JP2007305916A - リードフレームの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リードフレーム1のダイパッド12に、互いに直交する行方向および列方向に一定の間隔Spで整列した第1のディンプル16が形成された後、行方向および列方向に第1のディンプル16と同じ間隔Spで整列した第2のディンプル16が、第1のディンプル16に対して行方向および列方向にその間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれた位置関係を有するように形成される。
【選択図】図5
Description
ところが、プレス型を用いたプレス加工では、ダイパッド94に、ディンプルが形成された面側が凸となる反りが生じてしまう。この反り変形は、突起がダイパッド94に食い込むときに、その部分の金属が周囲に押し出されることにより生じ、ダイパッド94に形成されるディンプルの密度が高いほど顕著に現れる。ダイパッド94の反り変形量が大きいと、ダイパッド94への半導体チップ91のダイボンディングの精度に悪影響を及ぼす。そのため、従来の手法では、ダイパッド94におけるディンプルの密度を抑制せざるを得ず、現在のところ、ディンプルを間隔0.3mm以下でダイパッド94に形成したリードフレームは存在しない。ダイパッド94にディンプルを間隔0.3mm以下で形成した程度では、ダイパッド94とパッケージ93との密着性を期待されるほどに向上させることはできない。
第1のディンプルの形成により、金属薄板に反り変形が生じても、その反り変形は、第2のディンプルが形成されるときに、第2のプレス型が金属薄板に打ちつけられることにより修正される。そして、その第2のディンプルが形成されるときには、その第2のディンプルが形成される位置の周囲に第1のディンプルがすでに形成されているので、第2のプレス型の突起が金属薄板に食い込むときに、その部分から押し出される金属は、第1のディンプル内に迫り出すことにより逃げる。そのため、第2のディンプルの形成によっては、金属薄板に反り変形をほとんど生じない。したがって、金属薄板からなるリードフレームにディンプルを高密度に形成することができながら、そのディンプル形成によるリードフレームの反り変形の発生を抑制することができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る製造方法により製造されるリードフレームの平面図である。
このリードフレーム1は、長い帯状の金属薄板(たとえば、銅薄板)を打ち抜いて形成され、その金属薄板の長手方向に延びる両端部をなす1対のレール11の間に、複数の単位部分がリードフレーム1の長手方向に連設された構成を有している。
ダイパッド12は、平面視略矩形状に形成されている。このダイパッド12は、各レール11とこれらに対向する各辺とを連結する吊りリード14により、両レール11の間に支持されている。
ダイパッド12の裏面には、多数のディンプル16が形成されている。ディンプル16は、互いに直交する行方向および列方向に一定の間隔(ディンプル16の最深部間の間隔)Sdで設けられ、全体として行列状に整列して配置されている。このディンプル16の間隔Sdは、後述するように、従来のリードフレームにおけるディンプルの間隔(約0.3mm)よりもはるかに小さく、ディンプル16の密度は、従来のリードフレームにおけるディンプルの密度よりもはるかに高い。また、各ディンプル16は、略四角錐状をなし、ダイパッド12の裏面から最深部までの深さが約0.02〜0.03mmに形成されている。
このリードフレーム製造装置2は、たとえば、供給リール21Aから巻取リール21Bへ向けて、リードフレーム1の基材となる金属薄板を送るための複数組のフィードローラ22と、これらのフィードローラ22を駆動するためのローラ駆動機構23と、金属薄板を打ち抜いて、レール11、ダイパッド12、リード13、吊りリード14およびタイバー15を形成するためのパンチング加工機(図示せず)と、ダイパッド12の裏面にディンプル16を形成するためのプレス加工機24とを備えている。
下ブロック25には、4つの下側プレス金型28A,28B,28C,28Dが、リードフレーム1の送り方向(以下、単に「送り方向」という。)に、リードフレーム1におけるダイパッド12と同じピッチで並べて配置されている。各下側プレス金型28A,28B,28C,28Dは、下ブロック25と上ブロック26との間を通過するリードフレーム1と接触する表面が平面に形成されている。
図4は、ディンプル16を形成する工程を示す図である。また、図5は、ディンプル16が形成されていく様子を図解的に示す平面図である。
以下では、図4および図5を主に参照し、リードフレーム1に備えられる複数のダイパッド12のうちの1つに着目して、そのダイパッド12にディンプル16が形成される工程を説明する。
つづいて、プレス昇降機構27により上ブロック26が下降され、上側プレス金型29Aがダイパッド12に打ちつけられて(プレス)、上側プレス金型29Aの突起30がダイパッド12の裏面に食い込むことにより、その突起30に対応するディンプル16が形成される(ステップS2)。突起30は、行方向および列方向に一定の間隔Spで形成されているので、ダイパッド12の裏面には、図5(a)に○印で示すように、行方向および列方向に一定の間隔Spで整列したディンプル16が形成される。
その後、フィードローラ22が駆動され、リードフレーム1が送られる。そして、ダイパッド12が第2のプレス型としての上側プレス金型29Bと対向すると(ステップS3)、フィードローラ22の駆動が停止される。
