JP2008004944A - 強磁性構造、スピンバルブ構造およびその製造方法、磁気抵抗効果素子およびその製造方法 - Google Patents
強磁性構造、スピンバルブ構造およびその製造方法、磁気抵抗効果素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008004944A JP2008004944A JP2007164066A JP2007164066A JP2008004944A JP 2008004944 A JP2008004944 A JP 2008004944A JP 2007164066 A JP2007164066 A JP 2007164066A JP 2007164066 A JP2007164066 A JP 2007164066A JP 2008004944 A JP2008004944 A JP 2008004944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- chemical formula
- feco
- heusler alloy
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/398—Specially shaped layers
- G11B5/3983—Specially shaped layers with current confined paths in the spacer layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3909—Arrangements using a magnetic tunnel junction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/18—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being compounds
- H01F10/193—Magnetic semiconductor compounds
- H01F10/1936—Half-metallic, e.g. epitaxial CrO2 or NiMnSb films
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3254—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
- H01F10/3259—Spin-exchange-coupled multilayers comprising at least a nanooxide layer [NOL], e.g. with a NOL spacer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3268—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the exchange coupling being asymmetric, e.g. by use of additional pinning, by using antiferromagnetic or ferromagnetic coupling interface, i.e. so-called spin-valve [SV] structure, e.g. NiFe/Cu/NiFe/FeMn
- H01F10/3272—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the exchange coupling being asymmetric, e.g. by use of additional pinning, by using antiferromagnetic or ferromagnetic coupling interface, i.e. so-called spin-valve [SV] structure, e.g. NiFe/Cu/NiFe/FeMn by use of anti-parallel coupled [APC] ferromagnetic layers, e.g. artificial ferrimagnets [AFI], artificial [AAF] or synthetic [SAF] anti-ferromagnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3295—Spin-exchange coupled multilayers wherein the magnetic pinned or free layers are laminated without anti-parallel coupling within the pinned and free layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
- H01F41/183—Sputtering targets therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3254—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
Abstract
【解決手段】スピンバルブ構造1は、フリー層18と、非磁性スペーサ層17と、フリー層18の側から第1強磁性層15と結合層14と第2強磁性層13とが順に積層されたSyAP層16とを有するCPP−GMRセンサである。第1強磁性層15およびフリー層18は、Co2 MnSiなどのホイスラー合金からなる複数のホイスラー合金層と、それらのホイスラー合金層の間に設けられた挿入層との多層構造を有している。挿入層はアルミニウムやFeCoによって構成されている。これにより、ホイスラー合金における結晶構造を秩序化するためのアニール温度が低減される。
【選択図】図2
Description
「シード層\反強磁性層\第2の強磁性層\ルテニウム層\第1の強磁性層\第1の銅層\CCP層\第2の銅層\フリー層\キャップ層」
ここでCCP層は、メタルパスが酸化物(絶縁体)を厚み方向に貫くように形成された構造を有しており、このCCP層のメタルパスをセンス電流が通過する際に狭窄されることで検出感度が向上するようになっている。
S.カマラー等,アプライド・フィジックス・レター(S. Kammerer et al, Appl. Phys. Lett. 85 (2004) 79) Y.サクラバ等,ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス(Y. Sakuraba et al, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 44, No. 35, 2005, pp. L1100-L1102) S.オカムラ等,アプライド・フィジックス・レター(S. Okamura et al, Applied Phys. Lett., 86 (2005) 232503) Y.サクラバ等,アプライド・フィジックス・レター(Y. Sakuraba et al, Appl. Phys. Lett. 88 (2006)022503)
