JP2003211277A - レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 - Google Patents
レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 グリーンシートにレーザビームを照射し、開
口率の大きな穴を形成し、加工時の噴出物の付着を防止
し、かつグリーンシートを保持している定盤に与えるダ
メージを軽減することができるグリーンシート穴あけ加
工方法を提供する。 【解決手段】 キャリアシート上に焼成前のセラミック
材料からなるグリーンシートが密着した積層シート２１
の、グリーンシート側の表面上に、保護シート２２を密
着させる。保護シート側またはキャリアシート側から、
グリーンシートにレーザビームを入射させ、レーザビー
ムのエネルギによって、保護シート及びキャリアシート
のうちレーザビームの入射側のシート、及びグリーンシ
ートに穴を形成する。保護シート及びキャリアシート
を、穴が形成されたグリーンシートから剥がす。
口率の大きな穴を形成し、加工時の噴出物の付着を防止
し、かつグリーンシートを保持している定盤に与えるダ
メージを軽減することができるグリーンシート穴あけ加
工方法を提供する。 【解決手段】 キャリアシート上に焼成前のセラミック
材料からなるグリーンシートが密着した積層シート２１
の、グリーンシート側の表面上に、保護シート２２を密
着させる。保護シート側またはキャリアシート側から、
グリーンシートにレーザビームを入射させ、レーザビー
ムのエネルギによって、保護シート及びキャリアシート
のうちレーザビームの入射側のシート、及びグリーンシ
ートに穴を形成する。保護シート及びキャリアシート
を、穴が形成されたグリーンシートから剥がす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザを用いたグ
リーンシート穴あけ加工方法及び加工装置に関する。
リーンシート穴あけ加工方法及び加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度積層チップインダクタやＬＣフィ
ルタの製造過程に、グリーンシートへ穴あけ加工を行う
工程がある。グリーンシートは、焼成前のセラミック材
料で形成されており、樹脂製のキャリアシート上にセラ
ミック材料を塗布することにより作製される。このた
め、通常は、グリーンシートの一方の表面にキャリアシ
ートが密着している。グリーンシートに機械的に穴あけ
加工する方法及びレーザビームを照射することにより穴
あけ加工する方法が知られている。
ルタの製造過程に、グリーンシートへ穴あけ加工を行う
工程がある。グリーンシートは、焼成前のセラミック材
料で形成されており、樹脂製のキャリアシート上にセラ
ミック材料を塗布することにより作製される。このた
め、通常は、グリーンシートの一方の表面にキャリアシ
ートが密着している。グリーンシートに機械的に穴あけ
加工する方法及びレーザビームを照射することにより穴
あけ加工する方法が知られている。
【０００３】機械的に穴あけ加工する方法では、形成さ
れた穴の縁に肩だれやへこみが生ずることがあった。ま
た、キャリアシートに完全に穴あけされていない状態が
発生する場合もあった。
れた穴の縁に肩だれやへこみが生ずることがあった。ま
た、キャリアシートに完全に穴あけされていない状態が
発生する場合もあった。
【０００４】レーザビームを用いた穴あけ加工法とし
て、セラミック材料側からレーザビームを照射する方法
と、キャリアシート側からレーザビームを照射する方法
とが知られている。セラミック材料側からレーザビーム
を照射すると、形成された穴の縁がレーザビームによっ
てダメージを受け、穴の開口面の直径に対する底面の直
径の割合（開口率）が小さくなってしまう。また、穴あ
け時に発生した噴出物が穴の周辺のグリーンシートの表
面に付着する。穴の周辺に付着した噴出物は、後の印刷
工程で欠陥発生の原因になる。
て、セラミック材料側からレーザビームを照射する方法
と、キャリアシート側からレーザビームを照射する方法
とが知られている。セラミック材料側からレーザビーム
を照射すると、形成された穴の縁がレーザビームによっ
てダメージを受け、穴の開口面の直径に対する底面の直
