JP2007509485A - 半導体デバイス・パッケージおよびその製造方法 - Google Patents
半導体デバイス・パッケージおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007509485A JP2007509485A JP2006523369A JP2006523369A JP2007509485A JP 2007509485 A JP2007509485 A JP 2007509485A JP 2006523369 A JP2006523369 A JP 2006523369A JP 2006523369 A JP2006523369 A JP 2006523369A JP 2007509485 A JP2007509485 A JP 2007509485A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- bonding
- wire
- interposer
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 87
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 46
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 29
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 10
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 8
- LFOIDLOIBZFWDO-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-[6-methoxy-4-[(3-phenylmethoxyphenyl)methoxy]-1-benzofuran-2-yl]imidazo[2,1-b][1,3,4]thiadiazole Chemical compound N1=C2SC(OC)=NN2C=C1C(OC1=CC(OC)=C2)=CC1=C2OCC(C=1)=CC=CC=1OCC1=CC=CC=C1 LFOIDLOIBZFWDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 9
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 5
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4828—Etching
- H01L21/4832—Etching a temporary substrate after encapsulation process to form leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49541—Geometry of the lead-frame
- H01L23/49548—Cross section geometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68377—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support with parts of the auxiliary support remaining in the finished device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05599—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/4501—Shape
- H01L2224/45012—Cross-sectional shape
- H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48455—Details of wedge bonds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/4847—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
- H01L2224/48472—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48599—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48699—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Aluminium (Al)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78301—Capillary
- H01L2224/78302—Shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78313—Wedge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78313—Wedge
- H01L2224/78314—Shape
- H01L2224/78317—Shape of other portions
- H01L2224/78318—Shape of other portions inside the capillary
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/818—Bonding techniques
- H01L2224/81801—Soldering or alloying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/85001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector involving a temporary auxiliary member not forming part of the bonding apparatus, e.g. removable or sacrificial coating, film or substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/85053—Bonding environment
- H01L2224/85095—Temperature settings
- H01L2224/85099—Ambient temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/852—Applying energy for connecting
- H01L2224/85201—Compression bonding
- H01L2224/85203—Thermocompression bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/852—Applying energy for connecting
- H01L2224/85201—Compression bonding
- H01L2224/85205—Ultrasonic bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/8538—Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
- H01L2224/85399—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/86—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using tape automated bonding [TAB]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01014—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01023—Vanadium [V]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01027—Cobalt [Co]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0105—Tin [Sn]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01074—Tungsten [W]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/183—Connection portion, e.g. seal
- H01L2924/18301—Connection portion, e.g. seal being an anchoring portion, i.e. mechanical interlocking between the encapsulation resin and another package part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
半導体デバイス(ダイ)パッケージ(50、102、110)のためのリード・フレーム(52、100、112)である。リード・フレーム(52、100、112)内のリード(60)の各々は、インターポーザ(64)を含み、このインターポーザは、パッケージ(50、102、110)の外側面(58)の近くに配置された一端(66)と、ダイ(14)の近くに配置された別の端部(68)を有する。インターポーザ(64)の両端から基板接続ポスト(70)および支持ポスト(74)が延びている。支持ポスト(74)と反対のインターポーザ(64)の表面には、ボンディング・サイト(78)が形成されている。リード(60)の各々は、ボンディング・サイト(78)へのワイヤ・ボンディング、テープ・ボンディングまたはフリップ・チップ取り付けによりダイ(14)上の関連する入出力(I/O)パッド(80)に電気的に接続されている。ワイヤ・ボンディングを使用する場合、ボンディング・サイト(78)にI/Oパッド(80)を電気的に接続するワイヤは、I/Oパッド(80)およびボンディング・サイト(78)の双方にウェッジ・ボンディングできる。支持ポスト(74)は、ボンディング・プロセスまたはコーティング・プロセス中にインターポーザ(64)の端部(68)に対する支持体となる(図3)。
Description
関連出願とのクロスレファレンス
本願は、全体を本明細書で参考として援用する2003年4月14日に出願された米国仮特許出願第60/494,982号(代理人整理番号102479−100)に基づく権利を請求するものである。
(発明の背景)
(1.発明の分野)
本発明は、半導体デバイス・パッケージに関し、より詳細には、本発明は、リード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージおよびこのリード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージを製造する方法に関する。
本願は、全体を本明細書で参考として援用する2003年4月14日に出願された米国仮特許出願第60/494,982号(代理人整理番号102479−100)に基づく権利を請求するものである。
(発明の背景)
(1.発明の分野)
本発明は、半導体デバイス・パッケージに関し、より詳細には、本発明は、リード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージおよびこのリード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージを製造する方法に関する。
(2.関連技術の説明)
