JP2007234878A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板4上に形成された複数のトランジスタ12は、ゲート電極15を共有している。素子分離領域16は、複数のトランジスタ12を分離する。複数のトランジスタ12の形成領域に、複数の前記第1のトランジスタのソース、ドレイン領域を含み、その領域の深さよりも深く、トランジスタ12の閾値電圧を設定する不純物領域19が形成されている。
【選択図】 図1
Description
図6(a)乃至(d)は、第1の実施形態の変形例1を示している。以下の実施形態及び変形例において、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付し、異なる部分について説明する。
図7(a)乃至(d)は、第1の実施形態の変形例2を示している。変形例2は、変形例1の構成に加えて、ビット線接続トランジスタ12のチャネル幅に平行な方向に沿って、素子分離領域16の下方にフィールドストッパー20bを形成している。すなわち、複数のビット線接続トランジスタのソース、ドレイン領域17に対して、チャネル長方向(第1の方向)に隣接する素子分離領域16に、ゲート電極15に沿って複数のフィールドストッパー20bが形成されている。このフィールドストッパー20bの形成方法及び不純物濃度は、フィールドストッパー20aと同様である。
図8、図9(a)(b)、図10(a)(b)(c)は、第2の実施形態を示している。第1の実施形態において、図2に示すように、シールド電源ノード11は、メモリセルアレイ1に対してセンスアンプ3と反対側に配置されている。これに対して、第2の実施形態は、図8に示すように、シールド電源ノード11をセンスアンプ3側に配置している。このため、シールド電源ノード11とビット線BL0〜BLnとを接続するビット線接続トランジスタ12もセンスアンプ3側に配置している。センスアンプ3とビット線BL0〜BLnとを接続するビット線接続トランジスタ12と、シールド電源ノード11とビット線BL0〜BLnとを接続するビット線接続トランジスタ12は、ソース、ドレイン領域を共有して形成することができる。
図11(a)(b)、図12(a)(b)(c)は、第2の実施形態の変形例1を示している。
図13(a)(b)、図14(a)(b)(c)(d)は第2の実施形態の変形例2を示している。第2の実施形態の変形例1と異なる点は、ゲート電極15の下の素子分離領域16だけではなく、チャネル幅に平行な方向に隣り合うトランジスタのセンスアンプ又はシールド電源ノードに接続されるソース、ドレイン領域17同士の間の素子分離領域16にも高濃度フィールドストッパー20cを配置している。
図15(a)(b)、図16(a)(b)(c)(d)は、第2の実施形態の変形例3を示している。
Claims (5)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記基板上に第1のゲート電極を共有して配置され、ソース、ドレイン領域の一方を構成する第2導電型の第1の拡散層と、前記ソース、ドレイン領域の他方を構成する第2導電型の第2の拡散層とを有する複数の第1のトランジスタと、
前記基板内に形成され、複数の前記第1のトランジスタをそれぞれ分離する素子分離領域と、
複数の前記第1のトランジスタの形成領域に形成され、複数の前記第1のトランジスタのソース、ドレイン領域を含み、その領域の深さよりも深く形成された前記第1のトランジスタの閾値電圧を設定する第1導電型の不純物領域と
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の拡散層には、前記第2の拡散層及び前記第1のゲート電極に印加される電圧より高い電圧が印加されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1のゲート電極の下方に位置する前記素子分離領域内に形成された第1のフィールドストッパーをさらに具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 複数の前記第1のトランジスタの前記第1の拡散層の近傍に位置する前記素子分離領域内に、前記ゲート電極に沿って形成された第2のフィールドストッパーをさらに具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 複数の前記第1のトランジスタのチャネル長方向に隣接した複数の第2のトランジスタをさらに有し、複数の前記第2のトランジスタは第2のゲート電極を共有するとともにソース、ドレイン領域の一方を前記第2の拡散層と共有し、ソース、ドレイン領域の他方としての第3の拡散層を有し、前記第2の拡散層に隣接する前記素子分離領域内に前記チャネル長方向に沿って第3のフィールドストッパーをさらに具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009110873A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置 |
JP2011159720A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US8013381B2 (en) | 2008-01-31 | 2011-09-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
JP2011192841A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US8514602B2 (en) | 2010-02-08 | 2013-08-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
JP2014187290A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8369148B2 (en) | 2007-11-06 | 2013-02-05 | Macronix International Co., Ltd. | Operation methods for memory cell and array thereof immune to punchthrough leakage |
JP2009158622A (ja) | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
CN114023755A (zh) * | 2020-10-15 | 2022-02-08 | 长江存储科技有限责任公司 | 半导体器件结构及其制备方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6223150A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JPS62149163A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-07-03 | Nec Corp | 相補型mos集積回路の製造方法 |
JPH02280351A (ja) * | 1989-04-21 | 1990-11-16 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH06196660A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH07235603A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-09-05 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH11135750A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JP2002141408A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Toshiba Corp | 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
JP2003178995A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-27 | Agere Systems Guardian Corp | 所望のドーパント濃度を実現するためのイオン注入法 |
JP2004014779A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Renesas Technology Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2005216899A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3519583B2 (ja) * | 1997-09-19 | 2004-04-19 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP4142228B2 (ja) * | 2000-02-01 | 2008-09-03 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置 |
JP4064607B2 (ja) * | 2000-09-08 | 2008-03-19 | 株式会社東芝 | 半導体メモリ装置 |
JP3875570B2 (ja) | 2001-02-20 | 2007-01-31 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置のデータ書き込み方法及び半導体記憶装置 |
KR100493065B1 (ko) * | 2003-06-03 | 2005-06-02 | 삼성전자주식회사 | 트렌치 게이트형 트랜지스터를 구비하는 반도체 소자 및그 제조 방법 |
JP4817615B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2011-11-16 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2006
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- 2007-02-28 KR KR1020070020280A patent/KR100860429B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6223150A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JPS62149163A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-07-03 | Nec Corp | 相補型mos集積回路の製造方法 |
JPH02280351A (ja) * | 1989-04-21 | 1990-11-16 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH06196660A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH07235603A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-09-05 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH11135750A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JP2002141408A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Toshiba Corp | 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
JP2003178995A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-27 | Agere Systems Guardian Corp | 所望のドーパント濃度を実現するためのイオン注入法 |
JP2004014779A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-01-15 | Renesas Technology Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2005216899A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009110873A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置 |
US8013381B2 (en) | 2008-01-31 | 2011-09-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
JP2011159720A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US8400832B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
US8514602B2 (en) | 2010-02-08 | 2013-08-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor memory device |
JP2011192841A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US8399953B2 (en) | 2010-03-15 | 2013-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP2014187290A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US9142307B2 (en) | 2013-03-25 | 2015-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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