径の割合（開口率）が小さくなってしまう。また、穴あ
け時に発生した噴出物が穴の周辺のグリーンシートの表
面に付着する。穴の周辺に付着した噴出物は、後の印刷
工程で欠陥発生の原因になる。
【０００５】キャリアシート側からレーザビームを照射
する方法では、噴出物がキャリアシート表面に付着する
ため、キャリアシートをグリーンシートから剥がすこと
により、噴出物を容易に取り除くことができる。また、
レーザビームの外周部近傍の成分がキャリアシートで吸
収されるため、穴の側面近傍のグリーンシートの受ける
ダメージが小さい。このため、開口率の大きな穴を形成
することができる。
する方法では、噴出物がキャリアシート表面に付着する
ため、キャリアシートをグリーンシートから剥がすこと
により、噴出物を容易に取り除くことができる。また、
レーザビームの外周部近傍の成分がキャリアシートで吸
収されるため、穴の側面近傍のグリーンシートの受ける
ダメージが小さい。このため、開口率の大きな穴を形成
することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】グリーンシートの穴あ
け時には、グリーンシートをアクリル等の定盤に載せレ
ーザビームを照射する。キャリアシート側からレーザビ
ームを入射させる方法を採用した場合、グリーンシート
を貫通する穴が形成されると、レーザビームが定盤に入
射する。このレーザビームにより、定盤がダメージを受
けてしまうため、定盤を定期的に取り替えなければなら
ない。
け時には、グリーンシートをアクリル等の定盤に載せレ
ーザビームを照射する。キャリアシート側からレーザビ
ームを入射させる方法を採用した場合、グリーンシート
を貫通する穴が形成されると、レーザビームが定盤に入
射する。このレーザビームにより、定盤がダメージを受
けてしまうため、定盤を定期的に取り替えなければなら
ない。
【０００７】本発明の目的は、グリーンシートにレーザ
ビームを照射し、開口率の大きな穴を形成し、加工時の
噴出物の付着を防止し、かつグリーンシートを保持して
いる定盤に与えるダメージを軽減することができるグリ
ーンシート穴あけ加工方法及び加工装置を提供すること
である。
ビームを照射し、開口率の大きな穴を形成し、加工時の
噴出物の付着を防止し、かつグリーンシートを保持して
いる定盤に与えるダメージを軽減することができるグリ
ーンシート穴あけ加工方法及び加工装置を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の一観点による
と、キャリアシート上に焼成前のセラミック材料からな
るグリーンシートが密着した積層シートの、前記グリー
ンシート側の表面上に、保護シートを密着させる工程
と、前記保護シート側または前記キャリアシート側か
ら、前記グリーンシートにレーザビームを入射させ、該
レーザビームのエネルギによって、前記保護シート及び
前記キャリアシートのうちレーザビームの入射側のシー
ト、及び前記グリーンシートに穴を形成する工程と、前
記保護シート及び前記キャリアシートを、穴が形成され
た前記グリーンシートから剥がす工程とを有するグリー
ンシート穴あけ加工方法が提供される。
と、キャリアシート上に焼成前のセラミック材料からな
るグリーンシートが密着した積層シートの、前記グリー
ンシート側の表面上に、保護シートを密着させる工程
と、前記保護シート側または前記キャリアシート側か
ら、前記グリーンシートにレーザビームを入射させ、該
レーザビームのエネルギによって、前記保護シート及び
前記キャリアシートのうちレーザビームの入射側のシー
ト、及び前記グリーンシートに穴を形成する工程と、前
記保護シート及び前記キャリアシートを、穴が形成され
た前記グリーンシートから剥がす工程とを有するグリー
ンシート穴あけ加工方法が提供される。
【０００９】穴あけ加工時に発生した噴出物が、レーザ
ビームの入射側のシートの表面に付着する。このシート
を剥がすことにより、付着物を容易に除去することがで
きる。入射側とは反対側の表面にも、保護シートまたは
キャリアシートが密着している。グリーンシートを貫通
する穴の底面に、このシートを残すことにより、加工対
象物の保持されている定盤の受けるダメージを軽減する
ことができる。
ビームの入射側のシートの表面に付着する。このシート
