JP4406863B2 - 振動型角速度センサ装置 - Google Patents
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Description
従来は、この問題に対して、駆動電極に流れる電流の変動を基に駆動電圧を変化させて検出素子の振動振幅そのものを一定に保つよう制御することで対処していた(例えば、下記の特許文献1及び特許文献2参照)。
したがって、検出素子の性能を犠牲にすることなく検出素子の特性変動に伴う測定誤差を補正することができる角速度センサ装置があれば好都合である。
図1は、本発明の角速度センサ装置の実施の形態を示す略ブロック図である。図1において、角速度センサ装置1は、角速度センサ10、角速度センサ10を駆動する駆動回路20、及び角速度センサ10の出力から角速度を測定する検出回路30からなる。
角速度センサ10の駆動電極14及び一次振動振幅をモニタリングする駆動モニタ電極15と駆動回路20からなる発信回路において、角速度センサ10の検出素子12は、ほぼ最大振幅で振動する。一方、角速度センサ10に角速度又は回転が加えられると、これに応じて、ピックアップ電極16、17の間の容量(すなわち、電荷)が変化するので、ピックアップ電極16、17の間の電荷をチャージアンプ31で電圧に変換して等化増幅回路32の利得制御増幅器324に与える。
10 角速度センサ
12 検出素子
14 駆動電極
15 駆動モニタ電極
16、17 ピックアップ電極
20 駆動回路
21、31 チャージアンプ
22 AC増幅器
23 90度位相シフタ
24 波形整形器
25 駆動バッファ
29、29a 増幅部
30 検出回路
32 等化増幅回路
33 同期検波器
35 ローパスフィルタ(LPF)
36 0点調整・増幅器
40 導線
210 電流増幅器
321 レベル検出器
322 Vr(基準電圧)発生器
323 比較器
324 利得制御増幅器
Claims (1)
- 検出素子を備えた振動型角速度センサと、
前記角速度センサの駆動電極に接続されたチャージアンプ及び前記チャージアンプの後方に接続された90度位相アンプとを備えた前記検出素子を振動させる駆動回路と、
前記角速度センサのピックアップ電極に接続され、前記検出素子に加えられる角速度による二次振動に比例する信号を出力する検出回路を備え、
前記駆動回路が、前記検出素子の一次振動のレベルを検出する検出手段を含み、前記駆動回路の許容する最大電圧で前記検出素子を振動させ、
前記検出回路が、前記検出素子に加えられる角速度による二次振動を検出する手段と、前記一次振動のレベルを検出する検出手段により検出されたレベルと前記検出素子により定まる基準電圧とを比較する比較手段と、前記比較手段の出力に応じて前記二次振動を検出する手段の出力を調整する手段とを備えた振動型角速度センサ装置。
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