JP2007171203A - 時間間隔調整型の差動容量センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動信号発生器12a、12bは、感知コンデンサ14a、14bに励起駆動信号を印加する。駆動信号発生器は、コントローラ28中のヌル・バイアス調整回路30の制御の下で、システム・クロック発振器のクロック周波数の端数である励起周波数によって励起駆動信号のそれぞれの時間長を変化させて、異なる時間幅を有する励起駆動信号を発生する。これにより、2つの感知コンデンサの共通接続点16の電位を調整することができ、零変位のときのヌル電位を所定値に設定することができる。
【選択図】 図3
Description
したがって、典型的な技術的現状における、MEMS加速度計、圧力変換器、及びその他の変換デバイスにおける差動容量検出器駆動回路の均衡化に対する、これら及びその他の制約を克服するデバイス及び方法が望まれている。
本発明の一態様によれば、調整刻み幅が駆動サイクル毎に一定とならないようにジッタを追加し、分解能を更に高めることができる。
図面は、新規のヌル・バイアス調整を行う、差動容量変換デバイスを動作させる検出器駆動回路のための、本発明の装置及び方法を示す。
Claims (10)
- 差動容量変換器用の検出器駆動回路であって、
一対の感知コンデンサと、
前記一対の感知コンデンサに、実質的に逆極性の励起駆動信号を印加するよう構成された一対の駆動信号発生器と、
前記一対の駆動信号発生器を個別に制御するように接続されているヌル・バイアス調整回路と、
前記一対の感知コンデンサの間の共通接合点に結合されているトランスインピーダンス増幅器と、
前記トランスインピーダンス増幅器の出力に結合されている同期復調器と、
前記同期復調器の出力に結合されているフィルタ・バッファと
を備えていることを特徴とする検出器駆動回路。 - 請求項1記載の検出器駆動回路において、該回路は更に、前記ヌル・バイアス調整回路と前記一対の駆動信号発生器との間にそれぞれ接続されており、前記ヌル・バイアス調整回路によって個別に動作する一対のスイッチを備えていることを特徴とする検出器駆動回路。
- 請求項2記載の検出器駆動回路において、該回路は更に、システム・クロック発振器を備えており、前記励起駆動信号の各々は、前記システム・クロック発振器のクロック周波数の端数である励起周波数を有し、前記励起駆動信号のそれぞれは異なる第1及び第2の時間幅を有することを特徴とする検出器駆動回路。
- 請求項1記載の検出器駆動回路において、該回路は更に、
前記トランスインピーダンス増幅器と前記同期復調器との間にあるゲート・スイッチと、
前記スイッチを制御するよう接続されている倍率調整回路と、
システム温度を表す温度信号を前記倍率調整回路に出力するように結合されている温度センサと
を備えており、
前記倍率調整回路は更に、前記温度信号の関数として前記ゲート・スイッチを可変制御するよう構成されていることを特徴とする検出器駆動回路。 - 請求項1記載の検出器駆動回路において、該回路は更に、システム温度を表す温度信号を前記ヌル・バイアス調整回路に出力するよう接続されている温度センサを備えており、前記ヌル・バイアス調整回路は更に、前記温度信号の関数として前記一対の駆動信号発生器を可変制御するよう構成されていることを特徴とする検出器駆動回路。
- 差動容量変換器の動作のための検出器駆動回路であって、
高周波システム・クロック発振器と、
共通接続点に結合されている第1及び第2感知コンデンサを有する差動容量センサと、
前記システム・クロック発振器の分周のために設けられおり、実質的に逆極性の第1及び第2励起駆動信号をそれぞれ発生するよう構成されている第1及び第2駆動信号発生器駆動回路であって、前記第1及び第2励起駆動信号のそれぞれを、前記差動容量センサの第1及び第2感知コンデンサのそれぞれに印加するよう接続されている第1及び第2駆動信号発生器を備えている駆動回路と、
前記第1及び第2駆動信号発生器のそれぞれを制御するよう接続されている第1及び第2スイッチと、
前記第1及び第2スイッチを個別に制御するよう接続されているプログラマブルなヌル・バイアス調整回路と、
前記第1及び第2感知コンデンサの間にある前記共通接続点に接続されているトランスインピーダンス増幅器と、
前記トランスインピーダンス増幅器に接続されている同期復調器と、
前記同期復調器に結合されているフィルタ・バッファと
を備えていることを特徴とする検出器駆動回路。 - 請求項6記載の検出器駆動回路において、前記ヌル・バイアス調整回路は更に、前記第1及び第2駆動信号発生器それぞれの励起駆動信号の時間幅を、前記システム・クロック発振器の時間刻み幅単位で調節するように、前記第1及び第2スイッチを制御するよう構成されていることを特徴とする検出器駆動回路。
- 請求項7記載の検出器駆動回路において、前記ヌル・バイアス調整回路は更に、前記第1励起駆動信号が第1の幅を有するように前記第1の信号発生器を個別に制御するよう構成されており、更に、前記第2励起駆動信号が前記第1の幅とは異なる第2の幅を有するように、前記第2信号発生器を個別に制御するよう構成されていることを特徴とする検出器駆動回路。
- 請求項6記載の検出器駆動回路において、該回路は更に、前記トランスインピーダンス増幅器と前記同期復調器との間にあるゲート・スイッチと、
前記ゲート・スイッチを制御するよう接続されているプログラマブル倍率調整回路と
を備えていることを特徴とする検出器駆動回路。 - 請求項9記載の検出器駆動回路において、前記プログラマブルヌル・バイアス調整回路及び前記プログラマブル倍率調整回路の少なくとも一方は更に、システム温度を表す温度信号を受けるよう接続されており、前記プログラマブルヌル・バイアス調整回路及び前記プログラマブル倍率調整回路の少なくとも一方は更に、前記温度信号の関数として、前記駆動信号発生器及び前記ゲート・スイッチをそれぞれ可変制御するよう構成されていることを特徴とする回路。
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