を剥がすことにより、付着物を容易に除去することがで
きる。入射側とは反対側の表面にも、保護シートまたは
キャリアシートが密着している。グリーンシートを貫通
する穴の底面に、このシートを残すことにより、加工対
象物の保持されている定盤の受けるダメージを軽減する
ことができる。
【００１０】本発明の他の観点によると、レーザビーム
を出射するレーザ光源と、加工対象物を保持するステー
ジと、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、
前記ステージに保持された加工対象物の表面上に集光さ
せる集光光学系と、前記ステージに保持される加工対象
物の表面を被覆する保護シートに圧力を印加し、前記保
護シートを前記加工対象物の表面に密着させる加圧機構
とを有するレーザ加工装置が提供される。
を出射するレーザ光源と、加工対象物を保持するステー
ジと、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、
前記ステージに保持された加工対象物の表面上に集光さ
せる集光光学系と、前記ステージに保持される加工対象
物の表面を被覆する保護シートに圧力を印加し、前記保
護シートを前記加工対象物の表面に密着させる加圧機構
とを有するレーザ加工装置が提供される。
【００１１】加圧機構を用いて、加工対象物の表面に保
護シートを密着させることにより、上述の穴あけ加工方
法を用いて穴あけ加工することができる。
護シートを密着させることにより、上述の穴あけ加工方
法を用いて穴あけ加工することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の実施例によるレ
ーザ加工装置の概略図を示す。レーザ光源１が、パルス
レーザビームを出射する。レーザ光源１は、例えば炭酸
ガスレーザ発振器であり、その発振波長は約１０μｍで
ある。レーザ光源１から出射されたパルスレーザビーム
が、ビームエキスパンダ２によりビーム径を広げられ、
マスク３に入射する。
ーザ加工装置の概略図を示す。レーザ光源１が、パルス
レーザビームを出射する。レーザ光源１は、例えば炭酸
ガスレーザ発振器であり、その発振波長は約１０μｍで
ある。レーザ光源１から出射されたパルスレーザビーム
が、ビームエキスパンダ２によりビーム径を広げられ、
マスク３に入射する。
【００１３】マスク３には貫通孔が形成されており、こ
の貫通孔を通過したパルスレーザビームが、折り返しミ
ラー４で反射し、フィールドレンズ５に入射する。フィ
ールドレンズ５により収束されたレーザビームが、ガル
バノスキャナ６に入射する。ガルバノスキャナ６は、入
射したパルスレーザビームを２次元方向に走査する。
の貫通孔を通過したパルスレーザビームが、折り返しミ
ラー４で反射し、フィールドレンズ５に入射する。フィ
ールドレンズ５により収束されたレーザビームが、ガル
バノスキャナ６に入射する。ガルバノスキャナ６は、入
射したパルスレーザビームを２次元方向に走査する。
【００１４】走査されたパルスレーザビームが、ｆθレ
ンズ７で収束され、ＸＹステージ８に保持された加工対
象物２０に入射する。フィールドレンズ５及びｆθレン
ズ７で構成された集光光学系は、マスク３の貫通孔を加
工対象物２０の表面上に結像させる。結像倍率は、例え
ば１０〜２０倍である。
ンズ７で収束され、ＸＹステージ８に保持された加工対
象物２０に入射する。フィールドレンズ５及びｆθレン
ズ７で構成された集光光学系は、マスク３の貫通孔を加
工対象物２０の表面上に結像させる。結像倍率は、例え
ば１０〜２０倍である。
【００１５】ガルバノスキャナ６でレーザビームを走査
することにより、マスク３の貫通孔の結像位置を加工対
象物２０の表面上のある領域内で移動させることができ
る。ガルバノスキャナ６により結像位置の移動可能な領
域を単位加工領域と呼ぶこととする。一つの単位加工領
域内のすべての穴あけ加工が終了すると、ＸＹステージ
８を駆動して加工対象物２０を移動させることにより、
他の単位加工領域内の穴あけ加工を行うことができる。
することにより、マスク３の貫通孔の結像位置を加工対
象物２０の表面上のある領域内で移動させることができ
る。ガルバノスキャナ６により結像位置の移動可能な領
域を単位加工領域と呼ぶこととする。一つの単位加工領