リード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージでは、導電性リード・フレームにより、少なくとも1つの半導体デバイス(ダイ)と外側回路、例えば、プリント回路基板との間で電気信号が伝送される。このリード・フレームは、多数のリードを備え、各リードは、内側リード端と、反対の外側リード端を有する。内側リード端は、ダイ上の入出力(I/O)パッドに電気的に接続され、外側リード端は、パッケージ本体の外側のターミナルとなっている。外側リード端がパッケージ本体の面で終端している場合、このパッケージは、「リードレス」パッケージとして知られるが、外側リードがパッケージ本体の周辺を越えて延びる場合に、このパッケージは「リード付き」パッケージと称される。周知のリードレス・パッケージの例として、クォド・フラット・リードレス(QFN)パッケージが挙げられる。このパッケージは、クォド・パッケージ本体の底部の周辺まわりに配置された4組のリードを有し、更に周知のリードレス・パッケージの例として、パッケージ本体の底部の両側に沿って2組のリードが配置されたデュアル・フラット・リードレス(DFN)パッケージがある。QFNパッケージを製造する方法は、本願出願人が所有する公開された米国特許出願公開番号US2003/0203539A1号に開示されており、この米国特許出願は、2002年4月29日に出願されており、その全体の内容を本明細書で参考として援用する。
リード・フレームをベースとする半導体デバイス・パッケージでは、導電性リード・フレームにより、少なくとも1つの半導体デバイス(ダイ)と外側回路、例えば、プリント回路基板との間で電気信号が伝送される。このリード・フレームは、多数のリードを備え、各リードは、内側リード端と、反対の外側リード端を有する。内側リード端は、ダイ上の入出力(I/O)パッドに電気的に接続され、外側リード端は、パッケージ本体の外側のターミナルとなっている。外側リード端がパッケージ本体の面で終端している場合、このパッケージは、「リードレス」パッケージとして知られるが、外側リードがパッケージ本体の周辺を越えて延びる場合に、このパッケージは「リード付き」パッケージと称される。周知のリードレス・パッケージの例として、クォド・フラット・リードレス(QFN)パッケージが挙げられる。このパッケージは、クォド・パッケージ本体の底部の周辺まわりに配置された4組のリードを有し、更に周知のリードレス・パッケージの例として、パッケージ本体の底部の両側に沿って2組のリードが配置されたデュアル・フラット・リードレス(DFN)パッケージがある。QFNパッケージを製造する方法は、本願出願人が所有する公開された米国特許出願公開番号US2003/0203539A1号に開示されており、この米国特許出願は、2002年4月29日に出願されており、その全体の内容を本明細書で参考として援用する。
一般にワイヤ・ボンディング、テープ自動ボンディング(TAB)またはフリップ・チップ方法を使って内側リード端へのダイの接続が行われる。ワイヤ・ボンディングまたはTAB方法では内側リード端は、ダイからある距離離れて終端し、小径のワイヤまたは導電性テープにより、ダイの頂部にあるI/Oパッドに電気的に相互接続される。ダイは、支持パッドにより支持でき、この支持パッドは、リードによって囲まれている。フリップ・チップ方法では、リード・フレームの内側リード端は、ダイの下方に延び、ダイ上のI/Oパッドが直接、電気接続部、例えば、ハンダ接続部を介して内側リード端に接触するようにダイは、跳ね上げられる。
ワイヤ・ボンディングを使用するリードレス・パッケージでは、リードは、一般に2つの一般的な構造のうちの1つに形成される。図1に示される第1の構造では、各リード10は、パッケージの側面の近くに配置されたポストから実質的に成る。ダイ14を支持するためにリード10の間に、一般に1つの支持パッド12が配置される。これらリード10および支持パッド12は、ロッキング特徴部、例えば、リード10および支持パッド12から外側に突出するタブ16を含むことができ、これらのタブは、モールディング・コンパウンドと協働し、リード10および支持パッド12をパッケージ内に係止する。この構造の1つの欠点は、ダイ14上のI/Oパッケージをリード10に接続するために、ボンディング・ワイヤ18の長さを比較的長くしなければならないことである。長いボンディング・ワイヤ18を使用することは、ダイ14とリード10の間の電気抵抗が増すので、パッケージの性能に悪影響が及ぶ。更にボンディング・ワイヤ18は、比較的高価で、かつ脆弱であるので、多数のボンディング・ワイヤ18を使用することは望ましいことではない。半導体業界は、同じサイズのパッケージに対して、より小さいサイズのダイを使用する傾向があり、このことは、所定のパッケージ・サイズに対するボンディング・ワイヤ18の長さを相対的に長くしてしまっているが、これによって上記問題は、悪化している。
図2に示されるようなワイヤ・ボンディングされたリードレス・パッケージのための第2の構造全体では、リード10は、ボード接続ポストからダイ支持パッド12まで延びるインターポーザ20を含む。このインターポーザ20は、必要なボンディング・ワイヤ18の長さを短くするので、図1の構造の問題の一部を解決できる。しかしながら、図2の構造は、ダイをリードにボンディングする際に、インターポーザ20上のボンディング・サイトの同一平面性を維持することが困難であるという点で、それ自身問題がある。
フリップ・チップ・ボンディング方法を使用するリードレス・パッケージは、一般に支持パッド12を有しない図2に示される構造に類似した構造を使用している。インターポーザ20は、ダイ14の下方に延び、ダイ14上のI/Oパッドをインターポーザ20上のボンディング・サイトにハンダ付けできるよう、ダイは跳ね上げられている。フリップ・チップ・ボンディング方法のために、この構造を使用することも、ダイ14をリード10にボンディングする際のインターポーザ20上のボンディング・サイトの同一平面性を維持する問題を生じさせている。
ワイヤ・ボンディングを使用する場合、ボンディング・ワイヤ18は、一般に次の3つのワイヤ・ボンディング技術、すなわち、超音波ボンディング、熱圧縮ボンディングおよび熱音波ボンディングのうちの1つを使って取り付けられる。
超音波ボンディングでは、冶金学的コールド溶着部を形成するために、圧力と超音波振動バーストとの組合せが使用される。超音波ボンディングは、ウェッジ・ボンドとして知られているボンディング部を形成する。ウェッジ・ボンドではワイヤ18の側面に沿ってボンディングが生じ、この場合、ワイヤは、一般に図2における19で示されるように、リード10の表面にほぼ平行に延びる。
熱圧縮ボンディングでは溶着部を形成するのに圧力と高温との組合せを加える。他方、熱音波ボンディングは、溶着部を形成するのに圧力と高温と超音波振動バーストとの組合せを加える。熱圧縮技術および熱音波ボンディング技術は、一般にI/Oパッドにおいて「ボール・ボンド」およびリード10におけるウェッジ・ボンドとして知られるボンディング部を一般に形成する。ボール・ボンドでは、ワイヤ18の端部でボンディングが生じ、この場合、ワイヤ18は、図2において21で示されるように、ボンディング・サイトにあるI/Oパッドの表面からほぼ垂直に延びる。実際には金ワイヤまたは金合金ワイヤを使ってすべての熱圧縮ボンディングおよび熱音波ボンディングが実行される。最近のパッケージング技術では、多数のパッケージを同時に製造できるようにするために、相互に接続されたリード・フレームのマトリックスを使用する。かかる技術はハンダ、エポキシ、両面接続テープなどを使ってマトリックス内で各リード・フレームの中心支持パッド12にダイ14を一般に固定する。次に、関連するダイ14上のI/Oパッドに、各リード・フレームのためのリード10をワイヤ・ボンディングする。ワイヤ・ボンディング後、例えば、転写または射出成形方法を使ってプラスチック内にダイ14と、ボンディング・ワイヤ18と、リード10の少なくとも一部を封止する。次に、ブレード、水ジェットなどによりパッドを1つ1つに分割し、外部回路に電気接続できるように、各パッケージのリード10を露出したままに残す。
かかる最近の封止技術において、超音波ボンディングを使用することには、多数の理由から問題がある。例えば、最近のリード・フレーム上に形成されたリード10は、極めて細く、従って、アルミニウム・ウェッジ・ボンディング方法によって容易に破壊され得る。かかる問題の結果、固体ボンディング・ポストを提供する別々にされたハーメチック・パッケージに対して、かつアルミニウム・ウェッジ・ボンディング方法実施中にパッケージを正確に回転し、位置決めできる場合には、アルミニウム・ウェッジ・ボンディングの使用は、保留されている。
従来技術の上記およびそれ以外の欠点は、第1のパッケージ面の少なくとも一部を形成するモールディング・コンパウンドと、このモールディング・コンパウンドによって少なくとも一部がカバーされた半導体デバイスと、モールディング・コンパウンドによって少なくとも一部がカバーされた導電性材料のリード・フレームとを備えた半導体デバイス・パッケージによって解消または緩和される。リード・フレームは、複数のリードを備え、これらのリードは、各々、基板接続ポストと、インターポーザから延びる支持ポストとを有するインターポーザを備える。基板接続ポストと支持ポストの双方は、第1のパッケージ面で終端し、インターポーザは、第1のパッケージ面から離間する。各リードにおいて、支持ポストと反対のインターポーザの表面にボンディング・サイトが形成される。ボンディング・サイトにおいてインターポーザにはI/Oパッドの少なくとも1つが接続されている。I/Oパッドは、接続サイトにワイヤ・ボンディングまたはテープ・ボンディングしてもよいし、またはI/Oパッドをボンディング・サイトに直接、電気的に接続し、フリップ・チップ・タイプの接続部を形成してもよい。
一実施例では、モールディング・コンパウンドは、第1のパッケージ面に隣接する第2のパッケージ面の少なくとも一部を形成し、第2のパッケージ面において、基板接続ポストの端部表面に隣接する基板接続ポストの側面を見ることができる。基板接続ポストの端部表面から測定して、約1ミルから2ミルの間の高さを有するレリーフを形成するように、基板接続ポストの側面と基板接続ポストの端部表面との間のコーナを除去する。
本発明の別の特徴によれば、半導体デバイスをパッケージする方法は、(a)複数のリードを備えたリード・フレームを導電性材料から形成するステップを備え、リードの各々は、対向する第1および第2の端部を有するインターポーザと、第1の端部の近くでインターポーザから延び、インターポーザから離れた端部表面を有する基板接続ポストと、基板接続ポストから離間すると共に、第2の端部の近くでインターポーザから延び、インターポーザから離間した端部表面を有する支持ポストと、この支持ポストと反対のインターポーザの表面に形成されているボンディング・サイトとを備える。本方法は、さらに(b)支持ポストおよび基板接続ポストの端部表面を支持するステップと、(c)支持ポストおよび基板接続ポストの端部表面を支持しながら、半導体デバイス上のI/Oパッドを電気的にボンディング・サイトに接続するステップと、(d)支持ポストおよび基板接続ポストの端部表面を支持しながら、半導体デバイスの少なくとも一部およびリード・フレームの少なくとも一部をモールディング・コンパウンドでカバーするステップとを備える。
I/Oパッドをボンディング・サイトに電気的に接続するステップは、I/Oパッドをボンディング・サイトに直接、電気的に接続し、フリップ・チップ・タイプの接続部を形成するステップを含む。支持ポストおよび基板接続ポストの端部表面を支持するステップは、支持ポストおよび基板接続ポストの端部表面を1つの表面に付着させることを含む。一実施例では、リード・フレームを形成するステップは、(a)各々が導電性材料のストリップである複数のリード・プリカーサを含むリード・フレーム・プリカーサを導電性材料から形成するステップと、(b)リード・プリカーサの各々を横断するようにチャネルを配置し、複数のリードを形成するステップとを備える。この方法は、各リード内のチャネルをモールディング・コンパウンドで満たすステップを更に含む。
本発明の別の特徴によれば、半導体デバイス・パッケージは、第1のパッケージ面の少なくとも一部を形成するモールディング・コンパウンドと、モールディング・コンパウンドによって少なくとも一部がカバーされ、複数のI/Oパッドを含む半導体デバイスと、複数のリードを有し、モールディング・コンパウンドによって少なくとも一部がカバーされた導電性材料のリード・フレームとを備え、リードの各々は、その上部に形成されたボンディング・サイトを含み、各ボンディング・サイトは、ワイヤにより関連するI/Oパッドに電気的に接続され、ワイヤは、I/Oパッドおよびボンディング・サイトの双方にウェッジディングされている。ワイヤは、アルミまたはアルミ・ベース材料から製造される。
更に別の特徴によれば、半導体デバイスをパッケージする方法は、複数のリードを含むリード・フレームを導電性材料から形成するステップと、半導体デバイス上のI/Oパッドをボンディング・サイトに電気接続するステップと、半導体デバイスの少なくとも一部およびリード・フレームの少なくとも一部をモールディング・コンパウンドでカバーするステップを備える。I/Oパッドをボンディング・サイトに電気接続するステップは、ワイヤを/Oパッドにウェッジ・ボンディングするステップと、ワイヤをボンディング・サイトにウェッジ・ボンディングするステップとを備える。ワイヤは、アルミまたはアルミをベースとする材料から製造でき、I/Oパッドとボンディング・サイトとの間に延びるワイヤの一部の直径の約1.2〜約1.5倍のウェッジの幅を有する。リード・フレームは、リード・フレームにモールディング・コンパウンドを塗布した後にリードを分離するようにエッチングされる。