(化1)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化2)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化3)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化4)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化5)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化6)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化7)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化8)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化9)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。)
(化10)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化11)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化12)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化13)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。)
(化14)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
図1は、本発明における第1の実施の形態としてのCPP−GMR磁気再生ヘッド30(以下、単に磁気再生ヘッド30という。)のエアベアリング面と平行な断面を表している。図1に示したように、磁気再生ヘッド30は、複数の磁性層を有するスピンバルブ構造1と、そのスピンバルブ構造1を積層方向に挟むように設けられた下部シールド層10および上部シールド層23とを備えている。下部シールド層10および上部シールド層23は、、例えばパーマロイ(NiFe)によって構成されている。スピンバルブ構造1の両隣に位置し、下部シールド層10および上部シールド層23に挟まれた空間領域には、酸化アルミニウムなどからなる絶縁層20が充填されている。なお、絶縁層20には、フリー層18(後出)の単磁区化を図るためのバイアス磁界を付与する硬質強磁性材料が埋設されていてもよい。
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層HA同士は磁気的に平行結合している。)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。ホイスラー合金層HA同士は磁気的に平行結合している。)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層HA同士は磁気的に平行結合している。)
続いて、本実施の形態のスピンバルブ構造1の変形例について説明する。
次に、図3を参照して、本発明における第2の実施の形態としてのスピンバルブ構造2について説明する。図3は、スピンバルブ構造2の断面図である。スピンバルブ構造2は、CCP(confining current path)型のCPP−GMRセンサである。
続いて、本実施の形態のスピンバルブ構造2の変形例について説明する。
次に、図4を参照して、本発明における第3の実施の形態としてのスピンバルブ構造3について説明する。図4は、スピンバルブ構造3の断面図である。スピンバルブ構造3は、いわゆるTMRセンサである。
続いて、本実施の形態のスピンバルブ構造3の変形例について説明する。
Claims (20)
- フリー層と、
前記フリー層の側から第1の強磁性層と結合層と第2の強磁性層とが順に積層されたピンド層と、
前記フリー層およびピンド層の間に位置する非磁性スペーサ層と
を含み、
前記フリー層および第1の強磁性層のうちの少なくとも一方は、化1で表される多層構造を有している
ことを特徴とするスピンバルブ構造。
(化1)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。) - 前記ホイスラー合金層は、Co2 MnSi,Co2 MnGe,Co2 MnSn,Co2 MnGa,Co2 FeAlまたはCo2 MnAlを含んでなり、かつ、1.0nm(10Å)以上3.0nm(30Å)以下の厚みを有する
ことを特徴とする請求項1記載のスピンバルブ構造。 - 前記挿入層は、アルミニウム(Al)、および鉄含有率が10原子数%以上100原子数%以下の鉄コバルト合金(FeCo)のうちの少なくとも一方を含んでなり、かつ、0.05nm(0.5Å)以上0.5nm(5Å)以下の厚みを有する
ことを特徴とする請求項1記載のスピンバルブ構造。 - 前記挿入層は、錫(Sn),ゲルマニウム(Ge),ガリウム(Ga),アンチモン(Sb)およびクロム(Cr)のうちの少なくとも1種を含んでなる
ことを特徴とする請求項1記載のスピンバルブ構造。 - 化1で表される前記多層構造における一対の表面のうちの少なくとも一方と接するように鉄コバルト合金(FeCo)層が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載のスピンバルブ構造。 - フリー層と、前記フリー層の側から第1の強磁性層と結合層と第2の強磁性層とが順に積層されたピンド層と、前記フリー層およびピンド層の間に位置する非磁性スペーサ層とを含むスピンバルブ構造を備え、
前記フリー層および第1の強磁性層のうちの少なくとも一方は、化2で表される多層構造を有しており、
前記非磁性スペーサ層は、銅(Cu)からなる単一の導電層、一対の銅(Cu)層の間に電流狭窄層(CCP層)が設けられた3層構造、またはトンネルバリア層のいずれかによって構成されている
ことを特徴とする磁気抵抗効果素子。
(化2)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。) - スピンバルブ構造に含まれる強磁性構造であって、化3、化4、化5または化6で表される多層構造からなる
ことを特徴とする強磁性構造。
(化3)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化4)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化5)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。)
(化6)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。ホイスラー合金層同士は磁気的に平行結合している。) - 前記スピンバルブ構造におけるフリー層または前記フリー層と隣接する強磁性層として機能する
ことを特徴とする請求項7記載の強磁性構造。 - 前記ホイスラー合金層は、Co2 MnSi,Co2 MnGe,Co2 MnSn,Co2 MnGa,Co2 FeAlまたはCo2 MnAlを含んでなり、
前記挿入層は、アルミニウム(Al),錫(Sn),ゲルマニウム(Ge),ガリウム(Ga),アンチモン(Sb)、クロム(Cr)、および鉄含有率が10原子数%以上100原子数%以下の鉄コバルト合金(FeCo)のうちの少なくとも1種を含んでなる
ことを特徴とする請求項7記載の強磁性構造。 - フリー層と、
前記フリー層の側から第1の強磁性層と結合層と第2の強磁性層とが順に積層されたピンド層と、
前記フリー層およびピンド層の間に位置する非磁性スペーサ層と
を含み、
前記フリー層および第1の強磁性層のうちの少なくとも一方は、Co2 MnZ(Zはコバルト、マンガン、アルミニウムおよび鉄を除く金属元素または半金属元素)で表されるホイスラー合金に鉄およびアルミニウムのうちの少なくとも一方が添加されてなる複数のホイスラー合金層を有している