域内のすべての穴あけ加工が終了すると、ＸＹステージ
８を駆動して加工対象物２０を移動させることにより、
他の単位加工領域内の穴あけ加工を行うことができる。
【００１６】加圧機構９が、微小間隙を隔てて相互に平
行に保持された一対のローラを含んで構成される。
行に保持された一対のローラを含んで構成される。
【００１７】加工対象物２０は、積層シート２１に保護
膜２２が密着した構造を有する。積層シート２１は、後
に図２を参照して説明するように、ポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）からなるキャリアシートの表面上
に、焼成前のセラミック材料を塗布することにより作製
される。塗布されたセラミック材料からなる膜は、グリ
ーンシートと呼ばれる。保護膜２２は、ＰＥＴで形成さ
れ、グリーンシートの表面に密着している。
膜２２が密着した構造を有する。積層シート２１は、後
に図２を参照して説明するように、ポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）からなるキャリアシートの表面上
に、焼成前のセラミック材料を塗布することにより作製
される。塗布されたセラミック材料からなる膜は、グリ
ーンシートと呼ばれる。保護膜２２は、ＰＥＴで形成さ
れ、グリーンシートの表面に密着している。
【００１８】積層シート２１のグリーンシート側の表面
上に保護膜２２を載せて加圧機構９の一対のローラの間
を通すことにより、保護膜２２をグリーンシートに押し
付け、両者を密着させることができる。
上に保護膜２２を載せて加圧機構９の一対のローラの間
を通すことにより、保護膜２２をグリーンシートに押し
付け、両者を密着させることができる。
【００１９】次に、図２（Ａ）を参照して、実施例によ
る穴あけ加工方法について説明する。ＰＥＴ製のキャリ
アシート２１ａにグリーンシート２１ｂが密着した積層
シート２１のグリーンシート側の表面にＰＥＴ製の保護
シート２２を載せて、保護シート２２をグリーンシート
２１ｂに押し付ける。これにより、保護シート２２がグ
リーンシート２１ｂに密着する。例えば、図１に示した
加圧機構９を使用することにより、保護シート２２をグ
リーンシート２１ｂに密着させることができる。グリー
ンシート２１ｂと保護膜２２との密着強度は、キャリア
シート２１ａとグリーンシート２１ｂとの密着強度より
も弱い。キャリアシート２１ａの厚さは７５μｍ、グリ
ーンシート２１ｂの厚さは４０μｍ、保護シート２２の
厚さは５０μｍである。保護シート２２は、グリーンシ
ート２１ｂに予め密着させておいてもよいし、穴あけ加
工を行う直前に密着させてもよい。
る穴あけ加工方法について説明する。ＰＥＴ製のキャリ
アシート２１ａにグリーンシート２１ｂが密着した積層
シート２１のグリーンシート側の表面にＰＥＴ製の保護
シート２２を載せて、保護シート２２をグリーンシート
２１ｂに押し付ける。これにより、保護シート２２がグ
リーンシート２１ｂに密着する。例えば、図１に示した
加圧機構９を使用することにより、保護シート２２をグ
リーンシート２１ｂに密着させることができる。グリー
ンシート２１ｂと保護膜２２との密着強度は、キャリア
シート２１ａとグリーンシート２１ｂとの密着強度より
も弱い。キャリアシート２１ａの厚さは７５μｍ、グリ
ーンシート２１ｂの厚さは４０μｍ、保護シート２２の
厚さは５０μｍである。保護シート２２は、グリーンシ
ート２１ｂに予め密着させておいてもよいし、穴あけ加
工を行う直前に密着させてもよい。
【００２０】図１に示したマスク３の貫通孔、は直径
１．４１ｍｍの円形形状である。このマスク３を通し
て、保護膜２２側からグリーンシート２１ｂに７ショッ
トのパルスレーザビーム３０を入射させる。最初の１シ
ョットのパルスエネルギは０．４７ｍＪであり、それに
続く６ショットのパルスエネルギは０．２６ｍＪであ
る。
１．４１ｍｍの円形形状である。このマスク３を通し
て、保護膜２２側からグリーンシート２１ｂに７ショッ
トのパルスレーザビーム３０を入射させる。最初の１シ
ョットのパルスエネルギは０．４７ｍＪであり、それに
続く６ショットのパルスエネルギは０．２６ｍＪであ
る。
【００２１】７ショットのレーザビーム照射により、保
護膜２２及びグリーンシート２１ｂを貫通する穴２４が