以下の説明および添付図面には、本発明の1つ以上の実施例の詳細が記載されている。これら詳細な説明、図面および請求の範囲から本発明の上記以外の特徴、目的および利点が明らかとなる。
添付図面と共に次の詳細な説明から、本発明は、完全に理解できる。図中、同一の要素に対しては同一の番号がつけられている。
(詳細な説明)
図3を参照する。ここにはワイヤ・ボンディングされたクォド・リードレス半導体デバイス・パッケージ50の横断面図が示されている。この半導体デバイス・パッケージ50は、半導体デバイス(ダイ)14と、モールディング・コンパウンド54によってカバーされたリード・フレーム52とを備え、コンパウンド54は、パッケージ50の外側面56および58の一部を形成している。リード・フレーム52は、複数のリード60と、これらリードの間に配置されたダイ・パッド62とを含む。リード60の各々は、インターポーザ64を備え、このインターポーザの一端66は、パッケージ50の外側面58に接近しており、別の端部68は、ダイ14に接近している。端部66に近い各インターポーザ64からは、基板接続ポスト70が延びている。このポスト70は、パッケージ面56で終端する自由端72を有する。他端68の近くにて、各インターポーザ64から支持ポスト74が延びており、この支持ポストは、基板接続ポスト70から離間すると共に、パッケージ面56で終端する自由端76を有する。リード60の各々は、支持ポスト74と反対のインターポーザ64の表面に形成されたボンディング・サイト78を含む。リード60の各々は、I/Oパッド80とボンディング・サイト78との間に接続されたボンディング・ワイヤ18を介し、ダイ14上の関連する入出力(I/O)パッド80に電気的に接続されている。基板接続ポスト70の自由端72は、外部回路、例えば、プリント回路基板または別の半導体デバイス・パッケージに電気的に接続できる。I/Oパッド80、ボンディング・ワイヤ18、インターポーザ64および基板接続ポスト70を介し、ダイ14と外部回路との間で電気信号が伝送される。後により詳細に説明するように、支持ポスト74は、ボンディングおよびコーティング・プロセス中にインターポーザ64の端部68に対する支持体となる。更に、インターポーザ64と、支持ポスト74と、基板接続ポスト70によって構成されたチャネル82は、パッケージ50内へ各リード60をロックするのを助けるよう、モールディング・コンパウンド54を受け入れる。端部60がモールディング・コンパウンド54内にリード60を係止するタブとして働くよう、インターポーザ64の端部66から基板接続ポスト70をオフセットしてもよい。
図3を参照する。ここにはワイヤ・ボンディングされたクォド・リードレス半導体デバイス・パッケージ50の横断面図が示されている。この半導体デバイス・パッケージ50は、半導体デバイス(ダイ)14と、モールディング・コンパウンド54によってカバーされたリード・フレーム52とを備え、コンパウンド54は、パッケージ50の外側面56および58の一部を形成している。リード・フレーム52は、複数のリード60と、これらリードの間に配置されたダイ・パッド62とを含む。リード60の各々は、インターポーザ64を備え、このインターポーザの一端66は、パッケージ50の外側面58に接近しており、別の端部68は、ダイ14に接近している。端部66に近い各インターポーザ64からは、基板接続ポスト70が延びている。このポスト70は、パッケージ面56で終端する自由端72を有する。他端68の近くにて、各インターポーザ64から支持ポスト74が延びており、この支持ポストは、基板接続ポスト70から離間すると共に、パッケージ面56で終端する自由端76を有する。リード60の各々は、支持ポスト74と反対のインターポーザ64の表面に形成されたボンディング・サイト78を含む。リード60の各々は、I/Oパッド80とボンディング・サイト78との間に接続されたボンディング・ワイヤ18を介し、ダイ14上の関連する入出力(I/O)パッド80に電気的に接続されている。基板接続ポスト70の自由端72は、外部回路、例えば、プリント回路基板または別の半導体デバイス・パッケージに電気的に接続できる。I/Oパッド80、ボンディング・ワイヤ18、インターポーザ64および基板接続ポスト70を介し、ダイ14と外部回路との間で電気信号が伝送される。後により詳細に説明するように、支持ポスト74は、ボンディングおよびコーティング・プロセス中にインターポーザ64の端部68に対する支持体となる。更に、インターポーザ64と、支持ポスト74と、基板接続ポスト70によって構成されたチャネル82は、パッケージ50内へ各リード60をロックするのを助けるよう、モールディング・コンパウンド54を受け入れる。端部60がモールディング・コンパウンド54内にリード60を係止するタブとして働くよう、インターポーザ64の端部66から基板接続ポスト70をオフセットしてもよい。
図4を参照する。ここには、リード・フレーム52の底部斜視図が示されている。図示されている実施例では、ダイ支持パッド62の4つの側面の各々に7つのリード60が配置されている。しかしながら、特定の用途に対して必要とされるように、リード60の本数および位置を変えてもよいことが理解できる。リード60は、互いに、かつ、ダイ支持パッド62から離間しており、リード60を互いに、かつ、ダイ支持パッド62から電気的にアイソレートしている。インターポーザ64の各々は、隣接するヘッド60の間のピッチを調節するような形状となっている。例えば、各側面の最も中心にあるインターポーザ64は、ほぼ直線状であるが、各側面にある最も外側のインターポーザ64は、角度の付いた形状となっている。
ダイ・パッド62の各コーナから結束バー90が延びており、このバーは、モールディング・コンパウンド54内にダイ・パッド62を係止するように働く(図3)。
リード・フレーム52は、任意の適当な導電性材料、好ましくは、銅または銅をベースとする合金のシートから製造できる。銅をベースとする合金とは、50重量パーセントよりも多い銅を含む材料を意味する。リード・フレーム52を形成する導電性材料のシートは、厚みが約0.10mm〜約0.25mm、より好ましくは、約0.15〜約0.20mmであることが好ましい。ダイ支持パッド62と、リード60と結束バー90とを含むリード・パッドの特徴部の各々のためのプリカーサは、公知の方法、スタンピング、化学的エッチング、レーザ・アブレションまたは同様な方法を使って形成できる。次に、制御された減損プロセス、例えば、化学的エッチングまたはレーザ・アブレションを使って、これらの特徴部の各々に種々のリセスを形成できる。例えば、支持ポスト74および基板接続ポスト70の自由端76、72を形成するようになっている各表面を化学的レジストでコーティングし、チャネル82を形成するのに有効な時間の間、コーティングしていない表面を適当なエッチング剤で露出することができる。同じ方法を使ってダイ支持パッド62の底部表面92から結束バー90にリセスを形成することができる。チャネル82は、リード・プリカーサを横断し、リード・フレーム52の厚みの約40〜75%、より好ましくは、この厚みの約50〜60%の間の深さまでチャネル82をエッチングすることが好ましい。このような好ましい範囲内のチャネル深さによって、チャネル82内の十分な間隙がモールディング・コンパウンド54を受け入れることができるようにしながら、十分な伝導度を有するインターポーザ64を設けることができる(図3)。
種々のリセス(例えば、チャネル82)を形成した後に、支持ポスト74および基板接続ポスト70の自由端76、72およびチップ支持パッド62の底部表面92を表面94に接着する。図示した実施例では、接着テープには表面94が形成されており、この表面94は、支持ポスト74および基板接続ポスト70の自由端76、72に形成された実質的に同一平面にある表面および支持パッド92の底部表面92に接触し、これら表面を固定する。図4は、1つのリード・フレーム52しか示していないが、複数の相互に接続されたリード・フレーム52を設けることができる。この場合、相互接続されたリード・フレーム52を設け、相互接続されたフレーム52は、一般に製造プロセスの最終ステップとしてブレードによるソーイング、ウォータ・ジェットなどにより1つずつに分離される。
図5を参照すると、ここには、リード・フレーム52の頂部斜視図が示されており、リード・フレーム52は、ダイ14にワイヤ・ボンディングされている。このダイ14は、好ましい方法、例えば、ハンダ、エポキシ、両面接着テープなどを使って支持パッド62に固定される。支持パッド62にダイ14が固定された後に、ワイヤ18は、ダイ14上のI/Oパッド80とそれぞれのリード60上のボンディング・サイト78との間に別々にワイヤ18が接続される。支持ポスト74は、リード60の各々におけるボンディング・サイト78の同一平面性を維持し、ボンディング・サイト78に対するワイヤ18の正確なボンディングを可能にし、よってパッドの製造の欠陥を減少させる。更に支持ポスト74は、製造サイト78から表面94にワイヤ18のボンディングに関連した力を伝える。支持ポスト74およびボンディング・サイト78は、支持されているので、本発明のリード60によって、従来技術のリード・フレーム構造で可能であったよりも、より広範な種々のボンディング方法およびワイヤ材料を使用することが可能となっている。後述するように、ワイヤ・ボンディングは、圧力と超音波振動バーストとの組合せを使って冶金コールド溶着部を形成する超音波ボンディング、圧力と高温との組合せを使って溶着を形成する熱圧縮ボンディング、または圧力と高温と超音波振動バーストとの組合せを使って溶着部を形成する熱音波ボンディングにより、ワイヤ・ボンディングを実行できる。
後に更に詳細に説明するように、パッケージ特徴部の部分エッチングにより形成されるロバストな中間体により、ボンディング・パッドとリードの双方におけるウェッジ・ボンディング部を形成するために超音波ボンディングを使用することが可能となっている。このボンディングで使用されるタイプのワイヤは、金、金をベースとする合金、アルミニウム、またはアルミニウムをベースとする合金から製造される。
ワイヤ・ボンディングの別の方法として、テープ自動ボンディング(TAB)を使用できる。
I/Oパッド80をそれらに関連するボンディング・サイト78にワイヤ・ボンディングした後に、図6に示されるように、ダイ14、リード・フレーム52およびボンディング・ワイヤ18をモールディング・コンパウンド54でカバーする。任意の好ましい技術、例えば、トランスファまたはインジェクション・モールディング・プロセスを使ってモールディング・コンパウンド54を塗布できる。このモールディング・コンパウンド54は、電気的に絶縁材料、好ましくは、約250℃〜約300℃のレンジ内のフロー温度を有するポリマー・モールディング・レジン、例えば、エポキシである。このモールディング・コンパウンド54は、低温の熱ガラス複合体でもよい。
モールディング・コンパウンド54を塗布する間、表面94に付着した支持ポスト74および基板接続ポスト70により、インターポーザ64の移動が防止され、従って、リード60の間のスペースが維持され、ボンディング・サイト78にあるワイヤ・ボンドが乱れたり破壊されたりしないように保証できる。更にインターポーザ64の下方に形成されたチャネル82(図3)は、モールディング・コンパウンド54を受け入れ、これによってパッケージ50内にインターポーザ64と支持ポスト74と基板接続ポスト70とが係止される。
ボンディング・サイト78と、ダイ14と、リード・フレーム52がコーティングされた後に、付着している表面94を除き、必要であれば、取り付けられているパッケージ50をブレードによるソーイング、ウォータ・ジェットなどにより別々に分離する。図3および図7を参照する。付着している表面84を除き、パッケージを別々にした後に、各パッケージ50のリード・フレーム52を露出する。特に支持ポスト74の自由端76、基板接続ポスト70の自由端72、インターポーザ64の端部66、結束バー90の端部、支持パッド62の底部表面92を露出できる。一般的な構造では外部電気回路に接続するためには、基板接続ポスト70の自由端72しか使用できない。しかしながら、所望すれば外部回路に支持ポスト74の自由端76およびインターポーザ64の端部66も接続できる。
