JP5360676B2 - 角速度検出装置の製造方法 - Google Patents
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また、他の態様では、検出用基部から延出している検出振動片と、前記検出振動片に対して両方の側に配置されている駆動用振動片と、を有し、前記駆動振動片の駆動振動による振動方向と、前記検出振動片のコリオリ力による振動方向と、が略同一平面上の関係にあり、前記コリオリ力に基づく成分と、前記駆動振動に基づく自己振動成分と、を含む信号を出力する振動子と、前記信号から前記自己振動成分を抽出する検出回路と、前記検出回路からの信号が入力される故障判定回路と、を備えている角速度検出装置の製造方法であって、前記検出回路から出力された前記自己振動成分の大きさを0と異なる値にバランスチューニングする工程を含むことを特徴とする。
また、他の態様では、前記バランスチューニングは、前記駆動振動片に膜を形成し、前記膜の一部を除去する工程を含むことを特徴とする。
また、他の態様では、前記故障判定回路は、該故障判定回路に入力される前記検出回路からの信号の大きさが減少した場合に前記振動子が故障したと判定することを特徴とする。
また、他の態様では、前記故障判定回路に入力される前記検出回路からの信号の大きさは、前記故障判定回路が正常値と規定する下限基準値の1倍以上かつ2倍未満であることを特徴とする。
また、他の態様では、前記振動子は、前記検出振動片の延出方向に対して交差する方向に前記検出用基部から延出している連結腕と、前記連結腕に配置されている駆動用基部と、前記駆動用基部から延出している前記駆動振動片と、を備えていることを特徴とする。
図1は、本実施の形態に係る角速度検出装置の一例を示す回路ブロック図である。
振動子10は、駆動端子13,14から入力される駆動信号に基づいて励振振動し、励振振動した状態において、回転運動が働くと、コリオリの力が生じる。そして、振動子10は、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく励振振動成分を含む検出信号を出力する。ここで、励振振動成分とコリオリ力に基づく角速度成分とは90°位相がずれている。
角速度検出回路5は、駆動回路20と検出回路30を含む。駆動回路20と検出回路30は、同一基板上に構成することが可能である。検出振動腕12には検出端子15及び16と接地端子17が設けられ、検出端子15及び16は検出回路30に接続されている。検出端子15及び16からは、互いに逆位相の検出信号が出力されるように構成されている。
断線検出は次のようにおこなう。検出端子15,16の一方に断線があると、チャージアンプ311,312の一方の出力は0Vになり、図5(C)に示す検出信号増幅部の出力信号の振幅は、断線が無い場合の約1/2になる。そして、図5(F)に示す全波整流波形の振幅も断線が無い場合の約1/2になる。そして、積分回路336の出力信号(図5(G))の直流電圧と基準電圧とのレベル差、すなわち信号大きさや、さらに後段のDC増幅器339が出力する出力信号の大きさも、断線が無い場合の約1/2になる。
Claims (5)
- 検出用基部から延出している検出振動片と、前記検出振動片に対して両方の側に配置されている駆動用振動片と、を有し、前記駆動振動片の駆動振動による振動方向と、前記検出振動片のコリオリ力による振動方向と、が略同一平面上の関係にあり、前記コリオリ力に基づく成分と、前記駆動振動に基づく自己振動成分と、を含む信号を出力する振動子と、
前記信号から前記自己振動成分を抽出する検出回路と、
前記検出回路からの信号が入力される故障判定回路と、
を備えている角速度検出装置の製造方法であって、
前記検出回路から出力された前記自己振動成分の大きさを0と異なる値にバランスチューニングする工程を含むことを特徴とする角速度検出装置の製造方法。 - 前記バランスチューニングは、前記駆動振動片に膜を形成し、前記膜の一部を除去する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の角速度検出装置の製造方法。
- 前記故障判定回路は、該故障判定回路に入力される前記検出回路からの信号の大きさが減少した場合に前記振動子が故障したと判定することを特徴とする請求項1または2に記載の角速度検出装置の製造方法。
- 前記故障判定回路に入力される前記検出回路からの信号の大きさは、前記故障判定回路が正常値と規定する下限基準値の1倍以上かつ2倍未満であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の角速度検出装置の製造方法。
- 前記振動子は、前記検出振動片の延出方向に対して交差する方向に前記検出用基部から延出している連結腕と、前記連結腕に配置されている駆動用基部と、前記駆動用基部から延出している前記駆動振動片と、を備えていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の角速度検出装置の製造方法。
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