ことを特徴とするスピンバルブ構造。 - 基体上に、最上層に強磁性層を含むピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層における強磁性層の上に非磁性スペーサ層を形成する工程と、
前記非磁性スペーサ層の上にフリー層を形成する工程と
を含み、
前記強磁性層およびフリー層のうちの少なくとも一方を、化7、化8、化9または化10で表される多層構造とする
ことを特徴とするスピンバルブ構造の製造方法。
(化7)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化8)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化9)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。)
(化10)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。) - 全てを同一のスパッタ蒸着装置において形成する
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - Co2 MnSi,Co2 MnGe,Co2 MnSn,Co2 MnGa,Co2 FeAlまたはCo2 MnAlを用いて前記ホイスラー合金層を形成する
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - 1.0nm(10Å)以上3.0nm(30Å)以下の厚みを有するように前記ホイスラー合金層を形成する
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - アルミニウム(Al),錫(Sn),ゲルマニウム(Ge),ガリウム(Ga),アンチモン(Sb),クロム(Cr)、および鉄含有率が10原子数%以上100原子数%以下の鉄コバルト合金(FeCo)のうちの少なくとも1種を用いて、0.05nm(0.5Å)以上0.5nm(5Å)以下の厚みとなるように前記挿入層を形成する
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - 250℃以上280℃以下の温度下で前記ホイスラー合金層のアニール処理を行う工程を含む
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - 複数の前記ホイスラー合金層が相互に磁気的に平行結合するように、前記多層構造を形成する
ことを特徴とする請求項11記載のスピンバルブ構造の製造方法。 - 基体上に、最上層に強磁性層を含むピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層における強磁性層の上に、非磁性スペーサ層として、銅(Cu)からなる単一の導電層、一対の銅(Cu)層の間に電流狭窄層(CCP層)が設けられた3層構造、またはトンネルバリア層のいずれかを形成する工程と、
前記非磁性スペーサ層の上にフリー層を形成する工程と
を含み、
前記強磁性層およびフリー層のうちの少なくとも一方を、化11、化12、化13または化14で表される多層構造とする
ことを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。
(化11)
[HA\IL]n HA
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化12)
FeCo[HA\IL]n HA
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。)
(化13)
[HA\IL]n HA\FeCo
(HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数であり、FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層である。)
(化14)
FeCo[HA\IL]n HA\FeCo
(FeCoは鉄コバルト合金からなる付加層であり、HAはホイスラー合金層であり、ILは挿入層であり、nは繰り返しの積層数を表す1以上の整数である。) - 基体上に、最上層に強磁性層を含むピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層における強磁性層の上に非磁性スペーサ層を形成する工程と、
前記非磁性スペーサ層の上にフリー層を形成する工程と
を含み、
前記強磁性層およびフリー層のうちの少なくとも一方を、Co2 MnZ(Zはコバルト、マンガン、アルミニウムおよび鉄を除く金属元素または半金属元素)で表されるホイスラー合金に鉄およびアルミニウムのうちの少なくとも一方が添加されてなる複数のホイスラー合金層を有する多層構造とする
ことを特徴とするスピンバルブ構造の製造方法。 - 前記複数のホイスラー合金層を、Co2 MnSiのターゲットとアルミニウム(Al)のターゲットおよび鉄コバルト合金(FeCo)のターゲットのうちの少なくとも一方とを用いた同時スパッタリングにより、または、Co2 MnSiのターゲットとCo2 MnAlのターゲットおよびCo2 FeSiのターゲットのうちの少なくとも一方とを用いた同時スパッタリングにより形成する
ことを特徴とする請求項19記載のスピンバルブ構造の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/472,126 US7672088B2 (en) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | Heusler alloy with insertion layer to reduce the ordering temperature for CPP, TMR, MRAM, and other spintronics applications |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008004944A true JP2008004944A (ja) | 2008-01-10 |
Family
ID=38873331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007164066A Pending JP2008004944A (ja) | 2006-06-21 | 2007-06-21 | 強磁性構造、スピンバルブ構造およびその製造方法、磁気抵抗効果素子およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7672088B2 (ja) |
JP (1) | JP2008004944A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009164182A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2009266369A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Headway Technologies Inc | 磁気センサおよびその形成方法 |
JP2010080650A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | ホイスラー合金を有する積層体、この積層体を用いた磁気抵抗素子、スピントランジスタ及びその製造方法 |
US20110188157A1 (en) * | 2010-02-01 | 2011-08-04 | Headway Technologies, Inc. | TMR device with novel free layer structure |