図8を参照する。ここには、ダイ14にワイヤ・ボンディングされた別のリード・フレーム100の頂部斜視図が示されている。図8に示されたリード・フレーム100は、図9および図10に示されたワイヤ・ボンディングされたデュアル・リードレス半導体デバイス・パッケージ102を製造するのに使用される。図9は、半導体パッケージ102の一部切り欠き頂部斜視図であり、図10は、半導体パッケージ102の底部斜視図である。図8〜図10のパッケージ102は、図3〜図7を参照して説明したパッケージ50にほぼ類似するが、リード・フレーム100がデュアル・タイプの半導体パッケージ用に設計されている点が異なる。リード・フレーム100は、8つのリード60の2組を含み、リード60の各組は、ダイ支持パッド62の両側に接近して配置されている。8つのリード60の2組が示されているが、各組は、任意の数のリード60を含むことが理解できる。ダイ支持パッド62は、ダイ支持パッド62の両端から延びる2つの結束バー90を備える。半導体パッケージ102を製造する方法は、図3〜図7を参照して説明した方法と同じである。
図11を参照する。ここには、クォド・リードレス・フリップ・チップ半導体デバイス・パッケージ110の横断面図が示されている。図11のパッケージ110は、図3に示されたパッケージ50とほぼ類似するが、図11におけるダイ14は、フリップ・チップ方法を使ってリード・フレーム110に接続されており、この結果、ダイ支持パッドが使用されていない点が異なる。
図12は、ダイ14がボンディングされた状態のクォド・リードレス・フリップ・チップ・パッケージ110のためのリード・フレーム112の頂部斜視図である。このリード・フレーム112は、4辺の各々に配置された7つのリード60を含むように示されている。しかしながら、各場所では任意の数のリード60を使用できることが理解できる。
パッケージ110を製造する方法は、図3〜図7を参照して説明した方法にほぼ類似するが、ダイ14は、支持パッドに取り付けられ、ボンディング・サイト78にワイヤ・ボンディングまたはテープ・ボンディングされる代わりに、図11および図12に示されるように、ボンディング・サイト78に直接、電気的に接続されている点が異なる。電気的に「直接」接続されているとは、介在されるワイヤ・ボンディングまたはテープ自動化ボンディング・テープを使用するのではなく、フリップ・チップ方法によって相互接続が行われるということを意味する。適当な取り付け方法として、金、錫および鉛から構成された群から選択された第1の成分を有するハンダを挙げることができる。支持ポスト74は、リード60の各々におけるボンディング・サイト78の同一平面性を維持し、よってボンディング・サイト78へのダイ14の正確なボンディングを可能にし、よってパッケージ110を製造する際の欠陥を減少させている。支持ポスト74は、ボンディング・サイト78へのダイ14のボンディングに関連した力を表面94にも伝える。更に支持ポスト74および表面94に付着した基板接続ポスト70は、モールディング・コンパウンド54を塗布する間のインターポーザ64の動きを防止し、従って、リード60の間のスペースを維持し、ダイ14とリード・フレーム112との間のボンディングが乱れたり、破壊されないことを保証するのに役立つ。更にインターポーザ64の下方に形成されたチャネル82は、モールディング・コンパウンド54を受け入れ、これによってインターポーザ64と支持ポスト74と基板接続ポスト70とをパッケージ110内に係止している。
図13を参照すると、ここには、デュアル・リードレス・フリップ・チップ半導体デバイス・パッケージのための別のリード・フレーム120の頂部斜視図が示されている。図13では、別々に分離する前の隣接するリード・フレームの一部が示されているが、この場合、外側フレーム部分122が各リード・フレーム120に接続している。ダイ124は、別々に分離する間破壊されたリード・フレーム120部分を示している。本明細書に説明する実施例のいずれも、別々に分離する前にリード・フレームを相互接続するためのかかる外側リード・フレーム部分122を含むことができることが理解できる。図13に示されたリード・フレーム120はデュアル・リードレス・フリップ・チップ半導体デバイス・パッケージを製造するために、本明細書に説明した方法と組み合わせて使用することができる。フリップ・チップ・パッケージおよびワイヤ・ボンドパッケージの双方に対して同じ構造のリード・フレームを使用できるように意図しており、この場合、フリップ・チップ用のリード・フレーム120は、図8〜図10を参照して説明したリード・フレーム100からダイ支持パッド62を使用するだけで変形できる。
図3〜図13の実施例の各々では、端部66がモールディング・コンパウンド54内にリード60を係止するタブとして働くように、基板接続ポスト74は、インターポーザ64の端部66からずれている。図14および図15は、リード60の別の構造を示し、この構造ではパッケージの面58にて自由端72に隣接する基板接続ポスト64の側面124を見ることができる。パッケージがプリント回路基板に表面実装される際に、基板接続ポスト70とプリント回路基板に実装されたリードとの正しい整合および接続を保証するように、パッケージの側面58にて側面124を見ることができるので、このような構造は、有利である。インターポーザ64は、制御された減損プロセス、例えば、化学的エッチングまたはレーザ・アブレションを使ってリセス126を含むような形状とすることができる。図15aおよび図15bに示されるように、自由端72と側面124との間の基板接続ポスト70のコーナを除き、レリーフ128を形成できる。レリーフ128は、自由端72に対して垂直に測定したときに高さが約0.025mm〜0.05mm(約1ミル〜約2ミル)であることが好ましい。パッケージの表面実装を容易にするように、側面124が可視面となるようにしながら、別々に分離するプロセス中のバリ形成を認めたり不明瞭とするようにレリーフ128が設けられる。
図14および図15に示される別のリード60の配置は、本明細書で記載する実施例のいずれでも使用できることが理解できる。例えば、図16は、図14aに示された別のリード60の構造を使用したワイヤ・ボンディングされたクォド・リードレス半導体デバイス・パッケージ50の横断面図である。図17は、図14aの別のリード60の構造を使ったパッケージ50のリード・フレーム52の頂部斜視図であり、図18は、図14aの別のリード60の構造を使ったパッケージ50の一部切り欠き頂部斜視図であり、図19は、図14aの別のリード60の構造を使ったパッケージ50の底部斜視図である。別の実施例では、図16は、図14bの別のリード60の構造を使ったクォド・リードレス・フリップ・チップ半導体デバイス・パッケージ110の横断面図であり、図17は、図14bの別のリード60の構造を使ったパッケージ110のリード・フレーム112の頂部斜視図であり、図18は、図14bの別のリード60の構造を使ったパッケージ110の一部切り欠き頂部斜視図であり、図19は、図14bの別のリード60の構造を使ったパッケージ110の底部斜視図である。
本明細書に記載の実施例のいずれにおいても、パッケージの底部表面45にある支持ポスト74の自由端76を電気的にアイソレートすることが望ましい。このアイソレーションは、自由端76に電気的に絶縁性のコーティングを塗布することによって達成できる。図24は、支持ポスト74の自由端76をカバーする電気的に絶縁性のコーティング130を有するクォド・リードレス半導体デバイス・パッケージの底部斜視図である。図25は、支持ポスト74の自由端76をカバーする電気的に絶縁性のコーティング130を有するデュアルのリードレス半導体デバイス・パッケージの底部斜視図である。電気的に絶縁性のコーティング130は、スクリーン印刷、インク塗布またはテーピングによって実施できる。
図26a〜図26hは、上記デバイス・パッケージ50または102内のリード60上のそれぞれのボンディング・サイト78へI/Oパッド80をワイヤ・ボンディングするのに使用するためのウェッジ・ボンディング方法における種々のステージを示す。この方法は、I/Oパッド80およびボンディング場所70の双方にあるくさびボンド200と称されるものを形成する方法である。ウェッジ・ボンディング部200は、I/Oパッド80またはボンディング場所70へワイヤ18の側面が取り付けられているボンディング部であり、この場合、ワイヤ18は、図26hに示されるように、I/Oパッド80またはボンディング・サイト70の表面に対してほぼ平行に延びている。
図26aに示されるように、この方法は、ボンディング・ウェッジ(スタイラス)202を使用するものであり、このウェッジは、自由端に形成された平面状のボンディング面204を有する実質的に多面状の構造体である。ボンディング面204にはV字形ノッチが隣接して配置されており、このノッチは、ボンディング・ウェッジ202のワイヤ・ガイド部分206を構成する。このワイヤ・ガイド部分206は、半導体製造プロセスで使用されるワイヤ18を受けるガイド部分を貫通するように配置されたアパーチャを含む。このボンディング・ウェッジ202は、ワイヤ18が貫通するワイヤ・クランプ208も含む。このボンディング・ウェッジ202は、コンピュータで制御されるシステムにより操作でき、このシステムは、I/Oパッド80とそれに関連するボンディング場所78との間の軸線に沿ってボンディング・ウェッジ202を整合するように、マトリックスに対し、ボンディング・ウェッジ202を移動させるようになっている。フレームのマトリックス内で各フレームのワイヤ・ボンディングを実行するように、2つ以上のボンディング・ウェッジ202が同時に作動してもよいことが理解できる。
ウェッジ・ボンディング方法で使用されるワイヤ18は、アルミ・ワイヤまたはアルミをベースとする合金でよい。アルミをベースとする合金とは、50重量パーセントよりも多いアルミを含む材料を意味する。例えば、アルミ・ワイヤは、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78の材料とワイヤの硬度とをより満つに一致させるよう、シリコン(例えば、1%のシリコン)でアルミ・ワイヤをドーピングすることができる。その他のワイヤ材料(例えば、金または金をベースとする合金)を使用できる。
ウェッジ・ボンディング・プロセスでは、ボンディング・ワイヤ18は、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78の表面までガイドされ、次に図26bおよび図26eに示されるように、ボンディング・ウェッジ22によって表面に圧下される。ボンディング・ウェッジ202とI/Oパッド80またはボンディング・サイト78との間に強固にワイヤ18がクランプされている間、ボンディング・クランプ202に超音波信号のバーストが加えられる。周辺温度で(すなわち、ボンディング加えられるボンディング・ウェッジ202、ボンディング・ワイヤ13、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78に加えられる外部熱源を用いることなく)超音波振動を実行する場合、このプロセスは、超音波ボンディングと称される。超音波ボンディングを用いる場合、圧力と振動との組合せによりワイヤ13とI/Oパッド80またはボンディング・サイト78との間の冶金学的コールド溶着が達成される。ボンディング・ウェッジ202に超音波振動のバーストを加える間、ボンディング・ウェッジ202、ボンディング・ワイヤ18、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78に熱を加える場合、このプロセスは、熱音波ボンディングと称される。しかしながら、従来の熱音波ボンディングと異なり、I/Oパッド80およびボンディング・サイト78の双方においてウェッジ・ボンディング200が形成される。
図26b〜図26gでは、ウェッジ・ボンディング方法が示されている。この方法では、ワイヤ18をリード60上のボンディング・サイト78にボンディングする前に、ワイヤ18は、I/Oパッド80にボンディングされる。これとは異なり、ワイヤ18をI/Oパッド80にボンディングする前に、ボンディング・サイト78にボンディングしてもよい。
次に、図26bを参照する。ワイヤ18は、超音波ボンディングまたは熱音波ボンディングを使ってI/Oパッド80にウェッジ・ボンディングされる。I/Oパッド80にウェッジ・ボンディング200が形成された後に、図26cおよび26dに示されるように、ウェッジ208は、ワイヤ18を解放し、ボンディング・ウェッジ202は、I/Oパッド80から離間し、リード60上の関連するボンディング・サイト78に向かって移動する。次にボンディング・ウェッジ202は、ボンディング・サイト78へ降下し、ワイヤ18は、超音波または熱音波ボンディングを使ってボンディング・サイト78にボンディングされる。ワイヤ18とボンディング・サイト78との間にウェッジ・ボンディング200が形成された後に、ボンディング・ウェッジ202は、揺動し、ワイヤ18をカットし(図26f)、ボンディング・ウェッジ202は、次にクランプ208がワイヤ18を分離するように閉じた状態にて、リード60からボンディング・ワイヤ202が離間する(図26g)。
