JP2009004784A - 交換結合膜およびこれを用いた磁気抵抗効果素子、並びに磁気抵抗効果素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】AFM層12とピンド層17を構成するAP2層14との間に交換結合膜13を設ける。この交換結合膜13は、Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、またはCu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層である。具体的には、CoFeB,CoFeZr,CoFeNb,CoFeHf,CoFeNiZr,CoFeNiHf,またはCoFeNiNbZrにより構成される。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るボトムスピンバルブ構造を有するCPP−GMRセンサの断面構成を表している。この図は、CPP−GMRセンサを再生ヘッドのエアベアリング面(ABS:Air Bearing Surface )に沿って見た状態を示している。まず、CPP−GMRセンサ1について説明し、次にスピンバルブ構造を有する積層構造を形成する方法について説明する。基板10は、再生ヘッドにおいて第1の磁性シールド(S1)となるものである。基板10は、例えば電気めっきにより形成されたパーマロイにより構成され、その膜厚は例えば2μmである。基板10上に形成されたシード層11は、下部Ta層と上部Ru層(図示せず)の積層構造となっている。このシード層11により、その上に形成される層に平滑で均一な結晶構造がもたらされ、CPP−GMRセンサ1のMR比が向上する。なお、このTa/Ru構造に代え、Ta/Hf/NiFeの積層構成としてもよい。
図2は、本発明の第2の実施の形態に係るCPP−GMRセンサの断面構成を表している。このCPP−GMRセンサでは、交換結合膜13がAP2層(AP2ピンド層)14内に形成され、AP2層14がCoFe/交換結合膜/CoFeの積層構造を有する点を除いて、図1のMTJ積層体と同様の構成を有している。交換結合膜13がAP2層14内部に形成された結果、AP2層14は下部層14aと上部層14bとにより分割されている。AFM層12上の下部層14aは、CoFeにより構成され、約0.1nm乃至1nmの範囲の膜厚を有する。結合層15の下の上部層14bもCoFeにより構成され、約0.5nm乃至2.5nmの範囲の膜厚を有する。
図3は、本発明の第3の実施の形態に係るTMRセンサ30の断面構成を表すものである。このTMRセンサ30では、MTJ積層体は下部シールド(S1)となる基板31の上に形成されている。基板31は、例えば、NiFe層(下部層)とα−TaN保護層(上部層)とからなる複合構造である。一般に、基板31は、AlTiCなどからなる土台(図示せず)の上に形成される。
図4は、本発明の第4の実施の形態に係るTMRセンサ30の断面構成を表すものである。このTMRセンサ30では、交換結合膜34がAP2層35内に形成されることによりAP2層35がCoFe層/交換結合膜/CoFe層の積層構造を有する点を除いて、図3のMTJ積層体と同様の構成を有している。AFM層33上のCoFe層(下部層35a)の膜厚は例えば約0.1nm乃至1nm、結合層36の下のCoFe層(上部層35b)の膜厚は例えば約0.5nm乃至2.5nmである。
上記MTJ積層体による性能の向上を実証する実験を実施した。なお、ここでのMTJ積層体は、AlTiCにより構成される基板上に、シード層、IrMnにより構成されるAFM層、交換結合膜、AP2ピンド層およびキャップ層をこの順に積層して作製したものである。すなわち、上記実施の形態で説明した結合層、AP1層、スペーサ層(またはトンネルバリア層)およびフリー層は省略した。これらの層は、一般的なMTJ積層体においてはHex/Hc比に対する効果を実証するためには特に必要はない。このような簡素化されたMTJ積層体において本発明の交換結合膜の効果が確認できれば、これはGMRまたはTMRスピンバルブ構造を有する完全なMTJ積層体においても同様であることは、所謂当業者であれば理解できることである。
Claims (23)
- 磁気抵抗効果素子における反強磁性(AFM)層とピンド層との間に設けられ、前記反強磁性層とピンド層との間の交換結合特性を向上させるための交換結合膜であって、
Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、または
Cu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層を備えた
ことを特徴とする交換結合膜。 - 前記磁気抵抗効果素子は、再生ヘッドにおけるGMRセンサまたはTMRセンサを構成する
ことを特徴とする請求項1に記載の交換結合膜。 - 前記アモルファス磁性層の膜厚は0.1nm乃至1.5nmの範囲である
ことを特徴とする請求項1に記載の交換結合膜。 - 前記非磁性層の膜厚は0.1nm乃至0.5nmの範囲である
ことを特徴とする請求項1に記載の交換結合膜。 - 前記AFM層がIrMnにより構成され、前記ピンド層がAP2層/結合層/AP1層からなる積層構造を有し、前記AP2層がCoFeにより構成されると共に、前記交換結合膜に隣接している
ことを特徴とする請求項1に記載の交換結合膜。 - 前記アモルファス磁性層は、CoFe(100-X) AX またはCoFeNi(100-X) AX (Aはアモルファス性の元素を表し、Xは40原子%未満である)、あるいはCoFe(100-X-Y) AX MY またはCoFeNi(100-X-Y) AX MY (AおよびMはアモルファス性の元素を表し、XおよびYの合計が40原子%未満である)で表される組成を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の交換結合膜。 - 磁気抵抗効果素子における反強磁性(AFM)層と、AP2/結合層/AP1の積層構造を有するピンド層との間の交換特性を向上させるための交換結合膜であって、
Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、または
Cu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層を備え、
前記ピンド層のAP2層内に形成されている