CN106654003A (zh) * | 2017-01-11 | 2017-05-10 | 福州大学 | 改变GaAs/AlGaAs中Rashba自旋轨道耦合随温度变化的方法 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7201827B2 (en) * | 2003-09-12 | 2007-04-10 | Headway Technologies, Inc. | Process and structure to fabricate spin valve heads for ultra-high recording density application |
JP4483666B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2010-06-16 | Tdk株式会社 | 磁気検出素子及びその製造方法 |
US8331057B2 (en) * | 2005-10-03 | 2012-12-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electromagnetic field detecting element utilizing ballistic current paths |
JP2007189039A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Alps Electric Co Ltd | トンネル型磁気検出素子及びその製造方法 |
JP4384137B2 (ja) * | 2006-06-14 | 2009-12-16 | Tdk株式会社 | Cpp−gmrヘッド用の磁界検出素子の製造方法、cpp−gmrヘッド用の磁界検出素子、積層体、ウエハ、ヘッドジンバルアセンブリ、およびハードディスク装置 |
JP2008060202A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Tdk Corp | Cpp構造の磁気抵抗効果素子の製造方法。 |
JP5210533B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2013-06-12 | アルプス電気株式会社 | トンネル型磁気検出素子及びその製造方法 |
US20080173543A1 (en) * | 2007-01-19 | 2008-07-24 | Heraeus Inc. | Low oxygen content, crack-free heusler and heusler-like alloys & deposition sources & methods of making same |
US8031441B2 (en) * | 2007-05-11 | 2011-10-04 | Headway Technologies, Inc. | CPP device with an enhanced dR/R ratio |
US7826182B2 (en) * | 2007-07-23 | 2010-11-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Current-perpendicular-to-the-plane (CPP) magnetoresistive sensor with CoFeGe ferromagnetic layers |
JP2009081315A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ |
US8810973B2 (en) | 2008-05-13 | 2014-08-19 | HGST Netherlands B.V. | Current perpendicular to plane magnetoresistive sensor employing half metal alloys for improved sensor performance |
JP5072120B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2012-11-14 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ |
US8184411B2 (en) * | 2009-10-26 | 2012-05-22 | Headway Technologies, Inc. | MTJ incorporating CoFe/Ni multilayer film with perpendicular magnetic anisotropy for MRAM application |
US20110200845A1 (en) | 2010-02-16 | 2011-08-18 | Seagate Technology Llc | Current perpendicular to the plane reader with improved giant magneto-resistance |
US8692343B2 (en) * | 2010-04-26 | 2014-04-08 | Headway Technologies, Inc. | MR enhancing layer (MREL) for spintronic devices |
US8427791B2 (en) * | 2010-11-23 | 2013-04-23 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic tunnel junction having a magnetic insertion layer and methods of producing the same |
US8470462B2 (en) | 2010-11-30 | 2013-06-25 | Magic Technologies, Inc. | Structure and method for enhancing interfacial perpendicular anisotropy in CoFe(B)/MgO/CoFe(B) magnetic tunnel junctions |
US8570691B2 (en) | 2011-04-07 | 2013-10-29 | HGST Netherlands B.V. | TMR sensor film using a tantalum insertion layer and systems thereof |
US8829901B2 (en) * | 2011-11-04 | 2014-09-09 | Honeywell International Inc. | Method of using a magnetoresistive sensor in second harmonic detection mode for sensing weak magnetic fields |
US9728238B2 (en) | 2011-12-19 | 2017-08-08 | Intel Corporation | Spin transfer torque memory (STTM) device with half-metal and method to write and read the device |
US20140084399A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Mark L. Doczy | Spin transfer torque memory (sttm) device with topographically smooth electrode and method to form same |