第2の上側プレス金型29Bの突起30は、図6に示すように、第1のディンプル16に対して、行方向および列方向にそれぞれ突起30の間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれた位置と対向するように配置されている。そのため、第2のディンプル16は、図5(b)に○印で示される第1のディンプル16に対して、行方向および列方向にそれぞれ距離Sp/2だけずれた位置関係を有する。
つづいて、プレス昇降機構27により上ブロック26が下降され、上側プレス金型29Cがダイパッド12に打ちつけられて(プレス)、上側プレス金型29Cの突起30がダイパッド12の裏面に食い込むことにより、図5(c)に×印で示すように、その突起30に対応するディンプル16が、行方向および列方向に一定の間隔Spで整列して形成される(ステップS6)。
第3の上側プレス金型29Cの突起30は、第1のディンプル16に対して行方向に突起30の間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれ、第2のディンプル16に対して列方向に間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれた位置と対向するように配置されている。そのため、第3のディンプル16は、図5(c)に○印で示される第1のディンプル16に対して行方向に距離Sp/2だけずれた位置関係を有し、図5(c)に△印で示される第2のディンプル16に対して列方向に距離Sp/2だけずれた位置関係を有する。
つづいて、プレス昇降機構27により上ブロック26が下降され、上側プレス金型29Dがダイパッド12に打ちつけられて(プレス)、上側プレス金型29Dの突起30がダイパッド12の裏面に食い込むことにより、図5(c)に□印で示すように、その突起30に対応するディンプル16が、行方向および列方向に一定の間隔Spで整列して形成される(ステップS8)。
第4の上側プレス金型29Dの突起30は、第1のディンプル16に対して列方向に突起30の間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれ、第2のディンプル16に対して行方向に間隔Spの半分の距離Sp/2だけずれた位置と対向するように配置されている。そのため、第4のディンプル16は、図5(d)に○印で示される第1のディンプル16に対して列方向に距離Sp/2だけずれた位置関係を有し、図5(d)に△印で示される第2のディンプル16に対して行方向に距離Sp/2だけずれた位置関係を有する。この結果、ダイパッド12には、行方向および列方向に突起30の間隔Spの半分の間隔Sd=Sp/2=0.06mmで整列したディンプル16が形成される。
前述の実施形態では、ダイパッド12にディンプル16を形成するためのプレス加工機24として、下ブロック25に4つの下側プレス金型28A,28B,28C,28Dを配置することができ、上ブロック26に4つの上側プレス金型29A,29B,29C,29Dを配置することができる構成のものを取り上げた。これに対し、プレス加工機24として、下ブロック25および上ブロック26に、それぞれ1つの下側プレス金型および上側プレス金型のみ配置することができる構成のものを採用しても、前述した構成のリードフレーム1を製造することができる。
前述の実施形態では、4つの下側プレス金型28A,28B,28C,28Dと、これらにそれぞれ対応する上側プレス金型29A,29B,29C,29Dとを用いて、ダイパッド12にディンプル16を形成する場合を取り上げた。これに対し、プレス加工機24の下ブロック25および上ブロック26に、たとえば、それぞれ1つの下側プレス金型28Aおよびこれに対応する上側プレス金型29Aを配置して、下側プレス金型28Aおよび上側プレス金型29Aとリードフレーム1(金属薄板)とを送り方向と直交する列方向に相対的に移動させるための相対移動機構(図示せず)を追加した構成によっても、前述した構成のリードフレーム1を製造することができる。
つづいて、下側プレス金型28Aおよび上側プレス金型29Aまたはリードフレーム1が、列方向の他方側に突起30の間隔Spの半分の距離Sp/2=0.06mmだけずらされる(ステップE7)。そして、ダイパッド12が下側プレス金型28Aおよび上側プレス金型29Aでプレスされる。これにより、ダイパッド12に、図5(d)に×印で示すディンプル16が形成される(ステップE8)。この結果、すべてのダイパッド12に、行方向および列方向に突起30の間隔Spの半分の間隔Sd=Sp/2=0.06mmで整列したディンプル16が形成される。
また、図4に示すステップS5〜S8が省略されて、図5(b)に○印および△印で示すディンプル16が形成されたリードフレーム1が製造されてもよい。この図5(b)に○印および△印で示すディンプル16が形成されたリードフレーム1は、図7に示すステップT3,T4を省略することによっても形成することができ、図8に示すステップE4,E7,E8を省略することによっても形成することができる。
2 リードフレーム製造装置
12 ダイパッド(所定領域)
13 リード
16 ディンプル
22 フィードローラ(搬送手段、相対移動手段)
23 ローラ駆動機構(搬送手段、相対移動手段)
27 プレス昇降機構(プレス型移動機構)
29A,29B,29C,29D 上側プレス金型
30 突起
31 制御装置(制御手段)
Claims (5)
- 金属薄板を打ち抜いて形成されるリードフレームの製造方法であって、
第1のプレス型を用いたプレス加工により、前記金属薄板の所定領域に、互いに直交する行方向および列方向に一定の間隔で整列して配置された、第1のディンプルを形成する第1ディンプル形成工程と、
