JP2008124209A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体層30と、半導体層の第1の表面に接するように形成されたチャージトラップ膜20と、半導体層の前記第1の表面に対して反対側の第2の表面に接するように形成されたゲート絶縁膜70と、チャージトラップ膜に接するように形成されたバックゲートBGと、ゲート絶縁膜に接するように形成されたゲート電極WLと、半導体層内に形成されたソース60およびドレイン40と、ドレインとソースとの間に設けられ、電気的に浮遊状態のボディ領域50とを備え、ソース、ドレインおよびゲート電極を含むメモリセルMCの閾値電圧またはドレイン電流は、ボディ領域内に蓄積された多数キャリアの数およびチャージトラップ膜にトラップされた電荷量によって変更される。
【選択図】図3
Description
第1の実施形態によるFBCメモリ装置の各メモリセルはMISFETからなる。このメモリセルは、ボディ領域の多数キャリア数によってダイナミックなデータ保持を行うRAMである。本実施形態によるFBCメモリは、メモリセルのボディ領域の下に設けられたチャージトラップ膜に電荷をトラップさせることにより、このメモリセルの閾値電圧を所望の値に調節するトリミング機能を有する。
本実施形態の他の変形例によれば、センスアンプS/Aは、或るデータ状態を所定の時間保持した後に読み出す。例えば、図5に示すように、ステップS10とステップS20の間のデータ保持(ポーズ状態)の時間を、100ミリ秒とする。このとき読み出された閾値電圧あるいはドレイン電流が規格外の場合に、センスアンプS/Aは、そのメモリセルのONO膜20に電荷をトラップさせる。このように、データ状態を所定時間保持した後にデータ状態を読み出すと、リーク電流等のばらつきを加味して閾値電圧のばらつき、あるいは、ドレイン電流のばらつきを調節することができる。このようなトリミング機能を行うことによって、本変形例は、より効果的に不良ビット数を減らすことができる。尚、メモリセルに記憶される情報の論理値(0または1)によって区別される状態を“データ状態”、あるいは単に“データ”と呼ぶ。
第2の実施形態は、共通のバックゲートを有さず、各フロントワード線に対応したバックワード線を備えている。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。第2の実施形態によるFBCメモリの平面図は、図14に示す平面図と同様であるので省略する。
図35は、第3の実施形態によるFBCメモリの断面図である。この断面は、図14の15−15線に沿った断面に相当する。第3の実施形態では、ONO膜20がソース60の下に設けられておらず、ソース60は半導体膜95を介してシリコン基板10に電気的に接続されている。半導体膜95は、N型半導体からなる。半導体膜95の下には、半導体膜95から拡散したN型拡散層98が設けられている。シリコン層30、ONO膜20、N型拡散層98およびバックゲート(シリコン基板10)がゲーテッドダイオード(Gated Diode)を構成している。ゲーテッドダイオードとは、P型半導体およびその表面に形成されたN型拡散層から構成されたpn接合と、そのN型拡散層上に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート電極とを備えた構造である。第3の実施形態のその他の構成は、図15に示す構成と同様でよい。
図37は、本発明の第4の実施形態に従うメモリセルアレイの構造の断面図である。第4の実施形態では、ソース40が半導体膜95を介してシリコン基板10に電気的に接続されている。半導体膜95の側面はシリコン酸化膜90で被覆されており、半導体膜95は、バックワード線BWLから絶縁されている。第4の実施形態のその他の構成は、図20に示す第2の実施形態の構成と同様でよい。第4の実施形態によれば、第3の実施形態のようにソース40がシリコン基板10に接続されており、尚且つ、第2の実施形態のようにバックワード線BWLが各フロントワード線WLごとに設けられている。よって、第4の実施形態によるFBCメモリは、バックワード線BWL独立に制御することができ、尚且つ、閾値電圧差ΔVt(信号差)を増大させることができる。
以上では製造方法が容易な平面型トランジスタを例に説明したが、例えば、フィン型トランジスタ(側面チャネルを有し電流を水平方向に流すトランジスタ)や縦型トランジスタ(側面チャネルを有し電流を垂直方向に流すトランジスタ)を用いたFBCに対しチャージトラップ膜を採用してもよい。
20…ONO膜
30…半導体層
40…ドレイン
50…ボディ領域
60…ソース
70…ゲート絶縁膜
80…ゲート電極
WL…ワード線
BL…ビット線
BG…バックゲート
BWL…バックワード線
MC…メモリセル
Claims (5)
- 半導体層と、
前記半導体層の第1の表面に接するように形成されたチャージトラップ膜と、
前記半導体層の前記第1の表面に対して反対側の第2の表面に接するように形成されたゲート絶縁膜と、
前記チャージトラップ膜に接するように形成されたバックゲートと、
前記ゲート絶縁膜に接するように形成されたゲート電極と、
前記半導体層内に形成されたソースおよびドレインと、
前記ドレインと前記ソースとの間に設けられ、電気的に浮遊状態のボディ領域と、を備え、
前記ソース、前記ドレインおよび前記ゲート電極を含むメモリセルの閾値電圧またはドレイン電流は、前記ボディ領域内に蓄積された多数キャリアの数および前記チャージトラップ膜にトラップされた電荷量によって変更されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記メモリセルは、前記ボディ領域内に蓄積された多数キャリアの数によってデータを記憶し、データ読出し時における前記メモリセルの閾値電圧またはドレイン電流が規格外である場合に、該閾値電圧または該ドレイン電流を調節するために前記チャージトラップ膜に電荷をトラップさせることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記チャージトラップ膜にトラップされた電荷は、前記ボディ領域と前記ソース領域との接合部に近接する前記チャージトラップ膜または前記ボディ領域と前記ドレイン領域との接合部に近接する前記チャージトラップ膜に保持されることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記メモリセルのゲートに接続された複数のワード線と、
前記メモリセルのドレインに接続された複数のビット線と、
前記メモリセルのソースに接続された複数のソース線とをさらに備え、
前記バックゲートは、各前記ワード線に対応するように設けられ、
或るバックゲートに電圧を選択的に印加することによって前記チャージトラップ膜に電荷をトラップさせることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記半導体層の下に設けられた半導体基板と、
前記メモリセルのゲートに接続された複数のワード線と、
前記メモリセルのドレインに接続された複数のビット線と、
前記メモリセルのソースに接続された複数のソース線と、
前記ソースを前記半導体基板に電気的に接続する導電体とをさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
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