US9166152B2 (en) * | 2012-12-22 | 2015-10-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Diffusionless transformations in MTJ stacks |
CN103887426B (zh) * | 2012-12-22 | 2018-06-08 | 三星电子株式会社 | 磁存储器、在磁器件中使用的磁性结和提供磁性结的方法 |
US9082872B2 (en) | 2013-01-02 | 2015-07-14 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic read head with MR enhancements |
CN104347226B (zh) * | 2013-07-23 | 2017-05-10 | 中国科学院物理研究所 | 一种基于磁性斯格明子层的磁性多层膜 |
US9236564B2 (en) | 2013-12-11 | 2016-01-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for providing an engineered magnetic layer including Heusler layers and an amorphous insertion layer |
CN105161289A (zh) * | 2015-10-21 | 2015-12-16 | 南京大学 | 一种二维斯格明晶体的制备方法 |
WO2018125210A1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-05 | Intel Corporation | Diffusion insensitive heusler spin transfer torque memory devices |
US10177305B2 (en) | 2017-01-19 | 2019-01-08 | International Business Machines Corporation | Templating layers for perpendicularly magnetized heusler films |
JP6866694B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-04-28 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
US10396123B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-08-27 | International Business Machines Corporation | Templating layers for perpendicularly magnetized Heusler films |
US10170696B1 (en) * | 2017-10-26 | 2019-01-01 | International Business Machines Corporation | MnN and Heusler layers in magnetic tunnel junctions |
US10374153B2 (en) * | 2017-12-29 | 2019-08-06 | Spin Memory, Inc. | Method for manufacturing a magnetic memory device by pre-patterning a bottom electrode prior to patterning a magnetic material |
US10957848B2 (en) | 2019-02-08 | 2021-03-23 | International Business Machines Corporation | Heusler compounds with non-magnetic spacer layer for formation of synthetic anti-ferromagnets (SAF) |
CN109913816B (zh) * | 2019-04-29 | 2021-03-02 | 天津城建大学 | 温度梯度化磁热材料及其制备方法 |
CN110196115B (zh) * | 2019-06-05 | 2021-03-30 | 中国计量大学 | 一种利用磁隧道结磁电阻测量温度的方法 |
US11756578B2 (en) * | 2021-02-16 | 2023-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ferrimagnetic Heusler compounds with high spin polarization |
US11925120B2 (en) | 2021-07-28 | 2024-03-05 | Western Digital Technologies, Inc. | Spintronic devices with self-cooling function |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07147437A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-06-06 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子 |
JPH08250366A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Toshiba Corp | ホイスラー合金薄膜の製造方法、磁性膜を備えた積層膜、それを利用した磁気抵抗効果素子および固体磁気記録素子 |
JP2003277926A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-10-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 同時スパッタリング法によるホイスラー合金の蒸着方法 |
JP2003309305A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2004146688A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気メモリ、及び磁気ヘッド |
JP2004214251A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果素子、及びそれを備える磁気ヘッド並びに磁気記録再生装置 |
JP2004524689A (ja) * | 2001-02-23 | 2004-08-12 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 巨大磁気抵抗およびスピン分極トンネルを有する化合物、その製造および使用方法 |
JP2005109263A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Toshiba Corp | 磁性体素子及磁気メモリ |
JP2005302938A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッドのウエハ、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、およびハードディスク装置 |
