JP2005186109A - レーザー加工用保護シート及びこれを用いたレーザー加工品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであり、前記保護シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。
【選択図】 図1
Description
ビーム径(μm)>2×(レーザー光移動速度(μm/sec)/レーザー光の繰り返し周波数(Hz))を満たしていることが好ましい。
合成した(メタ)アクリル系ポリマーの数平均分子量は以下の方法で測定した。合成した(メタ)アクリル系ポリマーをTHFに0.1wt%で溶解させて、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)を用いてポリスチレン換算により数平均分子量を測定した。詳しい測定条件は以下の通りである。
GPC装置:東ソー製、HLC−8120GPC
カラム:東ソー製、(GMHHR−H)+(GMHHR−H)+(G2000HHR)
流量:0.8ml/min
濃度:0.1wt%
注入量:100μl
カラム温度:40℃
溶離液:THF
〔エッチング率の測定〕
トップハット形状にビーム整形したYAGレーザー(最大出力5W、繰り返し周波数30kHz)の第三高調波(波長355nm)をfθレンズにより集光し、パルス数50(pulse)の条件で基材表面に照射した。照射後、基材に形成された溝の深さ(μm)を光学顕微鏡で測定した。エッチング速度は下記式により算出される。
エッチング速度=溝深さ(μm)/パルス数(pulse)
また前記YAGレーザーのエネルギーフルエンスは5(J/cm2 )であった。エッチング率は、上記エッチング速度とエネルギーフルエンスとから下記式により算出される。エッチング率=エッチング速度(μm/pulse)/エネルギーフルエンス(J/cm2 )
実施例1
ポリスチレンからなる基材(厚さ20μm、エッチング率:0.48)上に、紫外線により硬化可能なアクリル系粘着剤溶液(1)を塗布、乾燥して粘着剤層(厚さ10μm)を形成して保護シートを得た。
実施例1において、シリコンウエハの片面に保護シートを設けなかった以外は実施例1と同様の方法でシリコンウエハにレーザー加工を施した。その後、シリコンウエハのレーザー光入射面側の加工周辺部を観察したところ、飛散した分解物残渣が多量に付着していた。
実施例1において、保護シートの基材としてポリエチレンシート(厚さ50μm、エッチング率:0)を用いた以外は実施例1と同様の方法でシリコンウエハにレーザー加工を施した。その結果、保護シートは切断されておらず、下層のシリコンウエハがレーザー加工されており、保護シートとシリコンウエハとの間に分解物残渣を含む気泡が発生していた。保護シートを剥離し、シリコンウエハのレーザー光入射面側の開口部周辺を観察すると、シリコンウエハの分解物残渣が多量に付着していた。
実施例1において、保護シートの基材としてポリウレタンシート(厚さ50μm、エッチング率:0.26)を用いた以外は実施例1と同様の方法でシリコンウエハにレーザー加工を施した。その結果、保護シートは切断されておらず、下層のシリコンウエハがレーザー加工されており、保護シートとシリコンウエハとの間に分解物残渣を含む気泡が発生していた。保護シートを剥離し、シリコンウエハのレーザー光入射面側の開口部周辺を観察すると、シリコンウエハの分解物残渣が多量に付着していた。
シリコンゴムシートからなる基材(厚さ20μm、エッチング率:0.52)上に、紫外線により硬化可能なアクリル系粘着剤溶液(2)を塗布、乾燥して粘着剤層(厚さ10μm)を形成して保護シートを得た。
実施例2において、保護シートの基材としてポリイミドフィルム(厚さ13μm、エッチング率:0.95)を用いた以外は実施例2と同様の方法でフレキシブルプリント基板にレーザー加工を施した。その結果、保護シート及びフレキシブルプリント基板が切断していることを確認した。その後、保護シートを剥離してフレキシブルプリント基板の保護シート貼り合わせ面(レーザー光入射面側)のレーザー加工周辺部を観察したところ、分解物(付着物)は観察されなかった。
ポリプロピレン99重量部とカーボンブラック1重量部とを混合し、溶融押出しにより厚さ20μmのポリプロピレンシートを作製した。
2 レーザー加工用保護シート
3 粘着シート
4 積層体
5 吸着ステージ
6 吸着板
7 レーザー光
8 半導体ウエハ
9 ダイシングフレーム
10 レーザー加工品
Claims (6)
- レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであり、前記保護シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。
- 前記基材が、芳香族系ポリマーを含有してなるものである請求項1記載のレーザー加工用保護シート。
- 前記基材が、シリコン系ゴムを含有してなるものである請求項1記載のレーザー加工用保護シート。
- 被加工物のレーザー光入射面側に請求項1〜3のいずれかに記載のレーザー加工用保護シートを設置する工程(1)、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び被加工物を加工する工程(2)、レーザー加工用保護シートを加工後の被加工物から剥離する工程(3)を含むレーザー加工品の製造方法。
- 前記被加工物が、シート材料、回路基板、半導体ウエハ、ガラス基板、セラミック基板、金属基板、半導体レーザーの発光あるいは受光素子基板、MEMS基板、又は半導体パッケージである請求項4記載のレーザー加工品の製造方法。
- 前記加工が、切断又は孔あけである請求項4又は5記載のレーザー加工品の製造方法。
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