形成される。穴２４はキャリアシート２１ａを貫通せ
ず、その底面にキャリアシート２１ａが残る。最初のシ
ョットよりも後のショットのパルスエネルギを小さくす
ることにより、穴２４の深さ制御を容易に行うことがで
きる。
護膜２２及びグリーンシート２１ｂを貫通する穴２４が
形成される。穴２４はキャリアシート２１ａを貫通せ
ず、その底面にキャリアシート２１ａが残る。最初のシ
ョットよりも後のショットのパルスエネルギを小さくす
ることにより、穴２４の深さ制御を容易に行うことがで
きる。
【００２２】穴２４の開口面側の側面に、傾斜のなだら
かな部分２４ａが形成される。これは、レーザビーム３
０の外周部近傍のパワー密度が中心部のパワー密度に比
べて低いためである。この傾斜のなだらかな部分２４ａ
は、保護シート２２内に止まり、グリーンシート２１ｂ
までは到達していない。このため、グリーンシート２１
ｂに形成された穴２４の側面は急峻になり、開口率を高
めることができる。すなわち、保護シート２２が、レー
ザビーム３０の外周部近傍のパワー密度の低い成分を吸
収し、この成分がグリーンシート２１ｂに与えるダメー
ジを軽減しているのである。グリーンシート２１ｂの上
面における穴２４の直径は約５０μｍであった。穴の形
成時に発生した噴出物２５が、穴２４の周辺の保護シー
ト２２の表面に付着する。
かな部分２４ａが形成される。これは、レーザビーム３
０の外周部近傍のパワー密度が中心部のパワー密度に比
べて低いためである。この傾斜のなだらかな部分２４ａ
は、保護シート２２内に止まり、グリーンシート２１ｂ
までは到達していない。このため、グリーンシート２１
ｂに形成された穴２４の側面は急峻になり、開口率を高
めることができる。すなわち、保護シート２２が、レー
ザビーム３０の外周部近傍のパワー密度の低い成分を吸
収し、この成分がグリーンシート２１ｂに与えるダメー
ジを軽減しているのである。グリーンシート２１ｂの上
面における穴２４の直径は約５０μｍであった。穴の形
成時に発生した噴出物２５が、穴２４の周辺の保護シー
ト２２の表面に付着する。
【００２３】穴２４を形成した後、穴２４内を、導電性
のペースト、例えば銅ペーストで埋め込む。その後、保
護シート２２をグリーンシート２１ｂから剥がす。この
とき、保護シート２２の表面上に付着した噴出物２５が
保護シート２２とともに除去される。このため、噴出物
がグリーンシート２１ｂの表面上に残存しない。
のペースト、例えば銅ペーストで埋め込む。その後、保
護シート２２をグリーンシート２１ｂから剥がす。この
とき、保護シート２２の表面上に付着した噴出物２５が
保護シート２２とともに除去される。このため、噴出物
がグリーンシート２１ｂの表面上に残存しない。
【００２４】その後、グリーンシート２１ｂの表面に回
路パターンを印刷し、キャリアシート２１ａを剥がす。
ここまでの工程で、焼成前の複数のグリーンシート２１
ｂが得られる。複数の所定のグリーンシートを重ね、回
路を分離するための切り込み溝を形成した後、焼成を行
う。
路パターンを印刷し、キャリアシート２１ａを剥がす。
ここまでの工程で、焼成前の複数のグリーンシート２１
ｂが得られる。複数の所定のグリーンシートを重ね、回
路を分離するための切り込み溝を形成した後、焼成を行
う。
【００２５】図２（Ｂ）に、保護シートを使用しないで
レーザビームの照射を行う従来の方法で形成された穴２
４ｂの断面図を示す。５ショットのパルスレーザビーム
の照射で、グリーンシート２１ｂを貫通する穴２４ｂが
形成された。１ショット目のパルスエネルギ、及び２シ
ョット目以降のパルスエネルギは、図２（Ａ）に示した
実施例による穴あけ時のものと同一である。入射するレ
ーザビーム３０の外周部近傍のパワー密度の低い領域の
影響を受けて、穴２４ｂの側面がなだらかになる。形成
された穴２４ｂの開口面における直径は約８０μｍであ
った。
レーザビームの照射を行う従来の方法で形成された穴２
４ｂの断面図を示す。５ショットのパルスレーザビーム
の照射で、グリーンシート２１ｂを貫通する穴２４ｂが
形成された。１ショット目のパルスエネルギ、及び２シ
ョット目以降のパルスエネルギは、図２（Ａ）に示した
実施例による穴あけ時のものと同一である。入射するレ
ーザビーム３０の外周部近傍のパワー密度の低い領域の
影響を受けて、穴２４ｂの側面がなだらかになる。形成