JP2005347418A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2006073875A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置、および磁気メモリ |
JP2006310620A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995010123A1 (en) * | 1993-10-06 | 1995-04-13 | Philips Electronics N.V. | Magneto-resistance device, and magnetic head employing such a device |
US5465185A (en) * | 1993-10-15 | 1995-11-07 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive spin valve sensor with improved pinned ferromagnetic layer and magnetic recording system using the sensor |
US6611405B1 (en) | 1999-09-16 | 2003-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetoresistive element and magnetic memory device |
JP2001358380A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Alps Electric Co Ltd | スピンバルブ型薄膜磁気素子およびこのスピンバルブ型薄膜磁気素子を備えた薄膜磁気ヘッド |
US6600638B2 (en) * | 2001-09-17 | 2003-07-29 | International Business Machines Corporation | Corrosion resistive GMR and MTJ sensors |
US7023670B2 (en) | 2001-11-19 | 2006-04-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic sensing element with in-stack biasing using ferromagnetic sublayers |
JP3607678B2 (ja) | 2002-01-24 | 2005-01-05 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出素子 |
AU2002367881A1 (en) | 2002-04-18 | 2003-11-03 | Seagate Technology Llc | Gmr spin valve structure using heusler alloy |
US6977801B2 (en) | 2003-02-24 | 2005-12-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetoresistive device with exchange-coupled structure having half-metallic ferromagnetic Heusler alloy in the pinned layer |
US7256971B2 (en) | 2004-03-09 | 2007-08-14 | Headway Technologies, Inc. | Process and structure to fabricate CPP spin valve heads for ultra-high recording density |
US7331100B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-02-19 | Headway Technologies, Inc. | Process of manufacturing a seed/AFM combination for a CPP GMR device |
-
2006
- 2006-06-21 US US11/472,126 patent/US7672088B2/en active Active
-
2007
- 2007-06-21 JP JP2007164066A patent/JP2008004944A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07147437A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-06-06 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子 |
JPH08250366A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Toshiba Corp | ホイスラー合金薄膜の製造方法、磁性膜を備えた積層膜、それを利用した磁気抵抗効果素子および固体磁気記録素子 |
JP2004524689A (ja) * | 2001-02-23 | 2004-08-12 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 巨大磁気抵抗およびスピン分極トンネルを有する化合物、その製造および使用方法 |
JP2003277926A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-10-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 同時スパッタリング法によるホイスラー合金の蒸着方法 |
JP2003309305A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2004146688A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気メモリ、及び磁気ヘッド |
JP2004214251A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果素子、及びそれを備える磁気ヘッド並びに磁気記録再生装置 |
JP2005109263A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Toshiba Corp | 磁性体素子及磁気メモリ |
JP2005302938A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッドのウエハ、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、およびハードディスク装置 |
JP2005347418A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2006073875A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置、および磁気メモリ |
JP2006310620A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子及びその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009164182A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2009266369A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Headway Technologies Inc | 磁気センサおよびその形成方法 |