第2のプレス型を用いたプレス加工により、前記所定領域に、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記行方向および前記列方向にそれぞれ前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する、第2のディンプルを形成する第2ディンプル形成工程とを含むことを特徴とする、リードフレームの製造方法。 - 第3のプレス型を用いたプレス加工により、前記所定領域に、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有し、前記第2のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する、第3のディンプルを形成する第3ディンプル形成工程と、
前記第4のプレス型を用いたプレス加工により、前記所定領域に、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有し、前記第2のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する、第4のディンプルを形成する第4ディンプル形成工程とをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のリードフレームの製造方法。 - 金属薄板を打ち抜いて形成されるリードフレームの製造装置であって、
互いに直交する行方向および列方向に一定の間隔で整列して配置された突起を有し、前記金属薄板の所定領域に対して前記突起を押し付けることにより、前記所定領域に第1のディンプルを形成するための第1のプレス型と、
前記第1のプレス型に並べて設けられ、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記所定領域に対向したときに、前記第1のディンプルに対して前記行方向および前記列方向にそれぞれ前記間隔の半分の距離だけずれた位置と対向する突起を有し、前記金属薄板の所定領域に対して前記突起を押し付けることにより、前記所定領域に第2のディンプルを形成するための第2のプレス型と、
前記金属薄板を前記第1のプレス型と前記第2のプレス型との並び方向に沿って搬送する搬送手段とを含むことを特徴とする、リードフレームの製造装置。 - 前記第1のプレス型に対して前記並び方向に並べて設けられ、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記所定領域に対向したときに、前記第1のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれ、前記第2のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置と対向する、突起を有し、前記金属薄板の所定領域に対して前記突起を押し付けることにより、前記所定領域に第3のディンプルを形成するための第3のプレス型と、
前記第1のプレス型に対して前記並び方向に並べて設けられ、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記所定領域に対向したときに、前記第1のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれ、前記第2のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置と対向する、突起を有し、前記金属薄板の所定領域に対して前記突起を押し付けることにより、前記所定領域に第4のディンプルを形成するための第4のプレス型とをさらに含むことを特徴とする、請求項3に記載のリードフレームの製造装置。 - 金属薄板を打ち抜いて形成されるリードフレームの製造装置であって、
互いに直交する行方向および列方向に一定の間隔で整列して配置された突起を有するプレス型と、
前記プレス型を移動させて、前記金属薄板に対して前記突起を押し付けるためのプレス型移動機構と、
前記金属薄板と前記プレス型とを前記行方向および前記列方向に相対的に移動させる相対移動手段と、
前記プレス型移動機構および前記相対移動手段を制御して、前記金属薄板の所定領域に、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置された第1のディンプル、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記行方向および前記列方向にそれぞれ前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する第2のディンプル、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有し、前記第2のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する第3のディンプル、ならびに、前記行方向および前記列方向に一定の前記間隔で整列して配置され、前記第1のディンプルに対して前記列方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有し、前記第2のディンプルに対して前記行方向に前記間隔の半分の距離だけずれた位置関係を有する第4のディンプルを形成するための制御手段とを含むことを特徴とする、リードフレームの製造装置。
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