された穴２４ｂの開口面における直径は約８０μｍであ
った。
【００２６】上記実施例のように、グリーンシート２１
ｂの表面に保護シート２２を密着させて穴あけ加工を行
うことにより、小径で、かつ開口率の高い穴を形成する
ことができる。
ｂの表面に保護シート２２を密着させて穴あけ加工を行
うことにより、小径で、かつ開口率の高い穴を形成する
ことができる。
【００２７】また、図２（Ｂ）に示した従来の方法で穴
２４ｂを形成すると、穴２４ｂの周辺のグリーンシート
２１ｂの表面に、噴出物２５が付着する。このため、付
着した噴出物２５を除去するための処理を別途行わなけ
ればならない。上記実施例による方法では、グリーンシ
ート２１ｂに噴出物２５が直接付着しないため、除去処
理を行う必要がない。
２４ｂを形成すると、穴２４ｂの周辺のグリーンシート
２１ｂの表面に、噴出物２５が付着する。このため、付
着した噴出物２５を除去するための処理を別途行わなけ
ればならない。上記実施例による方法では、グリーンシ
ート２１ｂに噴出物２５が直接付着しないため、除去処
理を行う必要がない。
【００２８】また、上記実施例による加工方法では、グ
リーンシート２１ｂを貫通した穴２４の底にキャリアシ
ート２１ａが残っている。このため、加工対象物２０を
保持しているＸＹステージ８の定盤が、レーザビームに
よるダメージを受けにくい。
リーンシート２１ｂを貫通した穴２４の底にキャリアシ
ート２１ａが残っている。このため、加工対象物２０を
保持しているＸＹステージ８の定盤が、レーザビームに
よるダメージを受けにくい。
【００２９】また、上記実施例では、図２に示した保護
シート２２側からグリーンシート２１ｂにレーザビーム
３０を入射させたが、キャリアシート２１ａ側からレー
ザビームを入射させてもよい。この場合には、保護シー
ト２２が、加工対象物２０の載置されている定盤を保護
する機能を果たす。また、キャリアシート２１ａが、噴
出物の付着防止、及び穴の開口率を向上させる機能を果
たす。
シート２２側からグリーンシート２１ｂにレーザビーム
３０を入射させたが、キャリアシート２１ａ側からレー
ザビームを入射させてもよい。この場合には、保護シー
ト２２が、加工対象物２０の載置されている定盤を保護
する機能を果たす。また、キャリアシート２１ａが、噴
出物の付着防止、及び穴の開口率を向上させる機能を果
たす。
【００３０】上記実施例では、レーザ光源として炭酸ガ
スレーザを用いたが、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ、Ｎｄ：ＹＬ
Ｆレーザ、Ｎｄ：ＹＶＯ4レーザ、これらの高調波、ま
たはエキシマレーザを用いることも可能である。
スレーザを用いたが、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ、Ｎｄ：ＹＬ
Ｆレーザ、Ｎｄ：ＹＶＯ4レーザ、これらの高調波、ま
たはエキシマレーザを用いることも可能である。
【００３１】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
グリーンシートに、保護シートまたはキャリアシートを
通してレーザビームを入射させることにより、穴の形成
時に発生する噴出物がグリーンシートに付着することを
防止できる。また、保護シートまたはキャリアシート
が、レーザビームの外周部近傍のパワー密度の低い成分
を吸収するため、グリーンシートに形成される穴の開口
率を高めることができる。
グリーンシートに、保護シートまたはキャリアシートを
通してレーザビームを入射させることにより、穴の形成
時に発生する噴出物がグリーンシートに付着することを
防止できる。また、保護シートまたはキャリアシート
が、レーザビームの外周部近傍のパワー密度の低い成分
を吸収するため、グリーンシートに形成される穴の開口
率を高めることができる。
【００３３】レーザビームの入射する表面とは反対側の
表面にも、キャリアシートまたは保護シートが密着して
いる。グリーンシートを貫通する穴の底面にキャリアシ
ートまたは保護シートを残すことにより、加工対象物の
載置されている定盤の受けるダメージを軽減することが
できる。
表面にも、キャリアシートまたは保護シートが密着して
いる。グリーンシートを貫通する穴の底面にキャリアシ
