JP4983482B2 - 振動型の物理量センサの検査装置 - Google Patents
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- 振動部を駆動振動させながら当該振動部に作用する外力に基づいた検出信号を出力する振動型の物理量センサの検査装置であって、
複数の前記物理量センサが搭載された検査用部材を駆動することによって、複数の前記物理量センサにおける前記振動部に外力を与える外力付加手段と、
前記検査用部材に搭載された複数の前記物理量センサに対して電源を供給する電源供給手段と、
動作中の前記検査用部材に搭載され、電源が供給されている状態の複数の前記物理量センサに対して、順番に前記振動部を駆動振動させて前記検出信号を出力させ、当該検出信号に基づいて検査を行う検査手段と、
を備えることを特徴とする振動型の物理量センサの検査装置。 - 前記外力付加手段は、前記検査用部材を回転駆動することによって、複数の前記物理量センサにおける前記振動部に回転力を与える回転駆動機構を有することを特徴とする請求項1に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 前記物理量センサは、
前記振動部として、駆動信号に基づいて一定振幅で駆動振動されると共に、当該駆動振動に応じた駆動振動検知信号を出力する駆動用のセンサエレメント、及び当該駆動用のセンサエレメントが駆動振動されている際に加わったヨーに応じたヨー検知信号を出力するヨー検出用のセンサエレメントを含み、
前記駆動振動検知信号を信号処理して、前記駆動信号を出力する駆動部と、
前記ヨー検知信号を信号処理して、前記ヨーに応じた検出信号を発生させるヨー検知部とを備え、
前記駆動部は、通電状態において、前記駆動信号の出力と停止を切り替える切替部を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型の物理量センサの検査装置。 - 前記物理量センサは、前記駆動部と前記ヨー検知部での信号処理に用いられるデータを記憶する記憶部を備えるものであり、前記駆動部は、前記記憶部に駆動信号の出力と停止を切り替える切替信号を入力することで、前記切替部に切り替え状態を保持し続ける制御信号を出力することを特徴とする請求項3に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 前記切替部に電気的に接続される切り替え用のパッドを備え、前記切替部は、当該パッドから電圧を印加している間、切り替え状態を保持することを特徴とする請求項3に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 前記物理量センサは、前記切替部が停止状態のとき、外部から駆動信号を入力することが可能な外部入力手段を備えることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 各物理量センサは、一本の信号配線に対してスイッチを介して接続されており、前記検査手段は、前記スイッチを選択することによって、順番に前記物理量センサの前記振動部を駆動振動させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 複数の前記物理量センサに電源が供給された状態で、各物理量センサの駆動信号の周波数を測定する周波数測定手段と、駆動信号の周波数をもとに駆動振動させる物理量センサを選択する選択手段とを備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
- 前記検査手段は、複数の前記物理量センサを1台ずつ順番に駆動振動させることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の振動型の物理量センサの検査装置。
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