JP2008103482A - 電極パターンの形成方法、積層電子部品の製造方法及び積層電子部品 - Google Patents
電極パターンの形成方法、積層電子部品の製造方法及び積層電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008103482A JP2008103482A JP2006283765A JP2006283765A JP2008103482A JP 2008103482 A JP2008103482 A JP 2008103482A JP 2006283765 A JP2006283765 A JP 2006283765A JP 2006283765 A JP2006283765 A JP 2006283765A JP 2008103482 A JP2008103482 A JP 2008103482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode pattern
- green sheet
- ceramic green
- carrier film
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
【解決手段】セラミックグリーンシート1にコイル電極パターンを形成する方法。キャリアフィルム4の第1の主面4a上にセラミックグリーンシート1を形成する。次に、第2の主面4b側からレーザを照射して、キャリアフィルム4を厚み方向に貫通しかつセラミックグリーンシート1を厚み方向に貫通しない凹部5を形成する。次に、凹部5に対してキャリアフィルム4側から導電ペースト8を充填し、コイル電極パターンを形成する。
【選択図】図5
Description
図8は、前記実施形態に係る電極パターンの形成方法によりコイル電極パターン2が形成されたセラミックグリーンシート1のその他の構成例を示す上視図である。図9は、前記セラミックグリーンシート1のB−B'における断面構造図である。図8及び図9に示すように、セラミックグリーンシート1において、コイル電極パターン2が形成される主面の反対側の主面上に、セラミックグリーンシート1に埋設されていない電極パターン20がスクリーン印刷により形成されていてもよい。
2 コイル電極パターン
3,16 ビア導体
4 キャリアフィルム
4a 第1の主面
4b 第2の主面
5 凹部
6 孔
7 スキージ
8 導電ペースト
10 積層電子部品
15,17 引き出し電極
20 電極パターン
Claims (6)
- キャリアフィルムの第1の主面上にセラミックグリーンシートを形成する工程と、
前記キャリアフィルムの第2の主面側からレーザを照射して、該キャリアフィルムを厚み方向に貫通しかつ前記セラミックグリーンシートを厚み方向に貫通しない凹部を形成する工程と、
前記凹部に対して前記キャリアフィルム側から導電ペーストを充填し、電極パターンを形成する工程と、
を備えることを特徴とする電極パターンの形成方法。 - 前記凹部の形成の際に、レーザを複数回照射すること、
を特徴とする請求項1に記載の電極パターンの形成方法。 - 前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを厚み方向に貫通する孔を形成する工程と、
前記孔に対して前記キャリアフィルム側から前記導電ペーストを充填し、ビア導体を形成する工程と、
を更に備えることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の電極パターンの形成方法。 - キャリアフィルムの第1の主面上にセラミックグリーンシートを形成する工程と、
前記キャリアフィルムの第2の主面側からレーザを照射して、該キャリアフィルムを厚み方向に貫通しかつ前記セラミックグリーンシートを厚み方向に貫通しない凹部を形成する工程と、
前記凹部に対して前記キャリアフィルム側から導電ペーストを充填し、電極パターンを形成する工程と、
前記電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートと他のセラミックグリーンシートとを積層する工程と、
を備えることを特徴とする積層電子部品の製造方法。 - 複数のセラミック層からなる積層電子部品であって、
中間に配置された一つのセラミック層を積層方向に貫通し、積層方向における断面構造がテーパを有するビア導体と、
前記中間に配置された一つのセラミック層に積層方向に貫通しないように埋め込まれる電極パターンであって、積層方向における断面構造がテーパを有する電極パターンと、
を備え、
積層方向において、前記ビア導体の径が大きい方の端部と、前記電極パターンの径が大きい方の端部とが面一になるように、該ビア導体及び該電極パターンが形成されていること、
を特徴とする積層電子部品。 - 前記ビア導体又は前記電極パターンは、レーザによりセラミック層に形成された孔又は凹部に導体が充填されて形成されること、
を特徴とする請求項5に記載の積層電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006283765A JP4867567B2 (ja) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | 電極パターンの形成方法及び積層電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006283765A JP4867567B2 (ja) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | 電極パターンの形成方法及び積層電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008103482A true JP2008103482A (ja) | 2008-05-01 |
JP4867567B2 JP4867567B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=39437597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006283765A Expired - Fee Related JP4867567B2 (ja) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | 電極パターンの形成方法及び積層電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4867567B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9812257B2 (en) | 2014-06-26 | 2017-11-07 | Fujitsu Limited | Coil component and method of manufacturing coil component |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS649691A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Fujitsu Ltd | Manufacture of ceramic substrate |
JPH07106175A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JPH0917678A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品及びその製造方法 |
JPH0917635A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品及びその製造方法 |
JPH1041138A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-13 | Tokin Corp | 積層型インピーダンス素子及びその製造方法 |
JP2000200729A (ja) * | 1993-09-21 | 2000-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
