JP5574297B2 - リードフレームの製造方法 - Google Patents
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Description
搬送不能が生じたり反りが生じたりしないようにするために、形状パターン形成領域に形
成されている部位のうち少なくとも樹脂封止される部位については、全て要求されている
寸法の薄い厚さに形成するが、枠体部のうち少なくとも外縁部については、従来と同等の
厚さに形成するようにする。
2 形状パターン形成領域
3 外縁部
4 境界部
5 枠体部
6 パイロットホール
7 インナーリード
8 アウターリード
9 ダイパッド
11 材料
12 位置決め穴
13,17 レジストマスク
14,15,16 ハーフエッチング部
Claims (1)
- 均一の厚さを有し位置決め穴が形成された金属板に対して、半導体素子を樹脂封止して製作される半導体パッケージのための形状パターンの形成予定領域をハーフエッチング加工で複数個分同時に同じ厚さに形成する工程と、
その後、レジストマスクを形成し、前記ハーフエッチングした各領域内に少なくとも半導体パッケージの一部となる部位、及び前記領域を囲んでいるハーフエッチングされていない外縁部にパイロットホールを含む所定の部位の形状をエッチング加工で同時に形成するとともに、前記位置決め穴を含め前記レジストマスクを形成していない部位を除去する工程、
とを含むことを特徴とするリードフレームの製造方法。
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