この結果、図26hに示されるように、ワイヤ18とI/Oパッド80との間およびワイヤ18とリード60との間にクランプ・ボンディング200が形成される。
図27は、I/Oパッド80上に形成されたウェッジ・ボンディング部200の斜視図であり、図28は、リード60のボンディング・サイト78上のウェッジ・ボンディング部200の斜視図である。図27および図28から判るように、ウェッジ・ボンディング部200においてワイヤ18の側面は、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78に取り付けられており、この場合、ワイヤ18は、I/Oパッド80またはボンディング・サイト78の表面にほぼ平行に延びている。ワイヤ18は、ウェッジ・ボンディング部200に沿って平坦になっており、この平坦部分の長さをウェッジの長さ(220で表示される)と定義する。I/Oパッド80またはボンディング・サイト78の表面の平面に平行な方向に、ワイヤ18に対して横方向に測定したワイヤ18の平坦にされた部分の最大幅をウェッジの幅(222で表示)と定義する。平坦な部分を通過して延びるワイヤ18の自由案の長さは、テール長さ(224で表示)として知られる。ウェッジの幅222は、一般にI/Oパッド80とボンディング・サイト78との間に延びるワイヤ18の平坦にされた部分の直径の約1.2から約1.5倍の間にある。
I/Oパッド80およびリード60上にウェッジ・ボンディング部200をボンディングするシーケンスによって、I/Oパッド80およびリード60のどちらのほうがより長いテール長さ224を有することになるかが決定されることが判っている。より詳細には、ワイヤが終端するポイント(I/Oパッド80またはリード60)は、より短いテール長さ224を有することが判っている。従って、これまで説明したように、まずI/Oパッド80にウェッジ・ボンディング部200が形成され、次にリード60上に形成される場合、リード60におけるテール長さ224のほうがI/Oパッド80におけるテール長さ224よりも短くなる。リード60により短いテール長さ224を設けると、好ましいことにワイヤ18のテール部分がリード60の端部を越えて突出することはなく、その結果、パッケージ幅が最小になる。
デバイス・パッケージ50、102内の支持ポスト74は、ボンディング・サイト78に対する支持体となるので、これによってウェッジ・ボンディング部200を形成する間のリード60に対するダメージを防止できるので、これまで説明したデバイス・パッケージ50、102は、特にウェッジ・ボンディング方法に適す。この方法は、他のタイプのパッケージでも同じように使用できる。例えば、図29a〜図29iは、組立ての種々のステージにおける別の半導体デバイス・パッケージ300を示しており、このパッケージも本方法で使用するのに適している。
図29a〜図29jでは、各リード・フレーム302は、ワイヤ・ボンディング前に一部しかエッチングされない。支持パッド62およびリード60が金属基板304によって接続された状態に留まるようにリード・フレーム302は、その上部表面がエッチングされる。金属基板304は、ウェッジ・ボンディング・プロセス中にリード60に対する固体構造体および支持体を提供し、よってリード60のダメージを防止する。別の実施例では、リード60が支持パッド60に接続されている間、リードが製造プロセスの結果生じるパッケージで使用される厚みよりも大きい厚み有するように、リード・フレームの一部をエッチングしてよい。追加される厚み部分は、ウェッジ・ボンディング・プロセス中にリード60に生じるダメージを防止するのに必要な固体構造体および支持体となる。
図29aは、リード・フレーム302(図29g)のプリカーサ・ステージの平面図であり、図29bは、リード・フレーム302のプリカーサ・ステージの側横断面図である。同時組立てを可能にするように、複数のリード・フレーム302を接続することが好ましい。これとは異なり、リード・フレーム302を別々に組立てることも可能である。リード・フレーム302は、適当な導電体のシートから形成でき、好ましくは銅または銅をベースとする合金から形成できる。
リード・フレーム302の各々に形成される種々の特徴部は、制御された減損プロセス、例えば、化学的エッチングまたはレーザ・アブレションを使って形成することが好ましい。例えば、リード60および支持パッド62の上部表面を形成するようになっている各表面を化学レジストでコーティングし、リード60および支持パッド62の所望する高さが得られるように残りの表面の下方の厚みを薄くするのに有効な時間の間、残りの表面を適当なエッチング剤に露出できる。このプロセスの結果、リード60および支持パッド62が得られる。これらのいずれも基板304から延びる。
図29cを参照する。リード60上のボンディング・サイト78には、ワイヤ・ボンディングを容易にする材料をコーティングできる。例えば、ボンディング・サイト78は、ワイヤ18で使用される材料に対応する材料でコーティングできる(すなわち、ボンディング・サイト78は、アルミまたはアルミをベースとする合金ワイヤ18を使用する場合には、アルミまたはアルミをベースとする合金でコーティングできる)。
図29dを参照すると、次に適当な方法、例えば、ハンダ、エポキシ、両面接着テープなどを使って支持パッド62にダイ14が固定される。支持パッド62にダイ14が固定された後に、図29eに示されるように、ダイ14上のI/Oパッド80と、それぞれのリード60上のボンディング・サイト78との間にワイヤ18が別々に接続される。
図29fを参照する。ワイヤ・ボンディングが完了した後に、ダイ14と、リード・フレーム302の上部部分と、ボンディング・ワイヤ18は、モールディング・コンパウンド54でカバーする。モールディング・コンパウンド54は、適当な技術、転写または射出成形プロセスを使って塗布できる。このモールディング・コンパウンド54は、電気的に絶縁性の材料、好ましくは、約250℃から約300℃の範囲にフロー温度があるポリマ・モールディング樹脂、例えば、エポキシである。モールディング・コンパウンド54は、低温熱ガラス複合体でもよい。
モールディング・コンパウンド54が塗布された後に、制御された減損プロセス、例えば、化学的エッチングまたはレーザ・アブレションを使って基板304の材料を除去する。このステップの結果は、図29gに示されている。基板304の材料の除去により、リード60と支持パッドとが電気的に分離される。外部回路への電気接続を容易にするために、露出した表面をメッキしてもよい。更に、図29hに示されるように、外部回路との電気接続を容易にするために、露出した表面にハンダ・ボール306を取り付けてもよい。
次に図29iに示されるように、パッケージ300を形成するために、取り付けられているパッケージをブレードによりソーイング、水ジェットなどによって別々に分離する。
リード60上のそれぞれのボンディング・サイト78にI/Oパッド80をワイヤ・ボンディングするウェッジ・ボンディング方法を使用することには、従来技術よりも多数の利点がある。例えば、この結果得られるウェッジ幅222(図27)は、使用されるワイヤ18の径の約1.2〜1.5倍であり、この値は、一般にワイヤ18の直径の2倍〜3倍であるボール・ボンディング部の幅よりも大幅に小さい。このように幅が小さくなることによって、ボール・ボンディングと比較してリードのピッチ(すなわち、隣接するリードの間のスペース)を狭くすることができる。この結果、ウェッジ・ボンディング方法を使用することにより、ボール・ボンディングを使用した場合に可能であった数よりもパッケージ内で使用されるリード60の本数を大幅に増加することが可能となっている。
更に、ウェッジ・ボンディング方法によってボール・ボンディング方法で可能であった高さと比較して、ワイヤ・ループの高さをより低くすることが可能となっている。図26hから判るように、ワイヤ・ループ高さとは、ワイヤ18が接触サイト(すなわち、I/Oパッド80)よりも上に延びている高さ「h」のことである。ワイヤは、一般に接触サイトに対してほぼ平行に延びるので、ループ高さ「h」は、ボール・ボンディングに必要なループ高さと比較して比較的低くできる。この場合、ワイヤは、図2における21で示されるように、接触サイトから垂直に延びる。このことは、より薄いプラスチック・パッケージおよびスタックされたマルチ・ダイ・パッケージが得られるという大きな利点となっている。
更にウェッジ・ボンディング方法は、室温における超音波ボンディングを使って実行できるので、ボール・ボンディング方法で可能であったよりもパッケージング・プロセスの信頼性を高めることができる。特にボール・ボンディングは、リード・フレームおよびダイスを約150〜360℃の温度に露出させなければならない。今日、マトリックスおよびアレイ・マトリックス・フォーマットによって多数のワイヤ・ボンディング部が使用されているので、ワイヤ・ボンディングを実行する時間、従って部品が高温となる時間は、ダイス14における欠陥を生じさせるのに十分長くなり得る。高温を使用しなくても良いようになるので、ウェッジ・ボンディング方法は、この欠陥の原因を解消できる。
更にワイヤ・ボンディング方法は、アルミまたはアルミをベースとする合金ワイヤを使用できるので、パッケージを製造するコストを低減できる。このコストは、一般にボール・ボンディング技術に対して使用される金製ワイヤよりもかなり低い。
以上で本発明の多数の実施例について説明した。それにもかかわらず、本発明の用紙から逸脱することなく、種々の変形を行うことができると理解できる。従って、他の実施例も特許請求の範囲内に入る。
特定の実施例に関して説明した特徴、代替例、変形例または利点のいずれも、本明細書で使用した他の実施例でも得られると理解すべきである。
Claims (33)
- 第1のパッケージ面(56)の少なくとも一部を形成するモールディング・コンパウンド(54)と、
モールディング・コンパウンド(54)によって少なくとも一部がカバーされた半導体デバイス(14)とを含み、
半導体デバイス(14)は、
複数のI/Oパッド(80)と複数のリード(60)とを備え、モールディング・コンパウンド(54)によって少なくとも一部がカバーされた導電性材料から構成されたリード・フレーム(52、100、112)とを含み、
リード線(60)の各々は、
対向する第1および第2の端部(66、68)を有し、第1のパッケージ面(56)から離間したインターポーザ(64)と、
第1の端部(66)の近くでインターポーザ(64)から延び、第1のパッケージ面(56)で終端する基板接続ポスト(70)と、
基板接続ポスト(70)から離間すると共に、第2の端部(68)の近くでインターポーザ(64)から延び、第1のパッケージ面(56)で終端する支持ポスト(74)と、
支持ポスト(74)と反対のインターポーザ(64)の表面に形成されているボンディング・サイト(78)とを含む、I/Oパッド(80)の少なくとも1つがボンディング・サイト(78)においてインターポーザ(64)に電気的に接続されている半導体デバイス・パッケージ(50、102、110)。 - 請求項1記載のパッケージであって、前記I/Oパッド(80)の少なくとも1つは、ボンディング・サイト(78)にワイヤ・ボンディングまたはテープ・ボンディングされている前記パッケージ。
- 請求項2記載のパッケージであって、前記I/Oパッド(80)の少なくとも1つは、I/Oパッド(80)においてウェッジ・ボンディングおよびボンディング・サイト(78)においてウェッジ・ボンディングを形成するワイヤにより、ボンディング・サイト(78)において電気的にインターポーザ(64)に接続されている前記パッケージ。
- 請求項3記載のパッケージであって、前記ワイヤは、アルミまたはアルミをベースとして製造されている前記パッケージ。
- 請求項1記載のパッケージであって、前記I/Oパッド(80)の少なくとも1つは、フリップ・チップ・タイプの接続部を形成するようにボンディング・サイト(78)に直接ハンダ付けされている前記パッケージ。
- 請求項2記載のパッケージであって、前記モールディング・コンパウンド(54)は、第1のパッケージ面(56)に隣接する第2のパッケージ面(58)の少なくとも一部を形成し、第2のパッケージ面(58)において、基板接続ポスト(70)の端部表面(72)に隣接する基板接続ポスト(70)の側面(124)を見ることができるようになっている前記パッケージ。
- 請求項6記載のパッケージであって、前記基板接続ポスト(124)の端部表面(72)から測定して、約0.025mm〜0.05mm(約1ミルから2ミル)の間の高さを有するレリーフ(128)を形成するように、基板接続ポスト(70)の側面(124)と、基板接続ポスト(124)の端部表面との間のコーナを除去する前記パッケージ。
- 請求項1記載のパッケージであって、前記リード(60)の各々は、ストリップを横断するように配置されたチャネル(82)を有する材料のストリップから形成されている前記パッケージ。
- 請求項8記載のパッケージであって、前記チャネル(82)は、モールディング・コンパウンド(54)によって満たされている前記パッケージ。
- 半導体デバイス(14)をパッケージングする方法であって、
複数のリード(60)を備えたリード・フレーム(52、100、112)を導電性材料から形成するステップと、複数のリードは、
各々が対向する第1および第2の端部(66、68)を有するインターポーザ(64)と、
第1の端部(66)の近くでインターポーザ(64)から延び、インターポーザ(64)から離れた端部表面を有する基板接続ポスト(70)と、
基板接続ポスト(70)から離間すると共に、第2の端部(68)の近くでインターポーザ(64)から延び、インターポーザ(64)から離間した端部表面を有する支持ポスト(74)と、
支持ポスト(74)と反対のインターポーザ(64)の表面に形成されているボンディング・サイト(78)とを有し、
支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面(72、76)を支持するステップと、
支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面(72、76)を支持しながら半導体デバイス(14)上のI/Oパッド(80)を電気的にボンディング・サイト(78)に接続するステップと、
支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面を支持しながら半導体デバイス(14)の少なくとも一部およびリード・フレーム(52、100、112)の少なくとも一部をモールディング・コンパウンド(54)でカバーするステップとを含む前記方法。 - 請求項10記載の方法であって、前記I/Oパッド(80)をボンディング・サイト(78)に電気的に接続するステップは、
各I/Oパッド(80)を関連するボンディング・サイト(78)にワイヤ・ボンディングまたはテープ・ボンディングするステップを含む前記方法。 - 請求項11記載の方法であって、前記各I/Oパッド(80)を関連するボンディング・サイト(78)にワイヤ・ボンディングするステップは、
ワイヤ(18)をI/Oパッド(80)にウェッジ・ボンディングするステップと、
ワイヤ(18)をボンディング・サイト(78)にウェッジ・ボンディングすることを含む前記方法。 - 請求項12記載の方法であって、前記ワイヤ(18)は、アルミまたはアルミ・ベース材料から製造されている前記方法。
- 請求項10記載の方法であって、前記I/Oパッド(80)をボンディング・サイト(78)に電気的に接続するステップは、
I/Oパッド(80)をボンディング・サイト(78)に直接電気的に接続し、フリップ・チップ・タイプの接続部を形成するステップを含む前記方法。 - 請求項10記載の方法であって、前記支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面(72、76)を支持するステップは、
支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面(72、76)を1つの表面(94)に付着させることを含む前記方法。 - 請求項10記載の方法であって、前記モールディング・コンパウンド(54)は、第1のパッケージ面(56)の少なくとも1つの部分を形成し、支持ポスト(74)および基板接続ポスト(70)の端部表面(72、76)は、第2のパッケージ面(56)と共通平面にある前記方法。
- 請求項16記載の方法であって、前記モールディング・コンパウンド(54)は、第1のパッケージ面(56)に隣接する第2のパッケージ面(58)の少なくとも一部を形成し、第2のパッケージ面(58)において、基板接続ポスト(70)の端部表面(72)に隣接する基板接続ポスト(70)の側面(124)を見ることができるようになっている前記方法。
- 請求項17記載の方法であって、前記基板接続ポスト(70)の端部表面(72)から測定して、約0.025mm〜0.05mm(約1ミルから2ミル)の間の高さを有するレリーフ(128)を形成するように、基板接続ポスト(70)の側面(124)と、基板接続ポスト(124)の端部表面との間のコーナを除去する前記方法。
- 請求項10記載の方法であって、前記リード・フレーム(52、100、112)を形成するステップは、
各々が導電性材料のストリップである複数のリード・プリカーサを含むリード・フレーム・プリカーサを導電性材料から形成するステップと、
リード線プリカーサの各々を横断するようにチャネル(82)を配置し、複数のリード線(60)を形成するステップとを備えた前記方法。 - 請求項19記載の方法であって、各リード線内のチャネル(82)をモールディング・コンパウンド(54)で満たすステップを更に含む前記方法。
- 第1のパッケージ面(56)の少なくとも一部を形成するモールディング・コンパウンド(54)と、
モールディング・コンパウンド(54)によって少なくとも一部がカバーされ、複数のI/Oパッド(80)を含む半導体デバイス(14)と、
複数のリード線(60)を含みモールディング・コンパウンド(54)によって少なくとも一部がカバーされた導電性材料のリード・フレーム(52、100、302)とを含む半導体デバイス・パッケージであって、リード線(60)の各々は、その上部に形成されたボンディング・サイト(78)を含み、各ボンディング・サイト(78)は、ワイヤ(18)により関連するI/Oパッド(80)に電気的に接続され、ワイヤ(18)は、I/Oパッド(80)にウェッジ・ボンディング部を形成し、ボンディング・サイト(78)にウェッジ・ボンディング部を形成する半導体デバイス・パッケージ。 - 請求項21記載のパッケージであって、前記ワイヤ(18)は、アルミまたはアルミ・ベース材料から製造されている前記パッケージ。
- 請求項21記載のパッケージであって、前記リード線(60)の各々は、
対向する第1および第2の端部(66、68)を有し、第1のパッケージ面(56)から離間したインターポーザ(64)と、
第1の端部(66)の近くでインターポーザ(64)から延び、第1のパッケージ面(56)で終端する基板接続ポスト(70)と、
基板接続ポスト(70)から離間すると共に、第2の端部(68)の近くでインターポーザ(64)から延び、第1のパッケージ面(56)で終端する支持ポスト(74)とを備え、ボンディング・サイト(78)は、支持ポスト(74)と反対のインターポーザ(64)の表面に形成されている前記パッケージ。 - 請求項21記載のパッケージであって、前記リード・フレーム(302)にモールディング・コンパウンド(54)を塗布した後に、リード線(60)を分離するようにリード・フレーム(302)がエッチングされる前記パッケージ。
- 請求項21記載のパッケージであって、前記ワイヤ(18)は、I/Oパッド(80)とボンディング・サイト(78)との間に延びるワイヤ(18)の一部の直径の約1.2〜約1.5倍のウェッジの幅を有する前記パッケージ。
- 各々が上部に形成されたボンディング・サイト(78)を備えた複数のリード(60)を含むリード・フレーム(52、100、302)を導電性材料から形成するステップと、
半導体デバイス(14)上のI/Oパッド(80)をボンディング・サイト(78)に電気接続するステップと、電気接続するステップは、
ワイヤ(18)をI/Oパッド(80)にウェッジ・ボンディングするステップと、ワイヤ(18)をボンディング・サイト(78)にウェッジ・ボンディングするステップとを含み、
半導体デバイス(14)の少なくとも一部およびリード・フレーム(52、100、302)の少なくとも一部をモールディング・コンパウンド(54)でカバーするステップを含む半導体デバイス(14)をパッケージする方法。 - 請求項26記載の方法であって、前記ワイヤ(18)は、アルミまたはアルミベース材料から製造されている前記方法。
- 請求項26記載の方法であって、各リード線は、
対向する第1および第2の端部(66、68)を有するインターポーザ(64)と、
第1の端部(66)の近くでインターポーザ(64)から延び、インターポーザ(64)から離れた端部表面(72)を有する基板接続ポスト(70)と、
基板接続ポスト(70)から離間すると共に、第2の端部(68)の近くでインターポーザ(64)から延び、インターポーザ(64)から離間した端部表面を有する支持ポスト(74)とを含み、ボンディング・サイト(78)は、支持ポスト(74)と反対の、インターポーザ(64)の表面に形成され、支持ポスト(74)は、ワイヤ(18)をボンディング・サイト(78)にウェッジ・ボンディングする間、ボンディング・サイト(78)を支持する前記方法。 - 請求項26記載の方法であって、ウェッジ・ボンディングは、超音波ボンディングを含む前記方法。
- 請求項26記載の方法であって、ウェッジ・ボンディングは、熱音波ボンディングを含む前記方法。
- 請求項26記載の方法であって、前記ボンディング・サイト(78)にワイヤ(18)をウェッジ・ボンディングする前に、I/Oパッド(80)にワイヤ(18)をウェッジ・ボンディングする前記方法。
- 請求項26記載の方法であって、前記半導体デバイス(14)上のI/Oパッド(80)をボンディング・サイト(78)に電気的に接続した後に、リード(60)を分離するように、リード・フレーム(302)をエッチングするステップを更に含む前記方法。
- 請求項26記載の方法であって、前記ワイヤ(18)は、I/Oパッド(80)とボンディング・サイト(78)との間に延びるワイヤ(18)の一部の直径の約1.2〜約1.5倍のウェッジの幅を有する前記方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US49498203P | 2003-08-14 | 2003-08-14 | |
PCT/US2004/026152 WO2005017968A2 (en) | 2003-08-14 | 2004-08-11 | Semiconductor device package and method for manufacturing same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007509485A true JP2007509485A (ja) | 2007-04-12 |
Family
ID=34193261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006523369A Abandoned JP2007509485A (ja) | 2003-08-14 | 2004-08-11 | 半導体デバイス・パッケージおよびその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7563648B2 (ja) |
EP (1) | EP1654753A4 (ja) |
JP (1) | JP2007509485A (ja) |
KR (1) | KR20060058111A (ja) |
CN (1) | CN101375382B (ja) |
TW (1) | TWI350573B (ja) |
WO (1) | WO2005017968A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013016709A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2015532017A (ja) * | 2012-09-20 | 2015-11-05 | シレゴ・テクノロジー・インコーポレーテッドSilego Technology Incorporated | 極薄パッケージ |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7755179B2 (en) * | 2004-12-20 | 2010-07-13 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor package structure having enhanced thermal dissipation characteristics |
US7439100B2 (en) * | 2005-08-18 | 2008-10-21 | Semiconductor Components Industries, L.L.C. | Encapsulated chip scale package having flip-chip on lead frame structure and method |
US20070063333A1 (en) * | 2005-09-20 | 2007-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor package with internal shunt resistor |
US8022512B2 (en) | 2006-02-28 | 2011-09-20 | Unisem (Mauritus) Holdings Limited | No lead package with heat spreader |
US7816186B2 (en) | 2006-03-14 | 2010-10-19 | Unisem (Mauritius) Holdings Limited | Method for making QFN package with power and ground rings |
TWI286375B (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-01 | Chipmos Technologies Inc | Leadless semiconductor package with electroplated layer embedded in encapsulant and the method for fabricating the same |
SG139573A1 (en) | 2006-07-17 | 2008-02-29 | Micron Technology Inc | Microelectronic packages with leadframes, including leadframes configured for stacked die packages, and associated systems and methods |
JP4533875B2 (ja) | 2006-09-12 | 2010-09-01 | 株式会社三井ハイテック | 半導体装置およびこの半導体装置に使用するリードフレーム製品並びにこの半導体装置の製造方法 |
KR100813621B1 (ko) * | 2006-10-03 | 2008-03-17 | 삼성전자주식회사 | 적층형 반도체 소자 패키지 |
US7741704B2 (en) | 2006-10-18 | 2010-06-22 | Texas Instruments Incorporated | Leadframe and mold compound interlock in packaged semiconductor device |
SG149726A1 (en) | 2007-07-24 | 2009-02-27 | Micron Technology Inc | Microelectronic die packages with metal leads, including metal leads for stacked die packages, and associated systems and methods |
MY154596A (en) * | 2007-07-25 | 2015-06-30 | Carsem M Sdn Bhd | Thin plastic leadless package with exposed metal die paddle |
SG150396A1 (en) | 2007-08-16 | 2009-03-30 | Micron Technology Inc | Microelectronic die packages with leadframes, including leadframe-based interposer for stacked die packages, and associated systems and methods |
US8120152B2 (en) * | 2008-03-14 | 2012-02-21 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Advanced quad flat no lead chip package having marking and corner lead features and manufacturing methods thereof |
US8273603B2 (en) * | 2008-04-04 | 2012-09-25 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Interposers, electronic modules, and methods for forming the same |
US8017451B2 (en) | 2008-04-04 | 2011-09-13 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electronic modules and methods for forming the same |
US8269324B2 (en) * | 2008-07-11 | 2012-09-18 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with chip on lead |
US20100044850A1 (en) * | 2008-08-21 | 2010-02-25 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Advanced quad flat non-leaded package structure and manufacturing method thereof |
TWI414048B (zh) * | 2008-11-07 | 2013-11-01 | Advanpack Solutions Pte Ltd | 半導體封裝件與其製造方法 |
TWI372454B (en) * | 2008-12-09 | 2012-09-11 | Advanced Semiconductor Eng | Quad flat non-leaded package and manufacturing method thereof |
US8124447B2 (en) * | 2009-04-10 | 2012-02-28 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Manufacturing method of advanced quad flat non-leaded package |
CN101958300B (zh) * | 2010-09-04 | 2012-05-23 | 江苏长电科技股份有限公司 | 双面图形芯片倒装模组封装结构及其封装方法 |
TW201241970A (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-16 | Advanced Semiconductor Eng | Semiconductor package with recesses in the edged leadas |
CN102263081A (zh) * | 2011-07-29 | 2011-11-30 | 天水华天科技股份有限公司 | 带双凸点的四边扁平无引脚双ic芯片封装件及其生产方法 |
CN102263080B (zh) * | 2011-07-29 | 2015-06-17 | 天水华天科技股份有限公司 | 带双凸点的四边扁平无引脚三ic芯片封装件及其生产方法 |
CN102254893A (zh) * | 2011-07-29 | 2011-11-23 | 天水华天科技股份有限公司 | 一种带双凸点的四边扁平无引脚封装件及其生产方法 |
CN102376671A (zh) * | 2011-11-29 | 2012-03-14 | 杭州矽力杰半导体技术有限公司 | 引线框架以及应用其的倒装芯片式半导体封装结构 |
CN102446781B (zh) * | 2011-12-08 | 2014-09-24 | 华中科技大学 | 相变存储器芯片的封装方法 |
US9142491B2 (en) * | 2012-09-28 | 2015-09-22 | Conexant Systems, Inc. | Semiconductor package with corner pins |
ITMI20130473A1 (it) * | 2013-03-28 | 2014-09-29 | St Microelectronics Srl | Metodo per fabbricare dispositivi elettronici |
US9324642B2 (en) | 2013-11-12 | 2016-04-26 | Infineon Technologies Ag | Method of electrically isolating shared leads of a lead frame strip |
US9437458B2 (en) * | 2013-11-12 | 2016-09-06 | Infineon Technologies Ag | Method of electrically isolating leads of a lead frame strip |
US9287238B2 (en) | 2013-12-02 | 2016-03-15 | Infineon Technologies Ag | Leadless semiconductor package with optical inspection feature |
JP2016062962A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | ワイヤボンディング装置、及び半導体装置 |
US9570381B2 (en) | 2015-04-02 | 2017-02-14 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor packages and related manufacturing methods |
US9847281B2 (en) | 2015-06-30 | 2017-12-19 | Stmicroelectronics, Inc. | Leadframe package with stable extended leads |
DE102015224257A1 (de) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Elektrische Leiterbahn, Verfahren und Verwendung |
CN105789167A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-07-20 | 昂宝电子(上海)有限公司 | 集成电路芯片封装装置、和引线框架 |
US9870985B1 (en) * | 2016-07-11 | 2018-01-16 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with clip alignment notch |
CN107195612A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-09-22 | 南京矽邦半导体有限公司 | 一种基于加长半蚀刻拱形内引脚qfn框架及其封装芯片 |
US11538768B2 (en) * | 2019-10-04 | 2022-12-27 | Texas Instruments Incorporated | Leadframe with ground pad cantilever |
CN113192920A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-07-30 | 南京矽邦半导体有限公司 | 一种qfn封装的引脚结构 |
US20230063278A1 (en) * | 2021-08-27 | 2023-03-02 | Texas Instruments Incorporated | Laser-cut lead-frame for integrated circuit (ic) packages |