JP2003211277A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-07-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 |
JP2003243239A (ja) * | 2003-02-07 | 2003-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型コイル部品の製造方法 |
JP2005039071A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック積層デバイスの製造方法 |
JP2005057157A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
JP2005209929A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Toko Inc | 積層型電子部品の製造方法 |
JP2006066637A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック多層基板の製造方法およびそれに用いられる押し型 |
-
2006
- 2006-10-18 JP JP2006283765A patent/JP4867567B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS649691A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Fujitsu Ltd | Manufacture of ceramic substrate |
JP2000200729A (ja) * | 1993-09-21 | 2000-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
JPH07106175A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JPH0917678A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品及びその製造方法 |
JPH0917635A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型電子部品及びその製造方法 |
JPH1041138A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-13 | Tokin Corp | 積層型インピーダンス素子及びその製造方法 |
JP2003211277A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-07-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 |
JP2003243239A (ja) * | 2003-02-07 | 2003-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型コイル部品の製造方法 |
JP2005039071A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック積層デバイスの製造方法 |
JP2005057157A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
JP2005209929A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Toko Inc | 積層型電子部品の製造方法 |
JP2006066637A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック多層基板の製造方法およびそれに用いられる押し型 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9812257B2 (en) | 2014-06-26 | 2017-11-07 | Fujitsu Limited | Coil component and method of manufacturing coil component |
US10629371B2 (en) | 2014-06-26 | 2020-04-21 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing coil component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4867567B2 (ja) | 2012-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4518885B2 (ja) | セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP2005347648A (ja) | 積層電子部品及びその製造方法 | |
US10609824B2 (en) | Manufacturing method of a multi-layer circuit board | |
JP2007150313A (ja) | ペーストバンプを用いたコア基板、多層印刷回路基板及びコア基板の製造方法 | |
CN109315070B (zh) | 多层基板的制造方法 | |
JP2010056524A (ja) | 多層セラミック基板 | |
JP3788074B2 (ja) | チップ型コイルおよびその製造方法 | |
JP2006332330A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法および積層セラミック電子部品 | |
JP4867567B2 (ja) | 電極パターンの形成方法及び積層電子部品の製造方法 | |
JP4389484B2 (ja) | セラミック多層回路基板及びその製造方法 | |
JP2007053206A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2009117564A (ja) | 配線基板 | |
JP2004356564A (ja) | セラミック多層回路基板及びその製造方法 | |
JP2012015291A (ja) | コイル装置の製造方法 | |
JP2009060151A (ja) | 積層配線板の製造方法 | |
JP2009059789A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2006229015A (ja) | 積層型電子部品の製造方法 | |
JP5831984B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP4963495B2 (ja) | 積層配線板およびその製造方法 | |
JP2010187011A (ja) | 積層型セラミック電子部品 | |
JP2009231649A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2005057157A (ja) | 積層型セラミック電子部品の製造方法 | |
JP5289874B2 (ja) | セラミック部品の製造方法 | |
JP2009177054A (ja) | 積層セラミック電子部品ならびにその製造方法 | |
JP4540453B2 (ja) | 積層電子部品の製造方法及び積層電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111018 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111031 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4867567 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |