JP2006220454A - 容量式物理量センサのセンサ回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 オペアンプ41の反転入力端子と出力端子との間に接続されるコンデンサ42に対し、スイッチ49を並列接続し、このスイッチ49がリフレッシュ時にオンされるような構成とする。このような構成によれば、スイッチ49をオンさせることでオペアンプ41の反転入力端子と入力端子との間が導通状態となり、MOS抵抗43とコンデンサ42との時定数とは無関係にオペアンプ41をオフセットすることが可能となる。このため、オペアンプ41を短時間でオフセットすることが可能となり、ウェハの検査を行う際にも、時間が掛からないようにすることが可能となる。
【選択図】 図2
Description
IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS VOL.37 NO.12「Single-Chip Surface Micromachined Integrated Gyroscope With50°/h Allan Deviation」
本発明の一実施形態を適用した容量式物理量センサのセンサ回路のブロック構成を図1に示す。以下、この図を参照して本実施形態におけるセンサ回路について説明する。
上記実施形態では、C−V変換を行うチャージアンプ回路22、31、32が備えられたセンサ回路として、ジャイロセンサを例に挙げて説明しがた、容量値によって検出信号を発生する容量式物理量センサであれば、他のセンサに関しても本発明を適用することが可能である。
31、32…チャージアンプ回路、41…オペアンプ、42…コンデンサ、
43…MOS抵抗、44、45…MOSトランジスタ、46…コンデンサ、
47…MOSトランジスタ、48…定電流源、49…スイッチ、50…基板、
51…テスト入力パッド。
Claims (3)
- 物理量に応じた容量値で示される検知信号を出力するセンシング部(10)と、
前記検知信号を電圧変換するチャージアンプ回路(22、31、32)とを有し、
前記チャージアンプ回路(22、31、32)の出力に基づいて、センサ出力となる信号を発生させるように構成された容量式物理量センサのセンサ回路において、
前記チャージアンプ回路(22、31、32)には、
前記検知信号が反転入力端子に入力されると共に所定の基準電圧が非反転入力端子に入力されるオペアンプ(41)と、
前記オペアンプ(41)の反転入力端子と出力端子との間に接続された第1コンデンサ(42)と、
前記第1コンデンサ(42)に対して並列接続されたMOS抵抗(43)で構成されるフィードバック抵抗と、
前記第1コンデンサ(42)に対して並列接続され、外部から入力されるリフレッシュ信号によってオンされるように構成されたスイッチ(49)とが備えられていることを特徴とする容量式物理量センサのセンサ回路。 - 前記MOS抵抗(43)は、
前記第1コンデンサ(42)に対して並列接続された第1、第2MOSトランジスタ(44、45)と、
前記第1、第2MOSトランジスタ(44、45)の間に接続された第2コンデンサ(46)と、
前記第1、第2MOSトランジスタ(44、45)と互いのゲートが接続された第3MOSトランジスタ(47)と、前記第3MOSトランジスタ(47)のソース−ドレイン間に流れる電流を制御する定電流源(48)とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の容量式物理量センサのセンサ回路。 - 前記チャージアンプ回路(22、31、32)が備えられた基板(50)には、テスト入力パッド(51)が備えられており、このテスト入力パッド(51)を通じて前記リフレッシュ信号が前記チャージアンプ回路(22、31、32)に入力されるようになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の容量式物理量センサのセンサ回路。
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