JP2010080650A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | ホイスラー合金を有する積層体、この積層体を用いた磁気抵抗素子、スピントランジスタ及びその製造方法 |
US20110188157A1 (en) * | 2010-02-01 | 2011-08-04 | Headway Technologies, Inc. | TMR device with novel free layer structure |
US8259420B2 (en) * | 2010-02-01 | 2012-09-04 | Headway Technologies, Inc. | TMR device with novel free layer structure |
CN106654003A (zh) * | 2017-01-11 | 2017-05-10 | 福州大学 | 改变GaAs/AlGaAs中Rashba自旋轨道耦合随温度变化的方法 |
CN106654003B (zh) * | 2017-01-11 | 2019-04-02 | 福州大学 | 改变GaAs/AlGaAs中Rashba自旋轨道耦合随温度变化的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7672088B2 (en) | 2010-03-02 |
US20070297103A1 (en) | 2007-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008004944A (ja) | 強磁性構造、スピンバルブ構造およびその製造方法、磁気抵抗効果素子およびその製造方法 | |
US20210234092A1 (en) | Reduction of Barrier Resistance X Area (RA) Product and Protection of Perpendicular Magnetic Anisotropy (PMA) for Magnetic Device Applications | |
CN108352447B (zh) | 于高温退火后保持高矫顽力的具有垂直磁各向异性的磁性组件 | |
JP5209860B2 (ja) | スピンバルブ構造およびその形成方法ならびにcpp−gmr再生ヘッド | |
JP5069034B2 (ja) | 磁気トンネル接合素子およびその形成方法 | |
JP5172472B2 (ja) | ピンド層およびこれを用いたtmrセンサ並びにtmrセンサの製造方法 | |
JP5138204B2 (ja) | トンネルバリア層の形成方法、ならびにtmrセンサおよびその製造方法 | |
JP5630963B2 (ja) | 複合シード層およびこれを有する磁気再生ヘッド、ならびにtmrセンサおよびccp−cpp−gmrセンサの形成方法 | |
US9437812B2 (en) | TMR device with novel free layer structure | |
JP5815204B2 (ja) | Tmr素子およびその形成方法 | |
JP5232540B2 (ja) | 磁気センサ構造および磁気センサ構造のccpスペーサの形成方法 | |
US9042057B1 (en) | Methods for providing magnetic storage elements with high magneto-resistance using Heusler alloys | |
JP5570824B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその形成方法 | |
JP5750211B2 (ja) | Tmr素子およびその形成方法 | |
JP5763892B2 (ja) | ハードバイアス構造の形成方法 | |
JP2011159973A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその形成方法 | |
JP2009004784A (ja) | 交換結合膜およびこれを用いた磁気抵抗効果素子、並びに磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
US20060077596A1 (en) | Magnetoresistive effect element, and magnetic head and magnetic reproducing apparatus including the same | |
JP2008172247A (ja) | 磁気トンネル接合素子およびその製造方法 | |
JP2010080792A (ja) | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 | |
JP2008244109A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
JP2010080789A (ja) | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 | |
JP2010080790A (ja) | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 | |
JP2009283499A (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置および磁気メモリ | |
JP2004259363A (ja) | 磁気抵抗効果ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120327 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120611 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120614 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120727 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120801 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120827 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120919 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130726 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130802 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20130927 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140106 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140109 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140214 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140219 |