CN117133746B (zh) * | 2023-10-26 | 2024-01-30 | 成都电科星拓科技有限公司 | 用于双面焊接的方形扁平无引脚封装芯片结构及封装方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0348018B1 (en) | 1982-03-10 | 1999-05-19 | Hitachi, Ltd. | Method of manufacture of a resin encapsulated semiconductor device |
JP2852134B2 (ja) * | 1991-02-20 | 1999-01-27 | 日本電気株式会社 | バンプ形成方法 |
US5890644A (en) * | 1996-01-26 | 1999-04-06 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method of clamping semiconductor devices using sliding finger supports |
US6281568B1 (en) * | 1998-10-21 | 2001-08-28 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit device package and leadframe having partially undercut leads and die pad |
JP3062192B1 (ja) * | 1999-09-01 | 2000-07-10 | 松下電子工業株式会社 | リ―ドフレ―ムとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
JP3450238B2 (ja) * | 1999-11-04 | 2003-09-22 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US6238952B1 (en) * | 2000-02-29 | 2001-05-29 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Low-pin-count chip package and manufacturing method thereof |
US6452255B1 (en) * | 2000-03-20 | 2002-09-17 | National Semiconductor, Corp. | Low inductance leadless package |
KR100559664B1 (ko) * | 2000-03-25 | 2006-03-10 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 |
US7042068B2 (en) * | 2000-04-27 | 2006-05-09 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe and semiconductor package made using the leadframe |
JP3883784B2 (ja) * | 2000-05-24 | 2007-02-21 | 三洋電機株式会社 | 板状体および半導体装置の製造方法 |
US6838319B1 (en) * | 2000-08-31 | 2005-01-04 | Micron Technology, Inc. | Transfer molding and underfilling method and apparatus including orienting the active surface of a semiconductor substrate substantially vertically |
JP2002118222A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
US6437429B1 (en) * | 2001-05-11 | 2002-08-20 | Walsin Advanced Electronics Ltd | Semiconductor package with metal pads |
FR2825515B1 (fr) * | 2001-05-31 | 2003-12-12 | St Microelectronics Sa | Boitier semi-conducteur a grille evidee et grille evidee |
JP2003017646A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
US6812552B2 (en) | 2002-04-29 | 2004-11-02 | Advanced Interconnect Technologies Limited | Partially patterned lead frames and methods of making and using the same in semiconductor packaging |
US6940154B2 (en) | 2002-06-24 | 2005-09-06 | Asat Limited | Integrated circuit package and method of manufacturing the integrated circuit package |
US7033517B1 (en) * | 2003-09-15 | 2006-04-25 | Asat Ltd. | Method of fabricating a leadless plastic chip carrier |
US7154186B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-12-26 | Fairchild Semiconductor Corporation | Multi-flip chip on lead frame on over molded IC package and method of assembly |
-
2004
- 2004-08-11 US US10/563,712 patent/US7563648B2/en active Active
- 2004-08-11 EP EP04780916A patent/EP1654753A4/en not_active Withdrawn
- 2004-08-11 CN CN2004800232766A patent/CN101375382B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-08-11 KR KR1020067003063A patent/KR20060058111A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-08-11 JP JP2006523369A patent/JP2007509485A/ja not_active Abandoned
- 2004-08-11 WO PCT/US2004/026152 patent/WO2005017968A2/en active Application Filing
- 2004-08-13 TW TW093124401A patent/TWI350573B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013016709A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2015532017A (ja) * | 2012-09-20 | 2015-11-05 | シレゴ・テクノロジー・インコーポレーテッドSilego Technology Incorporated | 極薄パッケージ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1654753A2 (en) | 2006-05-10 |
TWI350573B (en) | 2011-10-11 |
KR20060058111A (ko) | 2006-05-29 |
US20070161157A1 (en) | 2007-07-12 |
WO2005017968A3 (en) | 2006-10-19 |
EP1654753A4 (en) | 2009-01-21 |
TW200520120A (en) | 2005-06-16 |
WO2005017968A2 (en) | 2005-02-24 |
CN101375382B (zh) | 2011-04-20 |
US7563648B2 (en) | 2009-07-21 |
CN101375382A (zh) | 2009-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007509485A (ja) | 半導体デバイス・パッケージおよびその製造方法 | |
US5554886A (en) | Lead frame and semiconductor package with such lead frame | |
US6198163B1 (en) | Thin leadframe-type semiconductor package having heat sink with recess and exposed surface | |
US9159588B2 (en) | Packaged leadless semiconductor device | |
CN101611484B (zh) | 无引脚半导体封装及其制造方法 | |
US8058104B2 (en) | Reversible leadless package and methods of making and using same | |
US6157074A (en) | Lead frame adapted for variable sized devices, semiconductor package with such lead frame and method for using same | |
US6541846B2 (en) | Dual LOC semiconductor assembly employing floating lead finger structure | |
JP5341337B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR101665721B1 (ko) | 수지 밀봉형 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US20080036034A1 (en) | Lead Frame with Included Passive Devices | |
CN103946976A (zh) | 具有翻转式球接合表面的双层级引线框架及装置封装 | |
US6114750A (en) | Surface mount TO-220 package and process for the manufacture thereof | |
US6642082B2 (en) | Method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device | |
JPH11214606A (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びリードフレーム | |
US5936837A (en) | Semiconductor component having leadframe with offset ground plane | |
JP3454192B2 (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP2005311099A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR19980082949A (ko) | 적층 칩 패키지 | |
JP2636808B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3468447B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
JPH05136320A (ja) | リードフレームの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070726 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20090331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090331 |