ートまたは保護シートを残すことにより、加工対象物の
載置されている定盤の受けるダメージを軽減することが
できる。
【図１】 本発明の実施例によるレーザ加工装置の概略
図である。
図である。
【図２】 （Ａ）は、本発明の実施例による方法で形成
した穴の断面図であり、（Ｂ）は、従来の方法で形成し
た穴の断面図である。
した穴の断面図であり、（Ｂ）は、従来の方法で形成し
た穴の断面図である。
１ レーザ光源
２ ビームエキスパンダ
３ マスク
４ 折り返しミラー
５ フィールドレンズ
６ ガルバノスキャナ
７ ｆθレンズ
８ ＸＹステージ
９ 加圧機構
２０ 加工対象物
２１ 積層シート
２２ 保護シート
２４ 穴
２５ 噴出物
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
// Ｂ２３Ｋ 101:40 Ｂ２３Ｋ 101:40
Ｆターム(参考） 4E068 AF01 AF02 CB05 CG05 DA14
DB12
4G055 AA08 AC00 AC09 BA83
Claims (4)
- 【請求項１】 キャリアシート上に焼成前のセラミック
材料からなるグリーンシートが密着した積層シートの、
前記グリーンシート側の表面上に、保護シートを密着さ
せる工程と、 前記保護シート側または前記キャリアシート側から、前
記グリーンシートにレーザビームを入射させ、該レーザ
ビームのエネルギによって、前記保護シート及び前記キ
ャリアシートのうちレーザビームの入射側のシート、及
び前記グリーンシートに穴を形成する工程と、 前記保護シート及び前記キャリアシートを、穴が形成さ
れた前記グリーンシートから剥がす工程とを有するグリ
ーンシート穴あけ加工方法。 - 【請求項２】 前記レーザビームが炭酸ガスレーザ発振
器から出射したレーザビームであり、前記保護シート及
び前記キャリアシートのうちレーザビームの入射側のシ
ートがＰＥＴ樹脂で形成されている請求項１に記載のグ
リーンシート穴あけ加工方法。 - 【請求項３】 前記穴を形成する工程において、前記保
護シート及び前記キャリアシートのうちレーザビームの
入射側のシート、及び前記グリーンシートを貫通し、前
記保護シート及び前記キャリアシートのうち他方のシー
トは貫通しない穴を形成し、前記穴を形成した後、前記
入射側のシートを剥がす前に、前記穴を導電性のペース
トで埋め込む工程を有する請求項１または２に記載のグ
リーンシート穴あけ加工方法。 - 【請求項４】 レーザビームを出射するレーザ光源と、 加工対象物を保持するステージと、 前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、前記ス
テージに保持された加工対象物の表面上に集光させる集
光光学系と、 前記ステージに保持される加工対象物の表面を被覆する
保護シートに圧力を印加し、前記保護シートを前記加工
対象物の表面に密着させる加圧機構とを有するレーザ加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002012830A JP2003211277A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002012830A JP2003211277A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003211277A true JP2003211277A (ja) | 2003-07-29 |
Family
ID=27649932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002012830A Pending JP2003211277A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003211277A (ja) |
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- 2002-01-22 JP JP2002012830A patent/JP2003211277A/ja active Pending
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