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクを用いて、前記上部電極膜を分離、または、前記上部電極膜と前記強誘電体膜とを分離するように第1のエッチングを行う工程と、
前記第1のエッチングにより形成された面上に側壁マスク用膜を堆積する工程と、
前記側壁マスク用膜をエッチングバックして、少なくとも前記上部電極側面に側壁マスクを形成する工程と、
前記側壁マスクを用いて、前記強誘電体膜側面に連なる前記下部電極膜側面の傾斜の一部が、前記強誘電体膜側面の傾斜より緩くなるように、前記第1のエッチングにより形成された面から前記層間絶縁膜方向に第2のエッチングを行い、下部電極、強誘電体膜、及び上部電極を有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタの側面を含む表面に、酸化膜を有する水素保護膜を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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