ことを特徴とする交換結合膜。 - 前記磁気抵抗効果素子は、再生ヘッドにおけるGMRセンサまたはTMRセンサを構成する
ことを特徴とする請求項7に記載の交換結合膜。 - 前記アモルファス磁性層の膜厚は0.1nm乃至1.5nmの範囲である
ことを特徴とする請求項7に記載の交換結合膜。 - 前記非磁性層の膜厚は0.1nm乃至0.5nmの範囲である
ことを特徴とする請求項7に記載の交換結合膜。 - 前記AFM層はIrMn、前記ピンド層の前記AP2層はCoFeによりそれぞれ形成されている
ことを特徴とする請求項7に記載の交換結合膜。 - 前記アモルファス磁性層は、CoFe(100-X) AX またはCoFeNi(100-X) AX (Aはアモルファス性の元素を表し、Xは40原子%未満である)、あるいはCoFe(100-X-Y) AX MY またはCoFeNi(100-X-Y) AX MY (AおよびMはアモルファス性の元素を表し、XおよびYの合計が40原子%未満である)で表される組成を有する
ことを特徴とする請求項7に記載の交換結合膜。 - (a)シード層と、
(b)反強磁性(AFM)層と、
(c)Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、または、Cu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層を備えた少なくとも1つの交換結合膜と、
(d)AP2層/結合層/AP1層からなるSyAP構造を有するピンド層と、
(e)前記AP1層に接するスペーサ層またはトンネルバリア層と、
(f)フリー層と、
(g)キャップ層と
を備えたことを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 1つの交換結合膜を有すると共に、基板上に(a)シード層/(b)AFM層/(c)交換結合膜/(d)ピンド層/(e)スペーサ層またはトンネルバリア層/(f)フリー層/(g)キャップ層がこの順に形成され、
前記シード層がTa/Ruの積層構造を有し、前記AFM層はIrMn、前記AP2層はCoFeによりそれぞれ形成されている
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記アモルファス磁性層の膜厚は0.1nm乃至1.5nmの範囲内、前記非磁性層の膜厚は0.1nm乃至0.5nmの範囲内である
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記交換結合膜は、前記AP2層内に形成されている
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記AFM層と前記AP2層との間に第2の交換結合膜
を更に備えたことを特徴とする請求項16に記載の磁気抵抗効果素子。 - (a)基板上にシード層を形成する工程と、
(b)前記シード層上にAFM層を形成する工程と、
(c)前記AFM層上に、Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、または、Cu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層からなる交換結合膜を形成する工程と、
(d)前記交換結合膜上に、AP2層/結合層/AP1層からなるSyAP構造を有するピンド層を前記AP2層が前記交換結合膜に接するように形成する工程と
を含むことを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記アモルファス磁性層の膜厚は0.1nm乃至1.5nmの範囲内、前記非磁性層の膜厚は0.1nm乃至0.5nmの範囲内とする
ことを特徴とする請求項18に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記AFM層をIrMn、前記AP2層をCoFeによりそれぞれ形成し、前記交換結合膜を、CoFe(100-X) AX またはCoFeNi(100-X) AX (Aはアモルファス性の元素を表し、Xは40原子%未満である)、あるいはCoFe(100-X-Y) AX MY またはCoFeNi(100-X-Y) AX MY (AおよびMはアモルファス性の元素を表し、XおよびYの合計が40原子%未満である)で表される組成を有するものとする
ことを特徴とする請求項18に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - (a)基板上にシード層を形成する工程と、
(b)前記シード層上にAFM層を形成する工程と、
(c)前記AFM層上に、AP2層/結合層/AP1層からなる構成を有するピンド層を形成する工程とを含み、
前記AP2層を、
(1)前記AFM層に接する下部層と、
(2)Co,FeおよびNiからなる群から選択された少なくとも1種の元素と、B,Zr,Hf,Nb,Ta,Ti,SiおよびPからなる群から選択された少なくとも1種のアモルファス性の元素とを含むアモルファス磁性層、または、Cu,Ru,Mn,HfおよびCrからなる群から選択された元素を含む非磁性層からなると共に、前記下部層の上に形成された交換結合膜と、
(3)前記交換結合膜上に形成された上部層と
により構成することを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記アモルファス磁性層の膜厚を0.1nm乃至1.5nmの範囲内、前記非磁性層の膜厚を0.1nm乃至0.5nmの範囲内とする
ことを特徴とする請求項21に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記AFM層をIrMn、前記AP2層をCoFeによりそれぞれ形成し、前記交換結合膜を、CoFe(100-X) AX またはCoFeNi(100-X) AX (Aはアモルファス性の元素を表し、Xは40原子%未満である)、あるいはCoFe(100-X-Y) AX MY またはCoFeNi(100-X-Y) AX MY (AおよびMはアモルファス性の元素を表し、XおよびYの合計が40原子%未満である)で表される組成を有するものとする
ことを特徴とする請求項21に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
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